KR200488775Y1 - 웨이퍼 이송용 블레이드 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 웨이퍼 이송용 블레이드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송로봇에 의해 웨이퍼를 이송하는 과정에서 웨이퍼가 블레이드에 정렬되도록 슬라이딩 이동되는 경우 웨이퍼의 저면이 블레이드의 안착면으로부터 소정 이격시키는 이격지지부가 구비되어 웨이퍼가 블레이드로부터 이탈되어 파손되는 문제를 효과적으로 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 블레이드에 관한 것이다.
본 고안에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드는, 이송 대상이 되는 웨이퍼가 안착되어 지지되도록 로봇암의 일측에 결합되는 몸체부와; 상기 몸체부의 일측 말단부에서 상부 방향으로 수직하게 돌출된 수직부가 형성되어 상기 웨이퍼의 일측 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼부와; 상기 스토퍼부의 타측에서 상기 몸체부로 안착되는 웨이퍼의 접촉면적을 최소화하도록 웨이퍼의 중심으로부터 외주방향으로 일정각도 상향 경사진 경사부가 형성된 접촉부를; 포함하고, 상기 몸체부는, 웨이퍼가 상기 스토퍼부 및 상기 접촉부에서 슬라이딩 이동되는 경우 상면으로부터 웨이퍼의 저면이 소정 이격되어 지지되게 일정 간격으로 복수개 배치되는 이격지지부가 구비된 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼 이송용 블레이드{BLADE FOR TRANSFERRING WAFER}
본 고안은 웨이퍼 이송용 블레이드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송로봇에 의해 웨이퍼를 이송하는 과정에서 웨이퍼가 블레이드에 정렬되도록 슬라이딩 이동되는 경우 웨이퍼의 저면이 블레이드의 안착면으로부터 소정 이격시키는 이격지지부가 구비되어 웨이퍼가 블레이드로부터 이탈되어 파손되는 문제를 효과적으로 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 블레이드에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자의 제조 공정은 기판상에 서로 성질을 달리하는 전막, 반도체막 및 절연막 등의 박막을 그 적층의 순서 및 패턴의 형상을 조합하여 일정한 기능을 수행하는 전자회로를 실현하는 과정이라고 말할 수 있다.
이에 따라 반도체 소자 제조 공정에서는 여러 가지 박막의 증착과 식각 단위 공정이 반복적으로 행해지며 이러한 단위 공정을 실시하기 위해 기판은 해당 공정의 진행에 최적의 조건을 제공하는 챔버에 반입되어 처리된다.
이에 따라, 반도체 소자의 제조설비에는 다양한 공정을 수행하기 위한 복수의 챔버들과, 이 챔버들 사이에서 웨이퍼를 이송하기 위한 웨이퍼 이송로봇이 설치된다. 종래의 웨이퍼 이송로봇과, 이송로봇에 결합되어 있는 웨이퍼 블레이드가 도 1에 도시되어 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼 이송로봇의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래의 웨이퍼 이송로봇은 웨이퍼 블레이드(100)를 가진다. 웨이퍼 블레이드(100)는 지지판(110)과, 가압부재(120)와, 스토퍼 부재(130)를 포함한다. 지지판(110)은 판상으로 형성되며, 이동홈부(111)가 관통 형성되어 있다. 가압부재(120)는 이동홈부(111)에 배치되며, 지지판에 대해 직선이동 가능하게 배치된다.
스토퍼 부재(130)는 웨이퍼의 위치를 고정하기 위한 것으로, 웨이퍼와의 접촉시 웨이퍼가 손상되는 것을 방지되도록 연한 재질의 소재로 이루어진다.
상술한 바와 같이 구성된 웨이퍼 블레이드(100)로 웨이퍼(W)를 이송하는 과정을 살펴보면, 먼저 웨이퍼 블레이드(100)를 로드락 챔버(미도시)에 수납되어 있는 웨이퍼(W)의 하측으로 삽입한다. 이후, 웨이퍼 블레이드(100)를 상승시키면 지지판(110)의 상면에 웨이퍼가 얹어지게 된다. 이 상태에서, 가압부재(120)를 웨이퍼(W) 쪽으로 이동시키면 웨이퍼가 스토퍼 부재 쪽으로 이동하게 되고, 이후 웨이퍼가 가압부재 및 스토퍼 부재에 밀착되어 고정되게 된다. 이와 같이, 웨이퍼가 웨이퍼 블레이드(100) 상에 고정된 상태에서 웨이퍼 블레이드를 웨이퍼 거치대(200)의 상측으로 이동시키고, 이후 웨이퍼 블레이드(100)를 하강시키면 웨이퍼가 웨이퍼 거치대(200)상에 안착될 수 있게 된다.
한편, 상기한 구성과 유사한 종래의 웨이퍼 블레이드는 웨이퍼가 안정적으로 지지될 수 있도록 블레이드의 상기 지지판(110) 부분 전체가 판상으로 형성되기도 하는데, 이러한 웨이퍼 블레이드의 경우 상기 지지판(110) 부분의 넓은 면적으로 웨이퍼의 핸들링 시 웨이퍼를 더욱 안정적으로 지지할 수 있게 된다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 웨이퍼 블레이드들은 웨이퍼가 기설정된 위치에 정확하게 언로딩되지 않아 공정 효율이 저하되는 현상이 발생된다. 예를 들면, 웨이퍼 표면에 박막을 형성시키는 공정챔버 등으로 웨이퍼를 이송하는 장치의 경우 웨이퍼 표면에 묻어있는 막질에 의해 웨이퍼가 챔버나 다른 거치대 등의 기설정된 위치로부터 미끄러져 이탈되는 현상이 발생된다. 즉, 로봇암에 의해 반복적으로 웨이퍼의 핸들링 작업이 이루어지는 경우 웨이퍼가 안착될 수 있는 블레이드의 상기 지지판(110) 부분으로 웨이퍼가 반복적으로 슬라이딩되면서 약품이 묻게 되는데, 이와 같이 블레이드 표면에 약품이 묻어 있는 상태에서 정렬부재에 의해 정렬 작업이 이루어지거나 상기 웨이퍼를 로딩/언로딩하는 공정이 진행되는 경우, 블레이드와 웨이퍼 중 어느 한쪽 또는 양쪽에 접착력이 발생됨으로써 순간적으로 웨이퍼의 일부분이 튕기거나 미끄러지는 현상이 발생하였으며, 결국 이와 같은 현상에 의해 웨이퍼가 블레이드로부터 이탈하여 떨어짐으로써 고가의 웨이퍼가 훼손되는 등의 문제가 발생하게 되었던 것이다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 고안의 목적은, 웨이퍼를 이송하는 과정에서 웨이퍼가 튕기거나 파손되는 문제를 방지하도록 개선된 구조를 갖는 웨이퍼 이송용 블레이드를 제공하는데에 있다.
또한, 본 고안의 다른 목적은, 특히, 웨이퍼가 블레이드의 상부면을 따라 슬라이딩되며 정렬되는 경우 웨이퍼의 저면이 블레이드로부터 소정 이격되게 함으로써 웨이퍼의 저면에 묻은 약품 등의 막질에 의해 웨이퍼가 튕기거나 미끄러지는 등의 현상을 방지할 수 있는 웨이퍼 이송용 블레이드를 제공하는데에 있다.
또한, 본 고안의 다른 목적은, 웨이퍼가 블레이드 상면으로 소정 이격되게 마련되는 이격지지부 및 블레이드가 각각의 목적에 따라 서로 다른 재질로 이루어진 경우에도 결합이 용이하게 구성됨으로써 제조 및 생산성이 향상될 수 있는 것과 동시에 제조 원가를 절감할 수 있는 웨이퍼 이송용 블레이드를 제공하는데에 있다.
본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드는, 이송 대상이 되는 웨이퍼가 안착되어 지지되도록 로봇암의 일측에 결합되는 몸체부와; 상기 몸체부의 일측 말단부에서 상부 방향으로 수직하게 돌출된 수직부가 형성되어 상기 웨이퍼의 일측 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼부와; 상기 스토퍼부의 타측에서 상기 몸체부로 안착되는 웨이퍼의 접촉면적을 최소화하도록 웨이퍼의 중심으로부터 외주방향으로 일정각도 상향 경사진 경사부가 형성된 접촉부를; 포함하고, 상기 몸체부는, 웨이퍼가 상기 스토퍼부 및 상기 접촉부에서 슬라이딩 이동되는 경우 상면으로부터 웨이퍼의 저면이 소정 이격되어 지지되게 일정 간격으로 복수개 배치되는 이격지지부가 구비된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 고안에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드는, 상기 이격지지부는, 일정 내경을 갖도록 상기 몸체부 상하로 관통된 관통구와, 상기 관통구 상부에서 상기 몸체부의 상면과 소정 단차를 이루도록 소정 깊이로 움푹하게 형성된 상부홈과, 상기 관통구의 하부에서 상기 몸체부의 저면과 소정 단차를 이루도록 소정 깊이로 움푹하게 형성된 하부홈 및 상기 상부홈에 삽입되어 상기 몸체부 상부로 소정 돌출되게 안착되고 상기 하부홈과 상기 관통구를 통해 채워지는 접착제에 의해 본딩 처리되어 상기 몸체부와 일체로 고정될 수 있는 돌기부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 한다.
또한, 본 고안에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드는, 상기 몸체부는 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP) 재질로 형성되고, 상기 돌기부재는 PEEK 소재인 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 구성에 의하여 본 고안에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드는 웨이퍼가 블레이드의 상부면을 따라 슬라이딩되며 정렬되는 경우 웨이퍼의 저면이 블레이드로부터 소정 이격되게 구성됨으로써 웨이퍼의 저면에 묻은 약품 등의 막질에 의해 웨이퍼가 튕기거나 미끄러지는 등의 현상이 발생되지 않도록 함으로써 웨이퍼가 파손되는 등의 문제를 방지할 수 있는 장점을 갖는다.
또한, 본 고안의 다른 목적은, 특히, 제조시 크게 추가되는 공정 없이 웨이퍼 블레이드의 간편한 구조 개선으로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 파손을 효과적으로 예방할 수 있어 생산성 향상과 더불어 제조 원가를 절감할 수 있는 장점을 갖는다.
도 1은 종래의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송로봇을 도시한 사시도.
도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 몸체부를 도시한 평면도.
도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 접촉부를 확대 도시한 측면확대도.
도 4는 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 스토퍼부를 확대 도시한 측면확대도.
도 5는 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 사용예를 도시한 사용상태도.
도 6은 도 5의 A-A'에서의 단면 구조를 보이기 위해 도시한 단면상태도.
이하에서는 도면에 도시된 실시예를 참조하여 본 고안에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드를 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 몸체부를 도시한 평면도이고, 도 3은 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 접촉부를 확대 도시한 측면확대도이며, 도 4는 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 스토퍼부를 확대 도시한 측면확대도이고, 도 5는 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드의 사용예를 도시한 사용상태도이며, 도 6은 도 5의 A-A'에서의 단면 구조를 보이기 위해 도시한 단면상태도이다.
도면을 참조하면, 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드(1)는 몸체부(10)와, 스토퍼부(20) 및 접촉부(30)를 포함하여 구성되되, 상기 몸체부(10)는 웨이퍼(W)가 상기 스토퍼부(20) 및 상기 접촉부(30)에서 슬라이딩 이동되는 경우 상면으로부터 웨이퍼의 저면이 소정 이격되어 지지되게 일정 간격으로 복수개 배치되는 이격지지부(40)가 구비된 것을 특징으로 한다.
상기 몸체부(10)는 이송 대상이 되는 상기 웨이퍼(W)가 안착되어 지지되도록 로봇암의 일측에 결합될 수 있는 결합판(11)이 형성되어 이송로봇에 의해 회동가능하게 결합된다.
한편, 상기 몸체부(10)는 CFRP, 즉 탄소섬유 강화 플라스틱 재질로 형성될 수 있다.
종래의 웨이퍼 블레이드의 재질은 알미늄과 세라믹 등이 사용될 수 있었던 것으로, 이와 같은 재질은 충돌시 파손의 위험이 크고, 가격이 고가인 단점이 있었다. 이에 본 고안의 일실시예에서는 상기 몸체부(10)가 세라믹 재질의 파손 위험을 대비한 복합 재료의 일종인 CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastic)가 사용될 수 있다.
도 2를 참조하면, 상기 몸체부(10)는 웨이퍼가 안착되어 지지되도록 얇은 두께의 판상으로 평탄면을 이루는 지지판(12)이 상기 결합판(11)과 일체로 형성된다.
상기 지지판(12)은 상기 결합판(11) 부분이 로봇암에 결합된 상태에서 일측 방향으로 길게 연장되도록 형성되는데, 본 고안의 일실시예에서는 상기 지지판(12)이 상기 결합판(11)에서 멀어지는 방향으로 갈수록 폭이 좁아지는 형태로 형성될 수 있다.
한편, 상기 스토퍼부(20) 및 상기 접촉부(30)는 웨이퍼가 상기 지지판(12) 상부에 놓이는 경우 웨이퍼의 접촉면적을 최소화할 수 있도록 마련된 구성으로, 상기 지지판(12)의 길이방향 양측에 각각 설치된다.
도 3은 본 고안의 웨이퍼 이송용 블레이드의 접촉부를 확대 도시한 측면확대도 즉, 도 2에서의 B부분을 도시한 것이고, 도 4는 본 고안 웨이퍼 이송용 블레이드의 스토퍼부를 확대 도시한 측면확대도 즉, 도 2에서의 C부분을 도시한 것이다.
도 3을 참조하면, 상기 스토퍼부(20)는 상기 몸체부(10)의 일측 말단부 즉, 상기 지지판(12)의 선단부에 결합되어 웨이퍼(W)가 상기 지지판(12) 상부로 안착된 경우 상기 웨이퍼(W)의 일측 방향으로의 이동을 제한할 수 있도록 설치된다.
상기 접촉부(30)는 상기 스토퍼부(20)와 함께 상기 웨이퍼(W)가 상기 지지판(12) 상에서 안정적으로 지지될 수 있게 하는 구성이다.
이에, 도 3을 참조하면, 상기 접촉부(30)는 상기 스토퍼부(20)의 타측 가장자리 양측에서 일정간격 이격되게 한 쌍으로 구성되어 웨이퍼의 로딩/언로딩 작업시 상기 지지판(12) 상부로 놓이는 웨이퍼(W)의 일단부를 지지하게 된다.
또한, 상기 접촉부(30)는 상호 대칭되는 형상으로 형성된 제1 접촉부(31) 및 제2 접촉부(32) 한 쌍으로 구성되며, 상기 한 쌍의 제1 접촉부(31) 및 제2 접촉부(32) 각각은 상기 웨이퍼의 접촉면적을 최소화할 수 있도록 상기 웨이퍼(W)의 중심으로부터 외주방향으로 일정각도 상향 경사진 경사부(31a,32a)가 각각 형성된다.
한편, 상기 스토퍼부(20)는 경사부(21), 평탄부(22) 및 수직부(23)가 형성될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 스토퍼부(20)는 상기 웨이퍼(W)의 중심에서 외주방향으로 상향 경사진 경사부(21)가 형성된다. 즉, 상기 접촉부(30)의 경사부(31a,32a)와 반대 방향으로 상향 경사진 경사부가 형성되어 웨이퍼(W)가 로봇암에 의해 핸들링되어 놓인 경우 접촉면적을 최소화할 수 있게 되고, 로봇암측에 결합된 정렬부재(2)에 의해 가압된 경우 웨이퍼(W)가 상기 스토퍼부(20)의 평탄부(22) 상으로 이동됨과 동시에 웨이퍼의 일측 단부가 상기 수직부(23)에 맞닿아 지지되며 상기 지지판(12) 상부로 상기 웨이퍼의 정렬이 이루어지게 된다.
이때, 상기 스토퍼부(20)의 타측에서 상기 웨이퍼(W)의 다른 일단부가 일정 간격 이격되게 한 쌍으로 구성된 상기 정렬부재(2)에 의해 가압 지지되며 상기 웨이퍼가 수평한 상태로 양측이 안정적으로 고정될 수 있게 된다.
상기와 같이 한 쌍의 정렬부재(2)에 의해 웨이퍼(W)가 본 고안 웨이퍼 이송용 블레이드 상에 정렬되는 상태가 도 5에 도시되어 있다.
도 5를 참조하면, 상기 정렬부재(2)는 상기 웨이퍼의 테두리 부분을 감싸도록 지지하는 한 쌍의 휠(2a,2b)이 상호 일정 간격 이격되게 상기 웨이퍼 일측의 양방으로 각각 구비되어 상기 접촉부(30)의 외측에서 상기 스토퍼부(20) 방향으로 전후진 이동되게 설치된다.
이에, 상기 지지판(12) 상에 놓인 상태의 상기 웨이퍼(W)는 챔버나 거치대에 로딩 또는 언로딩되는 과정에서 상기 정렬부재(2)에 의해 상기 스토퍼부(20) 측으로 슬라이딩 이동되며 상기 스토퍼부(20)와 상기 정렬부재(2) 사이에 견고하게 지지될 수 있게 된다.
이때, 본 고안의 일실시예에서는 상기 몸체부(10)에 구비된 복수개의 상기 이격지지부(15)를 구성하여 상기 정렬부재(2)에 의해 상기 웨이퍼(W)가 상기 지지판(12) 상에서 슬라이딩 이동되는 경우 상기 웨이퍼(W)의 저면이 상기 지지판(12) 상면으로부터 소정 이격되어 지지될 수 있도록 한 것이 특징이다.
이에 따라, 상기 웨이퍼(W)의 저면에 묻은 약품 등에 의해 상기 웨이퍼(W)가 로딩/언로딩되는 과정에서 상기 몸체부(10)로부터 이탈되거나 낙하하는 현상이 발생되지 않게 되어 웨이퍼의 핸들링 작업이 안정적으로 이루어질 수 있게 된다.
또한, 상기 이격지지부(40)는, 관통구(41)와, 상부홈(42a) 및 하부홈(42b), 돌기부재(43)를 포함하여 구성된 것이 특징이다.
이때, 본 고안의 일실시예에 따른 웨이퍼 이송용 블레이드는 상기 돌기부재(43)는 PEEK 소재로 이루어진다.
상기 돌기부재(43)는 PEEK 소재로 이루어져 내열성, 내마모성이 뛰어나고, 기계 가공이 용이하며, 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)될 때 상기 웨이퍼(W)에 정전기가 발생하지 않도록 방지하는 역할을 할 수 있어 상기 웨이퍼의 제조 공정에서 발생하는 정전기로 인해 상기 웨이퍼가 블레이드로부터 떨어지는 것을 방해하는 문제 등이 발생되지 않도록 한다.
또한, 본 고안의 일실시예에서는 상기 이격지지부(40)의 구체적인 구성을 통해 PEEK 소재로 이루어진 상기 돌기부재(43)를 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP) 재질의 상기 몸체부(10)에 일체로 성형할 수 있도록 한 것이 특징이다.
도 6은 도 5의 A-A'에서의 단면 부분을 확대 도시한 것으로, 상기 이격지지부(40)의 구체적인 구성을 도시한 것이다.
도 6을 참조하면, 본 고안 상기 웨이퍼 이송용 블레이드(1)는 상기 몸체부(10)의 지지판(12)을 상하로 관통하는 상기 관통구(41)가 일정 간격 이격되게 복수개 형성될 수 있다.
이에, 본 고안의 일실시예에서는 상기 관통구(41)가 상기 몸체부(10)의 형상에 대응하여 일정 간격으로 이격되게 배치될 수 있으며, 이에 따라, 본 고안에서는 상기 이격지지부(40)가 총 5개로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 이격지지부(40)의 배치는 상기 웨이퍼 전체의 크기와 상기 몸체부(10)의 지지판(12) 넓이에 따라 바람직한 간격으로 다수개 배치될 수 있으며, 짧은 간격으로 배치될수록 웨이퍼의 정전기 발생이나 웨이퍼가 블레이드에 달라붙는 현상을 방지할 수 있는 효과가 크다 하겠으나, 제조 공정에서의 생산성과 제조 원가의 상승 문제 등을 감안하여 상기와 같은 웨이퍼의 정전기 방지와 이탈 방지 효과가 충분히 발생될 수 있을 범위에서 상기 이격지지부(40)의 개수를 적정 개수로 배치할 수 있도록 한다.
상기 상부홈(42a) 및 하부홈(42b)은 상기 관통구(41)를 중심으로 상기 몸체부(10)의 상면과 저면 각각에 대칭 구조로 형성될 수 있는 것으로, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 상부홈(42a)은 상기 돌기부재(43)가 상기 지지판(12)의 상부로 소정 돌출될 수 있게 소정의 낮은 깊이로 형성되고, 상기 하부홈(42b)은 상기 상부홈(42a)보다는 깊게 형성되어 접착제가 내부에 충분히 채워질 수 있도록 한다.
이때, 상기 상부홈(42a) 및 하부홈(42b)은 상기 관통구(41)에 의해 상하방향으로 상호 연통되는 구조를 갖게 된다. 즉, 상기 상부홈(42a)은 상기 관통구(41) 상부에서 상기 몸체부(10)의 상면 및 상기 관통구(41)와 각각 소정 단차를 이루도록 일정 깊이로 움푹하게 형성되고, 상기 하부홈(42b)은 상기 관통구(41)의 하부에서 상기 몸체부(10)의 저면 및 상기 관통구(41)와 각각 소정 단차를 이루도록 일정 깊이로 움푹하게 형성된다.
상기 돌기부재(43)는 상술한 바와 같이 PEEK 소재로 이루진 것이 특징이며, 본 고안의 일실시예에서는 상기 상부홈(42a) 형상에 대응하는 일정 두께의 원통형으로 형성되어 상기 상부홈(42a) 내부로 끼워지며 안착될 수 있도록 한다.
또한, 상기 상부홈(42a) 상에 상기 돌기부재(43)가 안착 또는 끼워진 상태에서 상기 몸체부(10)의 저면 방향에서 상기 하부홈(42b)을 통해 접착제(G)를 도포하게 되는데, 이때, 상기 접착제(B)는 정전기의 발생을 방지하는 재질의 것이 사용되는 것이 바람직하며, 상기 돌기부재(43)가 상기 상부홈(42a) 상에 보다 확실하게 접착되도록 상기 상부홈(42a)의 바닥면까지 도포할 수 있다.
상기와 같은 구성을 통해 본 고안 웨이퍼 이송용 블레이드(1)는 상기 웨이퍼(W)가 반복적으로 로딩/언로딩되는 과정에서 상기 웨이퍼(W)의 저면에 묻은 점착성 약품에 의해 상기 웨이퍼가 상기 몸체부(10)로부터 이탈되거나 낙하하는 현상을 방지하여 웨이퍼의 제조 공정에서의 핸들링 작업이 안정적으로 이루어질 수 있게 된다.
또한, 본 고안 웨이퍼 이송용 블레이드(1)는 상기와 같은 이격지지부(40)와 상기 몸체부(10)의 유기적인 결합 구성을 통해 PEEK 소재로 이루어진 상기 돌기부재(43)를 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP) 재질의 블레이드에 일체로 결합시키는 작업이 매우 용이하고 간편하게 이루어질 수 있으며, 이와 같은 구성에 의해 본 고안 웨이퍼 이송용 블레이드는 기계 가공성이 용이하고, 견고한 구조를 가지면서 반도체 제조 공정에서 웨이퍼가 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)되는 경우 상기 웨이퍼(W)에 정전기가 전혀 발생하지 않게 되며, 그로 인해 웨이퍼의 제조 공정에서 발생하는 정전기로 인해 상기 웨이퍼가 블레이드로부터 이탈되거나 떨어지는 문제가 발생되지 않는다.
또한, 상기와 같은 구성을 통해, 본 고안 웨이퍼 이송용 블레이드(1)는 특히, 제조시 크게 추가되는 공정 없이 웨이퍼 블레이드의 간편한 구조 개선으로 반도체 제조 공정에서 웨이퍼의 파손을 효과적으로 방지할 수 있는 것과 동시에 생산성 향상과 더불어 제조 원가를 절감할 수 있는 효과가 발생된다.
앞에서 설명되고 도면에 도시된 웨이퍼 이송용 블레이드는 본 고안을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과하며, 본 고안의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안된다. 본 고안의 보호범위는 이하의 실용신안등록청구범위에 기재된 사항에 의해서만 정하여지며, 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 개량 및 변경된 실시예는 본 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 고안의 보호범위에 속한다고 할 것이다.
1 웨이퍼 이송용 블레이드
10 몸체부
11 결합판
12 지지판
20 스토퍼부
21 경사부
22 평탄부
23 수직부
30 접촉부
31 제1 접촉부
32 제2 접촉부
40 이격지지부
41 관통구
42a,42b 상부홈 및 하부홈
43 돌기부재

Claims (3)

  1. 이송 대상이 되는 웨이퍼가 안착되어 지지되도록 로봇암의 일측에 결합되는 몸체부와; 상기 몸체부의 일측 말단부에서 상부 방향으로 수직하게 돌출된 수직부가 형성되어 상기 웨이퍼의 일측 방향으로의 이동을 제한하는 스토퍼부와; 상기 스토퍼부의 타측에서 상기 몸체부로 안착되는 웨이퍼의 접촉면적을 최소화하도록 웨이퍼의 중심으로부터 외주방향으로 일정각도 상향 경사진 경사부가 형성된 접촉부를; 포함하고,
    상기 몸체부는, 웨이퍼가 상기 스토퍼부 및 상기 접촉부에서 슬라이딩 이동되는 경우 상면으로부터 웨이퍼의 저면이 소정 이격되어 지지되게 일정 간격으로 복수개 배치되는 이격지지부가 구비되며,
    상기 이격지지부는, 일정 내경을 갖도록 상기 몸체부 상하로 관통된 관통구와, 상기 관통구 상부에서 상기 몸체부의 상면과 소정 단차를 이루도록 소정 깊이로 움푹하게 형성된 상부홈과, 상기 관통구의 하부에서 상기 몸체부의 저면과 소정 단차를 이루도록 소정 깊이로 움푹하게 형성된 하부홈 및 상기 상부홈에 삽입되어 상기 몸체부 상부로 소정 돌출되게 안착되고 상기 하부홈과 상기 관통구를 통해 채워지는 접착제에 의해 본딩 처리되어 상기 몸체부와 일체로 고정될 수 있는 돌기부재를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 블레이드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부는 탄소섬유 강화 플라스틱(CFRP) 재질로 형성되고,
    상기 돌기부재는 PEEK 소재인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송용 블레이드.
  3. 삭제
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