JP7250525B2 - ウエハ搬送用トレイ - Google Patents
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Description
、本発明に係るウエハ搬送用トレイの具体的な実施形態について説明する。
図2Aおよび図2Bを用いて本発明の第1の実施形態について説明する。図2Aは、第1の実施形態に係るウエハ搬送用トレイの平面図である。図2Bは、図2A中のA-A断面である。
Reactive Ion Etching)などの半導体製造プロセスによって作製してもよい。
を凹部領域102の周囲に取り付けてもよい。
図3Aおよび図3Bを用いて本発明の第2の実施形態について説明する。図3Aは、第2の実施形態に係るウエハ搬送用トレイの平面図である。図3Bは、図3A中のA-A断面である。第1の実施形態と対応する構成部分には同一の符号を付し、詳しい説明を省略する。
凸部208は第1の環状凸部103と第2の環状凸部105の内側にも配置するとよい。
図4Aおよび図4Bを用いて本発明の第3の実施形態について説明する。図4Aは、第3の実施形態に係るウエハ搬送用トレイの平面図である。図4Bは、図4A中のA-A断面である。前述の実施形態と対応する構成部分には同一の符号を付し、詳しい説明を省略する。
図5Aおよび図5Bを用いて本発明の第4の実施形態について説明する。図5Aは、第4の実施形態に係るウエハ搬送用トレイの平面図である。図5Bは、図5A中のA-A断面である。前述の実施形態と対応する構成部分には同一の符号を付し、詳しい説明を省略する。
106の位置決めを行う構成であったのに対し、第4の実施形態では、壁状のウエハガイドに突き当てることでウエハ106の位置決めを行う点が行う。それ以外の構成は基本的に前述の実施形態と同じである。
図6Aおよび図6Bを用いて本発明の第5の実施形態について説明する。図6Aは、第5の実施形態に係るウエハ搬送用トレイの平面図である。図6Bは、図6A中のA-A断面である。前述の実施形態と対応する構成部分には同一の符号を付し、詳しい説明を省略する。
第1から第5の実施形態を例示したが、本発明の構成はこれらの実施形態に限られるものではない。例えば、前述の実施形態では、円形のウエハを載置するためのトレイを例示したが、トレイに載置する対象物はウエハに限られない。また対象物の形状も円形に限られず、矩形や多角形の対象物でもよい。また、トレイ自体の形状も円形に限られず、どのような形状でもよい。また、前述の実施形態では、吸着エリアの位置と大きさの両方が異なる真空吸着部材を例示したが、吸着エリアの位置が同じで大きさのみ異なる場合や、吸着エリアの大きさが同じで位置のみ異なる場合にも、本発明を適用することが可能である。
3a:吸着エリア
4:プリアライナ用真空チャック
4a:吸着エリア
5:第2の搬送ハンド
5a:吸着エリア
6:露光ステージ
6a:吸着エリア
7、101、201、301、401、501:ウエハ搬送用トレイ
103:第1の環状凸部
105:第2の環状凸部
106:ウエハ
Claims (13)
- 表面側に対象物が載置された状態で、裏面側に配置された真空吸着部材によって、前記対象物とともに真空吸着されるトレイであって、
前記表面のうち第1の真空吸着部材の吸着エリアに対応する部分に設けられ、前記対象物と前記表面の間に負圧室を形成するための、第1の環状凸部と、
前記表面のうち、前記第1の真空吸着部材とは吸着エリアの位置および/または大きさが異なる第2の真空吸着部材の吸着エリアに対応する部分に設けられ、前記対象物と前記表面の間に負圧室を形成するための、第2の環状凸部と、を備え、
前記第1の環状凸部または前記第2の環状凸部の少なくともいずれかの内側には、複数の貫通孔が設けられており、
前記第1の環状凸部と前記第2の環状凸部との外周によって規定される領域は互いに包含関係に無い、
ことを特徴とするトレイ。 - 前記第1の環状凸部と前記第2の環状凸部の高さが等しく、
前記対象物の下面が前記第1の環状凸部および前記第2の環状凸部によって支持されることを特徴とする請求項1に記載のトレイ。 - 前記第1の環状凸部および前記第2の環状凸部と等しい高さの凸部が前記表面に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のトレイ。
- 前記凸部が前記表面に複数設けられていることを特徴とする請求項3に記載のトレイ。
- 複数の前記凸部が等間隔に配置されていることを特徴とする請求項4に記載のトレイ。
- 前記第1の環状凸部の内側に、前記表面から前記裏面に貫通する貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1~5のうちいずれか1項に記載のトレイ。
- 前記第2の環状凸部の内側に、前記表面から前記裏面に貫通する貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1~6のうちいずれか1項に記載のトレイ。
- 前記第1の環状凸部が、少なくとも2つの環状壁からなる多重構造を有することを特徴とする請求項1~7のうちいずれか1項に記載のトレイ。
- 前記対象物を載置する位置をガイドするガイド部材を有することを特徴とする請求項1~8のうちいずれか1項に記載のトレイ。
- 前記ガイド部材は、前記対象物の外周縁と対向または当接する壁状の部材であることを特徴とする請求項9に記載のトレイ。
- 前記ガイド部材は、前記対象物の外周縁と対向または当接する突起状の部材であることを特徴とする請求項9に記載のトレイ。
- 前記トレイは、シリコン、酸化シリコン、カーボンを含む材料のいずれかで構成されていることを特徴とする請求項1~11のうちいずれか1項に記載のトレイ。
- 前記対象物は、ウエハであることを特徴とする請求項1~12のうちいずれか1項に記載のトレイ。
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