JPH0259275A - 真空ピンセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、半導体ウェハのハンドリングなどに用いる真
空ピンセットに関するものである。

（従来の技術） 従来、このような分野の技術としては、例えば実開昭５
９−１７７９３６号、実開昭６１−１８６２４２号、特
開昭６１−１５６７４９号などに示すものがあった。

以下、その構成を図を用いて詳細に説明する。

第５図は従来の真空ピンセントの概略構成図であり、第
６図はその部分の動作状態を示す図である。

まず、ウェハをチャックする場合には、第６図に示すよ
うに、真空ビンセント本体１に設けられるチャックボタ
ン６を押し下げることによって、開口部８が導管３及び
４と同じ直線上に位置し、これによって導管３及び４は
連通する。ここで、導管４は真空系に接続されているの
で、導管３と４との連通によって吸盤２は吸着作用を持
つことになり、ウェハの吸着が可能となる。一方、ウェ
ハを離脱させる場合には、押し下げられたチャックボタ
ン６を解放すると、そのボタン６の先端に装着されてい
るスプリング９の復元力によって開口部８が上昇し、導
管５及び７と同じ直線上に位置し、これによって導管３
に接続される導管５及び終端が大気中に開放される導管
７が連通ずるとともに、開口部８の上昇により導管３と
４は切断される。従って、導管３は大気圧に戻ることに
なり、ウェハの吸着を解除することができる。

（発明が解決しようとする課Ｊ） しかしながら、従来のチャック方法では、以下のような
問題点があった。

（１）従来、ウェハは第７図に示すようなウエノ＼収納
ケース１０に収納される。即ち、そのウエノ＼収納ケー
ス１０にはウェハ収納用の溝１１が複数並行に設けられ
、これらの溝１１にウエノ＼を相互に近接させて収納す
る。なお、ウエノ１は作業効率上、表面を全て同一方向
に揃えて収納される。そこで、近接して並ぶ収納ケース
１０からのウエノ＼の取り出し、又は収納ケース１０へ
のウェハの収納は、隣接するウェハの表面に真空ピンセ
ントが触れてしまうため、半４体デバイスの製造歩留ま
り低下の原因の一つとなっていた。

（２）また、第８図に示すように、ウエノ＼を１枚ずつ
処理する枚葉式の処理装置においては？ウェハ１３は処
理台１２の平面上に載置されてることになるが、その場
合はウェハ１３の裏面を吸着することが困難であった。

本発明は、上記問題点を除去し、隣接するウェハに損傷
を与えることなく、また、処理台の平面上にウェハが載
置される場合にも、そのウエノ＼を的確にハンドリング
可能な真空ビンセ・ノドを提供することを目的とする。

（１題を解決するための手段） 本発明は、上記間μ点を解決するために、本体と、該本
体に設けられる吸盤と、該吸盤に連通ずる導管と、該導
管による通路を開閉するピストンと該ピストンに一体的
に設けられるガイドと、前記ピストンを吸気して駆動す
る導管と、該導管の途中に設けられるガイド駆動及びチ
ャック解除用操作杆と、前記導管に接続される真空系と
を設けるようにしたものである。

（作用） 本発明によれば、上記のように構成したので、（１）ガ
イドによりウェハを吸盤へ導くことによって、ウェハ収
納ケースからのウェハの取り出しの際に、隣接するウェ
ハ表面に接触することなくウェハをチャックすることが
でき、また、収納特番こおいても、ガイドの押し出しに
より容易にウエノ＼を溝に挿入することができる。従っ
て、半導体デバイスのパターンの破壊を防ぐことができ
る。

（２）平面上にｉ！置されているウエノ＼をガイドによ
り掬い上げながら吸着することができる。従って、操作
ミスによる歩留まり低下の防止、並びに機能性及び作業
効率の向上を図ることができる。

（実施例） 以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。

第１図は本発明の実施例を示す真空ピンセフ）の構成図
、第２図及び第３図はその真空ピンセ・ノドの各部分拡
大断面図、第４図はウエノＸＯ）、ｉ＼ンドリング状態
を示す図である。

図中、２１は真空ビンセト本体、２２は吸盤、２３゜２
４、２５．２６．２７は真空ピンセト本体に形成される
導管、２８はガイド、２８ａはガイドの先端部、２９は
ガイドの基部に形成されるピストン、３０はそのピスト
ンに形成される開口部、３１はそのピストンのロックを
行うための凹所、３２．３８．４２はスプリングであり
、スプリング３２はピストン２９の復帰用、スプリング
３８はガイド２８のロック杆３５の復帰用、スプリング
４２はチャック機構の操作杆４０の復帰用である。３３
は真空ピンセント本体に形成されるシリンダ、３４はそ
のシリンダに突出するストッパ、３６はそのロック杆の
先端部、３７．４１は真空ピンセト本体に形成される空
所、４３．４４はその操作杆に形成される開口部、４５
はその操作杆に形成される導管、４６はその操作杆の位
置決めを行う欠所、４７は操作杆に形成される凹部、４
８はその凹部に収納されるスプリング、４９は操作杆の
位置決めを行うための球、５０はストッパである。

以下、その真空ピンセットの動作について説明をする。

第４図に示すように、ウェハ６０が処理台に水平にｉｌ
！されている場合には、ウェハ６０のヘリをガイド２８
の先端２８ａでとらえながら、操作杆４０を押す。この
操作杆４０の部分拡大図を第３図に示す。

この図において、操作杆４０を押して、欠所４６にスプ
リング４８によって押し出される球４９が嵌合すること
により、その状態で停止させることができる（−段目の
スイッチ動作）。この状態で、導管２５と導管２６とは
連通し、導管２５は真空系に連通されることになり、ス
プリング３２のバネ力に抗してピストン２９を引き込む
ので、ピストン２９は右方向へ移動し、ストッパ３４で
停止する。従って、ガイド２８によってウェハ６０を吸
盤２２へと移動させ、ピストン２９がストッパ３４位置
にくると、導管２３と導管２４は開口部３０を介して連
通して、ウェハ６０は吸盤２２に吸着される。

更に、操作杆４０を押し下げると、球４９は再度凹部４
７中に戻り可動状態となり、ストッパ５０で停止する（
二段目のスイッチ動作）、この状態では、大気に連通す
る導管４４は導管２５及び導管２６とは同じ水平レベル
になり、従って、導管２５及び２６と連通し、導管２３
が大気圧となり、ウェハ６０のチャックを解除すること
ができる。

このように、−段目のスイッチ動作で、ウェハ６０のチ
ャックを行うことができ、二段目のスイ・ノチ動作で、
ウェハ６０のチャックを解除することができる。

また、ウェハ６０のチャックを解除する場合には、操作
杆４０を押し、二段目のスイッチ状態にすると、シリン
ダ３３の内部及び導管２５．開口部４４．導管４５通じ
てシリンダ３３は大気圧となり、ガイド２８が解除され
ると共に、ウェハ６０のチャックも解除される。

この際にウェハ６０のチャック解除のみを行う場合は、
ロック杆３５を用いる。つまり、ロック杆３５を引き出
し、スプリング３８の復元力により復す、ヤさせる。

また、第７図に示すようなウェハ収納ケース１０にウェ
ハが収納されているような場合は、そのウェハを吸着す
るには、ウェハのエツジ部をガイド２日の先端部２８ａ
でとらえて、そのまま垂直に真空ピンセットを押し下げ
る。そのとき、ガイド２８に連動するピストン２９がシ
リンダ３３の内部へ押し下げられ、かつ、導管２３及び
２４はピストンの開口部３０により連通しく第２図参照
）、吸盤２２はウニ／Ｘを吸着可能となり、他のウェハ
に真空ピンセットが触れることなくウェハを吸着するこ
とができる。

また、この状態でガイド２８のロック杆３５を押すこと
により、ロック杆３５の先端部３６がピストン２９の凹
部３１に嵌合し、ガイド２８をロックすることができる
。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。

（発明の効果） 以上、詳細に説明したように、本発明によれば、次のよ
うな効果を奏することができる。

（１）ガイドによりウェハを吸盤へ導くようにしている
ので、ウェハ収納ケースからのウェハの取り出しの際に
、隣接するウェハ表面に接触することなくウェハをチャ
ックすることができ、また、収納時においても、ガイド
の押し出しにより容易にウェハを溝に挿入することがで
きる。従って、半導体デバイスのパターンの破壊を防ぐ
ことができる。

（２）平面上にｉｔされているウェハをガイドにより掬
い上げながら吸着することができる。従って、操作ミス
による歩留まり低下の防止、並びに機能性及び作業効率
の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す真空ピンセットの構成図
、第２図及び第３図はその真空ピンセットの各部分拡大
断面図、第４図はウェハのハンドリング状態を示す図、
第５図は従来の真空ピンセットの概略構成図、第６図は
その真空ピンセットの動作状態を示す部分構成図、第７
図はウェハ収納ケースの断面図、第８図は処理台へのウ
ェハの蔵置状態を示す側面図である。 ２１・・・真空ビンセト本体、２２・・・吸盤、２３．
２４．２５゜２６、２７・・・真空ピンセト本体に形成
される導管、２日・・・ガイド、２８ａ・・・ガイドの
先端部、２９・・・ピストン、３０・・・ピストンの開
口部、３１・・・ピストンの凹所、３２゜３８、４２・
・・スプリング、３３・・・シリンダ、３４．５０・・
・ストッパ、３５・・・ロック杆、３６・・・ロック杆
の先端部、３７、４１・・・空所、４０・・・チャック
機構の操作杆、４３４４・・・操作杆の開口部、４５・
・・操作杆に形成される導管、４６・・・操作杆の位置
決めを行う欠所、４７・・・操作杆に形成される凹部、
４８・・・凹部４７に収納されるスプリング、４９・・
・操作杆の位置決めを行うための球、６０・・・ウェハ
。 特許出願人　沖電気工業株式会社 代理人　弁理士　清　水　　守（外１名）７Ｊ艮＊ｗ、
、１ケピンセ淳り苛覗樽た友を面圀第２図 」￥９打、車寄ビンじ、Ｉ−り畠成Ｎを丈ＩＭｆｆｌ第
３図 雀り東、にケビンセットっ、爬Ｅ　１ｌｌＩｌ＆’圀第
５図 右り宋、初イ乍、火健と示す部４噛剛八゛図第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１） （ａ）本体と、 （ｂ）該本体に設けられる吸盤と、 （ｃ）該吸盤に連通する導管と、 （ｄ）該導管による通路を開閉するピストンと該ピスト
   ンに一体的に設けられるガイドと、 （ｅ）前記ピストンを吸気して駆動する導管と、（ｆ）
   該導管の途中に設けられるガイド駆動及びチャック解除
   用操作杆と、 （ｇ）前記導管に接続される真空系とを具備する真空ピ
   ンセット。
2. （２）前記ピストンに嵌合するロック杆を設けてなる請
   求項１記載の真空ピンセット。