JPH0621198A - ピンセット - Google Patents
ピンセットInfo
- Publication number
- JPH0621198A JPH0621198A JP20064692A JP20064692A JPH0621198A JP H0621198 A JPH0621198 A JP H0621198A JP 20064692 A JP20064692 A JP 20064692A JP 20064692 A JP20064692 A JP 20064692A JP H0621198 A JPH0621198 A JP H0621198A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- tweezers
- vacuum suction
- passage
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】ウェハを損傷させることなく、安定的且つ確実
に移動することができるようにした真空吸引機能を備え
たピンセットを提供する。 【構成】 Ｖ字状に形成した一対のアーム２，２′の先
端部に目的物に対する接触部３ａ，４を有し、この接触
部３ａ，４を介して真空吸引を行い得るようにしたもの
である。特に各アーム２，２′に真空吸引用の通路５，
６を形成し、この通路５，６はその一端がそれぞれ接触
部３ａ，４に開口すると共に他端が真空吸引装置に接続
されている。そして通路５，６は開閉ボタン７の操作に
より開閉制御されるようになっている。
に移動することができるようにした真空吸引機能を備え
たピンセットを提供する。 【構成】 Ｖ字状に形成した一対のアーム２，２′の先
端部に目的物に対する接触部３ａ，４を有し、この接触
部３ａ，４を介して真空吸引を行い得るようにしたもの
である。特に各アーム２，２′に真空吸引用の通路５，
６を形成し、この通路５，６はその一端がそれぞれ接触
部３ａ，４に開口すると共に他端が真空吸引装置に接続
されている。そして通路５，６は開閉ボタン７の操作に
より開閉制御されるようになっている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学顕微鏡等の測定器
を用いて半導体の特性評価等を行う際に使用する特に半
導体ウェハの取扱に好適なピンセットに関する。
を用いて半導体の特性評価等を行う際に使用する特に半
導体ウェハの取扱に好適なピンセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体装置の製造に用いるウェハの物理
量、例えばトランジスタのＩ−Ｖ特性やＭＯＳトランジ
スタのＭＯＳキャパシタのＣ−Ｖ特性又はｐ−ｎ接合部
分における接合容量及び接合リーク等の測定を行うため
に、Ｃ−Ｖ測定器或いはＩ−Ｖ測定器等の測定器が使用
されている。そして、ウェハをそのキャリアケースから
取り出して前記測定器のステージ上に移載する際、従
来、例えば図４に示すようなピンセット２１を使用して
いた。このピンセット２１は概略Ｖ字状に形成した一対
のアーム２２，２２′により基本構成されるが、一方の
アーム２２には図示されるように、複数の突片２３が熊
手状に列設・形成されている。また他方のアーム２２′
の先端には上記突片２３に対応するように受部２４が設
けられている。そして受部２４には段部２４ａが形成さ
れていて、この段部２４ａへウェハ２５のカット部２５
ａが突き当てられるようになっている。このようにウェ
ハ２５はピンセット２１の先端部でその両側から挟持さ
れるようになっていた。
量、例えばトランジスタのＩ−Ｖ特性やＭＯＳトランジ
スタのＭＯＳキャパシタのＣ−Ｖ特性又はｐ−ｎ接合部
分における接合容量及び接合リーク等の測定を行うため
に、Ｃ−Ｖ測定器或いはＩ−Ｖ測定器等の測定器が使用
されている。そして、ウェハをそのキャリアケースから
取り出して前記測定器のステージ上に移載する際、従
来、例えば図４に示すようなピンセット２１を使用して
いた。このピンセット２１は概略Ｖ字状に形成した一対
のアーム２２，２２′により基本構成されるが、一方の
アーム２２には図示されるように、複数の突片２３が熊
手状に列設・形成されている。また他方のアーム２２′
の先端には上記突片２３に対応するように受部２４が設
けられている。そして受部２４には段部２４ａが形成さ
れていて、この段部２４ａへウェハ２５のカット部２５
ａが突き当てられるようになっている。このようにウェ
ハ２５はピンセット２１の先端部でその両側から挟持さ
れるようになっていた。
【０００３】ここで、上記ウェハ２５を収納するために
例えば図５に示したようなキャリアケース２６が使用さ
れていた。このキャリアケース２６はその内側に多数の
スリット２６ａを形成した箱体で成り、この例では各ス
リット２６ａにより複数のウェハ２５を収納することが
できる。
例えば図５に示したようなキャリアケース２６が使用さ
れていた。このキャリアケース２６はその内側に多数の
スリット２６ａを形成した箱体で成り、この例では各ス
リット２６ａにより複数のウェハ２５を収納することが
できる。
【０００４】また従来、図６に示したような所謂、真空
ピンセット２７が使用されている。この真空ピンセット
２７は把持部２８の先端に吸着部２９を備えており、こ
の吸着部２９の表面に開口する吸引口３０が、上記把持
部２８内部に形成した連通路３１を介して、把持部２８
の一端に接続した真空引用のチューブ３２と連通されて
いる。また把持部２８の適所には上記連通路３２を開閉
する開閉ボタン３３が設置されている。この真空ピンセ
ット２７によれば、上記開閉ボタン３３の操作により、
上記吸引口３０から真空引きを行うことにより吸着部２
９にウェハ２５を吸着させることができる。そして吸着
したウェハ２５は測定器のステージ等の所定位置まで運
ばれるが、そこで再び開閉ボタン３３の操作によって連
通路３２を閉鎖することにより、吸着部２９からウェハ
２５を離脱させるようになっている。
ピンセット２７が使用されている。この真空ピンセット
２７は把持部２８の先端に吸着部２９を備えており、こ
の吸着部２９の表面に開口する吸引口３０が、上記把持
部２８内部に形成した連通路３１を介して、把持部２８
の一端に接続した真空引用のチューブ３２と連通されて
いる。また把持部２８の適所には上記連通路３２を開閉
する開閉ボタン３３が設置されている。この真空ピンセ
ット２７によれば、上記開閉ボタン３３の操作により、
上記吸引口３０から真空引きを行うことにより吸着部２
９にウェハ２５を吸着させることができる。そして吸着
したウェハ２５は測定器のステージ等の所定位置まで運
ばれるが、そこで再び開閉ボタン３３の操作によって連
通路３２を閉鎖することにより、吸着部２９からウェハ
２５を離脱させるようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ピンセット２１の場合、ウェハ２５を突片２３及び受部
２４間に挟んで移動させる際、安全性等に問題があっ
た。即ち、細心の注意でウェハ２５を挟持する必要があ
り、そのようにしないと該ウェハ２５がピンセット２１
から落下し、その結果ウェハ２５を損傷させてしまう危
険があった。
ピンセット２１の場合、ウェハ２５を突片２３及び受部
２４間に挟んで移動させる際、安全性等に問題があっ
た。即ち、細心の注意でウェハ２５を挟持する必要があ
り、そのようにしないと該ウェハ２５がピンセット２１
から落下し、その結果ウェハ２５を損傷させてしまう危
険があった。
【０００６】また真空ピンセット２７を使用する場合、
ウェハ２５を吸着部２９に吸着し前記ステージ等の位置
まで移動してそこに載せる際に、開閉ボタン３３の操作
によって真空引きを解除して、ウェハ２５を吸着部２９
から離脱させるとき極めて不安定な状態になりウェハ２
５を損傷させる等の危険があった。即ち、図７乃至図１
０は真空ピンセット２７を用いて行われるウェハ２５の
移載プロセスを模式的に示しているが、この場合図７に
示されるようにウェハ２５を吸着した真空ピンセット２
７がステージ３４上に移動し（図８）、次に真空ピンセ
ット２７のみがステージ３４から後退移動する（図９及
び図１０）。しかしながら、ウェハ２５に衝撃を与える
ことなく、しかも真空ピンセット２７をステージ３４と
接触させずに、ウェハ２５をステージ３４上に移載する
ことが困難であった。
ウェハ２５を吸着部２９に吸着し前記ステージ等の位置
まで移動してそこに載せる際に、開閉ボタン３３の操作
によって真空引きを解除して、ウェハ２５を吸着部２９
から離脱させるとき極めて不安定な状態になりウェハ２
５を損傷させる等の危険があった。即ち、図７乃至図１
０は真空ピンセット２７を用いて行われるウェハ２５の
移載プロセスを模式的に示しているが、この場合図７に
示されるようにウェハ２５を吸着した真空ピンセット２
７がステージ３４上に移動し（図８）、次に真空ピンセ
ット２７のみがステージ３４から後退移動する（図９及
び図１０）。しかしながら、ウェハ２５に衝撃を与える
ことなく、しかも真空ピンセット２７をステージ３４と
接触させずに、ウェハ２５をステージ３４上に移載する
ことが困難であった。
【０００７】本発明はかかる実情に鑑み、ウェハを損傷
させることなく、安定的且つ確実に移動することができ
るようにしたピンセットを提供することを目的とする。
させることなく、安定的且つ確実に移動することができ
るようにしたピンセットを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によるピンセット
は、Ｖ字状に形成した一対のアームの先端部に目的物に
対する接触部を有し、この接触部を介して前記目的物を
真空吸引する真空吸引手段を設けたものである。
は、Ｖ字状に形成した一対のアームの先端部に目的物に
対する接触部を有し、この接触部を介して前記目的物を
真空吸引する真空吸引手段を設けたものである。
【０００９】また本発明によるピンセットでは、上記各
アームに真空吸引用の通路を形成し、この通路はその一
端が上記接触部に開口すると共に他端が前記真空吸引手
段の真空吸引装置に接続されている。
アームに真空吸引用の通路を形成し、この通路はその一
端が上記接触部に開口すると共に他端が前記真空吸引手
段の真空吸引装置に接続されている。
【００１０】さらに本発明によるピンセットでは、上記
真空吸引用の通路を開閉する開閉ボタンが設置されてい
る。
真空吸引用の通路を開閉する開閉ボタンが設置されてい
る。
【００１１】
【作用】本発明によれば、アームの先端部によって目的
物であるウェハを挟持することができるのは勿論である
が、かかる挟持機能に加えて、接触部を介して真空吸引
が行われる。これによりウェハを確実且つ安定して保持
することができ、落下の心配がなくウェハを安全に所望
の位置まで移動させることができる。
物であるウェハを挟持することができるのは勿論である
が、かかる挟持機能に加えて、接触部を介して真空吸引
が行われる。これによりウェハを確実且つ安定して保持
することができ、落下の心配がなくウェハを安全に所望
の位置まで移動させることができる。
【００１２】またウェハを挟持する接触部自体において
真空吸引を行うので、かかる接触部にウェハを確実に吸
着させることができる。さらに真空吸引用の通路を開閉
する開閉ボタンにより、接触部による真空吸引を自由に
制御することができ、円滑且つ的確な操作を行うことが
できる。
真空吸引を行うので、かかる接触部にウェハを確実に吸
着させることができる。さらに真空吸引用の通路を開閉
する開閉ボタンにより、接触部による真空吸引を自由に
制御することができ、円滑且つ的確な操作を行うことが
できる。
【００１３】
【実施例】以下、図１乃至図３に基づき本発明による真
空吸引機能を備えたピンセットの一実施例を説明する。
図１は本発明に係るピンセット１の全体構成を示してい
るが、先ずここで本実施例で取り扱う目的物は前述した
従来例の場合と同様にウェハ２５とする。
空吸引機能を備えたピンセットの一実施例を説明する。
図１は本発明に係るピンセット１の全体構成を示してい
るが、先ずここで本実施例で取り扱う目的物は前述した
従来例の場合と同様にウェハ２５とする。
【００１４】ピンセット１は図１に示したように、概略
Ｖ字状に形成した一対のアーム２，２′により構成され
ている。またピンセット１は例えば合成樹脂又は金属等
の材料により形成され、適度な弾性を有している。一方
の上記アーム２には複数の突片３が熊手状に列設・形成
されており、また他方のアーム２′には上記突片３に対
応して接触部４が形成されている。接触部４は段部４ａ
を有していて、この段部４ａにウェハ２５のカット部２
５ａを突き当てるようにしてウェハ２５を突片３及び接
触部４間に挟持するようになっている。なお常態ではこ
れら突片３及び接触部４間には、少なくともウェハ２５
を挿入し得る適度な大きさの隙間が形成されている。
Ｖ字状に形成した一対のアーム２，２′により構成され
ている。またピンセット１は例えば合成樹脂又は金属等
の材料により形成され、適度な弾性を有している。一方
の上記アーム２には複数の突片３が熊手状に列設・形成
されており、また他方のアーム２′には上記突片３に対
応して接触部４が形成されている。接触部４は段部４ａ
を有していて、この段部４ａにウェハ２５のカット部２
５ａを突き当てるようにしてウェハ２５を突片３及び接
触部４間に挟持するようになっている。なお常態ではこ
れら突片３及び接触部４間には、少なくともウェハ２５
を挿入し得る適度な大きさの隙間が形成されている。
【００１５】図２に示したようにアーム２内には真空吸
引用の通路５が形成されている。この通路５の一端側は
その途中でアーム２の各突片３に対応して分岐し（図１
参照）、それぞれの突片３の下面に設定した各接触部３
ａに開口している。また通路５の他端側は後述する開閉
ボタンを介して図示しない真空吸引装置に接続されてい
る。またアーム２′の内部において通路６が形成されて
いる。そしてこの通路６は上記通路５と同様にアーム
２′内で分岐し、一端側が各突片３とそれぞれ対応する
ように接触部４の表面に複数開口している。また通路６
の他端側は通路５と同様に後述する開閉ボタンを介して
真空吸引装置に接続されている。
引用の通路５が形成されている。この通路５の一端側は
その途中でアーム２の各突片３に対応して分岐し（図１
参照）、それぞれの突片３の下面に設定した各接触部３
ａに開口している。また通路５の他端側は後述する開閉
ボタンを介して図示しない真空吸引装置に接続されてい
る。またアーム２′の内部において通路６が形成されて
いる。そしてこの通路６は上記通路５と同様にアーム
２′内で分岐し、一端側が各突片３とそれぞれ対応する
ように接触部４の表面に複数開口している。また通路６
の他端側は通路５と同様に後述する開閉ボタンを介して
真空吸引装置に接続されている。
【００１６】図３は上記通路５及び通路６のための開閉
ボタン７の構成例を示している。図において、８は連通
孔８ａを有するボタン部で、スリーブ９にスライド可能
に嵌合している。スリーブ９はチューブ１０を介して通
路５と接続すると共に、チューブ１１を介して上記真空
吸引装置と接続している。またボタン部８はスプリング
等の弾機部材１２によって常態では図中、上方に付勢さ
れており、従ってボタン部８を押下げることにより上記
連通孔８ａを介して通路５が真空吸引装置と連通する。
また通路６の場合も上記通路５と同様にボタン部８の操
作により真空吸引装置との接続が開閉制御されるように
なっている。
ボタン７の構成例を示している。図において、８は連通
孔８ａを有するボタン部で、スリーブ９にスライド可能
に嵌合している。スリーブ９はチューブ１０を介して通
路５と接続すると共に、チューブ１１を介して上記真空
吸引装置と接続している。またボタン部８はスプリング
等の弾機部材１２によって常態では図中、上方に付勢さ
れており、従ってボタン部８を押下げることにより上記
連通孔８ａを介して通路５が真空吸引装置と連通する。
また通路６の場合も上記通路５と同様にボタン部８の操
作により真空吸引装置との接続が開閉制御されるように
なっている。
【００１７】本発明の真空吸引機能を備えたピンセット
は上記のように構成されており、次にその作用を説明す
る。キャリアケース２６からウェハ２５を取り出して、
前述した測定器のステージ上に移載する場合、目的とす
るウェハ２５を突片３及び接触部４間に挿入させるが、
先ずボタン部８が徐々に押下げられる。このボタン部８
の押下操作により、連通孔８ａを介して通路５及び通路
６と真空吸引装置とが連通する。これにより突片３の接
触部３ａにおける通路５の開口及び接触部４における通
路６の開口をそれぞれ介して真空吸引装置による真空引
きが行われる。なお、ボタン部８の押下操作は手指によ
って容易に行うことができるが、ボタン部８の押下量に
応じて連通孔８ａの開度が変化し、これにより上記通路
５及び通路６の開口を介して行われる真空引きの強弱を
調節することができる。
は上記のように構成されており、次にその作用を説明す
る。キャリアケース２６からウェハ２５を取り出して、
前述した測定器のステージ上に移載する場合、目的とす
るウェハ２５を突片３及び接触部４間に挿入させるが、
先ずボタン部８が徐々に押下げられる。このボタン部８
の押下操作により、連通孔８ａを介して通路５及び通路
６と真空吸引装置とが連通する。これにより突片３の接
触部３ａにおける通路５の開口及び接触部４における通
路６の開口をそれぞれ介して真空吸引装置による真空引
きが行われる。なお、ボタン部８の押下操作は手指によ
って容易に行うことができるが、ボタン部８の押下量に
応じて連通孔８ａの開度が変化し、これにより上記通路
５及び通路６の開口を介して行われる真空引きの強弱を
調節することができる。
【００１８】そして、かかるボタン部８を押下げ続ける
ことにより、アーム２，２′が互いに閉じてウェハ２５
は上記接触部３ａ及び接触部４間に吸着され且つ挟持さ
れる。さらにウェハ２５を保持したピンセット１を測定
器のステージ等の位置まで移動するが、ピンセット１が
所定位置に達した時点でボタン部８に対する押下操作が
徐々に解除される。このようにボタン部８に対する押下
げを解除するのに伴い、該ボタン部８は弾機部材１２の
弾力により上昇し、連通孔８ａの開度が次第に小さくな
る。これにより通路５及び通路６の開口からの真空引き
が弱められ、ウェハ２５はピンセット１から静かに離脱
してステージ上に載置される。このようにウェハ２５を
上記測定器のステージ等に移載する場合、ウェハ２５を
確実に保持し、安定した状態で移動させることができる
から、その途中で落下等の危険が全くなく、従ってウェ
ハ２５に対する損傷等を完全に防止することができる。
ことにより、アーム２，２′が互いに閉じてウェハ２５
は上記接触部３ａ及び接触部４間に吸着され且つ挟持さ
れる。さらにウェハ２５を保持したピンセット１を測定
器のステージ等の位置まで移動するが、ピンセット１が
所定位置に達した時点でボタン部８に対する押下操作が
徐々に解除される。このようにボタン部８に対する押下
げを解除するのに伴い、該ボタン部８は弾機部材１２の
弾力により上昇し、連通孔８ａの開度が次第に小さくな
る。これにより通路５及び通路６の開口からの真空引き
が弱められ、ウェハ２５はピンセット１から静かに離脱
してステージ上に載置される。このようにウェハ２５を
上記測定器のステージ等に移載する場合、ウェハ２５を
確実に保持し、安定した状態で移動させることができる
から、その途中で落下等の危険が全くなく、従ってウェ
ハ２５に対する損傷等を完全に防止することができる。
【００１９】なお、上記実施例においてアーム２の先端
部に複数形成されるべき突片３の数は図示例の場合に限
定されるものではなく、必要により適宜増減することが
できる。またこれに応じて通路５及び通路６の開口を形
成するようにしてもよく、いずれの場合も上記実施例と
同様な作用効果を得ることができる。また本発明のピン
セットは、上記実施例において説明したウェハ２５の他
に、この種の薄物を取り扱う場合に有効に適用すること
ができる。
部に複数形成されるべき突片３の数は図示例の場合に限
定されるものではなく、必要により適宜増減することが
できる。またこれに応じて通路５及び通路６の開口を形
成するようにしてもよく、いずれの場合も上記実施例と
同様な作用効果を得ることができる。また本発明のピン
セットは、上記実施例において説明したウェハ２５の他
に、この種の薄物を取り扱う場合に有効に適用すること
ができる。
【００２０】
【発明の効果】上述したように本発明の真空吸引機能を
備えたピンセットによれば、挟持機能と真空吸引機能を
兼備したことにより、特にウェハを安定的に且つ安全に
取り扱うことができ、その損傷等を有効に防止すること
ができる等の利点を有している。また操作が容易且つ確
実である等、実用的にも極めて優れている。
備えたピンセットによれば、挟持機能と真空吸引機能を
兼備したことにより、特にウェハを安定的に且つ安全に
取り扱うことができ、その損傷等を有効に防止すること
ができる等の利点を有している。また操作が容易且つ確
実である等、実用的にも極めて優れている。
【図１】本発明の真空吸引機能を備えたピンセットの一
実施例による全体構成を示す斜視図である。
実施例による全体構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の上記真空吸引機能を備えたピンセット
の縦断面図である。
の縦断面図である。
【図３】本発明の上記真空吸引機能を備えたピンセット
に係る開閉ボタンの縦断面図である。
に係る開閉ボタンの縦断面図である。
【図４】従来のピンセットの斜視図である。
【図５】従来のピンセットを適用すべきキャリアケース
内に収納されたウェハを示す斜視図である。
内に収納されたウェハを示す斜視図である。
【図６】従来の真空吸引式のピンセットの構成例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図７】従来の上記真空吸引式ピンセットのウェハ吸着
状態を示す図である。
状態を示す図である。
【図８】従来の上記真空吸引式ピンセットにおける測定
ステージ上への移動状態を示す図である。
ステージ上への移動状態を示す図である。
【図９】従来の上記真空吸引式ピンセットにおける測定
ステージからの後退移動状態を示す図である。
ステージからの後退移動状態を示す図である。
【図１０】従来の上記真空吸引式ピンセットによる測定
ステージ上へのウェハ移載完了時の状態を示す図であ
る。
ステージ上へのウェハ移載完了時の状態を示す図であ
る。
１ ピンセット ２ アーム ２′ アーム ３ 突片 ３ａ 接触部 ４ 接触部 ５ 通路 ６ 通路 ７ 開閉ボタン １０ チューブ １１ チューブ ２５ ウェハ ２６ キャリアケース
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｖ字状に形成した一対のアームの先端部
に目的物に対する接触部を有し、この接触部を介して前
記目的物を真空吸引する真空吸引手段を設けたことを特
徴とするピンセット。 - 【請求項２】 上記各アームに真空吸引用の通路を形成
し、この通路はその一端が上記接触部に開口すると共に
他端が前記吸引手段の真空吸引装置に接続されているこ
とを特徴とする請求項１に記載のピンセット。 - 【請求項３】 上記通路を開閉する開閉ボタンを設置し
たことを特徴とする請求項２に記載のピンセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20064692A JPH0621198A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ピンセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20064692A JPH0621198A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ピンセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621198A true JPH0621198A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=16427863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20064692A Withdrawn JPH0621198A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | ピンセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621198A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001233451A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JP2016002604A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 富士通株式会社 | チャック装置 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP20064692A patent/JPH0621198A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001233451A (ja) * | 2000-02-23 | 2001-08-28 | Dainippon Printing Co Ltd | 基板搬送装置 |
| JP2016002604A (ja) * | 2014-06-13 | 2016-01-12 | 富士通株式会社 | チャック装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0152324B1 (ko) | 웨이퍼 측면파지 이송 반도체 제조장치 | |
| US5622400A (en) | Apparatus and method for handling semiconductor wafers | |
| JPH024144B2 (ja) | ||
| JPH0425335A (ja) | 物体の保持方法 | |
| TWI809480B (zh) | 末端執行器及用於該末端執行器之真空夾 | |
| WO2000033359A3 (en) | Specimen holding robotic arm end effector | |
| JP5381865B2 (ja) | ウェハ搬送装置およびウェハ搬送方法 | |
| JPH0621198A (ja) | ピンセット | |
| JPH04144150A (ja) | カセットハンドリング装置 | |
| KR0163548B1 (ko) | 진공튀저 | |
| JPS61156749A (ja) | ウエハ−ス平板型裏面真空チヤツク | |
| US6149368A (en) | Wafer disk pad having one or more wafer loading points to facilitate vacuum wand wafer loading and unloading | |
| TWI653365B (zh) | 類晶圓基材加工方法及裝置 | |
| JPH0653306A (ja) | 薄物ピックアップ装置 | |
| KR100308784B1 (ko) | 웨이퍼의 진공 흡착기 | |
| JP2648123B2 (ja) | 半導体ウェハの挾持装置 | |
| US5876179A (en) | Vacuum-controlled collet for manipulation of semiconductor parts | |
| JPH0632376A (ja) | 保管箱及びそのキャップ開閉制御方法 | |
| JP3134752U (ja) | 真空ピンセット用吸着チップ及び真空ピンセット | |
| JPH0629142U (ja) | ウェーハ吸着治具 | |
| KR100292613B1 (ko) | 반도체 설비의 웨이퍼 클램핑/언클램핑 장치 | |
| JPS6044270A (ja) | 半導体装置製造用の円形基板の取扱い治具 | |
| JPH03187239A (ja) | ウエーハハンドリング装置 | |
| ITMI20012014A1 (it) | Utensile per maneggiare fette e stazione per crescita epitassiale | |
| JPH02222557A (ja) | 真空ピンセット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |