JP7342840B2 - 薄板材の搬送方法、及び搬送装置 - Google Patents

薄板材の搬送方法、及び搬送装置 Download PDF

Info

Publication number
JP7342840B2
JP7342840B2 JP2020185076A JP2020185076A JP7342840B2 JP 7342840 B2 JP7342840 B2 JP 7342840B2 JP 2020185076 A JP2020185076 A JP 2020185076A JP 2020185076 A JP2020185076 A JP 2020185076A JP 7342840 B2 JP7342840 B2 JP 7342840B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
thin plate
plate material
conveyor
thin
conveyance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020185076A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2022074754A (ja
Inventor
裕毅 三村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyota Motor Corp
Original Assignee
Toyota Motor Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyota Motor Corp filed Critical Toyota Motor Corp
Priority to JP2020185076A priority Critical patent/JP7342840B2/ja
Priority to CN202111254269.9A priority patent/CN114435973B/zh
Publication of JP2022074754A publication Critical patent/JP2022074754A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7342840B2 publication Critical patent/JP7342840B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G59/00De-stacking of articles
    • B65G59/06De-stacking from the bottom of the stack
    • B65G59/061De-stacking from the bottom of the stack articles being separated substantially along the axis of the stack
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/88Separating or stopping elements, e.g. fingers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/88Separating or stopping elements, e.g. fingers
    • B65G47/8807Separating or stopping elements, e.g. fingers with one stop
    • B65G47/8815Reciprocating stop, moving up or down in the path of the article
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • De-Stacking Of Articles (AREA)
  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Description

本発明は、薄板材の搬送方法、及び搬送装置に関する。
特許文献1に開示の搬送装置は、カセットと、複数の支持部材とを備える。カセットは、複数のフレームが縦方向に積み重ねられることにより形成される。カセットは、フレームの枠部が薄板を支持して、複数の薄板を収容する。複数の支持部材は、薄板をフレームから持ち上げて横方向に移動可能に支持する。
特開2004-115137号公報
本願発明者は、以下の課題を発見した。
このような搬送装置では、複数の薄板同士がカセット等の収容部に収容された場合、高さ方向に複数の薄板同士が干渉し、安定して薄板を搬送できない可能性がある。
このような薄板の搬送装置の一具体例である搬送装置90がある。図10及び図11に示すように、搬送装置90は、コンベヤ91と、ラック93とを備える。ラック93は、薄板材W91と、薄板材W92とを収容する。具体的には、ラック93のフレーム931a、931bが、薄板材W91の端部W91a、W91bをそれぞれ支持する。ラック93のフレーム932a、932bが、薄板材W92の端部W92a、W92bをそれぞれ支持する。ラック93は、下方(ここでは、Z軸方向マイナス側)に移動して、コンベヤ91が薄板材W91に接触して所定の搬送方向(ここでは、Y軸方向プラス側)に搬送する。
しかし、薄板材W92は、薄板材W92自体の自重によって下方へ曲がり、薄板材W92の中央部W92cが薄板材W91の中央部W91cと接触することがある。この接触によって、薄板材W91と、薄板材W92とが機械的に干渉し、図11に示すように、薄板材W92が、所定の位置から移動する。そのため、薄板材W91、W92を安定して搬送することができないことがあった。
本発明の目的は、薄板材同士の干渉を抑制しつつ、薄板材を安定して搬送することができる薄板材の搬送方法及び搬送装置を提供することである。
本発明に係る薄板材の搬送方法は、
高さ方向に所定の間隔を空けて対向配置された複数の薄板材を連続的に搬送する搬送方法であって、
前記複数の薄板材の端部を支持しつつ、前記複数の薄板材を下方向に移動させるステップと、
前記複数の薄板材のうち最も低い第1の薄板材と、前記第1の薄板材よりも高く、かつ隣接する第2の薄板材との間にガスを流入させ、前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させるステップと、
前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させたまま、前記第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送するステップと、を含む。
このような構成によれば、最も低い第1の薄板材と、第1の薄板材よりも高くかつ隣接する第2の薄板材とを離隔させる。その後、第1及び第2の薄板材を離隔させたまま、第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送する。そのため、ラックに収容された薄板材同士の干渉を抑制しつつ、薄板材を安定して搬送することができる。
また、前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させるステップと、前記第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送するステップとでは、
ストッパを、前記第1の薄板材よりも高い位置にある前記複数の薄板材の残りにおけるコンベヤ側に移動させることを特徴としてもよい。
このような構成によれば、第1の薄板材よりも高い位置にある複数の薄板材の残りがコンベヤ側へ移動しても、ストッパが当該複数の薄板材の残りを抑える。よって、当該複数の薄板材の残りがコンベヤへ落下することを抑制することができ、第1の薄板材を安定して搬送することができる。
本発明に係る薄板材の搬送装置は、
高さ方向に所定の間隔を空けて対向配置された複数の薄板材を連続的に搬送する搬送装置であって、
複数のフレームを備えるラックと、
ラック降下装置と、
エアノズルと、
コンベヤと、
を備え、
前記ラックは、複数の薄板材を収容し、
前記複数のフレームのそれぞれは、前記複数の薄板材の端部を支持し、
前記ラック降下装置は、前記ラックを下方向に移動させ、
前記エアノズルは、前記複数の薄板材のうち最も低い第1の薄板材と、前記第1の薄板材よりも高く、かつ隣接する第2の薄板材との間にガスを流入させ、前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させ、前記第1の薄板材を前記コンベヤに当接させ、
前記コンベヤは、前記コンベヤに当接させられた前記第1の薄板材を搬送する。
このような構成によれば、最も低い第1の薄板材と第1の薄板材よりも高く、かつ隣接する第2の薄板材とを離隔させたまま、第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送する。そのため、ラックに収容された薄板材同士の干渉を抑制しつつ、薄板材を安定して搬送することができる。
また、前記第1の薄板材よりも高い位置にある前記複数の薄板材の残りにおけるコンベヤ側に設けられたストッパを備えることを特徴としてもよい。
このような構成によれば、第1の薄板材よりも高い位置にある複数の薄板材の残りがコンベヤ側へ移動しても、ストッパが当該複数の薄板材の残りを抑える。よって、当該複数の薄板材の残りがコンベヤへ落下することを抑制することができ、第1の薄板材を安定して搬送することができる。
本発明は、薄板材同士の干渉を抑制しつつ、薄板材を安定して搬送することができる。
実施の形態に係る搬送方法を示すフローチャートである。 実施の形態1に係る搬送装置を示す側面図である。 実施の形態1に係る搬送装置を示す正面図である。 実施の形態1に係る搬送装置を用いた搬送方法の流れを示す概略図である。 実施の形態1に係る搬送装置を用いた搬送方法の流れを示す概略図である。 実施の形態1に係る搬送装置を用いた搬送方法の流れを示す概略図である。 実施の形態1に係る搬送装置を用いた搬送方法の流れを示す概略図である。 実施の形態1に係る搬送装置の一変形例を示す側面図である。 実施の形態1に係る搬送装置の一変形例を示す上面図である。 本発明が解決しようとする課題に係る搬送方法の流れを示す概略図である。 本発明が解決しようとする課題に係る搬送方法の流れを示す概略図である。
以下、本発明を適用した具体的な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。ただし、本発明が以下の実施形態に限定される訳ではない。また、説明を明確にするため、以下の記載及び図面は、適宜、簡略化されている。
(実施の形態1)
図1を参照して実施の形態1に係る搬送方法について説明する。
複数の薄板材を下方向に移動させる(薄板材移動ステップST1)。具体的には、複数の薄板材は、高さ方向に所定の間隔を空けて対向配置されている。また、複数の薄板材の端部同士が支持されている。複数の薄板材は、最も低い第1の薄板材と、第1の薄板材よりも高く、かつ隣接する第2の薄板材とを備える。複数の薄板材の下方には、コンベヤが配置されている。複数の薄板材を下方向に移動させ、コンベヤに接近させる。
続いて、第1の薄板材と、第2の薄板材との間にガスを流入させ、第1の薄板材と第2の薄板材とを離隔させる(ガス流入ステップST2)。
続いて、第1の薄板材と第2の薄板材とを離隔させたまま、第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送する(薄板材搬送ステップST3)。
最後に、複数の薄板材の搬送が終了か否かを判定する(搬送終了判定ステップST4)。薄板材の搬送が終了したと判定するまで、上記した薄板材移動ステップST1~薄板材搬送ステップST3を繰り返す(搬送終了判定ステップST4:NO)。すると、複数の薄板材の残りを搬送することができる。つまり、複数の薄板材を1枚ずつ連続的に搬送することができる。薄板材の搬送が終了したと判定すると、本搬送方法を終了する(搬送終了判定ステップST4:YES)。
以上より、最も低い第1の薄板材とその上方に位置し、かつ隣接する第2の薄板材とを離隔させた状態を保ちながら、第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送する。そのため、薄板材同士の干渉を抑制しつつ、板材を安定して搬送することができる。
(搬送装置)
次に、図2及び図3を参照して、上記した実施の形態1にかかる搬送方法に使用可能な搬送装置について説明する。なお、当然のことながら、図2及びその他の図面に示した右手系XYZ座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、Z軸プラス向きが鉛直上向き、XY平面が水平面であり、図面間で共通である。
図2は、実施の形態1に係る搬送装置を示す側面図である。図3は、図2に示すIIIA-IIIA矢視図である。図3は、分かり易さのため、ラック3の上部の図示を適宜省略した。
図2に示すように、搬送装置10は、コンベヤ1と、ガスノズル2と、ラック3と、ラック降下装置4とを備える。
コンベヤ1は、図示しない支持部材等を介して、所定の高さに設けられている。コンベヤ1は、第1の薄板材W1及び第2の薄板材W2を所定の搬送方向(ここでは、Y軸方向プラス側)に運搬することができる装置である。コンベヤ1は、ベルト式コンベヤ、又はローラ式コンベヤを利用してもよい。本実施形態1に係るコンベヤ1は、ベルト式コンベヤであり、環状ベルト1aと、2つのローラ1bとを備える。2つのローラ1bは、環状ベルト1aの内側において、環状ベルト1aの両端にそれぞれ設けられている。2つのローラ1bは、図示しない駆動源から駆動力を供給されて、回転する。2つのローラ1bの回転に伴い、環状ベルト1aが回転する。環状ベルト1aの回転に伴い、環状ベルト1aの搬送面1cが搬送方向に並進移動し、環状ベルト1aに載置された搬送物が搬送方向に搬送される。
ガスノズル2は、図示しないガス供給源からガスを供給されて、そのガスを所定の方向に向けて流出する。ガス供給源は、例えば、コンプレッサ等である。そのガスは、多種多様な気体を利用してもよく、例えば、エアや窒素を利用することができる。ガスノズル2は、コンベヤ1から搬送入口側(ここでは、Y軸方向マイナス側)に所定の間隔を空けて設けられている。ガスノズル2の位置及び姿勢は、ガスノズル2がガスを第1の薄板材W1と第2の薄板材W2との間に向けて流出できるように、決定されるとよい。
図2及び図3に示すように、ラック3は、コンベヤ1の上方に配置されている。ラック3は、コンベヤ1に向かって降下可能に設けられている。ラック3は、壁状部30a、30bと、複数のフレーム31a、31b、32a、32bとを備える。
壁状部30a、30bは、所定の間隔を空けて相互に対向する。壁状部30a、30bは、図示しない部材を介して機械的に接続されて、相互の位置関係が固定されているとよい。壁状部30aは、壁状部30bと対向する主面30a1を有し、壁状部30bは、壁状部30aと対向する主面30b1を有する。
第1の薄板材W1は、端部W1aと、端部W1bと、中央部W1cとを備える。端部W1a、端部W1bは、第1の薄板材W1の幅方向(ここでは、X軸方向)における両端にそれぞれ位置する。中央部W1cは、端部W1aと、端部W1bとの間に位置する。第2の薄板材W2は、端部W2aと、端部W2bと、中央部W2cとを備える。端部W2a、端部W2bは、第2の薄板材W2の幅方向(ここでは、X軸方向)における両端にそれぞれ位置する。中央部W2cは、端部W2aと、端部W2bとの間に位置する。第1及び第2の薄板材W1、W2は、特に限定されず、多種多様な材料からなり、多種多様な形状を採り得る。
フレーム31a、32aは、壁状部30aの主面30a1に設けられている。フレーム31aは、フレーム32aよりも下方に位置する。フレーム31b、32bは、壁状部30bの主面30b1に設けられている。フレーム31bは、フレーム32bよりも下方に位置する。
フレーム31aは、第1の薄板材W1の端部W1aを支持する。フレーム31bは、第1の薄板材W1の端部W1bを支持する。フレーム32aは、第2の薄板材W2の端部W2aを支持する。フレーム32bは、第2の薄板材W2の端部W2bを支持する。
ラック降下装置4は、ラック3を下方に移動させる技術的な降下手段であればよく、例えば、スライド機構、アクチュエータ、ロボットアームのいずれかであってもよい。
(搬送方法の一具体例)
次に、図1~図7を参照して、実施の形態1に係る搬送装置10を用いた搬送方法について説明する。図4~図7は、図2及び図3に示す搬送装置を用いた搬送方法の流れを示す概略図である。図6は、図5に示すVIA-VIA矢視図である。
図4に示すように、ラック3を下降させる(薄板材移動ステップST1)。具体的に、ラック降下装置4によって、ラック3を下降させて、第1の薄板材W1をコンベヤ1の環状ベルト1a近傍まで移動させる。第1及び第2の薄板材W1、W2は、第1及び第2の薄板材W1、W2自体の自重によって下方へ曲がってもよい。第1及び第2の薄板材W1、W2は、例えば、セパレータであり、当該セパレータは、燃料電池を構成する部材であってもよい。
続いて、図5及び図6に示すように、ガスをガスノズル2から第1の薄板材W1と第2の薄板材W2との間に流入させる(ガス流入ステップST2)。すると、第1の薄板材W1と第2の薄板材W2とは、ガスから圧力を受けて、離隔する。第1の薄板材W1は、コンベヤ1の環状ベルト1aの搬送面1cに押し当てられる。
続いて、図7に示すように、第1の薄板材W1を搬送する(薄板材搬送ステップST3)。具体的には、コンベヤ1の環状ベルト1aの搬送面1cを搬送方向(ここでは、Y軸方向プラス側)に並進移動させて、第1の薄板材W1を搬送方向に移動させる。
最後に、薄板材の搬送が終了か否かを判定する(搬送終了判定ステップST4)。薄板材の搬送が終了したと判定するまで、上記した薄板材移動ステップST1~薄板材搬送ステップST3を繰り返す(搬送終了判定ステップST4:NO)。すると、複数の薄板材の残りW2等を搬送することができる。つまり、複数の薄板材を1枚ずつ連続的に搬送することができる。薄板材の搬送が終了したと判定すると、本搬送方法を終了する(搬送終了判定ステップST4:YES)。
以上より、第1及び第2の薄板材W1、W2のうち最も低い第1の薄板材W1とその上方に位置する第2の薄板材W2とを離隔させたまま、第1の薄板材W1をコンベヤ1に当接させて搬送する。そのため、第1及び第2の薄板材W1、W2の干渉を抑制しつつ、第1の薄板材W1を安定して搬送することができる。
また、ラック3内における第1の薄板材W1と、第2の薄板材W2との距離(ピッチ)が狭くても、第1の薄板材W1と第2の薄板材W2とを離隔させることができ、第1の薄板材W1をコンベヤ1に当接させて搬送する。よって、ラック3内における隣接する第1及び第2の薄板材W1、W2同士の距離を短縮することができる。ラック3が、第1の薄板材W1及び第2の薄板材W2と同じ薄板材をさらに収容する場合であっても、当該薄板材同士の干渉を抑制しつつ、第2の薄板材W2及び当該薄板材を第1の薄板材W1と同様に安定して搬送することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。また、本発明は、上記実施の形態やその一例を適宜組み合わせて実施してもよい。例えば、本実施の形態1に係る搬送装置10は、第1の薄板材W1及び第2の薄板材W2を収容したが、第1の薄板材W1及び第2の薄板材W2と同じ薄板材を3枚以上収容してもよい。ラック3は、搬送装置10が収容する薄板材の枚数に応じて、フレーム31a、31b、32a、32bと同じフレームを適宜備えるとよい。搬送装置10が収容する薄板材は、第2の薄板材W2よりも高い位置においてフレームに支持されるとよい。
また、図8及び図9に示すように、本実施の形態1に係る搬送装置10は、ストッパ5をさらに備えてもよい。本実施の形態1に係る搬送装置10を用いた搬送方法では、ガス流入ステップST2と薄板材搬送ステップST3とでは、ストッパ5を第2の薄板材W2におけるコンベヤ1側に移動させてもよい。この移動によって、第2の薄板材W2がコンベヤ1側に寄っても、ストッパ5が第2の薄板材W2を抑える。よって、複数の薄板材の残りがコンベヤ1に落下することを抑制することができる。よって、第1の薄板材W1を安定して搬送することができる。
薄板材の搬送が終了したと判定するまで、上記した薄板材移動ステップST1~薄板材搬送ステップST3を繰り返す場合がある。このような場合、同様に、ガス流入ステップST2と薄板材搬送ステップST3とでは、ストッパ5を最も低い薄板材よりも高い位置にある複数の薄板材の残りにおけるコンベヤ1側に移動させるとよい。この移動によって、複数の薄板材の残りがコンベヤ1に落下することを抑制することができる。よって、第2の薄板材W2及び複数の薄板材の残りを安定して搬送することができる。
10 搬送装置
1 コンベヤ
1a 環状ベルト 1b ローラ
1c 搬送面
2 ガスノズル 3 ラック
30a、30b 壁状部 30a1、30b1 主面
31a、31b、32a、32b フレーム
4 ラック降下装置 5 ストッパ
ST1 薄板材移動ステップ ST2 ガス流入ステップ
ST3 薄板材搬送ステップ ST4 搬送終了判定ステップ
W1 第1の薄板材
W1a、W1b 端部 W1c 中央部
W2 第2の薄板材
W2a、W2b 端部 W2c 中央部

Claims (2)

  1. 高さ方向に所定の間隔を空けて対向配置された複数の薄板材を連続的に搬送する搬送方法であって、
    前記複数の薄板材の端部を支持しつつ、前記複数の薄板材を下方向に移動させるステップと、
    前記複数の薄板材のうち最も低い第1の薄板材と、前記第1の薄板材よりも高く、かつ隣接する第2の薄板材との間にガスを流入させ、前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させるステップと、
    前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させたまま、前記第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送するステップと、を含み、
    前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させるステップと、前記第1の薄板材をコンベヤに当接させて搬送するステップとでは、
    ストッパを、前記第1の薄板材よりも高い位置にある前記複数の薄板材の残りにおける前記コンベヤ側に移動させる、
    薄板材の搬送方法。
  2. 高さ方向に所定の間隔を空けて対向配置された複数の薄板材を連続的に搬送する搬送装置であって、
    複数のフレームを備えるラックと、
    ラック降下装置と、
    エアノズルと、
    コンベヤと、
    ストッパと、
    を備え、
    前記ラックは、複数の薄板材を収容し、
    前記複数のフレームのそれぞれは、前記複数の薄板材の端部を支持し、
    前記ラック降下装置は、前記ラックを下方向に移動させ、
    前記エアノズルは、前記複数の薄板材のうち最も低い第1の薄板材と、前記第1の薄板材よりも高く、かつ隣接する第2の薄板材との間にガスを流入させ、前記第1の薄板材と前記第2の薄板材とを離隔させ、前記第1の薄板材を前記コンベヤに当接させ、
    前記コンベヤは、前記コンベヤに当接させられた前記第1の薄板材を搬送し、
    前記ストッパは、前記第1の薄板材よりも高い位置にある前記複数の薄板材の残りにおける前記コンベヤ側に設けられた、
    薄板材の搬送装置。
JP2020185076A 2020-11-05 2020-11-05 薄板材の搬送方法、及び搬送装置 Active JP7342840B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020185076A JP7342840B2 (ja) 2020-11-05 2020-11-05 薄板材の搬送方法、及び搬送装置
CN202111254269.9A CN114435973B (zh) 2020-11-05 2021-10-27 薄板材的运送方法及运送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020185076A JP7342840B2 (ja) 2020-11-05 2020-11-05 薄板材の搬送方法、及び搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022074754A JP2022074754A (ja) 2022-05-18
JP7342840B2 true JP7342840B2 (ja) 2023-09-12

Family

ID=81362847

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020185076A Active JP7342840B2 (ja) 2020-11-05 2020-11-05 薄板材の搬送方法、及び搬送装置

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7342840B2 (ja)
CN (1) CN114435973B (ja)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159141A (ja) 2003-11-27 2005-06-16 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板搬送装置及び基板保管搬送装置
US20060137544A1 (en) 2004-12-23 2006-06-29 Au Optronics Corporation Substrate transportation device (air)
JP2006335518A (ja) 2005-06-02 2006-12-14 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板搬送装置
JP2017148891A (ja) 2016-02-24 2017-08-31 株式会社Nsc ロボットハンド

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3093090B2 (ja) * 1994-01-14 2000-10-03 京セラミタ株式会社 用紙送り装置
JP4216029B2 (ja) * 2002-09-24 2009-01-28 株式会社日立プラントテクノロジー 薄板搬送装置
EP1626004A1 (en) * 2004-07-15 2006-02-15 CAVANNA S.p.A. Device and method for forming groups of products in conveying systems, in particular for automatic packaging machinery
CN202226395U (zh) * 2011-09-09 2012-05-23 汕头市宇信科技有限公司 三极管测试分选机用的储料机构
CN203877520U (zh) * 2014-04-28 2014-10-15 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 载玻片的存储装置
CN105217322B (zh) * 2015-10-16 2017-11-07 福建省世高自动化设备有限公司 挂帘式叠片机及生产工艺

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005159141A (ja) 2003-11-27 2005-06-16 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板搬送装置及び基板保管搬送装置
US20060137544A1 (en) 2004-12-23 2006-06-29 Au Optronics Corporation Substrate transportation device (air)
JP2006335518A (ja) 2005-06-02 2006-12-14 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 基板搬送装置
JP2017148891A (ja) 2016-02-24 2017-08-31 株式会社Nsc ロボットハンド

Also Published As

Publication number Publication date
CN114435973B (zh) 2024-09-17
JP2022074754A (ja) 2022-05-18
CN114435973A (zh) 2022-05-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6039260B2 (ja) 基板搬送システム
TW202007622A (zh) 搬送系統
WO2013046552A1 (ja) 搬送システム
JP4436689B2 (ja) ガラス基板の搬送システム
TW200821247A (en) Substrate inspecting apparatus
US20180044123A1 (en) Adjustment device
CN114669492B (zh) 一种多产品兼容的缺陷检测设备及其检测方法
JP4200387B2 (ja) 搬送システム
JP4614807B2 (ja) 容器溝へのガラス板の挿入方法および装置
JP2006347752A (ja) 搬送システム
JP7342840B2 (ja) 薄板材の搬送方法、及び搬送装置
JP5163860B2 (ja) 基板搬送装置
JP4784416B2 (ja) 板状体整列設備
JP4854337B2 (ja) 板材の加工装置とそれを備えた加工設備
JP7367845B2 (ja) グリッパ装置、搬送車、及び搬送方法
JP2010157640A (ja) 基板受渡し装置およびその方法
KR101394482B1 (ko) 기판 처리장치
TW201823668A (zh) 檢查裝置
CN114999976A (zh) 一种硅片插片机及硅片插片方法
JP2022183851A (ja) 搬送システムおよび処理システム
JP7443151B2 (ja) 搬送システム
TW201432841A (zh) 工件搬運裝置及工件搬運方法
CN219626618U (zh) 一种晶圆传送装置及晶圆清洗设备
JP2014154620A (ja) 基板搬送装置、基板の搬送方法
JP2008066534A (ja) 基板搬送システムおよび基板搬送方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20221018

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230628

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230704

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230706

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230801

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230814

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 7342840

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151