KR100948210B1 - 기판 이재 장치의 반송계 유닛 - Google Patents

기판 이재 장치의 반송계 유닛 Download PDF

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야스히코 하시모토
마사오 타카토리
야스오 히로오카
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가와사키 쥬코교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명에서는, 프레임 분할체(50)의 고정부(53)에 로봇(27)의 기부(43)가 고정된다. 기부(43)는, 로봇 본체(27A)로부터 부여되는 힘이 프레임 분할체(50)의 고정부(53)에 전해지는 것을 허용한다. 이에 대해 프레임 분할체(50)의 고정부(53)는, 로봇(27)의 기부(43)로부터 부여되는 힘이 본체 구성체(51)에 전해지는 것을 막을 수 있는 강성을 갖는다. 따라서 로봇(27)의 기부(43)는 로봇 본체(27A)와 프레임 분할체(50)를 연결하는 기능을 가지면 충분하고, 강성을 저감시키더라도 웨이퍼 처리장치에 진동이 전해지는 것을 막을 수가 있어, 기판 처리 작업에 불편이 발생하는 것을 막을 수가 있다. 또, 프레임 분할체(50)의 강성을 높이는 것은, 로봇의 강성을 높이는 것보다도, 단순한 구성으로 용이하게 실현할 수가 있고, 그 강성의 향상 효과도 크다. 따라서, 한층 더 확실하게 웨이퍼 처리를 실행할 수가 있다.

Description

기판 이재 장치의 반송계 유닛 {Transfer system unit for substrate transfer device}
도 1은, 본 발명의 한 실시형태인 반도체 처리 설비(20)를 절단해서 나타낸 단면도,
도 2는, 반도체 처리 설비(20)를 간략화해서 나타낸 사시도,
도 3은, 도 1에 도시된 화살표 A3-A3선으로 절단해서 반도체 처리 설비(20)를 나타낸 단면도,
도 4는, FOUP(25)를 나타낸 사시도,
도 5는, 웨이퍼 이재 장치(23)를 나타낸 측면도,
도 6은, 웨이퍼 이재 장치(23)의 일부를 나머지 부분으로부터 분리시킨 상태를 나타낸 측면도,
도 7은, 도 3에 도시된 화살표 A7-A7선으로 절단해서 반송계 유닛(21)을 나타낸 단면도,
도 8은, 도 3에 도시된 화살표 A8-A8선으로 절단해서 반송계 유닛(21)을 나타낸 단면도,
도 9는, 프레임 분할체(50)의 장착부를 확대해서 나타낸 도면,
도 10은, 프레임 분할체(50)의 장착부를 확대해서 나타낸 단면도,
도 11은, 장착 지원 부재(260)를 나타낸 정면도,
도 12는, 반송계 유닛(21)의 제조에서 출하까지의 작업순서를 나타낸 순서도,
도 13은, 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립순서를 나타낸 순서도,
도 14는, 일부를 절단해서 나타낸 오프너(26)를 나타낸 측면도,
도 15는, 오프너(26)를 나타낸 정면도,
도 16은, 오프너 측 도어 구동기구(66)를 모식적으로 나타낸 사시도,
도 17은, 도 15의 화살표 A17-A17에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면,
도 18은, 도 15의 화살표 A18-A18에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면,
도 19는, 도 14의 화살표 A19에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면,
도 20은, 가동체(95)의 전후방향이동에 연동한 링크부재(92)의 각변위 상태를 나타낸 도면,
도 21은, 오프너 측 도어(65)의 개폐동작을 나타낸 도면,
도 22는, 본 실시형태의 오프너(26)와 비교예의 오프너(126)를 비교한 도면,
도 23은, 본 실시형태의 오프너(26)와 비교예의 오프너(126)를 비교한 도면,
도 24는, 오프너(26)의 하방의 공간에 출입용 도어(96)가 형성된 반송계 유닛(21)을 나타낸 도면,
도 25는, 본 발명의 다른 실시형태인 오프너(226)를 나타낸 도면,
도 26은, 접속부(93)의 이동궤적(98)의 예를 나타낸 도면,
도 27은, 본 발명의 다른 실시형태의 링크부재 각변위수단(91)의 일부를 나타낸 도면,
도 28은, 본 발명의 다른 실시형태의 가동체 구동수단(94)을 간략화해서 나타낸 도면,
도 29는, 본 발명의 또 다른 실시형태인 제2반송계 유닛(121)을 나타낸 단면도,
도 30은, 본 발명의 또 다른 실시형태인 제3반송계 유닛(221)을 나타낸 단면도,
도 31은, 종래기술의 반도체 처리 설비(1)의 일부를 절단해서 나타낸 단면도이다.
(기술분야)
본 발명은, 기판 처리 설비 중에서 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재(移載) 장치의 일부를 구성하는 반송계(搬送系) 유닛에 관한 것으로, 특히 반도체 처리 설비에서의 기판 이재 장치인 EFEM(Equipment Front End Module)의 반송계 유닛에 관한 것이다.
(종래기술)
도 31은, 종래기술의 반도체 처리 설비(1)의 일부를 절단해서 나타낸 단면도이다. 반도체 처리 설비(1)는, 웨이퍼 처리장치(2)와 웨이퍼 이재 장치(3)를 포함해서 구성된다. 반도체 처리 설비(1) 내의 공간은, 미리 정해진 청정도(clean degree)로 유지되는 분위기 기체로 채워진다. 이에 의해, 처리되는 웨이퍼(4)는 대기 중에 부유하는 이물의 부착이 방지된다. 반도체 웨이퍼(4)는, 기판 용기인 F OUP(Front Opening Unified Pod; 5)에 수용된 상태에서 반도체 처리 설비(1)로 반송된다.
웨이퍼 이재 장치(3)는 처리 전의 웨이퍼(4)를 FOUP(5)로부터 취출해서, 취출한 웨이퍼(4)를 준비공간(9)으로 이동시켜 웨이퍼 처리장치(2)로 공급한다. 또, 처리 후의 웨이퍼(4)를 웨이퍼 처리장치(2)로부터 취출해서, 취출된 웨이퍼(4)를 준비공간(9)으로 이동시켜 FOUP(5)에 재수용한다. 구체적으로는, 웨이퍼 이재 장치(3)는, FOUP 오프너(6; 이하, 오프너(6)라 칭함)와, 로봇(7)과, 준비공간(9)을 형성하는 준비공간 형성 벽을 포함한다. FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)은 바깥쪽 공간(13)에 대해 밀폐된 공간으로서, 먼지 입자가 극히 적은 상태로 유지된다.
준비공간 형성 벽의 일부인 메인 프레임(8)에는 웨이퍼(4)가 통과할 수 있는 웨이퍼 측 개구가 형성된다. 오프너(6)는 메인 프레임(8)에 고정되어, 바깥쪽 공간(13)에서 FOUP(5)를 지지하는 FOUP 지지부(11)가 형성된다. 또, 오프너(6)는, 웨이퍼측 개구를 막는 오프너 측 도어를 가져, 준비공간(9)을 바깥쪽 공간에 대해 밀폐할 수가 있다.
오프너(6)는, 외기의 침입을 막은 상태에서, FOUP(5)의 FOUP 측 도어와 오프 너(6)의 오프너 측 도어를 개방해서, FOUP 내의 공간(12)과 준비공간(9)을 연통시킨다. 이 상태에서, 로봇(7)이 FOUP(5)로부터 웨이퍼 처리장치(2)에 웨이퍼(4)를 반송함과 더불어, 웨이퍼 처리장치(2)로부터 FOUP(5)로 웨이퍼(4)를 반송한다. 또 오프너(6)가 FOUP 측 도어와 오프너 측 도어를 폐쇄함으로써, FOUP(5) 내의 공간(12)과 준비공간(9)이 바깥 공기로부터 밀폐되어, 반도체 처리장치(1)로부터 FOUP(5)를 분리 가능한 상태가 되도록 한다.
일본국 특표 제2005-525688호 공보에 개시되어 있는 종래기술에서는, 메인 프레임(8)은, 표면으로 되는 프론트 페이스(8a)에 오프너(6)를 구성하는 부품이 고정이 된다. 또, 메인 프레임(8)은, 이면으로 되는 리어 페이스(8b)에 로봇(7)을 구성하는 부품이 고정이 된다.
이와 같은 종래기술의 웨이퍼 이재 장치(3)의 로봇(7)은, 웨이퍼 이재 시에 로봇 핸드를 동작시키기 위해 발생하는 힘의 반력이 웨이퍼 이재 장치(3)의 메인 프레임(8)에 전해지는 것을 막기 위해, 로봇 핸드를 지지하는 기부(10)의 강성이 커지도록 구성된다. 이에 의해 로봇 핸드에서 발생하는 힘의 반력이 메인 프레임에 전해지는 것을 막는다.
앞에서 설명한 종래기술에서는 로봇(7)의 기부(10)는, 메인 프레임(8)에의 고정상태와 관계없이, 로봇(7)에 의한 기판 이재 동작을 실행하기 위해, 고정시키려는 임의의 방향에 대한 강성이 높게 설정된다. 그 결과, 로봇(7)의 기부(10)를 구성하는 부품이 증가함과 더불어 로봇(7)의 기부(10)의 형상이 커지게 된다고 하는 문제가 있다. 또, 복수의 방향에 대한 강성을 높여주기 위해, 로봇(7)의 생산비 용이 증대하고 만다고 하는 문제가 있다.
또, 로봇(7)의 기부(10)의 강성을 높게 하여도, 메인 프레임(8)의 강성이 낮은 경우에는, 로봇(7)으로부터 부여되는 힘에 의해 메인 프레임(8)이 변형되는 변형량이 허용 변형량을 넘어버려, 로봇 핸드가 바라지 않게 변위되어, 웨이퍼의 반송에 문제가 생길 염려가 있다. 역으로 메인 프레임(8)의 강성이 높은 경우에는, 로봇(7)의 기부(10)의 강성이 필요 이상으로 높아지게 된다. 이 경우, 웨이퍼 이재 장치(3)의 진동 억제에 관한 품질이 과잉으로 되어, 구조의 간이화, 경량화 및 저비용화를 저해하는 요인으로 되고 만다. 이와 같은 문제는, 웨이퍼 이재 장치 이외에, 예컨대 유리기판을 반송하는 유리기판 이재 장치에서도 마찬가지로 생기게 된다.
따라서 본 발명의 목적은, 기판 반송에 불편이 생기는 것을 막고, 기판 이재 장치의 구조를 간단화할 수 있는 기판 이재 장치의 반송계 유닛을 제공하는 것이다.
이상과 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은, 기판 처리 장치에 대해 기판을 반송하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 이 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 반송계 유닛으로서,
(a) 상기 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 프레임체와,
(b) 로봇 본체와, 이 로봇 본체를 상기 프레임체에 고정하는 로봇 기부를 갖고서, 기판을 반송할 수 있도록 된 로봇과,
(c) 상기 프레임체에 고정되는 기판 용기 오프너를 포함하여 이루어지되,
상기 프레임체는, 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 프레임체에 고정된 상기 로봇 및 상기 기판 용기 오프너가 상기 기판 이재 장치의 일부로서 정해진 위치에 각각 배치되도록 형성되고, 상기 로봇 기부를 매개로 상기 로봇 본체로부터 상기 프레임체에 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 로봇의 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 가진 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 로봇과 기판 용기 오프너가 프레임체에 고정된 상태에서 반송계 유닛을 구성한다. 로봇 본체가 기판을 반송하기 위해 필요한 힘을 생기게 함으로써, 로봇 기부에는 로봇 본체로부터 반력이 부여된다. 로봇 기부는 로봇 본체로부터 부여된 반력을 프레임체에 부여한다. 프레임체는, 로봇 기부를 매개로 로봇 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 로봇 기부의 강성을 인수해서, 로봇 기부가 로봇 허용 변형량을 넘어 변형되는 것을 막는 강성을 갖게 된다.
이에 의해 로봇 기부가 로봇 본체로부터 부여되는 힘을 프레임체에 전한다고 하여도, 기판의 이재 시에 로봇 본체가 바라지 않게 변위되는 것을 막아, 기판을 이재할 수가 있다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 로봇의 기부에 강성을 필요로 하지 않기 때문에, 로봇의 기부를 구성하는 부품을 간소화함과 더불어, 로봇의 기부의 구조를 간 단화할 수가 있어, 로봇의 생산비용을 줄일 수가 있게 된다. 또, 프레임체의 강성을 높이는 것은, 로봇의 강성을 높게 하기보다도, 단순한 구성으로 용이하게 실현할 수가 있고, 그 강성 향상 효과도 크다. 또 프레임체의 강성을 높게 함으로써, 로봇이 바라지 않게 변위되는 것이 막아져, 기판 이재 시에 로봇에 의한 문제가 생기는 것을 막을 수가 있다. 따라서 로봇의 기부의 강성을 저하시키더라도, 기판 이재 장치의 진동 억제에 관한 품질의 저하가 막아져, 품질을 유지하면서도 구조의 간소화, 경량화 및 저비용화를 도모할 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 로봇 기부는, 프레임체에 고정되지 않은 상태에서는, 로봇 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 상기 로봇 허용 변형량을 넘는 변형을 허용하는 강성을 갖게 된다. 따라서 로봇 기부는, 로봇 본체와 프레임체을 연결하는 데에 필요한 강성을 가지면 충분해서, 로봇 기부의 강성을 저감시킬 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 기판 용기 오프너는 오프너 본체와, 오프너 본체를 상기 프레임체에 고정하는 오프너 기부를 갖되, 오프너 기부는, 오프너 본체로부터 부여되는 힘이 프레임체에 전해지는 것을 허용하고, 상기 프레임체는, 오프너 기부를 매개로 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 오프너 허용 변형량을 넘어 오프너 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 갖게 된다.
본 발명에 의하면, 오프너 본체가 기판 이재 시에 필요한 힘을 생기기게 함으로써, 오프너 기부에는 오프너 본체로부터 반력이 부여되게 된다. 오프너 기부는, 오프너 본체로부터 부여된 반력을 프레임체에 부여한다. 프레임체는, 오프너 기부를 매개로 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 오프너 기부의 강성을 인 수해서, 오프너 기부가 오프너 허용 변형량을 넘어 변형되는 것을 막는 강성을 갖게 된다.
이에 의해 오프너 기부가 오프너 본체로부터 부여되는 힘을 프레임체에 전했다고 하더라도, 기판의 이재 시에 오프너 본체가 바라지 않게 변위되는 것을 막아, 기판을 이재할 수가 있다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 기판 용기 오프너의 기부에 강성을 필요로 하지 않기 때문에, 오프너의 기부를 구성하는 부품을 간소화함과 더불어, 오프너 기부의 구조를 간단화할 수가 있어, 오프너의 생산비용이 줄여질 수가 있다. 또 프레임체의 강성을 높이는 것은, 오프너의 강성을 높이는 것보다도, 단순한 구성으로 용이하게 실현할 수가 있고, 그 강성 향상 효과도 크다. 또 프레임체의 강성을 높게 함으로써 오프너가 바라지 않게 변위되는 것이 막아져, 기판 이재시에 오프너에 의한 문제가 생기는 것을 막을 수가 있다. 따라서 오프너의 기부의 강성을 저하시켜도, 기판 이재 장치의 진동 억제에 관한 품질의 저하가 막아져, 품질을 유지하면서도 구조의 간소화, 경량화 및 저비용화를 도모할 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 상기 오프너 기부는, 프레임체에 고정되지 않은 상태에서는, 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 상기 오프너 허용 변형량을 넘어 변형되는 것을 허용하는 강성을 갖는다. 따라서 오프너 기부는, 오프너 본체와 프레임체을 연결하는 데에 필요한 강성을 갖기만 하면 충분해서, 오프너 기부의 강성을 저감시킬 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 상기 오프너 본체는, 기판이 수용되는 기판 용기를 지지하 는 용기 지지부를 갖는다.
또 바람직하기는, 상기 프레임체는 용기 지지부 중에서 기판 이재 장치의 바깥쪽 공간으로 노출되는 측면과 대략 동일한 평면에 놓이는 측면을 갖는다.
본 발명에 의하면, 프레임체가, 용기 지지부 중에서 기판 이재 장치의 바깥쪽 공간으로 노출되는 측면에 대해, 대략 동일한 평면에 놓이는 측면을 가짐으로써, 프레임체를 내부공간에 대해 바깥쪽 공간으로 돌출시켜 프레임체를 대형화할 수가 있어서, 프레임체로서 필요한 강성을 용이하게 확보할 수가 있다. 또, 프레임체에 내부공간이 형성되는 경우, 그 내부공간을 크게 할 수가 있어, 내부공간에 수용가능한 부품 및 장치를 늘릴 수가 있다.
이와 같이 본 발명에 의하면, 프레임체가, 기판 용기 오프너의 용기 지지부 중에서 기판 이재 장치의 바깥쪽 공간으로 노출되는 측면에 대해, 대략 동일한 평면에 놓이는 측면을 갖는다. 이에 의해, 기판 이재 장치의 내부공간을 크게 하지 않고 프레임체를 대형화할 수가 있어, 프레임체로서 필요한 강성을 용이하게 확보할 수가 있다. 또 오프너 본체로부터 프레임체에 부여되는 힘으로 로봇이 바라지 않게 변위되는 것을 보다 확실하게 막을 수가 있어, 로봇에 의한 기판의 이재를 보다 더 확실하게 실행할 수가 있다.
또 바람직하기는, 로봇 및 기판 용기 오프너는 프레임체로부터 착탈될 수 있게 구성된다.
본 발명에 의하면, 로봇 및 기판 용기 오프너 등의 모듈이 착탈될 수 있게 구성되기 때문에, 그들이 손상된 경우에는 손상된 모듈만을 교환할 수 있어, 반송 계 유닛 전체를 교환할 필요가 없기 때문에, 편리성을 향상시킬 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 로봇 기부는 프레임체 중 연직으로 뻗은 평면에 고정된다.
본 발명에 의하면, 로봇이 수평방향으로 기판을 반송하는 경우, 로봇 기부는 로봇 본체로부터 주로 수평방향으로 힘을 받아 그 받은 힘을 프레임체에 부여한다. 로봇 기부가 프레임체의 연직인 평면에 고정됨으로써, 로봇과 프레임체를 강고하게 연결할 수가 있어, 로봇의 동작이 불안정으로 되는 것을 막을 수가 있다. 또, 로봇 본체에서 발생한 힘을 프레임체에 의해 충분히 지탱할 수가 있다.
또 바람직하기는, 상기 프레임체가 본체 구성체에 장착된 경우에, 로봇 중 프레임체에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간과, 로봇 중 프레임체에 대해 고정되는 기부가 배치되는 고정공간을 구획하는 칸막이체를 더 포함한 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 칸막이체에 의해 가동공간과 고정공간을 구획함으로써, 고정공간으로부터 가동공간으로 먼지 입자가 이동하는 것이 막아져, 가동공간을 클린한 상태로 유지할 수 있다. 또, 고정공간으로부터 가동공간으로 먼지 입자가 이동하는 것을 막을 수가 있기 때문에, 고정공간에 배치되는 구성부품, 예컨대 로봇의 기부에 대해, 먼지 입자의 발생을 방지하기 위한 표면처리나 먼지가 비산하는 것을 방지하는 커버 등이 필요 없게 할 수 있어, 제조비용을 억제할 수 있게 된다.
또 바람직하기는, 상기 프레임체에는 출입용 도어가 형성되어, 본체 구성체에 장착된 상태에서 출입용 도어가 개방상태로 됨으로써, 기판 처리장치의 바깥쪽 공간과 상기 고정공간을 직접 연통시키게 된다.
본 발명에 의하면, 출입용 도어를 개방함으로써, 작업자가 가동공간에 침입하지 않고 바깥쪽 공간으로부터 진입공간으로 직접 진입해서, 고정공간에 배치되는 각 부품을 보수유지할 수가 있어, 편리성을 향상시킬 수가 있다. 또 칸막이체에 의해, 보수유지시에 고정공간에서 발생한 먼지 입자가 가동공간으로 이동하는 것이 막아 짐으로써, 가동공간의 청정도의 악화를 억제할 수 있다. 이에 의해 보수유지 후에 단시간에 가동공간의 청정도를 회복할 수가 있어, 작업효율을 향상시킬 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 고정공간에는 기판 이재 장치를 조정하기 위한 조정수단이 출입용 도어의 개구부 근방에 배치된다.
본 발명에 의하면, 출입용 도어를 개방함으로써, 고정공간의 안쪽으로 진입하지 않고, 작업자가 고정공간의 앞쪽에서 조정수단을 조작할 수가 있어, 고정공간에서의 작업을 용이하게 실행할 수 있다. 또 작업자는, 고정공간의 안쪽에 진입하는 것을 막을 수가 있기 때문에, 고정공간에서 발생하는 먼지 입자를 억제할 수가 있어, 결과적으로 고정공간으로부터 가동공간으로 이동하는 먼지 입자를 억제할 수가 있다.
또 본 발명은, 바람직하기는, 본체 구성체로부터 분리된 상태에서, 기판 이재 장치의 일부로서 동작할 때와 같은 동작이 가능하다.
본 발명에 의하면, 반송계 유닛을 완성시킨 상태에서, 기판 이재 장치로 조립하기 전에 기판의 반송에 관련한 동작 검사를 실행할 수가 있다. 동작 검사가 완료된 반송계 유닛을 본체 구성체에 장착해서 기판 이재 장치를 완성시킴으로써, 기 판 이재 장치로 조립한 후의 동작 검사를 간략화할 수가 있다. 이에 의해 기판 이재 장치로 조립되고 나서 기판 이재 장치로서 가동될 수 있는 상태로 되기까지의 시간을 단축할 수가 있음과 더불어, 품질을 향상시킬 수가 있다.
본 발명은 상기 기판 이재 장치의 반송계 유닛을 구비하는 기판 이재 장치이다.
본 발명에 의하면, 앞에서 설명한 반송계 유닛을 기판 이재 장치가 구비함으로써, 로봇 기부의 강성을 저감시킬 수가 있게 된다. 또 프레임체의 강성을 높이는 것이, 로봇의 강성을 높게 하기보다도, 단순한 구성으로 용이하게 실현할 수가 있고, 그 강성의 향상효과도 크다.
본 발명은, 기판 처리장치에 대해 기판을 반송하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 상기 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 반송계 유닛으로서,
(a) 상기 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 프레임체와,
(b) 로봇 본체와, 이 로봇 본체를 상기 프레임체에 고정하는 로봇 기부를 갖고서, 기판을 반송할 수 있게 된 로봇과,
(c) 상기 프레임체가 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간과, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 고정되는 상기 로봇 기부가 배치되는 고정공간을 구획하는 칸막이체를 갖춘 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛이다.
본 발명에 의하면, 칸막이체에 의해, 가동공간과 고정공간을 구획함으로써, 고정공간으로부터 가동공간으로 먼지 입자가 이동하는 것이 막아져, 가동공간을 클린한 상태로 유지할 수가 있다. 또, 고정공간으로부터 가동공간으로 먼지 입자가 이동하는 것을 막을 수가 있기 때문에, 고정공간에 배치되는 구성부품, 예컨대 로봇의 기부에 대해, 먼지 입자의 발생을 방지하기 위한 표면처리나 먼지비산방지용 커버 등을 필요 없게 할 수 있어, 제조비용을 억제할 수가 있다. 이와 같이 칸막이체를 설치함으로써, 기판 반송시에 먼지 입자가 부착하는 데에 기인하는 기판 반송의 불편을 막음과 더불어, 기판 이재 장치의 구조를 간단화할 수가 있다.
또 바람직하기는, 상기 로봇은, 상기 가동공간으로 노출되는 가동공간 노출부분 쪽이, 상기 고정공간으로 노출되는 고정공간 노출부분보다도, 저발진(低發塵) 처리가 실시된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 로봇의 가동공간 노출부분이, 기판을 반송하는 가동공간으로 노출되는 부분인바, 저발진 처리가 실시됨으로써 로봇의 가동공간 노출부분에서 발생한 먼지 입자가 기판에 부착되는 것을 막을 수가 있다. 또 로봇의 고정공간 노출부분은, 저발진 처리가 실시되지 않아도, 가동공간에 대해 구획된 고정공간에 배치됨으로써, 로봇의 고정공간 노출부분에서 발생한 먼지 입자가 기판에 부착되는 것을 막을 수가 있다. 이와 같이 본 발명에서는, 고정공간 노출부분의 저발진 처리를 하는 정도를, 가동공간 노출부분에 비해 높게 할 필요가 없기 때문에, 기판에 먼지가 부착되는 것을 막아, 로봇을 간소화해서 제조비용을 줄일 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 상기 프레임체에는 출입용 도어가 형성되어, 본체 구성체에 장착된 상태에서 출입용 도어가 개방상태로 됨으로써, 기판 처리장치의 바깥쪽 공간과 상기 고정공간을 직접 연통시킨다.
본 발명에 의하면, 출입용 도어를 개방함으로써, 작업자는 가동공간으로 진입하지 않고 바깥쪽 공간으로부터 진입공간으로 직접 진입해서, 고정공간에 배치되는 각 부품을 보수유지할 수가 있어, 편리성을 향상시킬 수가 있다.
또 칸막이체에 의해, 보수유지시에 고정공간에서 발생한 먼지 입자가 가동공간으로 이동하는 것을 막음으로써, 가동공간의 청정도의 악화를 억제할 수가 있다. 이에 의해 보수유지 후 단시간에 가동공간의 청정도를 회복할 수가 있어, 작업효율을 향상시킬 수가 있게 된다.
또 바람직하기는, 상기 고정공간에는, 기판 이재 장치를 조정하기 위한 조정수단이 출입용 도어의 개구부 근방에 배치된다.
본 발명에 의하면, 출입용 도어를 개방함으로써, 고정공간의 안쪽으로 진입하지 않고서, 작업자가 고정공간의 앞쪽에서 조정수단을 조작할 수가 있어, 고정공간에서의 작업을 용이하게 실행할 수가 있다. 또 작업자는 고정공간의 안쪽으로 진입하는 것을 막을 수 있기 때문에, 고정공간에서 발생하는 먼지 입자를 억제할 수가 있고, 그 결과 고정공간으로부터 가동공간으로 이동하는 먼지 입자를 억제할 수가 있다.
도 1 내지 도 3에 도시된 본 발명의 한 실시형태인 반도체 처리 설비(20)는, 처리 대상 기판으로 되는 반도체 웨이퍼(24)에 대해 미리 정해진 처리를 실행한다. 예컨대 반도체 웨이퍼(24)에 실시되는 처리로서는, 열처리, 불순물 도입 처리, 박막 형성 처리, 석판 인쇄 처리, 세정처리, 또는 평탄화처리 등의 여러 가지 프로세스 처리를 생각할 수 있다. 또 반도체 처리 설비는 앞에서 설명한 기판 처리 이외의 기판 처리가 행해져도 좋다.
반도체 처리 설비(20)는, 청정도가 높은 분위기 기체로 채워진 처리 공간(30) 내에서 앞에서 설명한 기판 처리를 실행한다. 웨이퍼(24)는, FOUP(25)라 칭해지는 기판 용기에 복수 매가 수용된 상태에서 반도체 처리 설비(20)로 반송된다.
도 4에 도시된 것과 같이, FOUP(25)는, 웨이퍼(24)가 수용되는 용기 본체로 되는 FOUP 본체(60)와, FOUP 본체(60)에 대해 착탈될 수 있게 형성된 용기 측 도어로 되는 FOUP 측 도어(61)를 포함해서 구성된다. FOUP 본체(60)는 미리 설정되는 정면 방향(W)으로 개방되는 대략 상자모양으로 형성되고, 웨이퍼 수용공간으로서 FOUP 내 공간(34)이 형성된다. FOUP 본체(60)는 정면 방향 측으로 노출되는 FOUP 측 개구부(62)가 형성되고, FOUP 측 개구부(62)에 의해 FOUP 내 공간(34) 중에서 정면 방향(W)의 영역으로 되는 FOUP 측 개구(63)가 형성된다. FOUP 측 도어(61)는 판상으로 형성되고서, FOUP 본체(60)에 대해 착탈될 수 있게 구성된다. FOUP 측 도어(61)는 FOUP 본체(60)에 장착됨으로써, FOUP 측 개구부(62)에 닿아 FOUP 측 개구부(62)를 막는다. 또 FOUP 측 도어(61)는 FOUP 본체(60)로부터 떼어짐으로써, FOUP 측 개구부(62)로부터 떨어져 FOUP 측 개구부(62)를 열게 된다.
FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)에 장착됨으로써, FOUP 본체(60)에 형성되는 FOUP 내 공간(34)이 바깥쪽 공간(33)에 대해 밀폐되어, 바깥쪽 공간(33)으로부 터 먼지 입자 등의 오염물질이 FOUP 내 공간(34)으로 침입하는 것을 막아준다. 따라서, FOUP 내 공간(34)이 청정도가 높은 상태에서 FOUP 측 도어(61)가 장착됨으로써, FOUP 내 공간(34)이 청정도가 높은 상태로 유지된다. 또, FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)를 개방함으로써, FOUP 내 공간(34)에 웨이퍼(24)를 수용할 수 있음과 더불어, FOUP 내 공간(34)으로부터 웨이퍼(24)를 취출할 수도 있게 된다.
도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 반도체 처리 설비(20)는 웨이퍼 처리장치(22)와 웨이퍼 이재 장치(23)를 포함해서 구성된다. 웨이퍼 처리장치(22)는, 상기 처리 공간(30)에서 웨이퍼(24)에 미리 정해진 처리를 실시한다. 웨이퍼 처리장치(22)는, 웨이퍼(24)에 처리를 실시하는 처리장치 본체 외에, 처리 공간(30)을 형성하는 복수의 처리 공간 형성 벽, 처리 공간(30)에서 웨이퍼(24)를 반송하는 반송장치, 처리 공간(30)에 채워지는 분위기 기체를 제어하는 조정 장치 등을 갖는다.
웨이퍼 이재 장치(23)는 처리 전의 웨이퍼(24)를 FOUP(25)으로부터 취출해서 웨이퍼 처리장치(22)로 공급함과 더불어, 처리 후의 웨이퍼(24)를 웨이퍼 처리장치(22)로부터 취출해서 FOUP(25)에 재수용한다. 웨이퍼 이재 장치(23)는 장치 프론트 엔드 모듈(Equipment Front End Module, 약칭 EFEM)이라 칭해지는 것으로, 반도체 처리 설비(20) 중에서, FOUP(25)와 웨이퍼 처리장치(22) 사이에서의 웨이퍼(24)의 수도(受渡)를 담당하는 인터페이스부로 된다. 웨이퍼(24)는, FOUP 내 공간(34)과 웨이퍼 처리장치(22)의 처리 공간(30) 사이를 이동하는 동안에, 미리 정해진 분위기 기체로 채워진 청정도가 높은 준비공간(29)을 통과한다.
웨이퍼 이재 장치(23)는, 상기 준비공간(29)을 형성하는 복수의 준비공간 형 성 벽(28)과, 프레임(64)과, 준비공간(29)에 배치되어 웨이퍼를 반송할 수 있는 로봇(27)과, FOUP(25)를 개폐하는 FOUP 오프너(26; 이하 오프너(26)라 칭함)와, 준비공간(29)에 채워지는 분위기 기체를 제어하는 조정 장치를 포함한다. 또 본 실시형태에서는, 웨이퍼 이재 장치(23)는, 미리 정해진 보유지지 위치에 보유지지되는 웨이퍼(24)의 방향을 정돈하는 얼라이너(56)를 더 포함한다.
준비공간 형성 벽(28)은 준비공간(29)을 에워싸고서 바깥쪽 공간(33)으로부터 외기가 준비공간(29)으로 침입하는 것을 막아준다. 프레임(64)에는 웨이퍼(24)를 반송하는 데에 필요한 각 반송계 요소가 각각 고정된다. 본 실시형태에서는 프레임(64)은 2개의 오프너(26)와, 1개의 로봇(27)과, 1개의 얼라이너(56)가 각각 고정된다.
이와 같이 FOUP(25)는 극소 클린화 기술에 관한 것으로, 청정 환경에서의 미니엔바이론먼트(Minienvironment)용 기판 용기이다. 오프너(26)는, FOUP(25)를 개폐하는 개폐장치로 되는 이른바 FOUP 오프너라 칭해진다. FOUP(25) 및 오프너(26)의 구성의 일부에 대해서는, 예컨대 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 따라 미리 규정된다. 이 경우, 예컨대 FOUP(25) 및 오프너(26)는 SEMI 규격의 E47.1, E15.1, E57, E62, E63, E84 등의 사양에 따른다. 단, FOUP(25) 및 오프너(26)의 구성이 SEMI 규격 외의 구성이어도 본 실시형태에 포함된다.
각 오프너(26)는 정면 벽(28a)의 일부와, 오프너 측 도어(65)와, FOUP 지지부(31)와, 오프너 측 도어 구동기구(66)와, 기부(67)를 포함해서 구성된다. FOUP 지지부(31)는 준비공간(29) 및 처리 공간(30)의 밖으로 되는 바깥쪽 공간(33)에 배치되어, 반송되는 FOUP(25)를 지지한다. 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)는, 지지하는 FOUP(25)의 정면 방향(W)이 수평이 되도록 FOUP(25)를 하방으로부터 지지한다. FOUP 지지부(31)는, FOUP(25)를 지지한 상태에서 FOUP(25)를 그 정면 방향(W)으로 변위 구동해서, 미리 정해진 웨이퍼 이재 위치에 FOUP(25)를 위치결정해서 지지할 수 있게 구성된다. 각 오프너(26)의 기부(67)는 프레임(64)에 고정된다. 각 오프너(26) 중에서 기부(67) 이외를 오프너 본체로 하면, 오프너 본체는 기부(67)를 매개로 프레임(64)에 고정된다.
이하, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)에 설정되는 정면 방향으로 되는 방향을 전방(X1)으로 하고, 전방(X1)과 방향이 반대인 방향을 후방(X2)이라 칭한다. 또, 전방(X1) 및 후방(X2)을 포함한 방향을 전후방향(X)이라 칭한다. 또 상하방향을 Z로 하고, 전후방향(X) 및 상하방향(Z)에 함께 수직인 방향을 좌우방향(Y)이라 칭한다.
정면 벽(28a)은 준비공간 형성 벽(28)의 일부를 구성하는 판상 부재이다. 정면 벽(28a)을 사이에 두고 전방(X1)의 공간이 준비공간(29)으로 되고, 정면 벽(28a)을 사이에 두고서 후방(X2)의 공간이 바깥쪽 공간(33)으로 된다. 정면 벽(28a)은, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)에 대해 전방(X1)에 배치되고, FOUP 측 개구부(62)에 대향한다. 본 실시형태에서는, 정면 벽(28a)은, FOUP 지지부(31)가 FOUP(25)를 올려놓는 승재면으로부터 연직방향 상방(Z1)으로 뻗음과 더불어, 전후방향(X)에 수직으로 뻗는다.
로봇(27)은 본 실시형태에서는 수평 다관절 로봇에 의해 실현된다. 로봇(27)은 준비공간(29)에 배치되어, 웨이퍼(24)를 파지가능한 로봇 핸드(40)와, 로봇 핸드(40)를 변위이동시키기 위한 로봇 아암(41)과, 로봇 아암(41)을 상하방향(Z)으로 변위구동시키는 상하 구동체(42)와, 상하 구동체(42)를 프레임(64)에 고정하는 기부(43)와, 로봇 아암(41) 및 상하 구동체(42)를 제어하는 콘트롤러(44)를 포함해서 구성된다.
콘트롤러(44)에 의해 로봇 아암(41) 및 상하 구동체(42)를 제어함에 따라, 로봇 핸드(40)에 파지된 웨이퍼(24)를 이동시킬 수가 있다. 기부(43) 이외를 로봇 본체(27A)로 하면, 로봇 본체(27A)는 기부(43)를 매개로 프레임(64)에 고정된다.
로봇 핸드(40)는, 오프너(26)가 FOUP(25)를 연 상태에서, FOUP(25)의 FOUP 내 공간(34)에 침입해서, FOUP(25)에 수용되는 웨이퍼(24)를 파지한다. 다음에, 로봇 핸드(40)는 준비공간(29)을 통과해서, 반도체 처리장치(22)의 처리 공간(30)에 침입하여, 파지한 웨이퍼(24)를 미리 설정된 웨이퍼 배치위치에 이재한다. 또 로봇 핸드(40)는 처리 공간(30)에 침입해서 웨이퍼 배치위치에 파지되는 웨이퍼(24)를 파지한다. 다음에, 로봇 핸드(40)는 준비공간(29)을 통과해서 FOUP 내 공간(34)으로 침입하여, 파지한 웨이퍼(24)를 FOUP(25)의 수용 위치로 이재한다.
본 실시형태에서는, 2개의 오프너(26)가 각각 설치되기 때문에, 로봇 핸드(40)는, 각 오프너(26)의 각각의 FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25) 각각에 대해 웨이퍼(24)가 출입할 수 있게 설정된다. 또 로봇 핸드(40)는 FOUP(25)으로부터 취출한 웨이퍼(24)를, 얼라이너(56)에 설정되는 보유지지위치에 배치할 수 있음 과 더불어, 얼라이너(56)의 보유지지위치로부터 취출한 웨이퍼(24)를 처리장치(22)에 배치할 수 있게 된다. 또 상하 구동체(42)는 프레임(64)에 고정된 상태에서 연직방향으로 뻗도록 되어 있다.
얼라이너(56)는 웨이퍼(24)를 지지하는 보유지지부를 갖고서, 보유지지부에 보유지지된 웨이퍼(24)를 회전시켜, 웨이퍼(24)에 형성된 노치 또는 오리후라가 미리 정해진 방향을 향하도록 위치맞춤을 한다. 위치맞춤이 된 웨이퍼(24)를 로봇 핸드(40)가 파지함으로써, 웨이퍼(24)의 방향을 정돈해서 처리장치(22)에 배치할 수가 있다. 이에 의해 처리장치(22)는, 웨이퍼(24)의 방향이 가지런해진 상태에서, 미리 정해진 처리를 실행할 수 있다.
도 5는 웨이퍼 이재 장치(23)를 나타낸 측면도이고, 도 6은 웨이퍼 이재 장치(23)의 일부를 나머지 부분으로부터 분리시킨 상태를 나타낸 측면도이다. 도 5 및 도 6에는 FOUP(25)가 장착되어 있지 않은 상태가 나타나 있다. 본 실시형태에서는, 웨이퍼 이재 장치(23)는 반송계 유닛(21)과, 나머지 부분인 본체 구성체(51)로 분할될 수 있게 형성된다. 구체적으로는, 반송계 유닛(21)은 웨이퍼 이재 장치(23)의 본체 구성체(51)에 대해 착탈될 수 있게 형성되고서, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)에 장착됨으로써, 웨이퍼 이재 장치(23)로 완성이 된다.
본체 구성체(51)는 준비공간 형성 벽(28)의 일부를 구성함과 더불어, FFU(팬 필터 유닛) 및 표시등 등으로 구성된다. 본체 구성체(51)는 반송계 유닛(21)에 비해 요구되는 조립 정밀도가 낮다. 이에 대해, 반송계 유닛(21)은 기계적인 반송계 요소가 모두 조립되어 있고, 요구되는 조립 정밀도가 높다.
반송계 유닛(21)은, 웨이퍼 이재 장치(23)의 프레임(64)의 일부로 되는 프레임 분할체(50)와, 웨이퍼(24)의 반송에 필요한 반송계 요소를 구비한다. 반송계 요소는 프레임 분할체(50)에 고정된다. 본 실시형태에서, 반송계 요소는 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)로 이루어진다. 각 반송계 요소는 콘트롤러(44)에 의해 각각 제어된다. 콘트롤러(44)는 필요에 따라 기능을 추가함으로써, 로봇(27)을 제어하는 로봇 콘트롤러와, 오프너(26)을 제어하는 오프너 구동용 제어 콘트롤러와, 얼라이너(56)를 제어하는 얼라이너 구동용 콘트롤러와, 웨이퍼 이재 장치 전체를 제어하는 EFEM용 콘트롤러와, EFEM용 인터록으로의 역할을 겸하도록 확장할 수 있게 하여도 좋다.
도 5 및 도 6에 도시된 것과 같이, 반송계 유닛(21)은, 웨이퍼 이재 장치(23)로 완성한 후에도, 본체 구성체(51)로부터 분리될 수가 있다. 구체적으로는, 웨이퍼 이재 장치(23)의 정면 벽의 일부가 프레임 분할체(50)로 되어, 프레임 분할체(50)가 본체 구성체(51)에 형성되는 정면측 개구를 막는다. 정면측 개구는, 웨이퍼 이동방향(X)에 수직인 투영면에서의 로봇(27)의 최소 외형 형상보다도 크게 형성된다.
반송계 유닛(21)을 본체 구성체(51)로부터 분리시켜 웨이퍼 이동방향(X)으로 슬라이드시키면, 로봇(27) 및 오프너(26)가 본체 구성체(51)의 정면측 개구를 통과해서, 로봇(27) 및 오프너(26)가 준비공간(29)으로부터 외부 공간(33)으로 이동한다. 이에 의해, 웨이퍼 이재 장치(23)가 고장이 난 경우 등에, 각 반송계 요소(26, 27, 56)를 외부공간(33)으로 이동시킨 상태에서, 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 동 작을 확인할 수가 있다. 즉, 준비공간(29)에 비해 충분히 넓은 외부공간(33)으로 반송계 유닛(21)을 인출한 상태에서, 로봇(27)과 오프너(26)의 동작 확인을 실행할 수 있다. 이에 의해 고장 난 곳의 발견과, 고장 난 곳의 수리를 용이하게 실행할 수 있다. 또 준비공간(29)으로부터 취출한 상태에서 조립, 보수유지를 할 수가 있기 때문에, 반송계 유닛(21)에 포함되는 각 반송계 요소(26, 27, 56)를 긴밀하게 집약해서 배치할 수가 있어, 준비공간(29)을 소형으로 구성할 수가 있다.
또 각 구성요소(26, 27, 56)는 프레임 분할체(50)로부터 착탈될 수 있게 구성된다. 이에 의해 로봇(27) 및 FOUP 오프너(26)가 손상된 경우에는, 손상된 모듈만을 교환할 수가 있어, 반송계 유닛 전체를 교환할 필요가 없기 때문에, 편리성을 향상시킬 수가 있다.
도 7은 도 3에 도시된 화살표 A7-A7 선으로 절단해서 반송계 유닛(21)을 나타낸 단면도이다. 본 실시형태에서는, 프레임 분할체(50)는, 복수의 판상부재에 의해 에워싸인 입방체 상자모양으로 형성된 프레임 본체부(50a)와, 정면 벽(28a)의 일부를 형성하는 정면 벽 형성부(50b)를 포함한다. 프레임 분할체(50) 중 정면 벽 형성부(50b)는 오프너에 형성된 정면 벽의 일부를 지지함과 더불어, 정면 벽을 구성한다. 정면 벽 형성부(50b)는 프레임 본체부(50a)로부터 위쪽으로 돌출해서 형성되고서, FOUP 측 도어(61)가 삽통하는 오프너 측 개구(35)를 형성하는 오프너 측 개구부를 갖는다.
프레임 본체부(50a)는 입체형상으로 형성된다. 본 실시형태에서는, 상하방향(Z)에 수직인 평면으로 절단한 단면형상이 4각 테두리를 형성하는 4개의 측벽부 분과, 각 측벽부분에 의해 형성되는 4각 테두리의 상단부를 막는 상면 부분과, 4각 테두리의 하단부를 막는 하면 부분을 포함해서 구성된다. 4개의 측벽부분 중 대향하는 쌍의 측벽부분은 상호 간격을 벌리고서 좌우방향(Y)에 수직으로 각각 뻗고, 다른 1쌍의 측벽부분은 상호 간격을 벌려 전후방향(X)에 수직으로 각각 뻗는다. 또 프레임 본체부(50a)는 각 측벽부분과, 상면 부분과, 하면 부분에 의해 규정되는 내부공간(57)을 형성한다. 또 상면 부분에는 오프너 측 도어(65)를 내부공간(57)에 대해 출입하기 위한 개구가 형성된다.
내부공간(57)은 웨이퍼 이재 장치(23)에 형성되는 준비공간(29) 중 고정공간(78)의 일부를 구성한다. 또 내부공간(57)은 적어도 오프너(26)의 하방의 영역에 형성된다. 또 프레임 본체부(50a)는, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)에 장착된 상태에서, FOUP 지지부(31) 중에서 웨이퍼 이재 장치(23)의 바깥쪽 공간(33)에 노출되는 측면(300)과 대략 동일한 평면에 놓이는 측면을 갖는다. 이와 같이 본 실시형태에서는, 프레임 본체부(50a)가 H형강를 이용한 박스 구조로 형성된다.
4곳의 측벽부분 중에서, 전방(X1) 측의 측벽부분은, 로봇(27)의 기부(43)가 고정되는 로봇 고정부(53a)로 된다. 또 상면 부분은, 각 오프너(26)의 기부(67)가 고정되는 오프너 고정부(53b)로 된다. 이와 같이 프레임 분할체(50)는, 로봇(27) 및 각 오프너(26) 등의 반송계 요소를 각각 고정하는 고정부(53a, 53b)를 갖는다.
로봇(27)의 기부(43)는, 로봇(27)의 상하 구동체(42)가 연직방향으로 뻗어 상하 구동체(42)와 프레임 본체부(50a)가 대향한 상태에서, 상하 구동체(42)의 고정부분과 로봇 고정부(53a)를 연결한다. 따라서 로봇(27)은, 그 측방 부분에서 고 정되는 사이드 마운트 고정방식으로 프레임 분할체(50)에 고정된다.
본 실시형태에서, 로봇(27)의 기부(43)는 로봇 고정부(53a)의 좌우방향(Y) 중앙부분에 고정된다. 또 로봇(27)의 기부(43)는 로봇 고정부(53)의 전후방향(Z) 단부로부터 전후방향(Z) 타단부에 걸쳐 뻗어 있다. 또 로봇(27)의 기부(43)는 프레임 본체부(50) 중 상면 부분의 전방(Z1) 측 단부에도 고정된다. 이에 의해 로봇 핸드(40)를 이동시켰을 때 기부(43)에 부여되는 반력을 프레임 본체(50a)로 받을 수가 있다.
오프너(26)의 기부(67)는, 오프너(26)의 FOUP 지지부(31)의 하부면이 프레임 본체부(50a)의 상부면에 대향한 상태에서, FOUP 지지부(31)의 하면과 오프너 고정부(53b)를 연결한다. 따라서 오프너(26)는 하방부분에서 고정되는 보텀(bottom) 마마운트 고정방식으로 프레임 분할체(50)에 고정된다. 본 실시형태에서는 프레임 본체부(50a)의 오프너 고정부(53b)는 오프너(26)의 기부(67)를 매개로 FOUP 지지부(31)를 올려놓는다. 오프너 고정부(35b)는 FOUP 지지부(31)의 하부면 전체를 지지한다.
본 실시형태에서는, 로봇(27)의 기부(43)는 로봇 본체(27A)로부터 부여되는 힘을 로봇 고정부(53a)에 전한다. 마찬가지로 오프너(26)의 기부(67)는 오프너 본체로부터 부여되는 힘을 오프너 고정부(53b)에 전한다. 이에 대해, 프레임 본체부(50a)는 로봇(27) 및 오프너(26) 등에서 부여되는 외력에 대해 충분한 강성을 갖는다. 바꿔 말해, 로봇(27) 및 오프너(26) 등에서 부여되는 외력에 대한 변형이 충분히 작아지도록 설계된다. 다시 바꿔 말하면, 프레임 본체부(50a)는, 로봇(27)의 기부(43)와 오프너(26)의 기부(67)를 각각 고정한 상태에서는, 각 기부(43, 67)를 매개로 로봇(27) 및 오프너(26)로부터 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 로봇 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 갖게 된다.
따라서, 프레임 분할체(50)는, 각 고정부(53a, 53b)를 매개로, 로봇(27) 및 오프너(26)로부터 힘이 부여되더라도, 로봇 및 오프너를 강고하게 지지할 수 있는 강성을 갖게 된다. 프레임 본체부(50a)는, 로봇 핸드(40)의 선단부가 웨이퍼(24)를 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 로봇(27)이 변형되는 것을 막는 강성을 갖는다. 마찬가지로, 프레임 본체부(50a)는, 오프너(26)가 FOUP 측 도어(61)을 이재하기에 허용되는 오프너 허용 변형량을 넘어 오프너(26)가 변형되는 것을 막는 강성을 갖는다. 본 실시형태에서는, 로봇 허용 변형량 및 오프너 허용 변형량은 약 10㎛로 설정된다. 예컨대 로봇(27) 및 오프너(26)로부터 부여되는 반력에 대해 프레임 본체부(50a)의 변형량은, 수 미크론 이하로 되는 강성으로 설정된다. 또 로봇 허용 변형량 및 오프너 허용 변형량은 기판 이재 장치마다 상이한바, 앞에서 설명한 값 이외이어도 좋다. 본 실시형태에서, 프레임 본체부(50a)는 전후방향 치수(W)는 약 750mm이고, 좌우방향 치수(B)는 약 980mm이고, 상하방향(Z) 치수(H)는 약 580mm이다.
이와 같은 프레임 본체부(50a)의 치수 및 판 두께는 본 실시형태의 한 예로서, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대 좌우방향 치수(B)는 프레임 본체부(50a)에 고정되는 오프너(26)의 개수에 의해 변경될 수 있다. 또 프레임 본체부(50a)의 강 성을 향상시키기 위해, 내부공간(57)에 가교 등의 보강부재가 설치되어도 좋다. 또 프레임 본체부(50a)는, 복수의 봉상 부재에 의해 강성을 가진 프레임형상의 골조가 형성되고서 이 골조에 판상부재가 고정되어 내부공간(57)을 형성하는 구성이어도 좋다.
또 본 실시형태에서는, 프레임 본체부(50a)의 후방(X2) 단면은 오프너(26)의 FOUP 지지부(31)의 후방(X2) 단면과 대략 동일 평면에 놓이도록 형성된다. 또 프레임 본체부(50a)가 FOUP 지지부(31)의 하부면 전체를 지지한다. 이에 의해 웨이퍼 이재 장치(23)의 준비공간(29)을 크게 하지 않고, 프레임 본체부(50a)를 준비공간(29)에 대해 바깥쪽 공간(33)으로 돌출시켜, 프레임 본체부(50a)를 대형화할 수가 있어, 프레임 본체부(50a)로서 필요한 강성을 용이하게 확보할 수가 있다. 또 프레임 본체부(50a)의 내부공간(57)을 크게 할 수가 있어, 내부공간(57)에 배치할 수 있는 기기를 늘릴 수가 있다.
또 프레임 본체부(50a)의 하면 부분에는 바퀴(58)가 설치된다. 이에 의해 프레임 분할체(50)의 이동을 용이하게 실행할 수가 있다. 또 프레임 본체부(50a)에는 자립자세를 안정되게 유지하기 위한 각부가 설치된다. 또 프레임 본체부(50a)에는 본체 구성체(50)에 착탈될 수 있게 연결되는 장착부가 형성된다. 장착부는 프레임 본체부(50a)와 본체 구성체에 상호 형성되는 나사 결합부 또는 요철결합 등에 의해 실현된다. 이에 의해 프레임 분할체(50)가 본체 구성체(51)에 장착된 상태에서, 바라지 않게 프레임 분할체(50)가 본체 구성체(51)로부터 분리되는 것을 막을 수가 있다.
또 프레임 본체부(50a)는, 로봇(27) 중에서 프레임 분할체(50)에 대해 고정시킨 고정부분을 덮는 칸막이체(52)가 설치된다. 도 1에 도시된 것과 같이, 칸막이체(52)는, 프레임 분할체(50)가 본체 구성체(51)에 장착된 상태에서, 로봇(27) 중 프레임체에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간과, 로봇(27) 중 프레임체에 대해 고정되는 고정부분이 배치되는 고정공간을 구획한다. 본 실시형태에서는, 로봇 핸드(40)와 로봇 아암(41) 및 상하 구동체(42)의 가동부분의 동작영역이 가동공간으로 된다. 또 기부(43) 및 상하 구동체(42)의 고정부분이 배치되는 영역이 고정부분으로 된다. 본 실시형태에서는, 칸막이체(52)는, 프레임 본체부(50a)의 상부면 보다도 상방(Z2)의 위치를 웨이퍼 이재 방향(X)으로 뻗어 프레임 본체부(50a)에 대해 상방으로 되는 가동공간과, 프레임 본체부(50a)에 대해 웨이퍼 이재 방향으로 인접하는 공간으로 되는 고정공간을 구획한다. 가동공간은 웨이퍼가 이동하는 공간으로 된다.
도 8은 도 3에 도시된 화살표 A8-A8 선으로 절단해서 반송계 유닛(21)을 나타낸 단면도이다. 본 실시형태에서는, 프레임 본체부(50a)는, 얼라이너(56)가 고정되는 얼라이너 고정부(59)가 설치된다. 얼라이너 고정부(59)는 얼라이너(56)의 동작시에 얼라이너(56)로부터 힘이 부여되더라도, 본체 구성체(51)에 전해지는 것을 막을 수가 있는 강성을 갖는다.
이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 프레임 분할체(50)는 로봇(27)을 고정한 상태에서 로봇(27)으로부터 힘이 부여되더라도, 웨이퍼(24)를 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 로봇이 변형되는 것을 막는 강성을 갖게 된다. 또, 로 봇(27) 중에서 프레임 분할체(50)에 고정하기 위한 기부(43)는 낮은 강성을 가져, 프레임 분할체(50)에 고정되지 않은 상태에서는, 로봇 아암으로부터 힘이 부여되는 경우에, 상기 로봇 허용 변형량을 넘는 변형을 허용하는 강성을 갖는다. 이에 의해, 로봇(27)의 기부(43)가 로봇 본체(27A)로부터 부여되는 힘을 프레임 분할체(50)로 힘이 전해지도록 허용하였다 하여도, 프레임 분할체(50)에 고정되는 로봇(27)이 바라지 않게 변위되는 것을 막을 수가 있다. 따라서, 로봇(27)의 기부(43)는 로봇 본체(27A)와 로봇 고정체(53a)를 연결하는 기능을 가지면 충분하여, 기부(43)의 강성 및 질량을 저감시킬 수가 있게 된다. 또, 로봇 고정부(53a)의 강성을 높이는 것이, 로봇(27)의 기부(43)의 강성을 높게 하기보다, 단순한 구성으로 용이하게 실현할 수가 있고, 그 강성의 향상 효과도 크다. 또 로봇(27)의 기부(43)를 간소화 및 경량화할 수가 있다. 로봇(27)의 기부(43)를 간소화 및 경량화함으로써, 준비공간(29)을 소형화할 수 있음과 더불어, 로봇(27)과 다른 장치와의 간섭을 막을 수가 있다.
마찬가지로, 본 실시형태에 의하면, 프레임 분할체(50)는 오프너(26)를 고정한 상태에서 오프너(26)로부터 힘이 부여되더라도, FOUP 측 도어를 개폐하기에 허용되는 오프너 허용 변형량을 넘어 오프너(26)가 변형하는 것을 막는 강성을 갖게 된다. 또, 오프너(26) 중에서 프레임 분할체(50)에 고정하기 위한 기부(67)는 낮은 강성을 가져, 프레임 분할체(50)에 고정되지 않은 상태에서는, 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 상기 오프너 허용 변형량을 넘는 변형을 허용하는 강성을 갖는다. 이에 의해 오프너(26)의 기부(67)가 오프너 본체로부터 부여되는 힘을 프 레임 분할체(50)로 힘이 전해지는 것을 허용하였다 하여도, 프레임 분할체(50)에 고정되는 오프너(26)가 바라지 않게 변위되는 것을 막을 수가 있다. 따라서, 오프너(26)의 기부(67)는 오프너 본체와 오프너 고정체(53b)를 연결하는 기능을 가지면 충분하여, 기부(67)의 강성 및 질량을 저감시킬 수가 있게 된다. 또, 오프너 고정부(53b)의 강성을 높이는 것은, 오프너(26)의 기부(67)의 강성을 높게 하면, 단순한 구성으로 용이하게 실현할 수가 있고, 그 강성의 향상 효과도 크다.
이와 같이 본 실시형태에서는, 로봇(27)을 포함한 반송계 요소(26, 27, 56)를 각각 고정하는 프레임 본체부(50a)에 대해 충분한 강성을 부여하고, 개개의 반송계 요소(26, 27, 56)에 필요로 하고 있던 기계 강성을 프레임 본체부(50a)에 집약시킨다. 바꿔 말해, 로봇(27) 및 오프너(26)의 강성을 프레임 분할체(50a)에 떠넘긴다. 이와 같이 프레임 본체부(50a)를 충분히 지지할 수 있도록 개개의 반송계 요소(26, 27, 56)를 강고하게 고정함으로써, 반송계 유닛(21)의 품질 및 신뢰성을 유지하면서도, 개개의 반송계 요소(26, 27, 56)의 강성을 저감시킬 수가 있게 된다. 이와 같이 본 실시형태에서는, 반송계 유닛(21)의 품질을 유지하면서도, 개개의 반송계 요소(26, 27, 56)의 구성을 저강성화함으로써, 반송계 유닛(21)을 염가로 구성할 수가 있어, 제조비용을 줄일 수가 있게 된다. 또 개개의 반송계 요소(26, 27, 56)는 독립해서 프레임 본체부(50a)로부터 떼어낼 수가 있기 때문에, 개개의 반송계 요소(26, 27, 56)를 독립해서 프레임 본체부(50a)로부터 교환할 수가 있게 된다. 이에 의해 유지 관리성 및 조립 용이성을 향상시킬 수가 있다.
예컨대 로봇(27)은, 미리 정해진 주파수 범위에서, 미리 정해진 설정 진폭량 의 진동이 전해지면, 웨이퍼(24)의 반송에 문제가 생긴다. 본 실시형태에서는, 로봇 핸드(41)가 웨이퍼(24)를 수평방향으로 반송하는 경우에 발생하는 반력이 로봇 고정부(53a)에 부여되더라도, 프레임 본체부(50a)는, 로봇(27)의 진동이 앞에서 설명한 주파수 범위로 설정된 진폭량의 진동이 전해지지 않도록, 그 강성 및 질량이 선택된다. 이와 같이 각 고정부(53a, 53b)는 로봇(27) 및 오프너(26)로부터 힘이 부여되더라도, 웨이퍼 처리장치(22)에 설정되는 허용치 미만의 진동량으로 억제될 수 있는 강성으로 선택됨으로써, 웨이퍼 처리장치(22)의 처리에 불편이 생기는 것을 막을 수가 있다.
또 로봇 고정부(53a)는, 본 실시형태에서는 사이드 마운트 고정방식으로 로봇(27)을 고정한다. 이에 의해 로봇(27)을 안정되게 고정할 수 있음과 더불어, 수평방향으로 로봇 핸드(40)를 동작시킨 경우에, 모멘트 힘으로서 로봇 고정부(53a)에 힘이 전해지는 것을 억제할 수가 있게 된다. 이에 의해 한층 더 확실하게 힘이 웨이퍼 처리장치(22)에 전해지는 것을 막을 수가 있다.
또 본 실시형태에서는, 오프너(26)의 아래쪽으로 프레임 본체(50a)를 배치함으로써, 프레임 본체부(50a)를 대형화할 수가 있어, 프레임 본체부(50a)의 강성의 향상을 용이하게 실현할 수가 있다. 구체적으로는, 웨이퍼 이재 방향(X)의 프레임 본체부(50a)의 치수를 크게 할 수가 있어, 웨이퍼 이재 방향(X)에 관한 단면 2차 모멘트를 크게 할 수가 있어서, 웨이퍼 이재 방향(X)에 관한 힘에 대한 변형량을 억제할 수가 있게 된다. 예컨대 프레임 본체부(50a)가 직방형상이라면, 웨이퍼 이재 방향(X)의 치수(B)를 2배로 하면, 웨이퍼 이재 방향(X)에 관한 변형량을 1/8(=1/B3)으로 할 수가 있다. 또, 프레임 본체부(50a)를 대형화할 수가 있어, 프레임 본체부(50a)의 내부공간(57)을 크게 할 수가 있어서, 내부공간(57)에 수용가능한 부품을 늘릴 수가 있다.
또 도 1에 도시된 것과 같이, 칸막이체(52)는, 프레임 분할체(50)가 본체 구성체(51)에 장착된 경우에, 로봇(27) 중 프레임 분할체(50)에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간(79)과, 로봇(27) 중 프레임 분할체(50)에 대해 고정되는 고정부분이 배치되는 고정공간(78)을 구획한다. 칸막이체(52)는 개구가 형성되고, 그 개구로부터 로봇(27)의 가동부분이 돌출하게 된다. 고정공간(78)에 충만한 기체가 가동공간(79)으로 침입하는 것을 막기 위해, 고정공간(78)과 가동공간(79)은 상호 밀폐되는 것이 바람직하다. 또, 준비공간(78)에 배치되는 FFU 등에 의해 다운 흐름을 발생시키거나, 가동공간(79)보다도 고정공간(78) 쪽을 압력이 낮게 조정한다거나 하여도 좋다. 이에 의해서도 고정공간(78)으로부터 가동공간(79)으로 기체가 침입하는 것을 보다 더 확실하게 막을 수가 있다.
이와 같이 청정 환경 또는 기타의 환경 대응이 필요한 웨이퍼 이재 장치(23)에서, 칸막이체(52)를 설치해서 가동공간(79)과 고정공간(78)을 구획함으로써, 고정공간(78)으로부터 가동공간(79)으로 먼지 입자가 이동하는 것을 방지하게 되어, 가동공간(79)을 클린한 상태로 유지할 수 있다. 또 고정공간(78)에 배치되는 로봇의 기부(43) 등에는, 먼지가 발생하는 것을 방지하도록 하는 표면처리 및 커버를 필요없게 할 수가 있어, 제조비용을 억제할 수가 있다. 이 경우, 로봇(27)은, 가동 공간(79)에 노출되는 가동공간의 노출부분 쪽이, 고정공간(78)으로 노출되는 고정공간 노출부분 보다도 저발진 처리가 실시된다. 바꿔 말해, 로봇(27)은, 고정공간(78)에 노출되는 고정공간 노출부분 쪽이, 가동공간(79)에 노출되는 가동공간 노출부분보다도 저발진 처리가 실시되는 정도가 낮다.
예컨대, 로봇(27)의 몸통부 및 얼라이너(26)의 대부분이 고정공간(78)에 배치되기 때문에, 로봇(27) 및 얼라이너(26)의 표면의 클린 마무리나 먼지의 비산을 막는 커버 등이 불필요해짐으로써, 가공시의 마무리면에 다시 먼지 방지 가공을 할 필요가 없게 되어, 제조 비용을 더 줄일 수가 있게 된다. 또 로봇(27) 및 오프너(26) 중에서, 고정공간(78)에 배치되는 부분에서 발생하는 발진(發塵) 입자가 웨이퍼에 영향을 주는 것이 적기 때문에, 고정공간(78)에 배치되는 부분의 배치 상의 자유도를 향상시킬 수가 있어서, 고정공간(79)에 배치되는 각 구성부품을 밀집해서 배치할 필요가 없게 된다.
또, 칸막이판에 의해 가동공간(79)과 고정공간(78)을 구획함으로써, 작업자가 고정공간(78)에서 작업을 실행한 경우에 대해서도, 작업시 발생한 먼지 입자가 가동공간(79)으로 이동하는 것을 막을 수가 있기 때문에, 칸막이체(52)가 존재하지 않은 경우에 비해, 작업 후 단시간에 웨이퍼가 이재될 수 있는 청정도로 가동공간(29)을 청정화할 수가 있다. 앞에서 설명한 바와 같이, 고정공간(78)에 배치되는 각 구성부품에 대해서는, 발생하는 발진 입자가 웨이퍼에 영향을 주는 것이 적기 때문에, 유지관리가 용이한 위치 및 구조로 할 수가 있어, 더욱 유지관리를 용이하게 할 수가 있다.
또 앞에서 설명한 바와 같이, 고정공간(78)과 프레임 본체부(50a)의 내부공간을 합쳐 큰 공간을 형성할 수도 있다. 그리고, 앞에서 설명한 바와 같이, 프레임 본체부(50a)의 상면부에 오프너를 배치하고, 오프너의 측면(300)과 대략 동일 평면에 놓이도록 프레임 본체부(50a)를 형성함으로써, 더욱 큰 공간을 형성할 수가 있어, 발생하는 발진 입자가 웨이퍼에 영향을 주는 것이 적은 공간에 배치할 수 있는 부품 수를 늘릴 수가 있다.
또 프레임 분할체(50)는, 본체 구성체(51)에 장착된 경우에, 프레임 분할체(50)에 고정되는 로봇(27), 오프너(26), 얼라이너(56) 등의 반송계 요소가 웨이퍼 이재 장치(23)의 일부로서 정해진 배치위치 및 자세로 각각 배치되도록 형성된다. 즉, 웨이퍼 이재 장치(23)로서 실제로 동작할 때, 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 상대위치 관계가 미리 설정되는 경우, 프레임 분할체(50)는, 각 반송계 요소(26, 27, 56)가 상기 미리 설정되어 있는 상대위치 관계로 되도록 각 반송계 요소(26, 27, 56)를 각각 고정한다.
또, 웨이퍼 이재 장치(23)로서 실제로 동작할 때, 로봇(27) 및 각 오프너(26)에 설정되는 기준점의 위치 및 기준면의 자세가 미리 설정되는 경우, 프레임 분할체(50)는, 웨이퍼 이재 장치(23)의 본체 구성체(51)에 장착된 상태에서, 그들 기준점의 위치 및 기준면의 자세가 미리 설정되는 상태로 되도록 각 반송계 요소(26, 27, 56)를 프레임 분할체(50)에 고정시킨다. 프레임 분할체(50)에 각 반송계 요소(26, 27, 56)가 각각 고정됨으로써, 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 위치 및 자세가 조정된 상태로 된다. 이에 의해, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)에 장 착된 후에, 로봇(27)과 각 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 상대위치의 조정이나 로봇의 이동위치의 재교시를 하는 데에 드는 품을 적게 할 수가 있다.
또, 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 웨이퍼 이재 장치(23)에 대한 부착에 대해서는 높은 부착 정밀도가 요구된다. 본 실시형태에서는, 반송계 유닛(21)으로 조립할 때에, 이들 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 위치와 자세 및 상대위치 관계를 조정할 수 있게 된다. 따라서, 본체 구성체(51)에 반송계 유닛(21)을 장착한 다음에는, 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 위치 및 자세를 조정하는 수고를 적게 할 수가 있어, 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립을 단시간에 실행할 수가 있다. 또, 충분히 넓은 공간에서 각 반송계 요소(26, 27, 56)의 부착을 실행할 수가 있어, 웨이퍼 이재 장치(23)의 준비공간(29) 내에서 각 반송계 요소(26, 27, 56)를 고정시키는 것보다도, 용이하게 위치 조정 작업을 실행할 수 있다.
또 프레임 분할체(50)는, 각 반송계 요소(26, 27, 56)가 프레임 본체부(50a)에 각각 고정된 경우에, 각 반송계 요소(26, 27, 56)는 웨이퍼 이재 장치(23)로서 동작할 때와 같은 동작이 가능하도록 형성된다. 즉, 프레임 분할체(50)는, 오프너 측 개구(35)가 형성되는 영역, 오프너(26)가 FOUP 측 도어(61) 및 오프너 측 도어(65)를 이동시키는 데에 필요한 가동 영역, 로봇(27)의 웨이퍼 반송에 필요한 동작영역을 제외한 영역에 형성된다. 이에 의해, 각 반송계 요소(26, 27, 56)는 본체 구성체(51)에 장착되기 전에 상호 협동해서 동작할 수가 있게 된다.
따라서, 프레임 분할체(50)에 로봇(27)과 각 오프너(26) 및 얼라이너(56)를 고정시킨 상태에서, 로봇(27)과 각 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 동작 확인을 각 각 개별로 실행할 수 있다. 그리고, 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 협동동작에 관련한 동작 확인도 실행할 수 있다.
구체적으로는, 오프너(26)의 FOUP 보유지지부(31)에 보유지지되는 FOUP(25)에 수용되는 웨이퍼(24)를 로봇 핸드(40)에 보유지지시키는 동작과, 로봇 핸드(40)가 보유지지한 웨이퍼(24)를 오프너(26)의 FOUP 보유지지부(31)에 수용하는 동작을 확인할 수가 있다. 또, 로봇 핸드(40)에 보유지지시키고 웨이퍼(24)를 얼라이너(56)에 배치하는 동작과, 얼라이너(56)에 배치되는 웨이퍼(24)를 로봇 핸드(40)에 보유지지시키는 동작을 확인할 수가 있다.
따라서, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)에 장착된 다음에, 로봇(27) 및 각 오프너(26)의 동작을 확인하는데 드는 품을 적게 할 수가 있다. 또, 웨이퍼 이재 장치(23)를 조립한 후, 웨이퍼 이재 장치(23)를 가동가능한 상태로 하기까지에 소비하는 준비시간을 단축할 수가 있다. 또, 본체 구성체(51)의 준비공간(29) 내에 로봇(27) 및 오프너(26)를 고정하는 것보다도 충분히 넓은 공간에서 로봇(27) 및 오프너(26)의 동작 확인을 실행할 수가 있어, 동작 확인작업을 용이하게 실행할 수 있다.
또, 반송계 유닛(21)이 자립자세를 유지함으로써, 반송계 유닛(21)을 출하함에 있어, 별도의 출하용 발판에 실을 필요가 없다. 따라서, 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소와는 다른 장소에서 조립과 위치 조정 및 동작 확인을 실행하더라도, 발판에 싣지 않고 반송계 유닛(21)을 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소로 출하할 수가 있다.
또, 반송계 유닛(21)이 자립자세를 유지한 상태에서, 로봇(27) 및 오프너(26)의 자세가, 웨이퍼 이재 장치(23)로서 실제로 동작할 때의 자세와 같게 유지된다. 구체적으로는, 웨이퍼 이재 장치로서 조립되었을 때, 수평으로 유지되는 기준 수평면이 로봇(27) 및 오프너(26)에 설정되는 경우, 반송계 유닛(21)이 자립자세를 유지한 상태로, 로봇(27) 및 오프너(26)에 설정되는 기준 수평면이 수평으로 유지된다.
이에 의해 웨이퍼 이재 장치(23)로 조립되기까지, 반송계 유닛(21)의 동작 테스트를 실행하는 경우에, 웨이퍼 이재 장치(23)와 같은 자세로 로봇(27) 및 오프너(26)의 자세를 유지할 수가 있어, 별도 테스트용 발판에 실을 필요가 없다. 또, 앞에서 설명한 로봇(27) 및 오프너(26)의 동작 테스트 시에 로봇(27)에 교시한 교시위치, 즉 로봇(27)의 기준위치에 대한 FOUP(25)의 위치 등을 웨이퍼 이재 장치(34)의 실제의 동작에서의 이동위치로 해서 등록할 수가 있어, 웨이퍼 이재 장치(23)를 조립한 후에 실행하는 로봇 이동위치의 교시 동작에 드는 품을 적게 할 수가 있다.
도 9는 프레임 분할체(50)의 장착부를 확대해서 나타내는 도면이고, 도 10은 프레임 분할체(50)의 장착부를 확대해서 나타낸 단면도이다. 도 9의 (1) 및 도 10의 (1)은, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)로부터 분리된 상태를 나타내고, 도 9의 (2) 및 도 10의 (2)는, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)의 장착위치에 장착된 상태를 나타낸다.
본 실시형태에서는, 프레임 분할체(50)는, 본체 구성체(51)에 형성되는 장착 위치에 장착되는 장착부(254)와, 장착부(254)를 본체 구성체(51)의 장착위치로 안내하는 안내부(256)를 갖는다. 본체 구성체(51)에는 피장착부(258)가 형성되고서, 피장착부(258)에 장착부(254)가 끼워진다. 본 실시형태에서는, 장착부(254)는, 각부(255)의 선단부로부터 웨이퍼 이동방향(X)으로 돌출하는 제1장착부(254a)와, 오프너 고정부(253)로부터 웨이퍼 이동방향(X)으로 돌출하는 제2장착부(254b)를 갖는다. 본체 구성체(51)에는, 제1장착부(254a) 및 제2장착부(254b)가 끼워지는 각각의 피장착부(258a, 258b)가 형성된다. 피장착부(258a, 258b)에는, 각 장착부(254a, 254b)가 끼워지는 끼움구멍(257a, 257b)이 각각 형성된다. 각 피장착부(258)에 장착부(254)가 각각 끼워짐으로써, 본체 구성체(51)에 대한 반송계 유닛(21)의 위치 및 자세가 조정된다. 본 실시형태에서는, 반송계 유닛(21) 중 웨이퍼 반송방향(X) 한쪽 단부에 제1장착부(254a)가 설치된다. 또 반송계 유닛(21) 중 웨이퍼 반송방향(X)의 다른 쪽 단부에 제2장착부(254b)가 설치된다. 제1장착부(254a) 및 제2장착부(254b)가 폭방향(Y) 양쪽에 각각 1쌍이 설치됨으로써, 반송계 유닛(21)의 하방의 사각에서 위치맞춤을 할 수가 있어, 반송계 유닛(21)을 본체 구성체(51)에 안정되게 장착할 수가 있다.
장착부(254) 및 끼움구멍(257)은 그 축선에 수직인 단면형상이 대략 같게 형성된다. 본 실시형태에서는, 장착부(254)는 원주상으로 형성되고서, 피장착부(258)에 장착되는 끼움구멍(257)의 내경과 대략 같게 형성된다. 각 장착부(254)의 선단에는, 장착부(254)와 동축으로 형성되고서 대략 원뿔대형상으로 형성되는 안내부(256)가 형성된다. 안내부(256)는 장착부(254)에 이어지는 곳의 직경이 장착 부(254)의 직경과 같게 형성되고서, 장착부(254)로부터 이반함에 따라 앞이 뾰족하게 형성된다. 안내부(256)로부터 끼움구멍(257)에 끼워짐으로써, 끼움구멍(257)과 안내부(256)가 조금 어긋난 경우라 하더라도 장착부(254)를 끼움구멍(257)으로 삽입할 수가 있다. 이와 같이 안내부(256)가 형성됨으로써, 안내부(256)에 의해 안내될 수가 있어, 장착부(254)를 장착위치에 용이하게 이동시킬 수가 있다.
또, 도 10에 도시된 것과 같이, 반송계 유닛(21)의 2개의 각부(255)에는 각각 바퀴(264)가 설치된다. 이에 의해 반송계 유닛(21)의 반송을 용이하게 실행할 수 있다. 예컨대 유지관리시, 본체 구성체(51)에 대해 반송계 유닛(21)을 슬라이드시켜 분리할 수가 있다.
또, 도 10의 (1)에 도시된 것과 같이, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)로부터 분리된 자연상태에서, 끼움구멍(257)의 축선(L2)보다도 장착부(254)의 축선(L3)이 미리 정해진 거리 d만큼 아래쪽에 배치된다. 따라서, 도 10의 (2)에 도시된 것과 같이, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)에 장착된 상태에서, 끼움구멍(257)의 축선(L2)과 장착부(254)의 축선(L3)이 일치하면, 자연상태에 비해 미리 정해진 거리 d만큼 뜬 상태로 된다. 이에 의해 바퀴(264)의 영향을 받지 않고 반송계 유닛(21)을 위치맞춤을 할 수가 있다. 또 본 실시형태에서는, 프레임 분할체(50) 및 본체 구성체(51)에는, 작업자에 의한 반송계 유닛(21)의 장착작업을 지원하는 장착 지원 부재(260)가 설치된다.
도 11은 장착 지원 부재(260)를 나타낸 정면도이다. 도 11의 (1)은, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)로부터 분리된 상태를 나타낸다. 또 도 11의 (2)는, 반 송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)에 장착된 상태를 나타낸다. 장착 지원 부재(260)는, 프레임 분할체(50)에 대해 각변위 축선(L1) 주위에 각변위할 수 있게 설치되는 레버부(261)와, 레버부(261)에 고정되어 레버부(261)와 함께 각변위 축선(L1) 주위에서 각변위되는 각변위부(262)와, 본체 구성체(51)에 설치되는 핀부(259)를 포함해서 구성된다. 각변위부(262)는, 각변위 축선(L1) 주위에서 각변위함과 더불어 각변위 축선(L1)으로부터의 거리가 작게 변화하는 걸림부분(264)이 형성된다. 걸림부분(264)은 각변위 축선(L1)에 임해 각변위 축선(L1) 주위로 진행함으로써, 각변위 축선(L1)으로부터의 거리가 원활하게 변화하는 걸림 안내면(263)을 갖는다.
도 11의 (1)에 도시된 것과 같이, 안내부(256b)를 끼움구멍(257)으로 삽입함으로써, 걸림부분(264)의 안쪽에 핀부(259)가 배치된다. 이 상태에서, 도 11의 (2)에 도시된 것과 같이, 레버부(261)를 각변위시킴으로써, 걸림부분(264)의 걸림 안내면(263)에 핀부(259)가 슬라이드해서, 각변위부(262)가 핀부(59)에 힘을 부여한다. 각변위부(262)는 핀부(259)로부터 반력을 받음으로써, 본체 구성체(51)로 향하는 힘이 부여되어, 반송계 유닛(21)이 변위를 해서 장착부(254)가 끼움구멍(257)에 끼워진다.
레버부(261)에 의해 각변위부(261)를 각변위시킴으로써, 지렛대 원리를 이용할 수가 있어, 작은 힘으로 반송계 유닛(21)을 본체 구성체(51)에 장착시킬 수가 있다. 이에 의해 본 실시형태와 같이, 반송계 유닛(21)을 본체 구성체(51)에 장착하는 데에는, 반송계 유닛(21)을 띄워주어야만 하는 경우에도, 작업자에 의해 반송계 유닛(21)을 용이하게 띄워줄 수가 있어, 반송계 유닛(21)과 본체 구성체(51)를 용이하게 장착시킬 수가 있다.
또, 핀부(259)가 걸림 안내면(263)에 닿게 됨으로써, 장착 지원 부재(260)는, 본체 구성체(51)에 대한 반송계 유닛(21)의 변위를 기계적으로 저지하는 변위 저지수단으로 된다. 이에 의해, 반송계 유닛(21)이 본체 구성체(51)로부터 바라지 않게 어긋나는 것을 막을 수가 있다. 한편, 이와 같은 장착부(254), 안내부(256), 장착 지원 부재(260) 및 바퀴(264)는 본 실시형태의 구성으로서, 적의 변경이 가능하다. 예컨대 장착부(254)에 오목한 곳이 형성되고, 피장착부(258)에 볼록부가 형성되어도 좋다. 또 각부(255)에는, 본체 구성체(51)에 형성되는 레일에 삽입되는 끼움부가 형성되어도 좋다. 이에 의해 본체 구성체(51)에 대해, 위치맞춤이 된 상태에서 슬라이드 변위시킬 수가 있다. 또, 볼트와 너트에 의해 반송계 유닛(21)과 본체 구성체(51)를 착탈될 수 있게 고정하여도 좋다.
도 12는 본 발명의 한 실시형태인 반송계 유닛(21)의 제조로부터 출하까지의 작업순서를 나타낸 순서도이다. 반송계 유닛(21)은 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소와 다른 장소에서 제조할 수도 있다. 본 실시형태에서는, 반송계 유닛(21)은 로봇 제조업자에 의해 조립된다. 먼저 로봇 제조업자는 프레임 분할체(50) 및 로봇(27) 등을 구성하는 복수의 구성부품의 준비가 완료되면, 단계 c1로 진행하여, 작업을 개시한다. 단계 c1에서는, 프레임 분할체(50)에 로봇(27)의 기부(43)를 고정하고, 프레임 분할체(50)와 로봇(27)을 일체로 조립하고, 조립이 완료되면 단계 c2로 진행한다. 단계 c2에서는, 로봇(27)이 고정된 프레임 분할체(50)에 오프너(26) 및 얼라이너(56)를 고정한다. 이와 같이 반송계 유닛(21)을 조립하면, 단계 c3으로 진행한다.
단계 c3에서는, 프레임 분할체(50)에 대한 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 위치와 자세를 조정함과 더불어, 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 상대위치관계를 조정한다. 구체적으로는, 수준기, 위치맞춤을 위한 치구 등을 이용해서, 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 상대위치관계 및 자세가 웨이퍼 이재 장치(23)로서 이동할 수 있는 경우와 같은 상태로 되도록, 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)의 위치를 조정한다. 이와 같이 조정이 완료되면, 단계 c4로 진행한다.
단계 c4에서는, 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)가 동작할 수 있도록 각 배선을 접속한다. 구체적으로는, 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)에 대해, 동작지령 케이블을 콘트롤러(42)에 접속하고, 동력전달 케이블을 전원 장치에 접속한다. 그리고 단계 c5로 진행한다.
단계 c5에서는, 웨이퍼 이재 장치(23)로서 동작하는 로봇(27)의 동작을 모의(模擬)한 모의동작을 로봇(27)에 실행시킨다. 따라서, 로봇(27)의 동작 검사와 반송계 유닛(21)의 동작 확인 작업을 겸용해서 실행한다. 구체적으로는, 실제로 오프너(26)의 FOUP 보유지지부(31)에 FOUP(25)를 배치해서, 로봇(27)에 FOUP 위치를 교시한다. 그리고, FOUP(25)에 수용되는 웨이퍼(24)를 로봇(27)에 의해 반송시키는 동작을 실행시키고, 단계 c6로 진행한다. 단계 c5의 동작 검사로서, 로봇(27)의 속도, 정밀도, 기능 등의 다른 검사가 동시에 행해져도 좋다. 단계 c6에서는, 로봇(27)에 의해 웨이퍼(24)의 반송동작이 가능한지 여부를 확인하여, 반송동작이 가 능하다는 것이 확인되면 반송계 유닛(21)을 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소로 출하하여, 로봇 제조업자는 조립부터 출하까지의 수순을 종료한다.
만일, 반송 유닛(21)의 제조공정에서, 실제로 웨이퍼 이재 장치(23)에 쓰이는 오프너(26)가 공급되지 않는 경우가 있다. 이 경우에는, 실제로 웨이퍼 이재 장치(23)로 쓰이는 오프너(26)에 상당하는 더미(dummy) 오프너가 프레임 분할체(50)에 장착된 상태에서, 단계 c5 및 단계 c6에서의 작업을 실행한다. 이 경우, 웨이퍼 이재 장치(23)로 쓰이는 오프너(26)를 프레임 분할체(50)에 고정하는 경우에 비해 작업효율은 저하되지만, 종래의 기술에 비해 전체로서의 작업효율을 향상시킬 수가 있다.
도 13은 본 발명의 제1실시형태인 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립순서를 나타낸 순서도이다. 웨이퍼 이재 장치(23)는 대형이기 때문에, 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소에서 조립되게 된다. 먼저 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립업자는, 웨이퍼 이재 장치(23)의 본체 구성체(51)를 구성하는 복수의 구성부품의 준비가 완료되면, 단계 d1로 진행하여 작업을 개시한다. 단계 d1에서는, 본체 구성체(51)를 조립하는데, 조립이 완료되면 단계 d2로 진행한다. 웨이퍼 이재 장치(23)의 본체 구성체(51)는 웨이퍼 처리장치(22)와 일체로 조립되어도 좋다. 그리고, 본체 구성체(51)의 조립이 완료되면 단계 d2로 진행한다.
단계 d2에서는, 로봇 제조업자 등에 의해 미리 조립된 반송계 유닛(21)을 본체 구성체(51)에 장착한다. 그리고, 로봇 제조업자에 의해 실행된 동작이 정상적으로 실행되는지 여부를 확인하고서, 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립을 완료한다. 반도 체 처리 설비(20)로서 동작시키는 경우에는, 웨이퍼 이재 장치(23) 및 웨이퍼 처리장치(22)의 조립이 완료된 단계에서, 로봇(27)에 웨이퍼 처리장치(22)의 웨이퍼 배치위치를 교시할 필요가 있는바, 로봇(27)에 의해 보유지지되는 웨이퍼(24)가 웨이퍼 배치위치에 배치될 수 있도록, 웨이퍼 배치위치에 배치되는 웨이퍼(24)를 로봇(27)에 의해 보유지지할 수 있도록 동작을 확인할 필요가 있다.
이상과 같이 본 실시형태에 의하면, 단계 c3에서 프레임 분할체(50)에 대해, 로봇(27) 및 오프너(26)의 위치 및 자세를 조정한다. 또 단계 c5에서 오프너(26)에 보유지지되는 FOUP(25)로의 액세스에 관한 로봇의 동작 검사를 실행할 수 있다. 이와 같이 해서, 로봇(27) 및 오프너(26)의 위치 조정과 동작 검사를 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립 전에 완료할 수가 있다. 이에 의해 단계 d2에서, 반송계 유닛(21)을 본체 구성체(51)에 장착한 다음의 로봇(27) 및 오프너(26)의 위치 조정 및 동작 검사의 수고를 적어지게 할 수가 있다. 이와 같이 위치 조정 및 동작 검사가 실행된 반송계 유닛(21)을 준비함으로써, 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소에서의 조립작업을 간략화할 수가 있어, 웨이퍼 이재 장치(23)를 단시간에 조립할 수가 있다.
또, 웨이퍼 이재 장치(23) 중에서, 웨이퍼(24)를 반송하기 위한 장치인 로봇(27)과 FOUP 오프너(26)는 높은 조립 정밀도가 요구됨과 더불어, 엄격한 동작 검사가 실행된다. 본 실시형태에서는, 웨이퍼 이재 장치(23)의 조립 전에 웨이퍼 반송계 부분에 대해 필요로 하는 조립 정밀도와 동작 품질을 얻을 수가 있기 때문에, 숙련자 및 전용의 치구를 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소마다 각각 준비할 필요가 없다. 또 본 실시형태에서는, 배선 접속을 실행한 상태에서, 로봇 콘트롤러마다 반송계 유닛(21)으로 해서 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소로 출하하기 때문에, 배선 작업도 간략화할 수가 있다.
또, 단계 c5의 동작 검사 공정에서, 오프너(26)에 보유지지되는 FOUP(25)의 위치 등을 로봇(27)에 교시해서, 그 교시위치로 로봇(27)을 이동시켜, 로봇(27)에 의한 웨이퍼 반송에 관한 모의동작을 실행시켜 검사를 실행한다. 그리고, 단계 c5의 동작 검사에서 이용되었던 로봇의 교시위치를, 웨이퍼 이재 장치(23)로서 동작할 때의 로봇(27)의 위치로 해서 결정할 수가 있다. 이에 의해, 웨이퍼 이재 장치(23)를 조립한 후, 로봇(27)의 교시 동작 작업을 간략화할 수가 있어, 웨이퍼 이재 장치(23)를 조립하고 나서 단시간에 웨이퍼 이재 장치(23)를 가동할 수 있는 상태로 할 수가 있다.
또 본 실시형태에서는, 단계 c1 ~ c5에 도시된 것과 같이, 반송계 유닛(21)의 형성 작업과 동작 검사 작업을 로봇 제조장소에서 실행한다. 이에 의해 로봇 제조장소에서 반송계 유닛(21)의 품질을 확보할 수가 있다. 따라서 종래의, 로봇 제조장소에서 로봇(27)의 품질을 확보하기 위해 실행하고 있던 모의동작에 의한 검사와, 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소에서 행해지고 있던 동작 검사를 하나로 겸하게 할 수가 있어, 전체적인 작업시간을 단축할 수가 있어서, 작업성을 향상시킬 수가 있다. 또 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소에서는, 요구되는 조립 정밀도가 낮은 본체 구성체(51)를 조립한 후, 본체 구성체(51)에 정밀도가 보증되어 있는 반송계 유닛(21)을 장착함으로써, 매우 용이하게 웨이퍼 이재 장치(23)를 조립할 수가 있다.
또 본 실시형태에서는, 반송계 유닛(21)이 자립 안정 자세를 유지함과 더불어, 본체 구성체에 장착될 때와 같은 자세를 유지한다. 이에 의해 로봇 제조업자는, 반송계 유닛(21)을 안정자세로 유지하는 출하용 발판, 로봇의 동작 테스트를 행하기 위한 테스트 발판, 로봇을 조립할 때 이용하는 조립 발판을 1개의 분할 프레임으로 겸용할 수가 있다. 따라서, 로봇(27)을 복수의 발판에 순서대로 바꿔 실을 필요가 없기 때문에, 그들 발판이 불필요해져, 비용절감을 도모할 수가 있게 된다. 또 앞에서 설명한 바와 같이, 발판에 바꿔 싣는 데에 소비되는 시간을 생략할 수 있음과 더불어, 바꿔 실을 때에 발생하는 트러블을 막을 수가 있다.
또, 로봇 제조장소에서 반송계 유닛(21)의 형성 작업과 동작 검사 작업을 실행함으로써, 로봇(27)에 관해 숙련된 작업자가 프레임 분할체(50)에 대한 로봇(27)의 고정, 위치맞춤, 로봇(27)의 동작위치의 교시동작 및, 동작 검사를 실행할 수 있다. 따라서 그들의 각 작업이 불완전하게 되는 것을 막을 수가 있다. 또 각 작업에서 발생한 불편에 대해서도 조기에 해결하는 수가 있다.
또 웨이퍼 이재 장치(23)는 반도체 제조설비(20) 중에서 공통화되기 쉬운 부분이다. 따라서, 다른 처리를 실행하는 복수의 반도체 처리 설비(20)라 하더라도, 공통의 웨이퍼 이재 장치(23)가 설치되는 일이 많다. 이와 같은 경우, 반송계 유닛(21)을 미리 형성시켜 놓는 것에 따른 이점이 크다. 예컨대 로봇 제조장소에서 위치 조정 및 동작 확인이 실행된 복수의 반송계 유닛(21)을 제조해 놓고, 반송계 유닛(21)의 출하 요구가 있기까지 제조한 반송계 유닛(21)을 보관해 놓아도 좋다. 이에 의해 출하 요구가 있고 나서 반송계 유닛(21)을 조립하는 것에 비해, 단시간 에 반송계 유닛(21)을 출하할 수가 있다.
이와 같이, 웨이퍼 이재 장치(23) 중에서, 웨이퍼를 반송하기 위한 반송계 요소를 강고한 프레임에 고정하고, 조정, 배관, 배선 및 교시, 반송 테스트를 실시하고, 완성 상태인 채로 분해하지 않고 반송함으로써, 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소에서의 반송계 유닛(21)의 조립 조정, 교시작업을 적게 할 수가 있어, 비용절감과 함께 제조 품질을 향상시킬 수가 있다.
또 다른 실시형태로서, 웨이퍼 이재 장치(23)는 반송계 요소로서 오프너(26)와 로봇(27) 및 얼라이너(56)를 갖는다고 하였으나, 얼라이너(56)를 갖지 않아도 좋다. 또 다른 반송계 요소로서, 웨이퍼(24)의 판 두께를 측정하는 판 두께 측정장치, 작업효율화를 도모하기 위한 버퍼 위치를 가져도 좋다.
이와 같이 반송계 유닛(21)에는, 웨이퍼(24)의 반송에 필요한 구성 기기 중 적어도 2가지가 프레임 분할체(50)에 고정되어 있으면 좋다. 예컨대 로봇(27)과 얼라이너(56)가 프레임 분할체(50)에 고정되는 경우이어도 좋다. 또, 본 실시형태에서는 1개의 로봇 콘트롤러(44)에 의해 로봇(27)과 오프너(26) 및 얼라이너(56)가 통괄 제어됨으로써, 각 구성 기기마다 콘트롤러가 설치되는 경우에 비해 콘트롤러(44)의 수를 줄일 수가 있어, 더욱 제조비용을 줄일 수가 있게 된다. 또 반송계 유닛(21)을 조립한 상태에서, 일련의 기판 반송동작을 테스트할 수가 있어, 편리성을 향상시킬 수가 있다. 콘트롤러(44)도 프레임 분할체(50)에 고정되는 것이 바람직하다.
앞에서 설명한 본 실시형태는, 본 발명의 예시에 지나지 않고 발명의 범위 내에서 구성을 변경할 수가 있다. 예컨대 본 실시형태로서, 웨이퍼 이재 장치(23)의 프레임의 일부가 분할체로 되도록 하였으나, 프레임 이외의 부분에 의해 분할체가 형성되어도 좋다. 구체적으로는, 분할체로서, 로봇(27) 및 오프너(26) 등의 반송계 요소가 고정될 수 있는바, 본체 구성체(51)로부터 착탈될 수 있게 구성되면 좋다. 또 프레임 분할체의 형상에 대해서는, 주로 로봇(27)으로부터 부여되는 외력에 대해 충분한 강성을 갖고 있으면 되고, 그 형상에 대해서는 임의의 형상이어도 좋다.
또, 도 12 및 도 13에 도시된 순서는, 본 실시형태의 한 예로서, 다른 순서로 실행되어도 좋다. 예컨대 단계 c3에서의 위치 조정 작업이 실행되기까지, 반송계 유닛(21)이 조립되어 있으면 되고, 프레임 분할체(50)에 오프너(26)가 고정된 후에 로봇(27)이 고정되어도 좋다. 또 로봇 제조 현장에서, 반송계 유닛(21)이 조립되도록 하였으나, 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치장소 근방에서 반송계 유닛(21)이 조립되어도 좋다. 이 경우에도, 본체 구성체(51)와 반송계 유닛(21)을 병렬로 조립할 수 있어, 앞에서 설명한 효과를 얻을 수가 있다. 또, 본 실시형태의 프레임 분할체(50)를 이용함으로써, 앞에서 설명한 순서를 실행하지 않고 유지관리를 용이하게 실행할 수 있다고 하는 특유의 효과를 달성할 수가 있다.
또 본 실시형태에서는, 로봇 제조장소에서, 프레임 분할체(50)에 고정된 오프너(26)가 실제로 웨이퍼 이재 장치(23)의 일부로서 쓰여지도록 하였으나, 오프너(26)의 부착 정밀도가 허용범위 내에 있으면, 로봇 제조장소에서 부착되어 동작 검사가 실행된 오프너(26)와는 다른 오프너(26)가 웨이퍼 이재 장치(23)의 설치현 장에서 프레임 분할체(50)에 부착되어도 좋다.
도 14는 일부를 절단해서 오프너(26)를 나타낸 측면도이고, 도 15는 오프너(26)를 나타낸 정면도이다. 또, 도 16은 오프너 측 도어 구동기구(66)를 모식적으로 나타낸 사시도이다. 또 도 17은 도 15의 화살표 A17-A17에서 바라본 오프너(26)를 나타내는 도면이고, 도 18은 도 15의 화살표 A18-A18에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면이다. 또 도 19는 도 14의 화살표 A19에서 바라본 오프너(26)를 나타낸 도면이다.
도 14에 도시된 것과 같이, 정면 벽(28a)은 판상으로 형성되고서, 웨이퍼(24)가 전후방향(X)으로 통과할 수 있는 오프너 측 개구(35)가 형성된다. 정면 벽(28a) 중 두께방향 한쪽 편의 공간이 준비공간(29)으로 되고, 두께방향 다른 쪽의 공간이 바깥쪽 공간(33)으로 된다. 오프너 측 도어(65)는, 정면 벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)를 폐쇄할 수 있도록 구성된다. 오프너 측 개구부(68)는, 웨이퍼 이재위치에 위치결정되어 지지되는 FOUP(25)의 FOUP 측 개구부(62)에 원주방향에 걸쳐 접촉한다. 이에 의해 웨이퍼 이재위치에 FOUP(25)이 위치결정된 상태에서, 정면 벽(28a)과 FOUP 측 개구부(62) 사이로부터, FOUP 내 공간(34) 및 준비공간(29)으로 외기가 침입하는 것을 막아준다.
또 오프너 측 개구(35)는, 전후방향(X)에 수직인 방향의 단면 형상이 FOUP 측 도어(61)와 대략 같은 형상으로, FOUP 측 도어(61) 보다도 크게 형성된다. 이에 의해, FOUP 본체(60)로부터 떼어진 FOUP 측 도어(61)는 오프너 측 개구부(68)와 간섭하는 것이 방지되어, 오프너 측 개구(35)를 전후방향(X)으로 통과할 수 있게 된 다.
오프너 측 도어(65)는 FOUP 본체(60)에 대해 FOUP 측 도어(61)를 부착 및 떼어낼 수 있도록 구성됨과 더불어, FOUP 본체(60)로부터 떼어진 FOUP 측 도어(61)를 파지할 수 있게 구성된다. 또, 오프너 측 도어(65)는 대략 판상으로 형성되어, 정면 벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)를 원주방향에 걸쳐 닿게 함으로써, 오프너 측 개구(35)를 막는다. 또 오프너 측 도어(65)는 정면 벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)로부터 이반함에 따라, 오프너 측 개구(35)를 개방한다.
오프너 측 도어 구동기구(66)는, 오프너 측 도어(65)를 전후방향(X) 및 전후방향(X)에 수직인 방향으로 되는 상하방향(Z)으로 변위 구동한다. 오프너 측 도어 구동기구(66)가 오프너 측 도어(65)를 변위 구동함으로써, 오프너 측 도어(65)와 함께 오프너 측 도어(65)가 파지하는 FOUP 측 도어(61)를 변위 구동할 수가 있다. 이에 의해, FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)로부터 근접, 이반시킬 수가 있어, 웨이퍼 이재위치에 위치결정되는 FOUP(25)를 개폐시킬 수가 있다. 각 오프너(26)의 기부(67)는 프레임(64)에 고정된다. 오프너(26) 중에서, 기부(67) 이외를 오프너 본체로 하면, 오프너 본체는 기부(67)를 매개로 프레임(64)에 고정된다. 이와 같이 오프너 측 도어 구동기구(66)는 FOUP(25)를 개폐하기 위한 기구이다.
오프너(26)는, 오프너 측 개구부(68)가 FOUP(25)를 올려놓아 위치 결정하는 테이블 부분(69)과, 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시켜 테이블 부분(69)에 올려놓아지는 FOUP(25)를 웨이퍼 이재위치로 위치결정하여 이동시키는 FOUP 구동수단(70)을 더 포함한다. FOUP 구동수단(70)은 FOUP(70)을 전후방향(X)으로 변위 구동하기 위한 기판 용기 구동수단으로 된다. FOUP 구동수단(70)이, FOUP(25)을 올려놓은 테이블 부분(69)을 이동시킴으로써, FOUP(25)를 정면 벽(28a)에 밀착시킨 웨이퍼 이재위치에 위치결정한 상태와, 정면 벽(28a)으로부터 이반시킨 FOUP 착탈위치에 위치결정한 상태로 절환할 수 있게 된다.
또 오프너 측 도어(65)는, FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)에 대해 착탈될 수 있게 장착하는 랫치기구를 동작시키거나 해제하기 위한 착탈기구를 갖는다. 착탈기구는 예컨대 착탈용 랫치 키에 의해 실현된다. 또 오프너 측 도어(65)는, FOUP 본체(60)로부터 떼어진 FOUP 측 도어(61)를 파지하기 위한 파지기구를 갖는다. 파지기구는 예컨대 흡착 패드 또는 FOUP 측 도어(61)에 끼워지는 끼움부에 의해 실현된다.
FOUP 지지부(31)는 정면 벽(28a)에 대해 바깥쪽 공간(33) 측에 배치되고서, 정면 벽(28a)에 인접해서 형성된다. FOUP 지지부(31)는 수평으로 뻗은 테이블 부분(69)을 갖고서, 테이블 부분(69)에 FOUP(25)을 올려놓음으로써 FOUP(25)를 지지한다. FOUP 지지부(31)는 내부공간이 형성되어, 내부공간에 테이블 부분(69)을 변위 구동하는 FOUP 구동수단(70)이 배치된다. FOUP 지지부(31)는 FOUP 구동수단(70)에 의해 테이불 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 테이블 부분(69)에 올려놓아지는 FOUP(25)을 웨이퍼 이재위치 및 FOUP 착탈위치에 위치맞춤할 수가 있다. 여기서, 전후방향(X)이라 함은 정면 벽(28a)의 두께방향으로서, 웨이퍼(24)를 반입 및 반출하는 방향으로 되고, 수평 또는 대략 수평인 방향으로 된다.
웨이퍼 이재위치에 위치맞춤되는 FOUP(25)는, FOUP(25)에 형성되는 FOUP 측 개구부(62)가 정면 벽(28a)에 밀착해서, 정면 벽(28a)에 형성되는 오프너 측 개구부(68)에 임하는 위치에 배치된다. 또, FOUP 착탈위치에 위치맞춤되는 FOUP(25)는 정면 벽(28a)으로부터 후방(X2)으로 이반해서, 웨이퍼 이재 장치(23)로부터 착탈될 수 있게 된다.
오프너 측 도어 구동기구(66)는, 오프너 측 개구부(68)를 개방시키는 경우, 오프너 측 개구부(68)를 막은 오프너 측 도어(65)를, 오프너 측 개구(35)로부터 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 떨어진 개방위치로 이동시킨다. 또 FOUP(25)가 정면 벽(28a)의 웨이퍼 이재위치로 위치결정된 상태에서, FOUP 측 도어(61)를 파지한 오프너 측 도어(65)를 개방위치로 이동시킴으로써, 바깥쪽 공간(33)에 대해 밀폐된 상태로 유지되도록 해서, FOUP 내 공간(34)과 준비공간(29)을 연통시킬 수가 있다.
또, 오프너 측 도어 구동기구(66)는, 오프너 측 개구부(68)를 막는 경우, 개방위치에 배치되는 오프너 측 도어(65)를 오프너 측 개구부(68)에 대해 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 근접시켜, 오프너 측 개구부(68)를 막는 폐쇄위치로 이동시킨다. FOUP(25)이 정면 벽(28a)의 웨이퍼 이재위치에 위치결정된 상태에서, FOUP 측 도어(61)를 파지한 오프너 측 도어(65)를 폐쇄위치로 이동시킴으로써, 바깥쪽 공간(33)에 대해 밀폐된 상태로 유지되도록 해서, FOUP 내 공간(34)과 준비공간(29)의 연통을 해제시킬 수가 있다.
FOUP 내 공간(34)과 준비공간(29)의 연통을 해제하면, FOUP(25)를 FOUP 지지부(31)로부터 분리될 수가 있다. 이와 같이 해서, 반도체 처리 설비(20)에 웨이퍼(24)를 반입할 때와 반도체 처리 설비(20)로부터 웨이퍼(24)를 반출할 때, 웨이 퍼(24)가 외기에 접하는 것을 막는 수가 있다. 따라서 처리되는 웨이퍼(24)는 대기 중의 먼지 입자의 부착이 방지된다.
오프너 구동기구(66)는 가동체(95)와, 가동체 구동수단(94)과, 접속체(93)와, 링크부재(92)와, 링크부재 각변위수단(91)을 포함해서 구성된다. 가동체(95)는, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)의 근방을 통과하고, 전후방향(X)으로 이동할 수 있게 구성된다. 본 실시형태에서는, 가동체(95)는, FOUP 지지부(31) 중에서, 테이블 부분(69)보다도 하방의 공간에서 전후방향(X)으로 이동할 수 있게 구성된다. 또, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 상태에서, 가동체(95), 가동체 구동수단(94), 링크부재(92) 및, 링크부재 각변위수단(91)은 FOUP 지지부(31)의 테이블 부분(69)보다도 하방의 공간으로 되는 내부공간에 배치된다.
도 16 및 도 17에 도시된 것과 같이, FOUP 지지부(31)에는, 전후방향(X)으로 뻗은 레일형상의 2개의 안내부(90)가 간격을 벌려 형성된다. 가동체(95)는, 각 안내부(90)에 끼워지는 끼움부분(89)이 형성된다. 가동체(95)의 끼움부분(89)이 각 안내부(90)에 끼워짐으로써, 가동체(95)는 전후방향(X) 이외로 변위하는 것이 저지되어, 전후방향(X)으로 이동할 수 있게 안내된다. 이와 같이 가동체(95)는 FOUP 지지부(31)에 지지된다.
가동체 구동수단(94)은 FOUP 지지부(31)에 지지되어 가동체(95)를 전후방향(X)으로 왕복하도록 변위 구동한다. 본 실시형태에서는, 가동체 구동수단(94)은, 전후방향(X)으로 뻗어 FOUP 지지부(31)에 회전할 수 있게 지지되는 나사축(88)과, 나사축(88)에 나사결합해서 가동체(95)에 고정되는 나사결합부(87)와, 나사축(88) 을 회전구동하기 위한 모터(86)와, 모터(86)의 동력을 나사축(88)으로 전달해서 나사축을 회전시키는 동력 전달 요소(99)를 포함해서 구성된다. 본 실시형태에서는, 나사결합부(87)와 나사축으로 볼나사기구가 구성된다. 또 동력전달기구(99)는, 모터의 출력축에 고정되는 제1풀리와, 나사축(88)에 고정되는 제2풀리와, 제1풀리와 제2풀리에 감겨지는 벨트를 포함해서 벨트 동력전달기구가 실현된다. 모터(86)에 의해 나사축(88)을 회전시킴으로써, 나사축(88)에 나사결합되는 나사결합부(87)가 전후방향(X)으로 이동해서, 나사결합부(87)와 함께 가동부(95)가 전후방향(X)으로 이동한다.
본 실시형태에서는, 나사축(88)을 이용해서 가동체(95)를 이동시켰으나, 가동체(95)를 전후방향(X)으로 변위시키는 구성은 다른 구성이어도 좋다. 예컨대, 에어실린더 기구 및 록 앤드 피니언 기구 등에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시켜도 좋다.
도 14와 도 18 및 도 19에 도시된 것과 같이, 접속체(93)가 오프너 측 도어(65)에 고정된다. 접속체(93)는 오프너 측 도어(65)로부터 전후방향(X)에 수직인 방향인 하방(Z2)으로 뻗는다. 구체적으로는, 접속체(93)의 상단부는 오프너 측 도어(65)에 접속되고, 접속체(93)의 하단부는 FOUP 지지부(31)의 상부면 보다 아래쪽에 배치된다.
도 14 및 도 17에 도시된 것과 같이, 링크부재(92)는 복수로 설치되고서, 그들 각 링크부재(92)는 가동체(95)와 접속체(93)를 연결시켜 평행링크기구를 구성한다. 이와 같이 각 링크부재(92)와 가동체(95) 및 접속체(93)에 의해 평행링크 기구 가 구성되기 때문에, 가동체(95)에 연결되는 접속체(93)는 자세를 유지한 상태에서 가동체(95)의 각변위 축선(L1) 주위를 회전할 수 있게 된다.
본 실시형태에서는, 각변위 축선(L)은 전후방향(X)에 수직인 수평방향으로 되는 좌우방향(Y)으로 뻗는다. 또 링크부재(92)는 2개가 설치된다. 2개의 링크부재(92)는 평행하게 뻗어, 일단부에 가동체(95)가 자유로이 회전할 수 있게 핀 결합되고, 타단부에 접속체(93)가 자유로이 회전할 수 있게 핀 결합이 된다. 각 링크부재(92)는 길이가 같게 형성된다. 본 실시형태에서는, 각 링크부재(92)는, 오프너측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 상태에서 수평으로 뻗는다. 이 경우, 각 링크부재(92)는 길이방향이 전후방향(X)으로 되고 폭방향이 좌우방향(Y)으로 뻗은 판상으로 형성된다.
링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(95)의 전후방향 위치에 대응해서 미리 정해진 각도 위치로 가동체(95)에 대한 각 링크부재(92)의 각변위를 규제한다. 도 14 및 도 16에 도시된 것과 같이, 링크부재 각변위수단(91)은 걸림부(85)와 규제부(84)를 포함해서 구성된다. 걸림부(85)는 각 링크부재(92)의 적어도 어느 하나에 설치된다. 또 규제부(84)는 걸림부(85)가 걸어맞춰져, 가동체(95)의 전후방향 위치에 대응해서 걸림부(85)의 각도 위치를 규제한다.
걸림부(85)는, 링크부재(92)의 길이방향 중간 부분으로부터 각변위 축선(L1)과 평행한 방향으로 돌출하는 핀 부재에 의해 실현된다. 규제부(84)는, FOUP 지지부(31)에 형성되어 걸림부(85)가 끼워지는 슬릿 홈인 오목부가 형성됨으로써 실현된다. 규제부(84)의 오목부는 장공 형상으로 형성되어 전후방향(X)으로 진행함에 따라 상하방향 위치가 변화한다. 또 규제부(84)의 오목부는, 걸림부(85) 중에서 규제부(84)에 끼워지는 끼움 부분 보다도 약간 큰 치수로 설정된다. 걸림부(85)는 각변위 축선(L)과 평행하게 뻗어 있다. 또 규제부(84)의 오목부에 끼워진 걸림부(85)는, 규제부(84)의 오목부가 뻗은 방향으로 이동할 수 있게 형성된다. 이에 의해, 가동체(95)의 이동을 정지시킨 상태에서는 규제부(84)에 걸림부(85)가 걸려짐으로써, 걸림부(85)가 각변위 축선(L1) 주위를 각변위시키는 것이 저지되어, 링크부재(92)의 각변위량이 미리 정해진 값으로 유지된다.
규제부(84)의 오목부는, 정면 벽(28a)에서 가장 떨어진 위치로부터 정면 벽(28a)에 가까워짐에 따라, 미리 정해진 설정 거리(A)를 진행할 때까지는 전후방향(X)으로 평행하게 뻗는다. 오목부(84)는 설정 거리(A)에 도달하고 나서 다시 전방(X1)에 가까워짐에 따라 하방(Z2)으로 진행한다. 본 실시형태에서, 설정 거리(A)는 예컨대 25mm로 설정된다. 본 실시형태에서는, 걸림부(85)는 링크부재(92)의 양쪽에 각각 돌출한다. 또 규제부(84)의 오목부는 링크부재(92)의 양쪽에 각각 형성되어, 2개의 걸림부(85)가 각각 끼워지게 된다.
도 20은 가동체(95)의 전후방향이동에 연동한 링크부재(92)의 각변위 상태를 나타낸 도면이다. 도 20은 이해를 쉽게 하기 위해 오프너(26)의 구성의 일부를 생략해서 나타낸다. 또 도 20은 가동체(95)와 링크부재(92)가 연결되는 연결점(80)의 이동위치(80a ~ 80d)에 대응하는 각 요소의 위치를 첨자 a ~ d에 의해 나타낸다. 첨자 a에서부터 첨자 d로 진행함에 따라 가동체(95)가 전방(X1)으로 진행한다. 앞에서 설명한 바와 같이 접속체(93)는, 전후방향(X)으로 이동할 수 있는 가동체(95) 에 연결됨과 더불어, 가동체(95)에 대해 각변위 축선(L1) 주위를 각변위될 수 있게 구성된다. 따라서, 가동체(95)의 전후방향 위치와, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위 축선(L1) 주위의 각도를 결정함으로써, 전후방향(X) 및 상하방향(Z)의 임의의 위치에 접속부(93)를 배치할 수가 있다. 본 실시형태에서는, 가동체(95)의 전후방향이동에 대응해서, 접속체(93)가 미리 정해진 이동궤적을 이동하도록, 링크부재 각변위수단(91)에 의해 가동체(95)의 전후방향이동에 연동시켜 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 위치결정한다.
가동체(95)와 링크부재(92)가 연결되는 연결점(80)을 가동체(95)의 기준위치로 한다. 오프너 측 도어(65)의 파지하는 FOUP 측 도어(61)가, FOUP 본체(60)를 막은 폐쇄상태에서, 가동체(95)가 위치하는 폐쇄위치(Pi)와, 폐쇄위치(Pi)로부터 가동체(95)가 전방(X1)으로 미리 정해진 설정 거리(A)를 이동한 이간위치(P2)의 사이(C1)를 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)가 전후방향(X)으로 이동하도록 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제한다. 또, 상기 이간위치(P2) 보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역(C2)을 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)가 상하방향(Z)으로 이동하도록 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 결정한다.
본 실시형태에서는, 가동체(95)가 위치하는 폐쇄위치(Pi)와, 폐쇄위치(Pi)로부터 가동체(95)가 전방(X1)에 미리 정해진 거리(A)를 이동한 이간위치(P2) 사이(C1)에서는, 링크부재 각변위수단(91)이 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도(θ)를 일정 또는 대략 일정하게 유지하도록 한다. 이에 의해 접속체(93)를 전후 방향(X)으로 이동시킬 수가 있다. 또 퇴피영역(C)에서, 링크부재의 각변위수단(91)은, 가동체(95)가 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 크게 하고, 가동체(95)가 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 작게 한다.
예컨대 폐쇄위치(Pi)로부터 전후방향이동을 정지시켜야 할 접속체(93)의 위치까지의 전후방향 거리를 E1로 한다. 폐쇄위치(Pi)로부터 가동체(95)의 위치까지의 전후방향 거리를 E2으로 하고, 링크부재(92)의 길이를 F로 한다. 이 경우, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도(θ)가 cos-1((E1-E2)/F)로 되도록 링크부재(92)의 각도를 위치결정한다. 이에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킨 경우에, 접속체(93)를 E2의 전후방향 위치로 유지한 상태에서, 접속체(93)를 상하방향(Z)으로 이동시킬 수가 있다. 여기서 cos-1은, 역코사인 삼각함수로서 아크 코사인을 나타낸다. 또 각도는, 수평면으로부터 링크부재(92)가 하방(Z2)으로 각변위시키는 방향을 정(正)으로 한다. 예컨대 도 20에서, 가동체(95)의 연결점(80)이 E2c 위치에 존재하는 경우에서의 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도 θc는, cos-1((E1 - E2c)/F)로 되도록 링크부재(92)의 각도를 위치결정한다.
가동체(95)가 폐쇄위치(Pi)로부터 전방(X1)으로 이동함으로써, 접속체(93)가 전방(X1)으로 이동한다. 가동체(95)가 폐쇄위치(Pi)로부터 설정 거리(A)를 이동해서 이간위치(P2)에 이른 뒤, 다시 전방(X1)으로 이동함으로써, 접속체(93)는 수평 으로 이동하면서 서서히 수직 아래쪽으로 이동한 후, 완전히 수직 또는 수직에 가까운 궤적을 이동해서 하방(Z2)으로 이동한다. 또, 가동체(95)가 퇴피영역(C2)으로부터 후방(X2)으로 이동함으로써, 접속체(93)가 상방(Z1)으로 이동하여, 수직 위쪽으로 이동하면서 서서히 수평으로 이동한다. 그리고 완전히 수평 또는 수평에 가까운 궤적을 이동해서, 가동체(95)가 이간위치(P2)에 이른 다음 다시 후방(X2)으로 이동함으로써, 접속체(93)가 후방(X2)으로 이동한다. 접속체(93)와 일체로 고정되는 오프너 측 도어(65)도 접속체(93)와 같은 형상의 궤적을 이동한다. 도 20에는, 접속체(93)의 이동궤적을 98a로 나타내고, 오프너 측 도어의 이동궤적을 98b으로 나타낸다.
도 21은 오프너 측 도어(65)의 개폐동작을 나타낸 도면이다. 도 21의 (1)은 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 폐쇄한 상태를 나타낸다. 도 21의 (2)는 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)로부터 이간된 상태를 나타낸다. 도 21의 (3)은 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 개방시킨 상태를 나타낸다.
도 21의 (1)에 도시된 것과 같이, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 상태로부터, 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동해서 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동하기까지는, 링크부재 각변위수단(91)에 의해 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위가 저지된다. 각 링크부재(92)의 각변위가 저지됨으로써, 접속체(93)는 가동체(95)의 이동과 함께 전후방향(X)으로 이동한다. 따라서, 오프너 측 도어(65)도 접속체(93)와 함께 전후방향(X)으로 이동한다. 이에 의해, 오프 너 측 도어(65)는 정면 벽(28a)으로부터 전방(X1)으로 평행하게 이동을 해서 정면 벽(28a)으로부터 이간하게 된다.
도 21의 (2)에 도시된 것과 같이, 가동체(95)가 정면 벽(28a)에 근접해서 미리 전방(X1)에 정해진 설정 거리(A)로 이동한 이간위치로부터, 가동체(95)가 다시 전방(X1)으로 이동하면, 가동체(95)의 이동에 따라, 링크부재 각변위수단(91)에 의해 가동체(95)에 대한 각 링크부재(92)의 각도가 서서히 커지게 된다. 각 링크부재(92)의 각변위가 커지게 됨으로써, 접속체(93)는 가동체(95)의 이동과 더불어, 가동체(95)에 대해 각변위 축선(L) 주위를 각변위 이동한다. 본 실시형태에서는, 링크부재 각변위수단(91)에 의한 각도가 조절됨으로써, 접속체(93)는 FOUP 지지부(31)에 대해 하방(Z2)으로 이동한다. 이에 의해 오프너 측 도어(65)도 접속체(93)와 함께 하방(Z2)으로 이동한다. 따라서, 도 21의 (3)에 도시된 것과 같이, 오프너 측 도어(65)는, 정면 벽(28a)으로부터 전방(X1)으로 이간된 상태로부터 하방(Z2)으로 이동해서 정면 벽(28a)으로부터 이반한다. 오프너 측 도어(65) 가 FOUP 측 도어(61)를 파지한 상태에서 앞에서 설명한 바와 같이 개방동작을 실행함으로써, FOUP 본체(60)로부터 떼어진 FOUP 측 도어(61)를 준비공간(29)으로 끌어들여, FOUP 측 도어(61)을 하방(Z2)으로 이동시켜, FOUP 내 공간(43)과 준비공간(29)을 연통해서 FOUP 본체(60)를 벌릴 수가 있다.
마찬가지로 해서, 가동체(95)가 정면 벽(28a)에 최근접한 위치로부터 후방(X2)으로 이반하는 경우에는, 오프너 측 도어(65)는 접속체(93)와 함께 상방(Z1)으로 진행해서 정면 벽(28a)으로 근접한다. 그리고 가동체(95)가 정면 벽(28a)으로 부터 후방(X2)으로 이반하면, 오프너 측 도어(65)는 후방(X2)으로 이동해서 정면 벽(28a)의 오프너 개구부(68)를 막게 된다. 오프너 측 도어(65)가 FOUP 측 도어(61)를 파지한 상태에서, 앞에서 설명한 바와 같이 폐쇄동작을 실행함으로써, FOUP 본체(60)로부터 떼어진 FOUP 측 도어(61)를 다시 FOUP 본체(60)에 접하게 할 수가 있어, FOUP 본체(60)를 닫을 수가 있다.
또 가동체(95)와 접속체(93)는 평행링크기구를 구성하는 복수의 링크부재(92)에 연결됨으로써, 접속체(93)는 자세를 일정하게 유지하면서 진행한다. 이와 같은 본 실시형태의 오프너 측 도어 구동기구(66)에 의해, 오프너 측 도어(65)는 자세를 유지한 상태에서 전후방향(X) 및 상하방향(Z)으로 이동할 수가 있다.
이상과 같이 링크부재 각변위수단(91)은, 오프너 측 도어(65)가 오프너 측 개구부(68)를 막은 폐쇄상태로부터, 가동체(95)가 전방(X1)에 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동하기까지, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 일정하게 유지하게 된다. 또, 링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(95)가 설정 거리(A)에 이른 이간위치로부터 전방(X1)으로 다시 이동함에 따라 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각도를 크게 한다. 이에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 오프너 측 도어(65)를 수평방향 및 연직방향으로 이동시킬 수가 있어, 오프너 측 도어(65)가 파지하는 FOUP 측 도어(61)에 의해 FOUP 본체(60)를 개폐할 수가 있다. 여기서, 설정 거리(A)는, FOUP 측 도어(61)을 파지하는 오프너 측 도어(65)가 정면 벽(28a)으로부터 하방(Z2)으로 이동하는 경우에, FOUP 측 도어(61) 등이 정면 벽(28a) 등과 간섭하는 것이 방지되는 거리로 설정된다. 예컨대 설정 거리(A)는 정 면 벽(28a)의 두께방향 치수와, FOUP 측 도어(61)의 두께방향 치수를 가산한 값보다도 크게 설정된다.
본 실시형태에 의하면, 가동체(95)와 접속체(93)는 평행링크기구를 구성하는 복수의 링크부재(92)에 연결됨으로써, 접속체(93)에 고정되는 오프너 측 도어(65) 및 오프너 측 도어(65)에 파지되는 FOUP 측 도어(61)가 자세를 일정하게 유지하면서 이동하게 된다. 또 본 실시형태에서는, 오프너 측 도어(65)에 파지되는 FOUP 측 도어(61)를 전후방향(X)으로 변위 이동시킬 수 있음과 더불어, 가동체(95)의 각변위 축선(L) 주위에 각변위 이동시킬 수가 있어, 각변위 축선(L)에 수직인 평면 내에서 2방향으로 이동시켜 용기 본체를 개폐할 수가 있다.
가동체 구동수단(94)에 의해, 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 오프너 측 도어(65)에 파지되는 FOUP 측 도어(61)를 전후방향(X)과 상하방향(Z)으로 이동시킬 수가 있어, FOUP 본체(60)로부터 FOUP 측 도어(61)를 근접 및 이반시켜 FOUP 본체(60)의 개폐동작을 실행하도록 할 수가 있다. 가동체(95)는 전후방향(X)으로 이동시켜도, FOUP 지지부(31)에 지지되는 FOUP(25)의 근방을 이동시킬 수가 있어, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 위치에 가동체(95)를 이동시키는 기구를 설치할 필요가 없다. 이와 같이 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)의 근방에 오프너 측 도어 구동기구(66)를 배치할 수가 있어, 오프너(26)를 간소화 또는 경량화할 수가 있다. 또, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있다.
가동체(95)가 폐쇄위치(P1)와 이간위치(P2) 사이를 이동하는 동안(C1)에는, FOUP 측 도어(65)는 이동방향을 분해한 성분 중 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다. 이에 의해 FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)에 대해 전후방향(X)으로 근접 및 이반할 때, FOUP 본체(60)의 개구부(62) 및 정면 벽(28a) 등과 FOUP 측 도어(61)가 간섭하는 것을 막을 수 있어서, FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60)로부터 원활히 근접 및 이반시킬 수가 있다.
또 가동체(95)가 퇴피영역을 전후방향(X)으로 이동하는 동안(C2)에는, FOUP 측 도어(61)는 FOUP 본체(60)에 대해 상하방향(Z)으로 근접 또는 이반한다. 이에 의해 FOUP 측 도어(61)가 FOUP 본체(60)로부터 이간된 상태로 전후방향(X)으로 이동하는 것을 억제할 수가 있어, FOUP 측 도어(61)의 동작영역을 전후방향(X)으로 작게 할 수가 있어, FOUP 본체(60)를 개폐하기 위해 필요한 가동공간의 전후방향 치수를 작게 할 수가 있다. 이에 의해, FOUP 측 도어(61) 및 오프너 측 도어(65)가, 기판 이재 장치(23)에 배치되는 다른 장치인 예컨대 기판 반송용의 로봇 등에 간섭하는 것을 막을 수가 있다.
또 FOUP 본체(60)를 개방하는 경우, FOUP 측 도어(61)는 수평 또는 수평에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)로부터 이간하고, 이간 후 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)로부터 이반한다. 또 FOUP 본체(60)를 폐쇄하는 경우, FOUP 측 도어(61)는, FOUP 본체(60)로부터 이간한 상태에서 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)로 근접하고, 근접 후 수평 또는 수평에 가까운 궤적을 그리면서 FOUP 본체(60)에 접하게 된다. 이와 같이 FOUP 측 도어(61)를 FOUP 본체(60) 보다도 아래쪽으로 이동시켜 FOUP 본체(60)를 개방함으로 써, 상방으로부터 아래쪽으로 기체가 흐르게 되어, FOUP 내 공간(34) 또는 준비공간(29) 등에 먼지 입자가 부착될 염려를 적게 할 수가 있어, 기판 반입 및 반출 시에 기판이 오염되는 것을 막을 수가 있다.
또 본 실시형태에 의하면, FOUP 지지부(31)가 가동체 구동수단(94)과 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)를 지지함으로써, 가동체 구동수단(94) 및 가동체(95)를 지지하는 부분을 별도로 형성할 필요가 없어, 오프너(26)의 부품수를 줄일 수가 있게 된다. 이에 의해 다시 오프너(26)를 간소화 또는 경량화할 수 있음과 더불어 구조를 간단화할 수가 있어, 오프너(26)의 제조비용을 저감할 수가 있다. 예컨대 FOUP 지지부(31)에 오프너 측 도어 구동기구(66)를 구성하는 각 요소 부품이 지지되도록 함으로써, 오프너(26)에 형성되는 정면 벽(28a)에 오프너 측 도어 구동기구(66)의 각 요소 부품을 고정되도록 지지시킬 필요가 없어, 정면벽(28a)을 소형화함과 더불어, 정면 벽(28a)의 강성을 저하시킬 수가 있어, 오프너(26)의 제조비용을 줄일 수가 있게 된다.
또 본 실시형태에 의하면, 걸림부(85)와 규제부(84)를 포함해서 링크부재 각변위수단(91)이 구성됨으로써, 별도의 구동원을 필요로 하지 않고서 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제할 수가 있다. 이에 따라 가동체 구동수단(94)에 의해 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시키기만 하면, 그 가동체(95)의 이동에 연동시켜 링크부재(92)를 각변위시킬 수가 있다. 이에 의해 오프너(26)의 구성을 더욱 간단화할 수 있어, 부품수를 줄일 수가 있게 된다.
또 본 실시형태에서는, FOUP 지지부(31)에 형성되는 내부공간에 가동체 구동 수단(94)과 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)가 배치됨으로써, 가동체 구동수단(94)과 링크부재 각변위수단(91) 및 가동체(95)를 덮는 커버체를 별도로 형성할 필요가 없어, 부품수를 줄일 수가 있게 된다. 이에 의해, 오프너(26)를 더 소형화할 수가 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있다.
도 22는 본 실시형태의 오프너(26)와, 비교예의 오프너(126)를 비교한 도면이다. 도 22의 (1)은 본 실시형태의 오프너(26)를 나타내고, 도 22의 (2)는 비교예의 오프너(126)를 나타낸다. 비교예의 오프너(126)는, 오프너 측 도어(165)에 접속되는 접속체(193)를 상하방향(Z)으로 이동시키는 나사축(188)이 상하방향(Z)으로 뻗어 있다. 비교예의 오프너(126)에 대해, 본 실시형태와 대응하는 구성에 대해서는 참조부호(100)를 기재하고서 설명을 생략한다.
본 실시형태의 오프너(26)는, 가동체(95)가 후프(hoop) 지지부(31)의 내부공간에 수용된다. 이에 의해 도 21의 (2)에 도시된 비교예의 오프너(126)에 비해 수평방향 치수를 소형화할 수가 있다. 또 비교예의 오프너(126)와 같이, 나사축(188) 및 접속체(193)를 안내하는 안내수단을 정면 벽(128a)으로 지지할 필요가 없기 때문에, 정면 벽(28a)을 소형화할 수가 있어, 제조비용을 극히 염가로 해서 구성할 수가 있다. 또 FOUP 지지부(31)의 하방으로 작업자가 출입할 수 있는 도어를 설치할 수가 있어, 이 도어를 설치함으로써 유지관리를 용이하게 실행할 수 있다. 또, 가동체(93)가 폐쇄위치(P1)로 이동한 상태에서, 링크부재(92)가 수평으로 뻗기 때문에, 폐쇄상태에서의 오프너(26)를 더 소형화할 수 있다. 그리고 본 실시형태에서는, FOUP 측 도어를 이동하는 기구가 상하방향(Z)으로 배치되지 않기 때문에, 유지 관리를 할 때 작업자가 웨이퍼 이재 장치의 고정공간(78)으로 출입하는 경우에, 오프너(26)가 작업자의 출입을 방해하지 않아, 도어로부터 웨이퍼 이재 장치의 고정공간으로 쉽게 출입할 수가 있다.
도 23은 본 실시형태의 오프너(26)와, 비교예의 오프너(126)를 비교하는 도면이다. 도 23의 (1)은 본 실시형태의 오프너(26)를 나타내고, 도 23의 (2)는 비교예의 오프너(126)를 나타낸다. 본 실시형태의 오프너(26)는, FOUP 지지부(31)에 대해 상하방향으로 근접한 위치에 오프너 측 도어 구동기구(66)를 배치할 수가 있기 때문에, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 공간(75)을 유효하게 이용할 수가 있다. 이에 대해, 비교예의 오프너(126)에서는, 이동체(193)를 이동시키는 구동수단과, 이동체(193)를 안내하는 안내수단을 FOUP 지지부(131)에서 떨어진 위치에 배치할 필요가 있어, FOUP 지지부(31)로부터 떨어진 공간(76)을 유효하게 이용할 수가 없다. 본 실시형태에서는, 예컨대 FOUP 지지부(31)로부터 이반된 위치에 로봇 콘트롤러(44), 웨이퍼 이재 장치인 EFEM에 필요한 디바이스, 유지관리용 재료(97) 등을 배치할 수가 있다.
도 24는 오프너(26)의 하방의 공간에 출입용 도어(96)가 형성되는 반송계 유닛(21)을 나타낸 도면이다. 도 24의 (1)은 출입용 도어(96)를 닫은 상태를 나타낸다. 또, 도 24의 (2)는 출입용 도어(96)을 벌린 상태를 나타낸다. 본 실시형태에서, 프레임 본체부(50a)에는 출입용 도어(96)가 형성된다. 본체 구성체(51)에 반송계 유닛(21)이 장착된 상태에서 출입용 도어(96)는, 개방상태에서 바깥쪽 공간(33)과 프레임 본체부(50a)의 내부공간(57)을 직접 연통시킨다.
본 실시형태에 의하면, 오프너(26) 하방의 공간(76)으로서, 프레임 본체부(50a)의 내부공간(57)에, 로봇 콘트롤러(44), 웨이퍼 이재 장치(23)에 필요한 디바이스, 유지관리용 재료(97) 등이 배치된다. 작업자는 출입용 도어(96)를 열게 됨으로써, 준비공간(29)에 깊게 침입하지 않아도 웨이퍼 이재 장치의 조정 및 유지관리를 실행할 수 있다. 또, 가동공간(79)으로 진입하지 않고 바깥쪽 공간(33)으로부터 고정공간(79)으로 직접 진입해서 고정공간(79)에 배치된 각 부품을 유지관리할 수가 있어, 편리성을 향상시킬 수가 있다.
또, 앞에서 설명한 칸막이체(52)에 의해, 유지관리작업을 할 때 고정공간(78)에서 발생한 먼지 입자가 가동공간(79)으로 이동하는 것을 막음으로써, 가동공간의 청정도의 악화를 억제할 수가 있게 된다. 이에 의해, 유지관리작업 후에 단시간에 가동공간의 청정도를 회복할 수가 있어서, 작업효율을 향상시킬 수가 있다.
이와 같이 작업자가 준비공간(29)에 침입함에 기인하는 오염을 억제할 수가 있어, 준비공간(29)의 청정도를 회복하기에 필요한 시간을 단축할 수가 있어서, 작업효율을 향상시킬 수가 있다. 또 웨이퍼 반송장치를 조정 및 유지관리하기 위해 필요한 조작 기기 등의 조정수단이 출입용 도어(96)의 개구부 근방에 배치된다. 예컨대 조정수단은 에어 밸브 및 센서의 조정편 등이다. 조정수단은, 복수의 버튼 및 조작편과 같은 작업자가 조작할 수 있는 조작부로 형성되고, 조작부는 콘트롤러의 후방(X2) 단부에 형성된다. 이에 의해 작업자는 내부공간(57)에 깊이 침입하지 않고서도 웨이퍼 이재 장치(23)의 조정 및 유지관리작업을 용이하게 실행할 수 있다. 또 조정수단은, 콘트롤러(44) 이외이어도 좋은바, 배선의 접속 커넥터 및 접속 스 위치나, 전기회로 및 팬 필터 유닛의 필터이어도 좋다. 또 본 실시형태에서는, 앞에서 설명한 소형화한 오프너(26)가 설치되기 때문에, 내부공간(57)을 대형화할 수가 있어서, 내부공간(57)에 배치할 수 있는 조정수단을 늘릴 수가 있다. 또 프레임 본체부(50a)가 지지하는 오프너가 앞에서 설명한 소형의 오프너이기 때문에, 프레임 본체부(50a)의 높이 치수를 작게 할 수가 있다. 이에 의해 준비공간(29)을 소형으로 할 수가 있다.
도 25는 본 발명의 제2실시형태인 오프너(226)를 나타낸 도면이다. 다른 실시형태의 오프너(226)는 접속부(93)의 이동궤적이 다른 외에는, 제1실시형태와 마찬가지이다. 마찬가지 구성에 대해서는 마찬가지 참조부호를 붙이고서 설명을 생략한다.
제1실시형태의 오프너(26)는 FOUP 개방시, 접속부(93)를 수평방향으로 이동시킨 후 하방(Z2)으로 이동시켰으나, 이에 한정되지 않는다. 제2실시형태에서는, 링크부재 각변위수단(91)은, 가동체(93)가 폐쇄위치(Pi)와 이간위치(P2) 사이를 가동체(93)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)를 대략 수평한 곡선궤적을 그리도록 링크부재(92)의 각도를 규제한다. 또, 상기 이간위치(Pi) 보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역을 가동체(93)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속부(93)를 대략 수직인 곡선궤적을 그리도록 링크부재(92)의 각도를 규제한다.
구체적으로는, 가동체(95)가 폐쇄위치(Pi)와 이간위치(Pi) 사이(C1)를 전방(X1)으로 이동하는 경우에는, 접속체(93)는 전방(X1)으로 이동함과 더불어 하방(Z2)으로 이동한다. 그 이동방향의 성분 중에서 전방(X1)으로 이동하는 성분이 많고, 하방(Z2)으로 이동하는 성분이 적다. 또, 가동체(95)가 퇴피영역(C2)을 전방(X1)으로 이동하는 경우에는, 접속체(93)는 전방(X1)으로 이동함과 더불어 하방(Z2)으로 이동한다. 그 이동방향의 성분 중에서, 전방(X1)으로 이동하는 성분이 적고, 하방(Z2)으로 이동하는 성분이 많다. 이와 같이 제2실시형태의 접속부(93)는 타원호에 따른 궤적을 따라 이동한다. 규제부(84)의 오목부의 형상을 설정함으로써, 접속부(93)의 이동경로를 용이하게 변경할 수가 있다.
도 26은 접속부(93)의 이동궤적(98)의 한 예를 나타낸 도면이다. 도 26의 (1)은 제2실시형태에서의 접속부(93)의 이동궤적(98)을 나타내고, 도 26의 (4)는 제1실시형태의 접속부(93)의 이동궤적(98)을 나타낸다. 접속부(93)의 이동궤적은 이와 같이 곡선상으로 변화하여도 좋고, 절곡선상으로 변화하여도 좋고, 도시되어 있지는 않으나 파형선상(波形線狀)으로 변화하여도 좋다.
링크 각변위수단(91)은, 폐쇄위치(Pi)와 이간위치(Pi) 사이(C1)를 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X) 성분이 존재하도록, 가동체(95)에 대한 링크부재(92)의 각변위를 규제한다. 또 링크 각변위수단(91)은, 이간위치(P2) 보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역(C2)을 가동체(95)가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체(93)의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 존재하도록, 가동체(95)의 이동에 연동해서 링크부재(92)를 가동체(95)에 대해 각변위시킨다. 이에 의해 각 도어(61, 65)가 정면 벽(28a) 등에 간섭하는 것을 막음과 더불어, 정면 벽(28a)으로부터 바라지 않게 전방(X1)으로 이반하는 것을 막을 수가 있어, 각 도어(61, 65)의 가동범위를 컴팩트하게 해서 준비공간(29)에 배치할 수가 있다.
도 27은 다른 실시형태의 링크부재 각변위수단(91)의 일부를 나타낸 도면이다. 앞에서 설명한 링크부재 각변위수단(91)은 핀 부재(85)가 오목부(84)에 끼워짐으로써 링크부재(92)의 각변위를 저지하는 구조였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다. 예컨대 도 27의 (1)에 도시된 것과 같이, 규제부(185)는 단면적이 한결같은 주상(柱狀)의 레일 부재로 형성되어, 걸림부(184)가 상기 레일 부재를 축선주위를 일주하는 링 부재에 의해 형성되어도 좋다.
또, 도 27의 (2)에 도시된 것과 같이, 규제부(285)가 레일모양으로 형성되어 대향하는 2개의 면에 레일 홈이 형성되는 레일 부재로 형성되고, 걸림부(284)가 규제부(295)의 레일 홈을 양측에서 사이에 두는 형상으로 2개의 협지체에 의해 형성되어도 좋다. 또, 도 27의 (3)에 도시된 것과 같이, 각 도어(61, 65)가 자중을 갖기 때문에, 규제부(385)가 상부면이 곡면으로 형성되는 형상이어도 좋다. 이와 같이 걸림부(84, 184, 284, 385)가 규제부(85, 185, 285, 385)에 안내되어 전후방향(X)으로 자유로이 이동한 상태로 전후방향(X)에 수직인 방향에 대한 변위가 규제됨으로써, 링크부재 각변위수단(91)을 실현할 수가 있다.
또, 도 27의 (4)에 도시된 것과 같이, 링크부재 각변위수단(91)은, 링크부재(92)를 각변위시키기 위한 모터와, 모터의 동력을 링크부재(92)로 전달하는 동력전달기구를 구비하고 있는 구성이어도 좋다. 이 경우, 가동체(95)의 이동량에 대응해서 모터에 의해 링크부재(92)를 미리 정해진 양만큼 각변위시킴으로써 마찬가지 효과를 얻을 수가 있다. 또, 모터에 의해 링크부재(92)를 각변위시킴으로써, 도어를 개방하는 경우와 도어를 폐쇄하는 경우에, 접속부(93)의 이동경로를 다르게 할 수도 있다.
도 28은 다른 실시형태의 가동체 구동수단(91)을 간략화해서 나타낸 도면이다. 오프너(26)는, FOUP 지지부(31)가 올려지는 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동하는 FOUP 구동수단(70)을 갖는다. FOUP 구동수단(70)은, 로봇 또는 작업자 등에 의해 FOUP(25)가 FOUP 지지부(31)의 테이블 부분(69)에 배치된 상태에서, 테이블 부분(69)을 정면 벽(28a)을 향해 전후방향(X)으로 이동해서 FOUP(25)와 정면 벽(28a)을 밀착시킨다. 또, FOUP(25)와 정면 벽(18a)이 밀착된 상태로부터 해제한다.
테이블 부분(69)과 상기 가동체(95)는, 전후방향(X)이 닫힌 방향이기 때문에, 본 실시형태에서 오프너(26)는 1개의 구동수단에 의해 테이블 부분(69)과 상기 가동체(95) 중 어느 것을 이동시킬까를 절환하는 절환수단(75)을 갖는다. 이에 의해 하나의 구동수단에 의해 테이블 부분(69)과 가동체(95)를 선택적으로 전후방향(X)으로 이동시킬 수가 있다.
예컨대 구동수단(70)은 이동체(73)를 전후방향(X)으로 이동시킨다. 이동체(73)에는, 전후방향(X)에 대략 수직인 방향으로 핀부(71)를 2방향으로 선택적으로 돌출시키는 듀얼식의 에어실린더(75)가 탑재된다. 도 28의 (1)에 도시된 것과 같이, 에어실린더(75)가 핀부(71)를 제1방향으로 돌출시켜, 핀부(71)를 가동체(95)에 끼워지도록 함으로써, 이동체(73)와 함께 가동체(95)를 전후방향(X)으로 이동시 킬 수가 있다. 또, 도 28의 (2)에 도시된 것과 같이, 에어실린더(75)가 핀부(71)를 제2방향으로 돌출시켜 테이블 부분(69)에 끼워지도록 함으로써, 이동체(73)와 함께 테이블 부분(69)을 전후방향(X)으로 이동시킬 수가 있다.
본 실시형태에서는, 가동체(95)를 이동시키는 구동수단을 FOUP 지지부(31) 근방에 설치할 수가 있기 때문에, FOUP 지지부(31)에 설치되는 다른 구동수단과 가동체 구동수단을 겸용한 구성으로 할 수가 있다. 테이블 부분(69) 등을 매개로 FOUP(25)을 전후방향(X)으로 이동시키는 기판 용기 구동수단을 이용해서 가동체 구동수단을 실현함으로써, 가동체를 변위 구동시키기 위한 구동원과, 기판 용기를 변위 구동시키기 위한 구동원의 2개의 구동원을 사용할 필요가 없고, 1개의 구동원에 의해 기판 용기 구동수단과 가동체 구동수단을 실현할 수 있어서, 기판 용기 오프너의 구동원의 수를 줄일 수가 있게 된다. 이와 같이 FOUP 지지부(31)에 설치되는 다른 구동수단으로 가동체 구동수단을 겸용함으로써, 구동수단의 수를 줄일 수가 있어, 구조를 간단화할 수 있음과 더불어, 설계의 자유도를 높일 수가 있게 된다. 또 오프너(26)을 소형화할 수 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있다.
도 29는 본 발명의 또 다른 실시형태인 제2반송계 유닛(121)을 나타낸 단면도이다. 제2반송계 유닛(121)은 제1실시형태의 반송계 유닛(21)과 유사한 구성을 가지고 있어서, 유사한 구성에 대해서는 마찬가지 참조부호를 붙인다. 제2반송계 유닛(121)은 오프너(126)의 구성이 다르고, 나머지 구성에 대해서는 제1실시형태의 반송계 유닛(21)과 마찬가지이다. 제2반송계 유닛(121)은 도 23의 (2)에 도시된 비교예의 오프너(126)를 갖는다. 이와 같은 제2반송계 유닛(121)으로도 제1실시형태 와 마찬가지 효과를 얻을 수가 있다.
도 30은 본 발명의 또 다른 실시형태인 제3반송계 유닛(221)을 나타낸 단면도이다. 제3반송계 유닛(221)은 제1실시형태의 반송계 유닛(21)과 유사한 구성을 가지고 있어서, 유사한 구성에 대해서는 마찬가지 참조부호를 붙인다. 제3반송계 유닛(221)은 프레임 분할체의 구성이 다르고, 나머지 구성에 대해서는, 제1실시형태의 반송계 유닛(21)과 마찬가지이다. 프레임 분할체는, 봉상의 부재가 프레임형상으로 복수로 연결되어 충분한 강성을 가진 골조가 형성되어 있는바, 그 골조에 판상부재가 고정되어도 좋다. 이 경우, 봉상의 부재에 각 반송계 요소(26, 27, 56)가 고정됨으로써, 제1실시형태와 마찬가지 효과를 얻을 수가 있다. 또 FFU에 의해 다운 흐름이 발생하는 경우, 칸막이체(52)가 판상으로 형성되고서 두께 방향으로 관통하는 개구가 등간격으로 복수로 형성되어 있어도 좋다. 이 경우, 준비공간(29) 중 가동공간(79)으로부터 고정공간(78)으로 분위기 기체가 흘러 가동공간(79)의 청정도를 유지할 수 있다.
앞에서 설명한 본 실시형태는, 본 발명의 예시에 지나지 않고 발명의 범위 내에서 구성을 변경할 수가 있다. 예컨대 본 실시형태에서는, 대상 기판으로 반도체 웨이퍼(24)에 대해 설명하였으나, 반도체 웨이퍼 이외의 기판, 예컨대 F PD(Flat Panel Display)에 쓰이는 유리기판 등이라도 마찬가지의 효과를 달성할 수가 있다. 또, 프레임 구조체의 형상에 대해서는, 충분한 강성을 가진 형상이라면 좋고, 본 실시형태에 예시한 형태로 한정되지 않는다. 또 기판 용기로서 FOUP(25)를 이용하였으나, 오픈 카세트이어도 좋고, FOSB(Front Opening Shipping Box)이어 도 좋다. 또 본 실시형태에서는, 접속부(93)를 수평 또는 대략 수평으로 동작시키면 좋고, 가동체(95)는 수평으로 이동하지 않아도 된다. 오픈 카세트의 경우, FOUP 오프너(26) 대신 오픈 카세트를 위치맞춤한 상태에서 보유지지하는 보유지지부가 프레임 분할체(50)의 고정부에 고정된다.
이상, 본 발명의 바람직한 예에 대해 어느 정도 특정적으로 설명하였으나, 그들에 대해 여러 가지 변경을 할 수 있음은 물론이다. 따라서, 본 발명의 범위 및 정신으로부터 일탈하지 않고, 본 명세서 중에서 특정적으로 기재된 태양과는 다른 태양으로 본 발명을 실시할 수 있음도 이해되어야 한다.
또 본 발명은 이하의 형태가 적용될 수 있다.
(1) 미리 설정되는 정면 방향으로 개방되어, 기판이 수용되는 수용공간이 형성되는 용기 본체와, 용기 본체에 대해 착탈될 수 있게 형성되어, 용기 본체에 장착된 상태에서 수용공간의 개구를 막는 용기 측 도어를 가진 기판 용기를 개폐하는 기판 용기 오프너의 일부를 구성하여, 용기 본체로부터 떼어지는 용기 측 도어를 파지가능한 오프너 측 도어를 변위 구동하는 오프너 측 도어 구동기구로서,
(a) 기판 용기 오프너의 일부를 구성하는 용기 지지부에 위치결정되어 지지되는 용기 본체에서 정면 방향으로 되는 전방(X1)과, 이 전방(X1)과 반대되는 방향인 후방(X2)을 포함한 전후방향(X)으로 이동할 수 있는 가동체와,
(b) 이 가동체를 상기 전후방향(X)으로 변위 구동하는 가동체 구동수단과,
(c) 오프너 측 도어에 고정되는 접속체와,
(d) 가동체와 접속체가 연결되어 평행링크기구를 구성하고서, 가동체에 대해 접속체를 상기 전후방향(X)에 수직 또는 대략 수직으로 뻗은 각변위 축선(L) 주위를 상대 각변위할 수 있게 연결하는 복수의 링크부재와,
(e) 가동체의 전후방향 위치에 대응해서 미리 정해지는 각도 위치에, 가동체에 대해 각 링크부재를 각변위시키는 링크부재 각변위수단으로서,
(e1) 오프너 측 도어를 파지하는 용기측 도어가 용기 본체의 개구를 막은 폐쇄 상태에서 가동체가 위치하는 폐쇄위치와, 이 폐쇄위치로부터 가동체가 전방(X1)에 미리 정해진 설정 거리(A)로 이동한 이간위치 사이를 가동체가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X) 성분이 존재하도록 가동체에 대한 링크부재의 각변위를 규제하고,
(e2) 상기 이간위치보다도 전방(X1)으로 되는 퇴피영역을 가동체가 전후방향(X)으로 이동함에 있어, 접속체의 이동방향을 분해한 성분 중에서 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 존재하도록, 가동체의 이동에 연동해서 링크부재를 가동체에 대해 각변위시키는 링크부재 각변위수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
가동체와 접속체는 평행링크기구를 구성하는 복수의 링크부재에 연결됨으로써, 접속체 및 접속체에 고정되는 오프너 측 도어는 자세를 일정하게 유지하면서 이동한다.
또, 가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 상태에서는, 가동체의 전후방향(X) 이동에 연동해서 링크부재 각변위수단이 가동체에 대해 링크부재의 각변위를 규제함으로써, 접속체의 이동방향에는 적어도 전후방향(X) 성분이 포함된 다. 이에 의해 접속체에 고정되는 오프너 측 도어는, 파지한 용기 측 도어와 함께 전후방향(X)으로 이동한다. 폐쇄위치로부터 이간위치로 가동체가 전방(X1)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어가 용기 본체로부터 전방(X1)으로 이동해서 용기 본체로부터 이간한다. 또, 이간위치로부터 폐쇄위치로 가동체가 후방(X2)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기 측 도어는 용기 본체를 향해 후방(X2)으로 이동해서, 용기 본체의 개구부를 폐쇄한다.
또, 가동체가 퇴피영역을 이동하는 상태에서는, 가동체의 전후방향(X) 이동에 연동해서, 링크부재 각변위수단이 가동체에 대해 링크부재를 각변위시킴으로써, 접속체의 이동방향에는 적어도 전후방향(X)에 수직인 수직방향 성분이 포함된다. 이에 의해 접속체에 고정되는 오프너 측 도어는, 파지한 용기 측 도어와 함께 수직방향으로 이동한다. 퇴피영역을 가동체가 전방(X1)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기 측 도어는 용기 본체로부터 전후방향(X)에 수직인 수직방향으로 이반 이동해서 용기 본체를 개방한다. 또 퇴피영역을 가동체가 후방(X2)으로 이동하면, 오프너 측 도어에 파지되는 용기측 도어는 용기 본체로부터 전후방향(X)에 수직인 수직방향으로 근접 이동해서, 용기 본체에 대향한다.
이와 같이, 오프너 측 도어에 파지되는 용기 측 도어를 전후방향(X)으로 변위 이동시킬 수 있음과 더불어, 가동체의 각변위 축선(L) 주위에 각변위 이동시킬 수가 있고, 각변위 축선(L)에 수직인 평면 내에서 2방향으로 이동시켜, 용기 본체를 개폐할 수가 있다.
가동체 구동수단에 의해 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 오프너 측 도어에 파지되는 용기 측 도어를, 전후방향(X)과 전후방향(X)에 수직인 방향으로 이동시킬 수가 있어, 용기 본체로부터 용기 측 도어를 근접 및 이반시켜 용기 본체의 개폐동작을 실행하도록 할 수가 있다. 또, 가동체를 이동시키는 전후방향(X)은, 용기 지지부에 지지되는 용기 본체에 대해 수용공간이 개방되는 정면 방향에 평행한 방향이다. 이에 의해 가동체는 전후방향(X)으로 이동시켜도, 용기 지지부에 지지되는 기판 용기의 근방을 이동시킬 수가 있어, 용기 지지부로부터 이반된 위치에 가동체를 이동시키는 기구를 설치할 필요가 없게 된다. 따라서, 용기 지지부의 근방에 오프너 측 도어 구동기구를 배치할 수가 있어, 기판 용기 오프너를 소형화할 수가 있다. 또, 기판 용기 오프너 중에서 기판 용기를 지지하는 용기 지지부로부터 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있다.
(2) 상기 링크부재 각변위수단은, 가동체가 상기 폐쇄위치와 상기 이간위치 사이를 이동하는 동안, 가동체에 대한 링크부재의 각도를 일정 또는 대략 일정하게 유지하고, 가동체가 상기 퇴피영역을 이동하는 동안에는, 가동체의 전방(X1)으로의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 크게 하고, 가동체의 후방(X2)으로의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 작게 하는 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 동안에는, 링크부재 각변위수단에 의해 가동체에 대한 링크부재의 각변위가 억제되게 된다. 각 링크부재의 각변위가 억제됨으로써, 접속체가 가동체의 이동에 대응해서 이동하는 경우, 그 이동방향을 분해한 성분 중 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다. 따라서 오 프너 측 도어에 파지되는 용기 측 도어도 이동방향을 분해한 성분 중 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다.
또, 가동체가 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 동안에는, 가동체의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 크게 함으로써, 용기 측 도어의 이동방향을 분해한 성분 중의 전후방향(X) 성분을 적게 할 수가 있다. 마찬가지로, 가동체가 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 동안에는, 가동체의 이동에 대응해서 가동체에 대한 링크부재의 각도를 작게 함으로써, 용기 측 도어의 이동방향을 분해한 성분 중의 전후방향(X) 성분을 적게 할 수가 있다. 이에 의해, 가동체가 퇴피영역을 전후방향(X)으로 이동하는 동안에는, 용기 측 도어가 수직방향 또는 대략 수직방향으로 용기 본체에 대해 근접 또는 이반하게 된다.
가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 동안에는, 용기 측 도어는 이동방향을 분해한 성분 중 모두 또는 대부분이 전후방향(X) 성분으로 된다. 이에 의해 용기 측 도어가 용기 본체에 대해 전후방향(X)으로 근접 및 이반할 때, 용기 본체의 개구부 및 기판 용기 오프너에 형성되는 정면 벽 등과 용기 측 도어가 간섭하는 것을 막을 수가 있어, 용기 측 도어를 용기 본체로부터 원활히 근접 및 이반시킬 수가 있다.
또 가동체가 퇴피영역을 전후방향(X)으로 이동하는 동안에는, 용기 측 도어는 용기 본체에 대해 수직방향 또는 대략 수직방향으로 근접 또는 이반한다. 이에 의해 용기 측 도어가 전후방향(X)에 바라지 않게 이동하는 것을 억제할 수가 있어, 용기 측 도어의 동작영역을 전후방향(X)으로 작게 할 수가 있어서, 용기 본체를 개 폐하기 위해 필요한 가동공간의 전후방향(X) 치수를 작게 할 수가 있다. 이에 의해 용기 측 도어 및 오프너 측 도어가, 기판 이재 장치에 배치되는 다른 장치, 예컨대 기판 반송용의 로봇 등에 간섭하는 것을 막을 수가 있다.
(3) 상기 전후방향(X) 및 상기 각변위 축선(L)은 수평 또는 대략 수평으로 뻗고, 상기 링크부재 각변위수단은, 가동체가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크 부재를 아래쪽으로 각변위하고, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 위쪽으로 각변위하는 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
전후방향이 수평 또는 대략 수평으로 뻗음에 따라, 가동체가 폐쇄위치와 이간위치 사이를 이동하는 동안에는 접속체가 수평 또는 대략 수평으로 뻗은 궤적에 따라 이동한다. 또, 가동체가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 아래쪽으로 각변위를 함으로써, 가동체가 상기 퇴피영역을 전방(X1)으로 이동하는 경우에는 접속체가 연직 또는 대략 연직으로 뻗은 궤적을 따라 아래쪽으로 이동한다. 또, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 데에 대응해서 가동체에 대해 링크부재를 위쪽으로 각변위함으로써, 가동체가 상기 퇴피영역을 후방(X2)으로 이동하는 경우에는, 접속체가 연직 또는 대략 연직으로 뻗은 궤적을 따라 위쪽으로 이동한다.
이와 같이, 용기 본체를 연 경우에는, 용기 측 도어는 수평 또는 대략 수평한 궤적을 따라 전방(X1)으로 이동한 뒤, 연직 또는 대략 연직인 궤적을 따라 아래쪽으로 이동한다. 또 용기 본체를 닫은 경우에는, 용기 측 도어는 연직 또는 대략 연직인 궤적을 따라 위쪽으로 이동한 뒤, 수평 또는 대략 수평한 궤적을 따라 후방(X2)으로 이동한다.
용기 본체를 개방하는 경우, 용기 측 도어는 수평 또는 대략 수평에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체로부터 이간하고, 이간 후 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체로부터 이반한다. 또 용기 본체를 폐쇄하는 경우, 용기 측 도어는, 용기 본체로부터 이간된 상태에서, 연직 또는 연직에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체에 근접하고, 근접 후 수평 또는 대략 수평에 가까운 궤적을 그리면서 용기 본체에 닿게 된다. 이와 같이 용기 측 도어를 용기 본체보다도 아래쪽으로 이동시켜 용기 본체를 개방함으로써, 용기 개폐 시에 기류가 흐트러졌다고 하더라도, 기류가 상방으로부터 아래쪽으로 흐르도록 조정함으로써, 기판, 용기 본체, 로봇 등에 먼지 입자가 부착되는 염려를 적게 할 수가 있어, 기판 반입 및 반출 시에 기판이 오염되는 것을 막을 수가 있다.
(4) 상기 가동체 구동수단과 상기 링크부재 각변위수단 및 가동체가 상기 용기 지지부에 지지되는 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
기판 용기 오프너의 일부를 구성하는 용기 지지부에 상기 가동체 구동수단과 링크부재 각변위수단 및 가동체가 지지됨으로써, 가동체 구동수단과 링크부재 각변위수단 및 가동체를 지지하기 위한 오프너 측 도어 구동기구 지지부를 용기 지지부와 겸용할 수가 있어서, 오프너 측 도어 구동기구에 구성되는 각 구성요소를 지지하기 위한 부분을 별도로 형성할 필요가 없어, 부품수를 줄일 수가 있다.
용기 지지부가 가동체 구동수단과 링크부재 각변위수단 및 가동체를 지지함 으로써, 가동체 구동수단 및 가동체를 지지하는 부분을 별도로 형성할 필요가 없어, 기판 용기 오프너의 부품수를 줄일 수가 있다. 이에 의해 기판 용기 오프너를 더 소형화할 수 있음과 더불어 구조를 간단화할 수가 있어, 기판 용기 오프너의 제조비용을 저하시킬 수가 있다. 예컨대 용기 지지부에 오프너 측 도어 구동기구를 구성하는 각 요소 부품을 지지시킴으로써, 기판 용기 오프너에 형성되는 정면 벽에 오프너 측 도어 구동기구의 각 요소 부품을 고정되게 지지할 필요가 없어, 정면 벽을 소형화함과 더불어 정면 벽의 강성을 저하시킬 수가 있어서, 기판 용기 오프너의 제조비용을 줄일 수가 있게 된다.
(5) 상기 링크부재 각변위수단이, 각 링크부재의 적어도 어느 하나에 설치되는 걸림부와, 걸림부가 걸어맞춰져 가동체의 전후방향 위치에 대응해서 가동체에 대한 걸림부의 각도 위치를 규제하는 규제부를 포함해서 구성된 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
걸림부가 규제부에 걸려짐으로써, 가동체의 전후방향 위치마다 각 링크 부재는 가동부에 설정되는 각변위 축선(L) 주위의 각변위가 저지된다. 예컨대, 가동체가 제1전후방향 위치에 있을 때는, 걸림부는 규제부에 안내된 상태에서 제1전후방향 위치에 대응한 각변위 축선 주위의 각도 위치에서 각변위가 규제된다. 또, 예컨대 가동체가 제2전후방향 위치에 있을 때는, 걸림부는 규제부에 안내된 상태에서 제2전후방향 위치에 대응한 각변위 축선 주위의 각도 위치에서 각변위가 규제된다. 이와 같이 걸림부와 규제부를 포함해서 링크부재 각변위수단이 구성됨으로써, 별도의 구동원을 필요로 하지 않고, 가동체의 전후방향이동에 연동시켜 가동체에 대한 링크부재의 각변위를 소망하는 값으로 할 수가 있다.
걸림부와 규제부를 포함해서 링크부재 각변위수단이 구성됨으로써, 별도 구동원을 필요로 하지 않고, 가동체에 대한 링크부재의 각변위를 규제할 수가 있다. 이에 의해, 가동체 구동수단으로 가동체를 전후방향(X)으로 이동시키기만 하면, 그 가동체의 이동에 연동해서 링크부재를 각변위시킬 수가 있어서 기판 용기 오프너의 구성을 더욱 간단화할 수가 있다.
(6) 상기 가동체 구동수단은 기판 용기 오프너의 일부를 구성해서, 상기 용기 지지부에 지지되는 기판 용기를 상기 전후방향(X)으로 변위 구동하기 위한 기판 용기 구동수단의 동력을 이용해서 가동체를 전후방향(X)으로 변위 구동하는 것을 특징으로 하는 오프너 측 도어 구동기구.
기판 용기 구동수단은 테이블 부분 등을 매개로 기판 용기를 전후방향(X)으로 이동시킨다. 또 가동체 구동수단은 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킨다. 기판 용기 구동수단과 가동체 구동수단은 함께 물체를 전후방향(X)으로 이동시키는 점에서 공통되어 있고, 테이블 부분과 가동체의 어느 하나에 전후방향(X)으로 이동시키는 동력을 전할까를 절환하는 절환수단을 설치함으로써, 기판 용기 구동수단을 이용해서 가동체 구동수단을 실현할 수가 있다.
테이블 부분 등을 개재시켜 기판 용기를 전후방향(X)으로 이동시키도록 된 기판 용기 구동수단을 이용해서 가동체 구동수단을 실현함으로써, 가동체를 변위 구동시키기 위한 구동원과, 기판 용기를 변위 구동시키기 위한 구동원의 2가지 구동원을 사용할 필요가 없이, 1가지의 구동원으로 기판 용기 구동수단과 가동체 구 동수단을 실현할 수가 있어서, 기판 용기 오프너의 구동원의 수를 줄일 수가 있다. 이에 의해 기판 용기 오프너를 소형화할 수 있음과 더불어, 구조를 간단화할 수가 있다.
(7) 두께 방향으로 관통하는 오프너 개구가 형성되는 정면 벽과, 용기 본체의 개구부가 원주방향에 걸쳐 상기 정면 벽의 오프너 개구부와 접촉하는 장착위치로 용기 본체를 위치결정하여 지지하는 용기 지지부와, 용기 지지부에 의해 장착위치에 위치결정되어 지지되는 용기 본체로부터 용기 측 도어를 착탈시킬 수 있는 착탈기구와, 떼어진 용기측 도어를 파지할 수 있는 파지기구를 갖고서, 상기 오프너 개구를 막는 오프너 측 도어와, 이 용기 측 도어를 파지하는 오프너 측 도어를 변위 구동할 수 있는 상기 오프너 측 도어 구동기구를 구비하는 기판 용기 오프너.
기판 용기 오프너의 오프너 측 도어 구동기구가 앞에서 설명한 구성을 구비함에 따라, 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 용기 본체를 개폐시킬 수 있는 기판 용기 오프너를 실현할 수가 있다.
기판 용기 오프너가, 앞에서 설명한 오프너 측 도어 구동기구를 가짐으로써 소형화할 수가 있다. 또 용기 지지부에 대해, 전후방향(X)에 수직인 방향으로 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다. 또 기판 용기 오프너 중에서, 위치결정되어 지지되는 기판 용기에 밀착하는 정면 벽을 소형화할 수가 있어서, 기판 이재 장치의 제조비용을 염가로 할 수가 있다.
(8) 미리 정해진 분위기 중에서 기판 처리를 실행하는 기판 제조장치에 대해 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하는 기판 이재 장 치로서, 상기 기판 용기의 오프너를 구비한 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치.
기판 용기 오프너의 오프너 측 도어 구동기구가 앞에서 설명한 구성을 가져, 가동체를 전후방향(X)으로 이동시킴으로써, 용기 본체를 개폐시킬 수 있는 기판 용기 오프너를 탑재시킨 기판 이재 장치를 실현할 수가 있다.
기판 이재 장치는, 앞에서 설명한 오프너 측 도어 구동기구를 가진 기판 용기 오프너가 탑재됨으로써, 기판 용기 오프너의 소형화에 따르는 소형화를 실현할 수가 있다. 또, 용기 지지부에 대해 전후방향(X)에 수직인 방향으로 떨어진 공간을 유효하게 이용할 수가 있게 된다.
또 본 발명은, 이하의 형태가 적용될 수 있다.
(9) 로봇 및 기판 용기 보유지지부를 포함해서 구성되어 미리 정해진 분위기 중에서 기판 처리를 실행하는 기판 처리장치에 대해 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재 장치의 조립 방법으로서,
기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 분리할 수 있게 형성되는 분할체에, 기판 이재 장치를 구성하는 로봇과 기판 용기 보유지지부를 일체로 고정시켜 반송계 유닛으로 형성하는 반송계 유닛 형성 공정과, 상기 반송계 유닛에 고정되는 로봇이 기판 이재 장치의 일부로서 동작할 수 있는지 여부를 검사하는 동작 검사 공정과, 동작 검사 공정 후에 반송계 유닛을 기판 이재 장치의 본체 구성체에 장착하는 장착 공정을 포함한 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 조립방법.
반송계 유닛 형성 공정에서, 본체 구성체로부터 분리된 상태의 분할체에 대 해, 적어도 로봇과 기판 용기 보유지지부를 일체로 고정시켜 반송계 유닛을 형성한다. 그리고, 기판 이재 장치로 조립하기 전에, 동작 검사 공정에서, 반송계 유닛에 고정되는 로봇이 기판 이재 장치의 일부로서 동작할 수 있는지 여부를 검사한다. 기판 이재 장치의 일부로서 요구되는 능력이 발휘되면, 장착 공정으로 진행한다. 장착 공정에서는, 동작 검사 공정을 통과한 반송계 유닛을 본체 구성체에 일체로 장착해서, 기판 이재 장치를 완성시킨다.
반송계 유닛의 형성 공정에서, 분할체에 대해 로봇과 기판 용기 보유지지부를 위치맞춤함으로써, 기판 이재 장치로서 조립하기 전에 로봇과 기판 용기 보유지지부 상호의 위치관계를 위치맞춤할 수가 있다. 또 기판 이재 장치로 조립하기 전에, 기판 용기 보유지지부에 보유지지되는 기판 용기로의 출입에 관한 로봇의 동작 검사를 실행할 수 있다.
기판 이재 장치 중에서 기판 반송계를 구성하는 구성 기기, 즉 로봇과 기판 용기 보유지지부는 높은 조립 정밀도가 요구됨과 더불어, 엄격한 동작 검사가 실행된다. 앞에서 설명한 바와 같이, 조립 전에 기판 반송계 부분에 대해 필요로 하는 조립 정밀도, 기판 반송계의 동작 품질을 얻을 수가 있기 때문에, 위치맞춤 및 동작 검사를 행하기 위한 숙련자 및 전용의 치구를 기판 이재 장치의 설치장소마다 각각 준비할 필요가 없다. 또, 본체 구성체에 로봇 및 기판 용기 보유지지부를 고정시킨 상태에서 위치맞춤 및 동작 검사를 실행하는 경우에 비해, 넓은 공간에서 그들 작업을 실행할 수 있다.
또, 로봇과 기판 용기 보유지지부와의 위치 조정 및 동작 검사가 미리 실행 된 상태에서 반송계 유닛과 본체 구성체를 일체로 조립하기 때문에, 조립 후에 실행되는 수평 조정 등의 위치 조정 및 동작 검사를 간략화할 수가 있다. 이와 같이, 위치 조정 및 동작 검사가 실행된 반송계 유닛을 준비함으로써 기판 이재 장치의 설치장소에서의 조립작업을 간략화할 수가 있어, 기판 이재 장치를 단시간에 완성시킬 수가 있다.
(10) 반송계 유닛 형성 공정에서는, 로봇에 의해 기판이 일시적으로 배치되는 기판 대기부를 다시 분할체에 일체로 고정시켜, 반송계 유닛을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 조립 방법.
분할체에 기판 대기부가 더 포함됨으로써, 로봇과 기판 대기부와의 상대적인 위치 조정과, 기판 대기부에 대한 기판의 액세스에 관한 로봇의 동작 검사를 미리 완료한 후에, 반송계 유닛을 본체 구성체에 일체로 장착할 수가 있다. 이와 같이, 분할체에 기판 대기부를 고정함으로써, 기판 이재 장치의 설치장소에서의 조립작업을 더 간략화할 수가 있어, 기판 이재 장치를 단시간에 완성할 수가 있다. 예컨대 기판 대기부는, 기판의 방향을 조정하는 얼라이너 장치, 기판의 두께를 측정하는 두께 측정장치, 기판 반송의 효율화를 높이기 위해의 버퍼부 등이어도 좋다.
(11) 동작 검사 공정에서는, 기판 이재 장치로서 동작하는 로봇의 동작을 모의한 모의동작을 로봇에 실행하는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 조립 방법.
동작 검사 공정에서 모의동작을 실행하기 위해, 기판 용기 보유지지부에 보유지지되는 기판 용기의 위치 등을 로봇에 교시한다. 그 각 교시위치로 로봇을 이 동시켜 로봇에 의한 기판 반송에 관한 모의동작을 실행시켜 검사를 실행한다. 이와 같이 동작 검사 공정에서 모의동작을 실행함으로써, 모의동작에서 이용한 로봇의 교시위치를 이용해서 실제로 동작하는 로봇의 동작위치를 설정할 수가 있어서, 로봇의 동작위치의 교시작업을 간략화할 수가 있다.
(12) 반송계 유닛 형성 공정과 동작 검사 공정을 로봇이 제조되는 로봇 제조장소에서 실행하고, 동작 검사 공정 후의 반송계 유닛을, 기판 이재 장치가 설치되는 설치장소로 반송하는 반송 공정을 더 포함한 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 조립 방법.
반송계 유닛 형성 공정과 동작 검사 공정을 로봇 제조장소에서 실행함으로써, 로봇 제조장소에서 로봇의 품질을 확보할 수가 있다.
이에 의해, 종래 로봇 제조장소에서 로봇의 품질을 확보하기 위해 실행하고 있던 모의동작에 의한 검사와, 기판 이재 장치의 설치장소에서 행해지고 있던 동작 검사를 하나로 겸할 수가 있어, 전체적인 작업시간을 단축할 수가 있어서, 작업성을 향상시킬 수가 있다. 또, 기판 이재 장치의 설치장소에서의 작업시간을 단축할 수가 있다.
또, 로봇 제조장소에서 반송계 유닛 형성 공정과 동작 검사 공정을 실행함으로써, 로봇에 관해 숙련된 작업자가 분할체에 대한 로봇의 고정, 위치맞춤, 로봇의 동작위치의 교시 동작 및 동작 검사를 실행할 수 있다. 따라서, 그들 각 작업이 불완전하게 되는 것을 막을 수가 있다. 또 각 작업에서 발생한 불편에 대해서도 쉽게 해결할 수가 있다.
(13) 미리 정해진 분위기 중에서 기판 처리를 실행하는 기판 제조장치에 대해 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고, 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 반송계 유닛으로서,
본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 분할체와, 분할체에 고정되는 로봇과, 분할체에 고정되는 기판 용기 보유지지부를 포함하되, 본체 구성체에 분할체가 장착된 경우에, 분할체에 고정되는 로봇 및 기판 용기 보유지지부가 기판 이재 장치의 일부로서 각각 정해진 위치에 배치되도록 형성된 것을 특징으로 하는 반송계 유닛이다.
로봇 및 기판 용기 보유지지부가 고정된 분할체가 본체 구성체에 장착되면, 로봇 및 기판 용기 보유지지부는 기판 이재 장치로서 정해진 위치에 배치된다. 이에 의해, 기판 이재 장치의 조립작업보다도 이전에 로봇과 기판 용기 보유지지부와의 상호 위치관계를 위치맞춤할 수가 있다.
로봇과 기판 용기 보유지지부는 기판 이재 장치 중에서 기판 반송계를 구성하는 반송 구성체로서, 높은 조립 정밀도가 요구된다. 반송계 유닛을 형성한 상태에서, 기판 반송계 부분에 대해 필요로 하는 조립 정밀도가 얻어져 있는지 여부를 파악할 수가 있기 때문에, 반송계 유닛과 본체 구성체를 일체로 조립한 후의 위치 조정작업을 간략화할 수가 있어, 기판 이재 장치를 단시간에 완성할 수가 있다.
또, 반송계 유닛을 기판 이재 장치로부터 착탈될 수 있게 함으로써, 기판 이재 장치가 고장이 난 경우, 반송계 유닛을 본체 구성체로부터 분리하여, 반송계 유 닛에 고정되는 로봇의 동작을 확인할 수가 있다. 이에 의해, 로봇과 기판 용기 보유지지부를 넓은 공간에 배치한 상태에서 동작 확인을 실행할 수가 있어서, 고장 난 곳의 발견과 고장 난 곳의 수리를 용이하게 실행할 수가 있다.
(14) 본체 구성체로부터 분리된 상태에서, 자립자세를 유지하는 것을 특징으로 하는 반송계 유닛.
반송계 유닛이 자립자세를 유지함으로써 반송계 유닛을 안정적으로 지지하기 위한 발판을 필요로 하지 않는다. 따라서, 발판을 준비하거나, 그 발판에 반송계 유닛을 내려놓는 데 드는 품을 없앨 수가 있다. 이에 의해 발판을 준비하기는 위한 비용과, 발판에 프레임을 내려놓기 위해 필요한 시간을 생략할 수가 있어서, 작업성을 더 향상시킬 수가 있게 된다.
(15) 본체 구성체로부터 분리된 상태에서, 기판 이재 장치로서 동작할 때와 같은 동작이 가능한 것을 특징으로 하는 반송계 유닛.
반송계 유닛은 기판 이재 장치로서 동작할 때와 같은 동작이 가능하다. 따라서, 반송계 유닛을 완성한 상태에서, 기판 이재 장치로서 조립하기 전에, 기판 용기 보유지지부에 보유지지되는 기판 용기에 기판을 접근시키는 데에 관한 로봇의 동작 검사를 실행할 수 있다. 동작 검사가 완료된 반송계 유닛을 본체 구성체에 장착해서 기판 이재 장치를 완성함으로써, 기판 이재 장치로서 조립된 후의 동작 검사를 간략화할 수가 있다. 이에 의해, 기판 이재 장치로 조립되고 나서 기판 이재 장치로 가동될 수 있는 상태로 되기까지의 시간을 단축할 수가 있다.
(16) 본체 구성체로부터 분리된 상태에서, 로봇 및 기판 용기 보유지지부가 기판 이재 장치의 일부로서 동작할 때와 같은 자세를 유지하는 것을 특징으로 하는 반송계 유닛.
반송계 유닛은, 로봇 및 기판 용기 보유지지부가 기판 이재 장치로서 동작할 때와 같은 자세를 유지한다. 여기서, 같은 자세라 함은, 수평면 및 연직면에 대한 로봇 및 기판 용기 보유지지부의 기준면의 자세를 말한다. 이에 의해, 동작 검사를 실행하는 경우에, 반송계 유닛을 기판 이재 장치로서 동작할 때와 같은 자세를 유지하도록 하기 위한 발판을 필요로 하지 않는다. 따라서, 동작 검사를 위한 발판을 준비하거나, 그 발판에 반송계 유닛을 내려놓는 데 드는 품을 없앨 수가 있어, 발판을 준비하기 위한 비용과 발판에 프레임을 내려놓기 위해 필요한 시간을 생략할 수가 있어서, 작업성을 더 향상시킬 수가 있게 된다.
(17) 분할체는 본체 구성체에 형성되는 장착위치에 장착되는 장착부와, 장착부를 장착위치로 안내하는 안내부가 형성된 것을 특징으로 하는 반송계 유닛.
분할체를 본체 구성체에 장착함에 있어, 안내부에 의해 안내되어 장착부가 장착위치에 장착된다. 이에 의해, 분할체와 본체 구성체를 용이하게 위치맞춤해서 조립할 수가 있다.
(18) 미리 정해진 분위기 중에서 기판 처리를 실행하는 기판 처리장치에 대한 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고, 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 분할체로서,
기판 이재 장치를 구성하는 복수의 구성체 중에서, 기판의 반송에 관련하는 복수의 반송 구성체가 고정되는 고정부와, 본체 구성체에 착탈될 수 있게 장착되는 장착부를 갖되, 장착부가 본체 구성체에 장착된 경우에, 고정부에 고정되는 각 반송 구성체가 기판 이재 장치로서 정해진 위치에 각각 배치되는 것을 특징으로 하는 분할체.
본체 구성체로부터 분할체가 분리된 상태에서, 분할체에 반송 구성 기기가 고정될 수 있게 된다. 또, 각 반송 구성 기기가 고정된 분할체가 본체 구성체에 장착되면, 그들의 반송 구성 기기는 기판 이재 장치로서 정해진 위치에 배치된다. 예컨대, 반송 구성 기기는 로봇, 후프 오프너, 얼라이너 등에 의해 실현된다.
분할체의 고정부에 각 반송 구성 기기를 고정함으로써, 기판 이재 장치로서 조립되기 전에, 각 반송 구성 기기의 서로의 위치관계를 위치맞춤 할 수가 있다. 그리고, 각 반송 구성 기기가 위치맞춤 된 분할체를 본체 구성체에 장착해서 기판 이재 장치를 조립한다. 이에 의해, 기판 이재 장치의 조립 후에, 각 반송 구성 기기의 위치관계를 조정하는 조정작업을 간략화할 수가 있어, 기판 이재 장치를 단시간에 조립할 수가 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 기판 반송에 불편이 생기는 것을 막고, 기판 이재 장치의 구조를 간단화할 수 있는 기판 이재 장치의 반송계 유닛을 제공할 수가 있게 된다.

Claims (17)

  1. 기판 처리장치에 대해 기판을 반송하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 상기 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 반송계 유닛으로서,
    상기 본체 구성체와 상기 반송계 유닛으로 구성된 상기 기판 이재 장치는 EFEM이고,
    (a) 상기 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 프레임체와,
    (b) 로봇 본체와, 이 로봇 본체를 상기 프레임체에 고정하는 로봇 기부를 갖고서, 기판을 반송가능한 로봇과,
    (c) 상기 프레임체에 고정되는 기판 용기 오프너를 포함하되,
    상기 프레임체는, 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 프레임체에 고정된 상기 로봇 및 상기 기판 용기 오프너가 상기 기판 이재 장치의 일부로서 정해진 위치에 각각 배치되도록 형성되고,
    상기 프레임체는, 상기 로봇 기부를 매개로 상기 로봇 본체로부터 상기 프레임체에 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 상기 로봇 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 가지고,
    상기 본체 구성체로부터 분리된 상태에서, 상기 기판 이재 장치의 일부로서 동작할 때와 같은 동작이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로봇 기부가, 상기 프레임체에 고정되지 않은 상태에서는, 상기 로봇 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 상기 로봇 허용 변형량을 넘는 변형을 허용하는 강성을 가진 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 용기 오프너는 오프너 본체와, 이 오프너 본체를 상기 프레임체에 고정하는 오프너 기부를 갖고, 이 오프너 기부는 상기 오프너 본체로부터 부여되는 힘이 상기 프레임체에 전해지는 것을 허용하고,
    상기 프레임체는, 상기 오프너 기부를 개재시켜 상기 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 오프너 허용 변형량을 넘어 상기 오프너 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 가진 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  4. 제3항에 있어서, 상기 오프너 기부는, 상기 프레임체에 고정되지 않은 상태에서는, 상기 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 상기 오프너 허용 변형량을 넘어 변형되는 것을 허용하는 강성을 가진 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  5. 제3항에 있어서, 상기 오프너 본체는 기판이 수용되는 기판 용기를 지지하는 용기 지지부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  6. 기판 처리장치에 대해 기판을 반송하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 상기 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 반송계 유닛으로서,
    (a) 상기 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 프레임체와,
    (b) 로봇 본체와, 이 로봇 본체를 상기 프레임체에 고정하는 로봇 기부를 갖고서, 기판을 반송가능한 로봇과,
    (c) 상기 프레임체에 고정되는 기판 용기 오프너를 포함하되,
    상기 프레임체는, 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 프레임체에 고정된 상기 로봇 및 상기 기판 용기 오프너가 상기 기판 이재 장치의 일부로서 정해진 위치에 각각 배치되도록 형성되고,
    상기 프레임체는, 상기 로봇 기부를 매개로 상기 로봇 본체로부터 상기 프레임체에 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 상기 로봇 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 가지고,
    상기 기판 용기 오프너는 오프너 본체와, 이 오프너 본체를 상기 프레임체에 고정하는 오프너 기부를 갖고, 이 오프너 기부는 상기 오프너 본체로부터 부여되는 힘이 상기 프레임체에 전해지는 것을 허용하고,
    상기 프레임체는, 상기 오프너 기부를 개재시켜 상기 오프너 본체로부터 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 오프너 허용 변형량을 넘어 상기 오프너 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 가지고,
    상기 오프너 본체는 기판이 수용되는 기판 용기를 지지하는 용기 지지부를 가지며,
    상기 프레임체는 상기 용기 지지부 중에서 상기 기판 이재 장치의 바깥쪽 공간으로 노출되는 측면과 동일한 평면에 놓이는 측면을 가진 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 로봇 및 상기 기판 용기 오프너가 상기 프레임체로부터 착탈될 수 있게 구성된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 로봇 기부가 상기 프레임체 중 연직으로 뻗은 면에 고정된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 프레임체가 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간과, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 고정되는 상기 로봇 기부가 배치되는 고정공간을 구획하는 칸막이체가 더 갖춰진 것을 특징으로 하는 기재된 기판 이 재 장치의 반송계 유닛.
  10. 기판 처리장치에 대해 기판을 반송하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 상기 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 반송계 유닛으로서,
    (a) 상기 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 프레임체와,
    (b) 로봇 본체와, 이 로봇 본체를 상기 프레임체에 고정하는 로봇 기부를 갖고서, 기판을 반송가능한 로봇과,
    (c) 상기 프레임체에 고정되는 기판 용기 오프너를 포함하되,
    상기 프레임체는, 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 프레임체에 고정된 상기 로봇 및 상기 기판 용기 오프너가 상기 기판 이재 장치의 일부로서 정해진 위치에 각각 배치되도록 형성되고,
    상기 프레임체는, 상기 로봇 기부를 매개로 상기 로봇 본체로부터 상기 프레임체에 힘이 부여되는 경우에, 기판을 이재하기에 허용되는 로봇 허용 변형량을 넘어 상기 로봇 기부가 변형되는 것을 막는 강성을 가지고,
    상기 프레임체가 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간과, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 고정되는 상기 로봇 기부가 배치되는 고정공간을 구획하는 칸막이체가 더 갖춰지고,
    상기 프레임체에는 출입용 도어가 형성되어, 상기 본체 구성체에 장착된 상태에서 상기 출입용 도어가 개방상태로 됨으로써, 상기 기판 처리장치의 바깥쪽 공간과 상기 고정공간을 직접 연통하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  11. 제10항에 있어서, 상기 고정공간에는 상기 기판 이재 장치를 조정하기 위한 조정수단이 상기 출입용 도어의 개구부 근방에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  12. 삭제
  13. 제1항 또는 제2항에 기재된 기판 이재 장치의 반송계 유닛을 구비한 기판 이 재 장치.
  14. 기판 처리장치에 대해 기판의 반입 및 반출을 실행하는 기판 이재 장치의 일부를 구성하고서, 상기 기판 이재 장치의 나머지 부분으로 되는 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 기판 이재 장치의 반송계 유닛으로서,
    상기 본체 구성체와 상기 반송계 유닛으로 구성된 상기 기판 이재 장치는 EFEM이고,
    (a) 상기 본체 구성체에 대해 착탈될 수 있게 형성되는 프레임체와,
    (b) 로봇 본체와, 이 로봇 본체를 상기 프레임체에 고정하는 로봇 기부를 갖고서, 기판을 반송할 수 있도록 된 로봇과,
    (c) 상기 프레임체가 상기 본체 구성체에 장착된 경우에, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 이동할 수 있는 가동부분이 배치되는 가동공간과, 상기 로봇 중 상기 프레임체에 대해 고정되는 상기 로봇 기부가 배치되는 고정공간을 구획하는 칸막이체를 포함하고,
    상기 본체 구성체로부터 분리된 상태에서, 상기 기판 이재 장치의 일부로서 동작할 때와 같은 동작이 가능하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  15. 제14항에 있어서, 상기 로봇은, 상기 가동공간으로 노출되는 가동공간 노출부분 쪽이, 상기 고정공간으로 노출되는 고정공간 노출부분 보다도 저발진 처리가 실시된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  16. 제14항 또는 제15항에 있어서, 상기 프레임체에는 출입용 도어가 형성되어, 상기 본체 구성체에 장착된 상태에서 상기 출입용 도어가 개방상태로 됨으로써, 상기 기판 처리장치의 바깥쪽 공간과 상기 고정공간을 직접 연통하도록 된 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
  17. 제16항에 있어서, 상기 고정 공간에는 상기 기판 이재 장치를 조정하기 위한 조정수단이 상기 출입용 도어의 개구부 근방에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이재 장치의 반송계 유닛.
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