JPH0632376A - 保管箱及びそのキャップ開閉制御方法 - Google Patents
保管箱及びそのキャップ開閉制御方法Info
- Publication number
- JPH0632376A JPH0632376A JP32605392A JP32605392A JPH0632376A JP H0632376 A JPH0632376 A JP H0632376A JP 32605392 A JP32605392 A JP 32605392A JP 32605392 A JP32605392 A JP 32605392A JP H0632376 A JPH0632376 A JP H0632376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage box
- cap
- storing case
- internal pressure
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packages (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 キャップを開く際の保管箱の内部圧力と接続
室の内部圧力の差圧をなくすことができる保管箱及びそ
のキャップ開閉制御方法を提供すること。 【構成】 保管箱本体１１とキャップ１３を具備し保管
箱本体１１の内部を真空にしてキャップ１３を吸着固定
する保管箱１０である。保管箱１０にはその内部圧力を
測定する真空計測定子１７を取り付け、また該真空計測
定子１７のコード２３を接続した接触式コネクタ１９を
取り付ける。保管箱１０の内部圧力の計測時には、接触
式コネクタ１９に外部より接触端子２７を圧接せしめ
る。保管箱１０のキャップ１３を取り付けた面を接続室
に接続し、接続室の内部を真空排気し、保管箱１０の内
部圧力を真空計測定子１７で測定するとともに接続室の
内部圧力を測定し、両測定値の差圧が０又は０近傍にな
ったときにキャップ１３を開くように制御する。
室の内部圧力の差圧をなくすことができる保管箱及びそ
のキャップ開閉制御方法を提供すること。 【構成】 保管箱本体１１とキャップ１３を具備し保管
箱本体１１の内部を真空にしてキャップ１３を吸着固定
する保管箱１０である。保管箱１０にはその内部圧力を
測定する真空計測定子１７を取り付け、また該真空計測
定子１７のコード２３を接続した接触式コネクタ１９を
取り付ける。保管箱１０の内部圧力の計測時には、接触
式コネクタ１９に外部より接触端子２７を圧接せしめ
る。保管箱１０のキャップ１３を取り付けた面を接続室
に接続し、接続室の内部を真空排気し、保管箱１０の内
部圧力を真空計測定子１７で測定するとともに接続室の
内部圧力を測定し、両測定値の差圧が０又は０近傍にな
ったときにキャップ１３を開くように制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造プロセスそ
の他において、ウエハ，ガラス基板，ディスク等を搬
送，保管するときに使用される保管箱に関し、特に該保
管箱の内部圧力を計測する保管箱及びそのキャップ開閉
制御方法に関するものである。
の他において、ウエハ，ガラス基板，ディスク等を搬
送，保管するときに使用される保管箱に関し、特に該保
管箱の内部圧力を計測する保管箱及びそのキャップ開閉
制御方法に関するものである。
【０００２】
【従来技術】従来、保管箱は容器状の保管箱本体の内部
にウエハその他のキャリヤを収納してその開口にキャッ
プを取り付け、該保管箱本体内部を真空にすることで該
キャップを保管箱本体に吸着・固定せしめて構成されて
いる。
にウエハその他のキャリヤを収納してその開口にキャッ
プを取り付け、該保管箱本体内部を真空にすることで該
キャップを保管箱本体に吸着・固定せしめて構成されて
いる。
【０００３】ところでこの保管箱本体からキャップを取
り外すには、この保管箱のキャップを取り付けた面を接
続室に接続し、該接続室の内部を真空排気し、これによ
って保管箱の内部圧力と接続室の内部圧力を同一としキ
ャップの保管箱本体への吸着を解除し、しかる後に該キ
ャップを取り外していた。
り外すには、この保管箱のキャップを取り付けた面を接
続室に接続し、該接続室の内部を真空排気し、これによ
って保管箱の内部圧力と接続室の内部圧力を同一としキ
ャップの保管箱本体への吸着を解除し、しかる後に該キ
ャップを取り外していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来、保
管箱からのキャップの取り外しは、接続室内の圧力が一
定値以下となったときに行われており、特に保管箱内の
圧力の計測は行われていなかった。このため、保管箱の
内部圧力の方が接続室の内部圧力よりも高くなっていた
ときにキャップを開くと、両者間の差圧によって気流が
生じ、これによって塵等が舞い上がり粒子汚染が発生し
てしまうという問題点があった。
管箱からのキャップの取り外しは、接続室内の圧力が一
定値以下となったときに行われており、特に保管箱内の
圧力の計測は行われていなかった。このため、保管箱の
内部圧力の方が接続室の内部圧力よりも高くなっていた
ときにキャップを開くと、両者間の差圧によって気流が
生じ、これによって塵等が舞い上がり粒子汚染が発生し
てしまうという問題点があった。
【０００５】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、キャップを開く際の保管箱の内部圧力と接続室の
内部圧力の差圧をなくすことができる保管箱及びそのキ
ャップ開閉制御方法を提供することにある。
あり、キャップを開く際の保管箱の内部圧力と接続室の
内部圧力の差圧をなくすことができる保管箱及びそのキ
ャップ開閉制御方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本発明は、内容物を収納する保管箱本体１１と該保管
箱本体１１の開口を塞ぐキャップ１３を具備し該保管箱
本体１１の内部を真空にして前記キャップ１３を保管箱
本体１１の開口に吸着して固定する保管箱１０におい
て、該保管箱１０の内部圧力を測定する真空計測定子１
７と、該真空計測定子１７の出力を接続した接触式コネ
クタ１９とを取り付け、保管箱１０の内部圧力の計測時
には前記接触式コネクタ１９に外部より接触端子２７を
圧接せしめるように保管箱を構成した。
め本発明は、内容物を収納する保管箱本体１１と該保管
箱本体１１の開口を塞ぐキャップ１３を具備し該保管箱
本体１１の内部を真空にして前記キャップ１３を保管箱
本体１１の開口に吸着して固定する保管箱１０におい
て、該保管箱１０の内部圧力を測定する真空計測定子１
７と、該真空計測定子１７の出力を接続した接触式コネ
クタ１９とを取り付け、保管箱１０の内部圧力の計測時
には前記接触式コネクタ１９に外部より接触端子２７を
圧接せしめるように保管箱を構成した。
【０００７】また本発明は、前記保管箱１０のキャップ
１３を開くとき、前記保管箱１０のキャップ１３を取り
付けた面を接続室４１に接続し、該接続室４１の内部を
真空排気し、保管箱１０の内部圧力を前記真空計測定子
１７で測定するとともに接続室４１の内部圧力を測定
し、両測定値の差圧が０又は０近傍になったときに前記
キャップ１３を開くようにキャップ開閉制御方法を構成
した。
１３を開くとき、前記保管箱１０のキャップ１３を取り
付けた面を接続室４１に接続し、該接続室４１の内部を
真空排気し、保管箱１０の内部圧力を前記真空計測定子
１７で測定するとともに接続室４１の内部圧力を測定
し、両測定値の差圧が０又は０近傍になったときに前記
キャップ１３を開くようにキャップ開閉制御方法を構成
した。
【０００８】
【作用】上記の如く構成すれば、真空計測定子１７によ
って保管箱１０の内部圧力が容易に測定できる。このた
め保管箱１０の内部圧力と接続室４１の内部圧力を等し
くした状態でキャップ１３を開くことができる。
って保管箱１０の内部圧力が容易に測定できる。このた
め保管箱１０の内部圧力と接続室４１の内部圧力を等し
くした状態でキャップ１３を開くことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の１実施例を図面に基づいて詳
細に説明する。図１は保管箱の内部圧力計測装置を示す
断面図である。同図において、１０は保管箱であり、該
保管箱１０は断面略コ字状の保管箱本体１１と、該保管
箱本体１１の開口を塞ぐキャップ１３を具備し、該保管
箱本体１１の内部を真空にして前記キャップ１３を保管
箱本体１１に吸着・固定せしめて構成されている。
細に説明する。図１は保管箱の内部圧力計測装置を示す
断面図である。同図において、１０は保管箱であり、該
保管箱１０は断面略コ字状の保管箱本体１１と、該保管
箱本体１１の開口を塞ぐキャップ１３を具備し、該保管
箱本体１１の内部を真空にして前記キャップ１３を保管
箱本体１１に吸着・固定せしめて構成されている。
【００１０】一方前記保管箱本体１１の所定位置には穴
１５が設けられ、該穴１５には保管箱１０の内部圧力を
測定する真空計測定子１７が取り付けられている。
１５が設けられ、該穴１５には保管箱１０の内部圧力を
測定する真空計測定子１７が取り付けられている。
【００１１】また保管箱本体１１の他の所定位置には、
接触式コネクタ１９がステー２１によって取り付けられ
ている。この接触式コネクタ１９はＴ字状に形成されそ
の３つの端部に端子接続部１９１，１９２，１９３が設
けられている。そしてこの接触式コネクタ１９の上側の
端子接続部１９１には真空計測定子１７のコード２３先
端に設けたプラグ２５が接続されている。
接触式コネクタ１９がステー２１によって取り付けられ
ている。この接触式コネクタ１９はＴ字状に形成されそ
の３つの端部に端子接続部１９１，１９２，１９３が設
けられている。そしてこの接触式コネクタ１９の上側の
端子接続部１９１には真空計測定子１７のコード２３先
端に設けたプラグ２５が接続されている。
【００１２】またこの接触式コネクタ１９の中央の端子
接続部１９２には、接触端子２７が着脱自在に接続され
ている。この接触端子２７は、ケース２９内に棒部材３
１とコイルスプリング３３を収納し、該棒部材３１に設
けたつば部３５をスプリング３３で弾発せしめて構成さ
れている。また該棒部材３１の一端には前記接触式コネ
クタ１９に接続されるプラグ３７が取り付けられ、他端
からはコード３９が引き出されている。そしてこのコー
ド３９は、図示しないゲージアンプに接続されている。
接続部１９２には、接触端子２７が着脱自在に接続され
ている。この接触端子２７は、ケース２９内に棒部材３
１とコイルスプリング３３を収納し、該棒部材３１に設
けたつば部３５をスプリング３３で弾発せしめて構成さ
れている。また該棒部材３１の一端には前記接触式コネ
クタ１９に接続されるプラグ３７が取り付けられ、他端
からはコード３９が引き出されている。そしてこのコー
ド３９は、図示しないゲージアンプに接続されている。
【００１３】そしてこの接触端子２７は、前記接触式コ
ネクタ１９の端子接続部１９２に向かって（同図の矢印
Ａ方向）押圧することで接続され、逆方向に引き離すこ
とで離脱される。つまり接触端子２７は接触式コネクタ
１９へ押圧或いは引き離すことでその着脱が自在に行わ
れる。
ネクタ１９の端子接続部１９２に向かって（同図の矢印
Ａ方向）押圧することで接続され、逆方向に引き離すこ
とで離脱される。つまり接触端子２７は接触式コネクタ
１９へ押圧或いは引き離すことでその着脱が自在に行わ
れる。
【００１４】図２はこの内部圧力計測装置を用いて保管
箱のキャップを取り外す方法を示す図である。同図に示
すようにまず保管箱１０は図示しない移動装置によっ
て、接続室４１の装着口４３に、そのキャップ１３を取
り付けた面が密着せしめられる。このときゲートバルブ
４５は閉じられている。なおこのときすでに接触端子２
７は接触式コネクタ１９に圧接接続されている。
箱のキャップを取り外す方法を示す図である。同図に示
すようにまず保管箱１０は図示しない移動装置によっ
て、接続室４１の装着口４３に、そのキャップ１３を取
り付けた面が密着せしめられる。このときゲートバルブ
４５は閉じられている。なおこのときすでに接触端子２
７は接触式コネクタ１９に圧接接続されている。
【００１５】次に同図に示すようにキャップ開閉装置４
９の先端でキャップ１３を把持或いは吸着し、この状態
で切換バルブ５１を真空側に切り換えて接続室４１内部
を排気して真空にする。このとき保管箱１０に取り付け
た真空計測定子１７によって保管箱１０の内部圧力を測
定するとともに、接続室４１に取り付けた真空計測定子
５３によってその内部圧力を測定する。そして両測定圧
力の差圧が０又は０近傍になったときに前記キャップ開
閉装置４９によってキャップ１３を保管箱本体１１から
取り外し、キャップ開閉装置４９を同図に示す矢印Ｆ方
向に移動することによってキャップ１３を退避する。
９の先端でキャップ１３を把持或いは吸着し、この状態
で切換バルブ５１を真空側に切り換えて接続室４１内部
を排気して真空にする。このとき保管箱１０に取り付け
た真空計測定子１７によって保管箱１０の内部圧力を測
定するとともに、接続室４１に取り付けた真空計測定子
５３によってその内部圧力を測定する。そして両測定圧
力の差圧が０又は０近傍になったときに前記キャップ開
閉装置４９によってキャップ１３を保管箱本体１１から
取り外し、キャップ開閉装置４９を同図に示す矢印Ｆ方
向に移動することによってキャップ１３を退避する。
【００１６】そしてゲートバルブ４５を開いて保管箱内
容物収納取出装置５５内に収納されている図示しないロ
ボットのアームによって前記保管箱本体１１内に収納し
ている内容物５７を取り出し、ゲートバルブ５９を介し
て処理室６１内に移送する。
容物収納取出装置５５内に収納されている図示しないロ
ボットのアームによって前記保管箱本体１１内に収納し
ている内容物５７を取り出し、ゲートバルブ５９を介し
て処理室６１内に移送する。
【００１７】一方処理室６１内での処理が終了した内容
物５７は、保管箱内容物収納取出装置５５の図示しない
ロボットのアームによって該処理室６１内から前記保管
箱本体１１内に移送される。次にキャップ開閉装置４９
によって保管箱本体１１にキャップ１３が被せられ、ゲ
ートバルブ４５を閉じると共に切換バルブ５１をリーク
側に切り換えて接続室４１内を大気圧とする。これによ
って保管箱１０と接続室４１の内部圧力に差が生じ、保
管箱１０のキャップ１３は保管箱本体１１に吸着・固定
される。そしてこの保管箱１０は接触端子２７が引き外
された後に、移送されたり、保管されたりする。
物５７は、保管箱内容物収納取出装置５５の図示しない
ロボットのアームによって該処理室６１内から前記保管
箱本体１１内に移送される。次にキャップ開閉装置４９
によって保管箱本体１１にキャップ１３が被せられ、ゲ
ートバルブ４５を閉じると共に切換バルブ５１をリーク
側に切り換えて接続室４１内を大気圧とする。これによ
って保管箱１０と接続室４１の内部圧力に差が生じ、保
管箱１０のキャップ１３は保管箱本体１１に吸着・固定
される。そしてこの保管箱１０は接触端子２７が引き外
された後に、移送されたり、保管されたりする。
【００１８】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、保管箱の内部圧力と接続室の内部圧力を等しくし
た状態でキャップを開くことができるので、万一保管箱
の内部圧力が高くても、キャップを開くことによって気
流は生じず、これによって粒子汚染を未然に防ぐことが
できるという優れた効果を有する。
れば、保管箱の内部圧力と接続室の内部圧力を等しくし
た状態でキャップを開くことができるので、万一保管箱
の内部圧力が高くても、キャップを開くことによって気
流は生じず、これによって粒子汚染を未然に防ぐことが
できるという優れた効果を有する。
【図１】保管箱を示す断面図である。
【図２】保管箱のキャップを取り外す方法を示す図であ
る。
る。
１０ 保管箱 １１ 保管箱本体 １３ キャップ １７ 真空計測定子 １９ 接触式コネクタ ２３ コード ２７ 接触端子 ４１ 接続室
Claims (2)
- 【請求項１】 内容物を収納する保管箱本体と該保管箱
本体の開口を塞ぐキャップを具備し該保管箱本体の内部
を真空にして前記キャップを保管箱本体の開口に吸着し
て固定する保管箱において、 その内部圧力を測定する真空計測定子と、該真空計測定
子の出力を接続した接触式コネクタとを取り付け、 保管箱の内部圧力の計測時には前記接触式コネクタに外
部より接触端子を圧接することを特徴とする保管箱。 - 【請求項２】 前記保管箱のキャップを開くとき、前記
保管箱のキャップを取り付けた面を接続室に接続し、該
接続室の内部を真空排気し、保管箱の内部圧力を前記真
空計測定子で測定するとともに接続室の内部圧力を測定
し、両測定値の差圧が０又は０近傍になったときに前記
キャップを開くことを特徴とする請求項１記載の保管箱
のキャップ開閉制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32605392A JPH0632376A (ja) | 1992-05-18 | 1992-11-11 | 保管箱及びそのキャップ開閉制御方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14992892 | 1992-05-18 | ||
| JP4-149928 | 1992-05-18 | ||
| JP32605392A JPH0632376A (ja) | 1992-05-18 | 1992-11-11 | 保管箱及びそのキャップ開閉制御方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0632376A true JPH0632376A (ja) | 1994-02-08 |
Family
ID=26479672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32605392A Pending JPH0632376A (ja) | 1992-05-18 | 1992-11-11 | 保管箱及びそのキャップ開閉制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0632376A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999038206A1 (fr) * | 1998-01-23 | 1999-07-29 | Tokyo Electron Limited | Procede et appareil de traitement de plaquettes |
| CN108987317A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-12-11 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种硅片片盒和设备平台 |
-
1992
- 1992-11-11 JP JP32605392A patent/JPH0632376A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1999038206A1 (fr) * | 1998-01-23 | 1999-07-29 | Tokyo Electron Limited | Procede et appareil de traitement de plaquettes |
| US6302927B1 (en) | 1998-01-23 | 2001-10-16 | Tokyo Electron Limited | Method and apparatus for wafer processing |
| CN108987317A (zh) * | 2018-06-12 | 2018-12-11 | 上海集成电路研发中心有限公司 | 一种硅片片盒和设备平台 |
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