CN1151910C - 工件处理机器人 - Google Patents

工件处理机器人 Download PDF

Info

Publication number
CN1151910C
CN1151910C CNB008036527A CN00803652A CN1151910C CN 1151910 C CN1151910 C CN 1151910C CN B008036527 A CNB008036527 A CN B008036527A CN 00803652 A CN00803652 A CN 00803652A CN 1151910 C CN1151910 C CN 1151910C
Authority
CN
China
Prior art keywords
connecting rod
robot
pillar
end connecting
workpiece handling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB008036527A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1344194A (zh
Inventor
C����ŵ��
安东尼·C·博诺拉
G
罗杰·G·海因
迈克尔·克罗拉克
F
约翰·F·格里利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asyst Technologies Inc
Original Assignee
Asyst Technologies Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asyst Technologies Inc filed Critical Asyst Technologies Inc
Publication of CN1344194A publication Critical patent/CN1344194A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1151910C publication Critical patent/CN1151910C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J18/00—Arms
    • B25J18/02—Arms extensible
    • B25J18/04—Arms extensible rotatable
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
    • B25J19/0079—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa using an internal pressure system
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
    • B25J9/04—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type by rotating at least one arm, excluding the head movement itself, e.g. cylindrical coordinate type or polar coordinate type
    • B25J9/041—Cylindrical coordinate type
    • B25J9/042—Cylindrical coordinate type comprising an articulated arm
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/10—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements
    • B25J9/104—Programme-controlled manipulators characterised by positioning means for manipulator elements with cables, chains or ribbons
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742—Mechanical parts of transfer devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T74/00—Machine element or mechanism
    • Y10T74/20—Control lever and linkage systems
    • Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
    • Y10T74/20305—Robotic arm
    • Y10T74/20323—Robotic arm including flaccid drive element

Abstract

本发明公开了一种用于传输工件的晶片处理机器人(100)。该机器人包括具有给机器人提供稳定性的刚性构架(112)的基体(102)。基体还包括支柱(116)、用于移动支柱的线性驱动系统(122)、以及用于转动支柱的肩台驱动器(120)。肩台驱动器包括用于提供支柱输出转速的谐波传动减速系统(138)用于与支柱一同转动，以及可转动地安装到近端连杆上的远端连杆(106)。用于支撑工件的端部操纵装置(108)可转动地安装到远端连杆的远端。肘部驱动器(150)安装到近端连杆上，向下伸入支柱部分内，用于驱动远端连杆相对近端连杆转动。

Description

工件处理机器人
本申请要求1999年1月15日提交的美国临时专利申请60/116,077和1999年1月19日提交的美国临时专利申请60/116,446的优先权。
                      技术领域
本发明涉及用于在多种加工工具或一种加工工具和工件存放地点之间传送诸如半导体晶片的工件的机器人，并具体地涉及一种具有坚固、可缩放及容易构造的结构的精密工件处理机器人。
                         背景技术
工件处理机器人引入到半导体制造过程中代表了自动化领域超过手工及早期用于在各种加工工具和/或工件存放位置之间移动晶片的传送设备的明显的进步。传统的工件处理机器人的重要特征为能够从第一位置快速并精确地接近工件，将其传送到笛卡尔空间内具有不同X、Y和Z坐标的新的位置，并将其放下，而不会有损坏工件的风险。
为了实现运点，典型的机器人包括安装在基体内用于沿垂直轴移动的中心支柱。一近端臂或连杆可转动地安装到支柱的上端，以及一远端臂或连杆可转动地安装到近端连杆的相对端。该晶片处理机器人还包括枢转地连接到远端连杆上用于支撑工件的端部操纵装置。并进一步提供了各种电机，这些电机一般安装在基体内用于移动中心支柱，并用于转动近端连杆和远端连杆，以便端部操纵装置可以受控地在立体空间内操纵。具体地，中心支柱传统上包括一对叠置的同心轴。第一电机设置在基体内以垂直移动各轴，第二电机设置在基体内用于通过外轴转动近端连杆，而第三电机设置在基体内用于通过内轴转动远端连杆。
在传送诸如半导体晶片和平板显示器的工件时，重要的是机器人在相对要被接近的工件的理想位置精确定位端部操纵装置及/或工件要被安放的位置。对于目前的晶片存放和传送系统，即使在端部操纵装置的所期望位置处的1/8″的误差也可能导致损伤或毁坏价值数千美元的工件。此外，即使在中心轴内最小的位置偏差，通过传到端部操纵装置的误差累积，连杆或电机可能会导致相当大的位置偏差。
设计能够满足运些精确公差及性能需求的机器人是困难的。虽然这些机器人是公知的，但它们采用了制造昂贵且难于维护的复杂机构。对于这种机器人的另一缺点在于它们一般构造成精确的规格，在不牺牲位置精度和性能的前提下，不可能改变或缩放各种元件的长度或机器人的总体尺寸。这就对于经常需要不同尺寸的元件的不同应用场合造成相当大限制。例如，200mm和300mm的晶片制造对于晶片处理机器人提出明显不同的位置要求。因此，理想的是能够缩放基体和/或支柱的长度，以用于更大的垂直行程，以及能够缩放连杆以用于更大的水平范围。
                         发明内容
因此，本发明的一个优点是：提供一种具有精确定位精度和可重复性能的晶片处理机器人。
本发明的另一优点是：提供一种具有简单结构及较少数量元件以利于容易构造和维护的晶片处理机器人。
本发明的又一优点是：提供一种具有较长的平均故障时间的晶片处理机器人。
本发明的另一优点是：提供一种具有多个可缩放元件的晶片处理机器人。
本发明的再一优点是：提供一种能够在不利环境中工作并能够维持不同于机器人周围环境的气氛的密封机器人。
这些和其它优点由本发明提供，本发明一般涉及一种改进的晶片处理机器人，以用于晶片制造厂内在各加工工具和/或工件存放地点之间传输诸如半导体晶片和平板显示器的工件。该机器人包括基体，该基体由刚性构架构成，以用于给机器人提供很大程度的结构稳定性。该基体还包括支柱、用于移动支柱的线性驱动系统和用于旋转支柱的肩台驱动器。该肩台驱动器包括用于提供支柱部分的硬、平稳及精确的输出转速的谐波传动减速系统(harmonic drive reduction system)。包括在线性和肩台驱动器中的各种元件预装配在各电机中而形成一体化的结构。在机器人构造期间，这个特征允许电机能够快速容易地安装到基体内。
机器人还包括牢固地安装到支柱上用于和支柱一起转动的近端连杆、以及可转动地安装到近端连杆上的远端连杆。用于支撑各种工件的端部操纵装置可转动地安装到远端连杆的远端。肘部驱动器安装到近端连杆上，向下延伸入支柱部分内，用于驱使远端连杆相对近端连杆转动。扭矩通过围绕来自肘部驱动器的主动轮和在远端连杆内的从动轮而缠绕的钢带从肘部驱动器传递到远端连杆。类似地，扭矩经由分别围绕在远端连杆和端部操纵装置内设置的滑轮而缠绕的第二组钢带从远端连杆传递到端部操纵装置。
根据本发明的机器人能够在理想位置精确定位机器人的端部操纵装置，而同时具有简单、坚固和容易维护的结构。此外，机器人的各种元件可以缩放到不同的尺寸以满足200mm和300mm的需求，以及其它应用。
                        附图说明
现在将参照附图对本发明进行描述，附图中：
图1是根据本发明的晶片处理机器人的透视图；
图2是图1所示的支柱和连杆充分伸展的晶片处理机器人的透视图；
图3是移去机器人盖板的机器人基体的透视图；
图4是示出支柱偏离基体倾斜成一角度的现有技术的视图；
图5示出了偏离基体倾斜成一角度并包括本发明的浮动密封的支柱；
图6A是根据本发明的线性驱动电机的剖面图；
图6B是根据本发明的线性驱动电机的透视图；
图7是根据本发明的支柱和肩台驱动器的剖面图；
图7A是根据本发明的支柱和肩台驱动器的透视图；
图7B是根据本发明的支柱顶部的放大透视图；
图8是根据本发明的支柱和肩台驱动器的剖面图；
图9A是根据本发明的近端连杆的透视图；
图9B是根据本发明的远端连杆的透视图；
图10是根据本发明的近端连杆及远端连杆的侧视图；
图11是根据本发明的近端及远端连杆的分解透视图；
图12是根据本发明的连杆和肘部驱动器的剖面图；
图12A是根据本发明的连杆和肘部驱动器的透视图；
图13是用于近端和远端连杆的旋转安装的另一实施例的侧剖面图；
图14A和14B是用于近端和远端连杆的旋转安装的又一实施例的侧剖面图；
图15是根据本发明的远端连杆和端部操纵装置的侧视图。
                        具体实施方式
现在，将参照附图1-15描述本发明，本发明大体上涉及一种用于在多个加工工具或一个加工工具和工件存放地之间传送工件的工件处理机器人。应理解，要被本发明传送的工件可以由包括半导体晶片、分化板或平板显示器的各种扁平的、平面的物体构成。或者，要被传送的工件可以包括用于存放和传送一个或多个晶片、分化板或平板显示器的容器。根据本发明的机器人可以在晶片加工厂内的各个位置工作，例如位于加工工具前端微环境内，或者作为用于将工件传送到多个加工工具或在多个加工工具之间传送工件的组件的一部分。此外，如在下面将详细描述的，本发明适于在各种晶片加工环境中发挥作用，例如包括由腐蚀气体和/或液体构成的不利环境。应进一步理解的是，根据本发明的机器人可以遵循所有可适用的SEMI标准并为遵循该标准提供条件。
现在参照图1和图2，示出了根据本发明的机器人100，其包括基体102、近端连杆104、远端连杆106以及端部操纵装置108。在基体102之内的立柱116(示于图2中，而图1中未示出)能够沿垂直的Z轴移动进出基体102，并且近端连杆、远端连杆及端部操纵装置都能够围绕它们在垂直于Z轴的X-Y平面内的相应旋转轴枢转。如此，端部操纵装置可以在机器人100的近端在立体空间内操纵。
现在参照图1到3，基体102包括与构架112配合以确定一封闭并保护基体内的元件的圆柱形壳体的弧形盖板100(在图3中移去了该盖板)。基体的高度优选地约为27″，而其可以按比例缩放到不同的长度以覆盖用于支柱标准的或扩展的垂直行程长度所需的200mm和300mm。
构架112优选由冲压的铝或类似的刚性材料制成，以赋予基体102较高的结构刚性和稳定性。传统的晶片处理机器人没有诸如构架112的元件以给基体提供结构刚性。在现有技术的结构中，除了外部壳体以外，在基体内的若干元件用于提供结构刚性，例如，中心支柱内成对的轴，用于线性移动的引导螺栓，甚至是用于机器人的控制电子元件安装于其上的印刷电路板。这种现有技术结构的问题在于：基体元件之一的改变或调整将影响其它元件的承载特性，以及影响基体的总体结构稳定性。现有技术的情形与调谐吉它类似。改变一根弦的张力或音调将影响其它每根弦的张力和音调。在本发明中，构架明显比基体内的任何元件都刚硬，且不依靠基体内的各种其它元件提供结构上的稳定性。从而，基体内特定元件的改变或变化对基体内其它元件不会有结构影响，并不会影响基体的总体稳定性。
此外，在特定应用中，理想的是将整个机器人安装在水平轨道上，以允许机器人水平移动。在传统的机器人中，对于机器人可以安装到轨道上的何处有严格的限制，以便其随着机器人沿着轨道移动而保持稳定。由于构架112的强度和刚性，本发明的机器人可以在沿构架的任何位置上固定到轨道上，而不会损害机器人的稳定性或性能。
如在图1到3中进一步示出的，基体102包括与构架112和盖板110的顶部配合并固定的顶板114。顶板114包括中心孔115，通过该中心孔支柱116伸展并移动，如下文所述。
本发明还包括如参照图4、5和8所说明的浮动密封118，以用于密封中心孔115和支柱116的外径之间的交界面。如图4中现有技术所示出的，中心支柱20的轴有可能相对垂直轴倾斜(为了清晰起见在图4和5中倾角被放大示出)。在现有技术中，在这种情况下，随着支柱移动，例如向下移动到基体22内，A处所示的密封的一侧将作用为用于中心支柱的承载面，而在B处所示的密封的另一侧将与中心支柱分离。在这种情况下，密封可能会在位置A处磨损，而颗粒及污染物将进入点B处的顶板和中心支柱之间。
本发明通过提供如图5和8所示的浮动密封118解决了这个问题。如下文所述，提供了将支柱保持在垂直方向的元件，且支柱不可能偏离该直线。然而，在例如由于机器人的振动而支柱116变得相对垂直轴线稍微倾斜的情况下，随着支柱上下移动，密封118将“浮动”或径向移动，以防止密封作为承载面并防止了顶板和支柱之间的空间。浮动密封118可以包括围绕支柱116并与其接合的低摩擦、低磨损的环119。环119可以由特氟隆或超高分子量的聚乙烯(UHMWPE)形成。环119被公知成份的柔软、闭合单元的泡沫橡胶环121围绕，该橡胶环121固定到顶板上并允许环119按需径向移动以适应支柱116的垂直移动。
支柱坐落并固定于肩台驱动器120(在下文有所解释)的旋转部分上，该驱动器120又支撑在用于沿Z轴线性移动驱动器120和支柱116的线性驱动器122上。尤其是，线性驱动器122包括肩台驱动器120在其内受到支撑的托架124、用于垂直移动托架124的圆头螺旋丝杆126、以及用于转动圆头螺旋丝杆126的电机组件128。另外，一对导轨127固定到构架112上，而托架又通过辊可移动地固定到导轨127上。构架的结构刚性可确保线性驱动器保持在完全垂直位置。托架124优选地由铝形成，且圆头螺旋丝杆126优选地由镀铬的硬化钢制成。应理解，在备选实施例中，可以用具有所需强度及低颗粒生成特性的其它材料替代以上相对托架和圆头螺旋丝杆所述的材料。
在优选实施例中，线性驱动电机128优选地由无刷多极电机构成。其优于由于电刷磨损而具有有限寿命的有刷电机。然而，有刷电机在备选实施例中有所考虑。如图6A的局部剖面图和6B的透视图所示，圆头螺旋丝杆126优选向下延伸进入电机128的顶孔123内，并直接安装到电机的电枢130上。电机优选包括单独一组角接触轴承132，以用于在电机内旋转支撑电枢130，并支撑由圆头螺旋丝杆126施加的轴向负载。将圆头螺旋丝杆126与电机的输出轴同轴避免了带驱动系统内的圆头螺旋丝杆的转动轴偏离电机转动轴的固有问题。这种问题包括带在一段时间后磨损，在电机快速加速和减速时不精确地扭矩传输，由于带打滑造成的扭矩损失，以及运行驱动系统所需的零件数量的增加。电机128还包括用于电机转动的闭环伺服控制的整体的编码器134，以及在动力中断情况下重力将使支柱快速落下时阻止圆头螺旋丝杆的转动的制动器136。角接触轴承132、解码器134和制动器136优选在电机128内预装配，以便在机器人构造期间，电机128具有容易安装到基体102之内的单元化的结构。线性驱动器优选为支柱116提供大约18″的垂直行程。然而，该距离可以按比例缩放到比备选实施例中的距离更大或更小。
现在，参照图3、7、7A、7B和8，支柱116优选地为大约100mm外径、20″长及大约0.08″厚的不锈钢管形成的中空圆柱。应理解的是，上面说明的材料和尺寸可以在备选实施例中变化。如前所述，现有技术的结构在中心支柱内包括至少一对轴，用于转动近端连杆和远端连杆。省略了用于向远端连杆传递扭矩的第二同心轴，可允许支柱116比在传统结构中的这对轴更轻，并也允许支柱做得相对较厚或沿其长度包括有肋，以更强或更坚固。增强的强度使支柱116更精确地将扭矩从肩台驱动器120通过支柱116传递到近端连杆104。此外，从支柱内移去第二中心轴解放了支柱内有价值的空间，以用于定位电子连接和真空管。线性驱动器122能够使支柱116在图2所示的缩回位置和至少图1和3所示的伸出位置之间往复。
参照图2、3和8，肩台驱动器120设置成转动支柱116和近端连杆104，该近端连杆牢固地安装于其上以用于与支柱116一起旋转。在优选实施例中，肩台驱动器120包括耦合到谐波传动减速系统138上的无刷电机137。如在传统的谐波传动中，电机137电枢的角速度由系统138降低，而扭矩增大，从而产生非常刚硬、平稳且精确的输出转动。应考虑的是，谐波传动减速系统可以通过从约140∶1到另一实施例中的约40∶1范围内的传动比而减小角速度，并增大电机扭矩输出，该传动比最佳为50∶1。
支柱116连接到谐波传动减速系统138的输出花键轴145上，在优选实施例中该花键轴为肩台驱动器的最外部分。从而，肩台驱动器120的转动产生固定于其上的支柱和近端连杆的非常刚硬、平稳并精确的转动。该肩台驱动器由托架124通过牢固安装于托架124和容纳电机137的静止电机壳体149上的环形适配器板147支撑。另外，在优选实施例中，谐波传动减速系统138的转动输出花键轴145在托架124内被围绕输出花键轴145、并安装在输出花键轴145和托架124之间的大十字滚子轴承(large cross rollerbearing)(未示出)支撑。
除了支柱和近端连杆的精确转动以外，肩台驱动器提供了优于传统的晶片处理机器人驱动器的多个优点。例如，肩台驱动器120安装成电机轴143以及来自谐波传动减速系统138的输出花键轴145与支柱116同心。通过比较，传动的驱动器使用包括带和相关元件的偏置电机来旋转机器人的中心支柱。将肩台驱动器与支柱同轴对齐可允许去除带驱动器，该带驱动器是转动误差的根源，并需要频繁维修。此外，除了带以外，偏置驱动系统包括用于该操作的附加元件，例如，各种滑轮和张紧惰轮。如此，根据本发明的驱动系统120比传统系统具有较少的元件。此外，根据本发明的同轴驱动系统120的使用消除了在传统偏置驱动系统中的较大的径向载荷。
肩台驱动器120还包括在电机壳体149的底部的固定到电机轴143上的编码器141，以允许支柱和近端连杆转动的闭环伺服控制。电机137、谐波传动减速系统138、十字滚子轴承以及编码器141优选地都预装配成整体的构件，以便在机器人构造期间，驱动器120可以容易地固定到基体102之内。
现在参照图1、2、9A和10-12A，近端连杆104包括矩形管142，其带有固定到相对端或与管142一体形成的安装轮毂144和146。在优选实施例中，从轮毂144到轮毂146的中心线距离可以约为9.75″。然而，由于连杆如下所述可以按比例缩放，该尺寸也可以变动。矩形管142优选为单体结构的由不锈钢形成的无缝中空管，其大约3.5″宽、1.5″深，且壁厚约为0.07″。轮毂144和146优选地通过焊接永久地固定到管142的相对端上，或可与管142一体形成。在优选实施例中，轮毂144和146可以分别具有约为3.7″和3.75″的外径，且它们优选都由不锈钢机加工而成。应理解的是，在备选实施例中，上述对于管142和轮毂144及146的材料和尺寸可以改变。在轮毂144和146内设置各种凸缘以使连杆104安装到支柱上，并用于支撑在轮毂内的如下所述的旋转承载附件。
支柱116的顶部优选包括环形凸缘148(如在图7A和7B中所示)，以允许近端连杆104牢固地连接到支柱116上。尤其是，安装轮毂144包括与凸缘148内的多个孔151相对齐的第一组孔，以用于接收从其中穿过以将近端连杆牢固连接到支柱上的紧固件，诸如螺钉或螺栓(未示出)。该凸缘148还包括与安装轮毂144内的第二组孔配合的一对对齐销153，以使近端连杆在支柱上对齐。从而，在近端连杆从支柱上移去的情况下，可以在与近端连杆移去时相同的方向进行替换。这进一步方便了机器人的维修，其中控制系统可以以在支柱上在与其移去时相同方向的近端连杆(和所连接的远端连杆和端部操纵装置)为基准。从而，不需要重新教导机器人和工具及/或机器人维修的存放位置之间的相对位置。虽然优选实施例包括可拆卸的紧固件，以便近端连杆可以如下所述的从支柱上分离，但应理解的是近端连杆104还可以焊接到支柱116上。
如现有技术所述，传统的连杆包括带有用螺钉或螺栓固定于其上的盖板的管形结构。在悬臂负载施加到机器人端部上时，这种结构导致管和盖板之间产生轻微的相对运动。除了盖板和管之间的相对运动之外，在移去负载时，螺钉的松紧度导致盖板和管将不会返回到负载施加前的它们相对位置的迟滞现象。该问题在本发明中由管142的单体无缝结构解决。另外，单体结构使连杆104的重量减小到约3磅，而不会损害结构一体性，从而减少连杆104的惯性运动。此外，在传统结构中，用于将盖板固定到管上的螺栓孔作为一潜在的泄漏源而被取消。
现在参照图10-12A，肘部驱动器150安装在安装轮毂144的内部，并在支柱116的内部悬挂下来。尤其是，电机支承板152安装到固定有肘部驱动器150的安装轮毂144的底部。肘部驱动器150在结构上和操作上与肩台驱动器120类似，并具有上述的各附加优点。尤其是，肘部驱动器150优选包括耦合到谐波传动减速系统156上的无刷电机154。谐波传动减速系统156的内部波形发生器耦合到电机154的输出上。在备选实施例中，速度和扭矩的减小范围约140∶1到约40∶1，并最佳的是约50∶1，从而产生非常刚硬、平稳且精确的输出转动。来自谐波传动减速系统156的输出花键轴固定到向上延伸通过电机支承板152内的孔的驱动凸台161。滑轮162又固定到驱动凸台161之上。如下所述，滑轮162通过皮带198、200连接到远端连杆106，以便由肘部驱动器150造成的滑轮162的转动使远端连杆106按需旋转。
肘部驱动器150还包括在电机154的底部安装在电机154的电枢上的编码器160，它允许支柱和近端连杆转动的闭环伺服控制。电机154、谐波传动减速系统156、编码器160以及驱动凸台161优选地预装配成一体化的结构，以便在机器人构造过程中，可以将驱动器150容易地安装到近端连杆上。
在现有技术结构中，用于转动远端连杆的机构位于机器人基体内的中心支柱的底部。将肘部驱动器安装到根据本发明的支柱顶部的近端连杆上形成了多个优点。首先，从驱动器150向远端连杆传递扭矩很容易，第二，必须通过支柱内的中心轴将扭矩传递到远端连杆，将支柱截面的可缩放性限制于中心轴的长度的变化那么大，可以改变中心轴传递扭矩的能力。第三，与以下所述的电子或真空接头组合，肘部驱动器安装到近端连杆上便于连杆及其相关元件从机器人的基体上分离，从而使机器人的维护、修理及改型更容易。
现在参照图7、8和11-12A，根据本发明的机器人还包括安装在支柱内部的第一解耦板166和安装在肘部驱动器150之下的第二解耦板168。第一解耦板166和第二解耦板168一同包括电子接头和真空接头，使机器人的顶部(即，连杆和端部操纵装置)易于从机器人基体上分离。如下所述，机器人100包括从基体穿过的电引线和真空管，并穿过机器人的每个部分，终结在端部操纵装置108。由于机器人的各种元件的运动，通过机器人的导线和/或真空管偶尔需要替换。为了在现有技术的机器人中完成替换，机器人的上部和机器人的基体必须拆开，并然后替换遍及机器人整个长度上的电导线(一根或多根)或真空管。类似地，当要替换一个或两个连杆时，基体必须拆开以便电接头和/或真空接头可被替换。此外，在不更换遍及机器人整个长度的电接头和真空接头的情况下，缩放机器人的基体或连杆的长度是不可能的。
本发明的电接头和真空接头允许在机器人上部内的电接头和真空接头与在机器人基体内的电接头和真空接头分离及重新连接。从而，在机器人一部分内的接头可以改变或维修，而不必拆开机器人的其它部分。尤其是，来自基体102的电接头和真空接头终止在第一解耦板166处。每个电接头电连接到第一解耦板166的上表面170内的导电接触垫(未示出)上。类似地，来自端部操纵装置的电接头和真空接头穿过近端连杆和远端连杆，并终止在肘部驱动器150下方的第二解耦板168。第二解耦板内的电接头终止在第二解耦板168的下表面172内的导电接触垫(未示出)处。
在组装机器人时，第一和第二解耦板彼此相邻地定位在支柱内，以便第一解耦板166的上表面170与第二解耦板168的下表面172并排，且用于配合电接头的各接触垫并彼此对齐电连接。另外，当第一和第二解耦板彼此接近时，在电接头和真空接头的相对侧上真空接头连接。第一和第二解耦板可以包括使真空接头固定到相应的解耦板上的真空配装件163。可以在第一和/或第二解耦板上围绕解耦板内的用于真空接头的开口设置一O形圈，以形成连通穿过接合处的真空的有效密封，而不会泄漏。
第一解耦板166由两个或多个向上延伸经过支柱16的一部分的支座169支撑在支柱16内(示于图7中)。第二解耦板由从安装轮毂144围绕肘部驱动器150向下延伸的安装板171支撑。支座169和安装板171分别在正确的高度支撑第一和第二解耦板，因此，当近端连杆安装到支柱上而安装板和肘部驱动器向下插入支柱内时，第一解耦板166的上表面170位于第二解耦板168的下表面附近。板166和168优选并不接触，以便不与支柱上的近端连杆齐平的支座相干涉。第二解耦板优选包括向下延伸到成型在第一解耦板内的孔175内的一对销173，以在它们装到一起时正确地对齐各板。
根据本发明的这个特征，当要将在机器人上部内的电接头和真空接头从机器人下部内的电接头和真空接头分离时，用于连接近端连杆和支柱的紧固件被移去。此后，近端连杆104可以远离支柱116而抬起，且电接头和真空接头分离。
在优选实施例中，第一解耦板166和第二解耦板168优选包括在支柱116内紧贴配合的外周边，从而完全将第一解耦板之下的环境与第二解耦板之上的环境分开。从而，有可能在电接头和真空接头之上和之下具有不同的压力和/或流体复合物。可以围绕第一和/或第二解耦板的外周边设置提供O形密封件，以进一步将接合处上方的空间与接合处下方的空间分开。
现在，参照图9B-12A，远端连杆106优选与近端连杆104的尺寸、形状和重量相同，或稍小于近端连杆104。应理解的是，在备选实施例中，远端连杆106的尺寸、形状和/或重量可以与近端连杆104不同。连杆106包括矩形管174，其具有焊接到管174相对端上或在管174上一体地形成的安装轮毂176和178。矩形管174优选为由不锈钢制成的单体结构的无缝中空管。在轮毂176和178内可设置各种凸缘，用于支撑如下所述的转动承载固定件，其允许远端106可旋转地安装到近端连杆104上，且还允许端部操纵装置108可转动地安装到远端连杆106上。
应理解的是，可以考虑各种结构以用于近端连杆和远端连杆彼此旋转地安装。参照图10和11，在优选实施例中，近端连杆104的安装轮毂146可以包括牢固地安装到安装轮毂146的底部并从其中伸出的环形凸台177。下滑轮179可以通过在凸台177和下滑轮179之间安装的大十字滚子轴承184而可旋转地围绕凸台177安装。下滑轮179牢固地安装到远端连杆106上，以便如下所述由肘部驱动器150造成的下滑轮179的转动导致远端连杆106转动。十字滚子轴承184提供了径向和轴向稳定性，并防止远端连杆的转动轴相对近端连杆倾斜。优选在近端连杆和远端连杆之间设置一环形密封件186，以防止来自外部环境的气体或液体泄漏进近端连杆和远端连杆之间。
应理解的是，其它各种结构都有可能用于在近端连杆上安装远端连杆。例如，图13示出了一转动安装结构，其中，近端连杆104的安装轮毂146可以包括机加工成安装轮毂的向上延伸的环形承载凸缘180。根据该实施例，远端连杆106的安装轮毂176包括机加工成安装轮毂的向下延伸的环形下滑轮182。下滑轮182的内径稍大于承载凸缘180的外径，以允许下滑轮182通过单独一组十字滚子轴承184可转动地绕承载凸缘180的周边。在近端连杆和远端连杆之间优选设置一环形的密封件186，以防止气体或液体从外部环境泄漏进连杆之间。
在远端连杆和近端连杆之间的另一个可选的旋转安装结构示于图14A中。图14A示出了旋转安装结构，如相对图13所描述的，其包括在安装轮毂176内的向下延伸的环形承载凸缘180和在安装轮毂176内的向上延伸的环形下滑轮182。然而，根据该实施例，凸缘180和滑轮182之间没有支撑表面。另外，单独一组轴承184定位在承载凸缘180相对侧上，并接触机加工成安装轮毂176的一部分188。根据该实施例，由于与人在图10的实施例中那样的依靠单独一组球或滚子轴承提供稳定性，本实施例还包括牢固地安装在近端连杆104的安装轮毂146之内的撑杆190。撑杆190向上延伸并适于接收穿过盖板194固定并安装在安装轮毂176之内的芯轴192。在撑杆190的上部和芯轴192之间设置了第二组轴承196以允许芯轴192和撑杆190之间的转动，由此允许在远端连杆106和近端连杆104之间转动。在该实施例中，轴承184和196一同提供径向和轴向的稳定性，并防止远端连杆的转动轴相对近端连杆倾斜。如图10中的实施例所示，设置了环形密封件186，以防止污染物自由地穿过近端连杆和远端连杆之间的交界处。
用于将远端连杆旋转安装到近端连杆上的另一种结构示于图14B中。图14B与图14A所示的实施例基本相似，且相同的附图标记表示在结构上及操作上相似的元件。在图14B的实施例中，向下延伸的承载凸缘180被省略，且不同于向上延伸的下滑轮182，下滑轮182是向下延伸的。
现在，将针对图10和11描述由肘部驱动器150导致的远端连杆106的转动。第一钢带198和第二钢带200在一端固定到肘部驱动器150的滑轮162处，而它们的相对端围绕安装轮毂146内的下滑轮179固定。带198、200的端部固定到滑轮162和下滑轮179上，以防止在滑轮162被肘部驱动器150转动时带打滑。相应的带198和200位于不同的非叠置的水平平面内，并绕相应的滑轮162、179缠绕，以便滑轮可以在任一方向转动大约160°，而不会完全从滑轮上解开带。应理解的是，滑轮在任一方向上可以转动的角度在备选实施例中可以大于或小于160°，规定是该角度大约等于或小于180°。此外，尽管在优选实施例中带是金属的，在备选实施例中它们可以由其它材料制成，这些材料包括合成聚合物，例如特氟隆和尼龙。
滑轮162在第一方向的转动将拉动一根带，例如带198，以使下滑轮转动，并由此导致固定于下滑轮上的远端连杆在第一方向转动。随着该情况发生，带200保持处于拉力下，以防止所需的连杆转动过量并减小稳定时间(即，在连杆中任何摆动稳定下来所需的时间，若有的话)。类似地，驱动滑轮在相反方向的转动将例如拉动带200，以在相反方向转动下滑轮和远端连杆。同样，随着该情况发生，带198保持在拉力下，以防止所需的连杆转动过量并减少稳定时间，若有的话。
滑轮162优选包括上环形部分162a和下环形部分162b，该部分162a和162b可彼此转动地相连。带198固定到上部分162a，而带200固定到下部分162b。上和下部分设置成相对彼此转动，以在相应的带198和200之间提供并保持理想的张力。尤其是，这两个部分可以在相反的方向转动，直到在带之间存在理想的张力，并然后将上和下部分彼此紧固，以防止其间由一组可拆卸的螺钉201造成的相对转动。上部分包括弧形槽，而下部分包括螺纹孔。螺钉201通过弧形槽配装入螺纹孔中，并当在带198和200内达到恰当张力时向下拧紧。以这种方式，带198和200之间的张力易于按需调整以维持理想的张力。
除了避免打滑以外，钢带198、200的使用提供了非常精确的扭矩传递系统。另外，钢带的使用比传统的带系统承受更小的磨损，并如上所述更容易维护。此外，其可以利于改变肘部驱动器150的谐波传递的角速度，以控制在这种驱动器中可能发生的扭矩脉动。带198、200比传统的同步带能更快地响应并传递这些快速的加速/减速。带也比传统的齿轮系统更好，是因为带在使用中不存在固有空程。然而，应理解的是，相应的钢带在备选实施例中可以由围绕滑轮缠绕的连续钢圈替代。在优选实施例中，带198和200的宽度大约为1英寸，而带198和200优选分别由0.004″和0.008″厚的钢材形成。应理解的是，带198和200的直径和厚度在备选实施例中可以改变。
现在，参照图15，本发明还包括旋转安装到与安装到近端连杆的端部相对的远端连杆106的端部上。除了以下相对其旋转安装到远端连杆所指出的，端部操纵装置优选具有传统的结构，用于接近并支撑供传送的晶片。如在传统结构中，端部操纵装置可以包括多个传感器和允许晶片支撑部分202相对端部操纵装置的基体部分204移动的移动机构。尤其是，采用如下惯例，其中Y轴是水平的且沿端部操纵装置的主轴取向，X轴是水平的且垂直于Y轴，而Z轴是垂直的且垂直于X轴和Y轴，所述端部操纵装置108包括这种传统机构，它允许晶片支撑部分202的倾斜角变化(即，绕Y轴转动)、允许支撑部分的俯仰角变化(即，绕X轴转动)，和允许摇摆角变化(即，绕Z轴转动)。此外，应考虑的是端部操纵装置可以是可拆卸的，以至于可以使用各种端部操纵装置。这种端部操纵装置包括那些构造成传送扁平、平面的工件的结构，以及那些构造成传送工件承载容器的那些结构。
由于远端连杆旋转安装到近端连杆上，应理解的是，可以考虑各种结构以用于将端部操纵装置108旋转安装到远端连杆106上。在优选实施例中，除了以下指出的，端部操纵装置以与远端连杆转动地安装到近端连杆上基本相同的方式安装到远端连杆上。应理解的是，在备选实施例中，用于将远端连杆安装到近端连杆上的结构可以不同于将端部操纵装置安装到远端连杆上的结构。
再次参照图10和11，在优选实施例中，端部操纵装置108可以通过将端部操纵装置108固定到旋转安装于远端连杆106的安装轮毂178之内的端部操纵装置安装板206上，而旋转地安装到远端连杆上。为了将该板206旋转安装到安装轮毂178内，远端连杆106的安装轮毂178可以包括固定到安装轮毂178的底部并从其中向上延伸的环形凸台207。一滑轮208可以通过安装在凸台207和滑轮208之间的大十字滚子轴承209旋转地围绕凸台207安装。端部操纵装置安装板牢固地安装到滑轮208的顶部，从而与滑轮208一同转动。优选在远端连杆106和端部操纵装置208之间设置一环形密封件210，用以防止来自外部环境中的气体或液体泄漏入这些元件之间。应理解的是，端部操纵装置还可以根据图13、14A和14B所公开的实施例旋转地安装到远端连杆上。
现在，将参照图10、11和15描述扭矩从远端连杆传递到端部操纵装置。一上滑轮214牢固地安装到安装轮毂146内的凸台177上，并从其向上延伸，以便定位于远端连杆106的安装轮毂176之内。上滑轮被限制成随着凸台转动，该凸台又牢固地安装到近端连杆的远端。
为了转动端部操纵装置安装板206和端部操纵装置208，第一钢带216和第二钢带218在一端固定到上滑轮214上，并在它们的相对端围绕滑轮208固定。带216和218的端部固定到滑轮214和208上，以防止在上滑轮214相对远端连杆106转动时带打滑(如前面指出的，滑轮214牢固地安装到近端连杆104上，而滑轮214在近端连杆104转动时旋转)。各钢带216和218位于不同的非重叠的水平平面内，并围绕相应的滑轮214和219缠绕，以便各滑轮可以在任一方向转动约160°，而不会完全解脱与其缠绕的带。应理解的是，在备选实施例中，滑轮可以转动的角度可以大于或小于160°。此外，虽然在优选实施例中带是金属的，在备选实施例中它们可以由其它材料形成。这些材料包括合成聚合物，诸如kevlar和尼龙。根据上述相对带198和200的相同原则，在上滑轮214转动时(其又被肘部驱动器150驱动，如上所述)，带作用为转动端部操纵装置108。
滑轮208优选包括上环形部分208a和下环形部分208b，这些部分208a和208b能够彼此相对地转动。带216固定到上部分208a上，而带218固定到下部分208b上。上和下部分被设置成相对彼此转动，以在各带216和218之间如上所述相对滑轮168的滑轮部分168a和168b提供并保持理想的张力。以这种方式，带216和218之间的张力可以按需轻易地调节以维持理想的张力。设置了电接头以用于向端部操纵装置108提供电源和控制信号，以影响端部操纵装置的各个关节；以及用于从端部操纵装置携带伺服信号，以监控端部操纵装置的各个关节；而且一个或多个晶片的各种特性由端部操纵装置操纵。如上所述，电接头的设置通过本发明的电接头和真空接头而更加便利。尤其是，在需要更换机器人100上部中的导线时，不需要接近机器人基体内的导线，而反之，在需要更换机器人基体内的导线时，不需要接近机器人上部内的导线。如在现有技术中公知的，光纤导线可以穿过机器人设置，以在端部操纵装置执行传感功能。如所指出的，本发明优选包括起到在端部操纵装置的晶片握持部分产生吸力作用的真空接头。该真空由远离机器人的真空源产生，并通过机器人经由真空接头连通到端部操纵装置。真空接头可以优选地由内径约为0.12″的不锈钢制成，但在备选实施例中该材料和尺寸可以变动。虽然一个真空接头是优选地，但应理解的是，在备选实施例中可以提供两个或多个真空接头。应进一步考虑的是：可以与真空接头一起设置一个或多个管，以用于向端部操纵装置或从端部操纵装置传送液体和/或气体。如上所述，相对于电接头，真空接头的更换通过提供电接头和真空连接接头而变得相当容易。
根据本发明，机器人100特别适于在不利环境中工作，而这种环境对于某些应用场合是优选的。尤其是，如上所述，在所有移动元件之间的交界处提供了密封件，以便在不利的外部环境内的腐蚀材料不能进入到机器人内部。另外，一旦在各个轮毂内的元件安装后，近端连杆的安装轮毂144的顶部即用包括环形O形密封件的环形板密封。这对于在远端连杆中的安装轮毂176是一样的。此外，机器人所有的外表面优选不受腐蚀材料的影响，而这类腐蚀材料用在需要不利环境的工艺中。在一个实施例中，连杆可以由300类的不锈钢制成并然后电抛光以改善抗腐蚀性。当然，机器人还可以用于干净的室内或其它无害环境中。
另外，在机器人内移动零件的各个交界面的密封件允许机器人内部和外部之间的压差不同。从而，例如，当机器人用于不利环境中时，机器人内的压力相对周围环境的压力升高，以确保任何流过机器人接合部分的气体在机器人周围环境内流动，并防止来自不利环境的任何污染物进入机器人中。另外，对于干净室内和无害环境，机器人内部的压力可以保持在比周围环境低的水平，以确保流过机器人移动零件之间交界面的任何气体从外部流进机器人的内部，从而确保任何所产生的颗粒不会逸散到干净房间的环境中。
本发明机器人的特征在于，相对传统结构的半导体处理机器人，其明显更可以缩放(即，各种元件的长度和机器人的总体尺寸可以增大或减小)。例如，在传统的系统中，难于改变基体的高度，这是由于如上所述在基体内的各种元件被用作负载承受元件，并且使一些或所有基体元件的高度变化将会影响其负载承受特性以及基体的潜在结构稳定性。由于构架112提供了高强度和高稳定性，所以运在本发明中不是一个问题。构架足够刚硬，以至于其高度的改变不会显著影响基体的刚性。此外，由于是构架而不是基体元件给基体提供了结构刚性，在基体内的元件可以被缩放，而不会影响基体的刚性和稳定性。
类似地，本发明机器人100的结构允许支柱116被缩放，而不会影响机器人的位置精度或性能。由于省略了在现有技术中可见到的第二中心轴，单独的支柱可以包括更坚固的结构，并且支柱的长度因此可增加，而不会影响扭矩从肩台驱动器向近端连杆传递。另外，肘部驱动器已经被移动到近端连杆内。从而，支柱可以缩放到更大或更小的长度，而不会影响扭矩向远端连杆传递，而且不必改变肘部驱动器或与其连接的电接头。此外，由于提供了电接头和真空接头，在支柱缩放时，导线的长度可以在基体部分中变化，而不会影响在机器人上部内的电接头或真空接头。
此外，如前所述，每个连杆都由未精加工的无缝矩形管形成。精加工发生在焊接于矩形管的相对端上的安装轮毂上。因此，用于近端适杆和/或远端连杆的矩形管的长度可以容易地改变，而不会影响连杆的结构或操作。此外，在包括在施加悬臂载荷时易于弯曲并迟滞的管和盖板结构的现有技术结构中，根据本发明的连杆的无缝结构可以增大，而不会产生弯曲或迟滞效应。
除了可缩放特性之外，本发明比现有技术中的半导体处理机器人更易构造。如上所示，依靠构架而不是在基体之内的其它元件给基体提供结构刚性和稳定性。从而，在基体内一个元件上进行安装、工作或改进时，不需要向后检查基体内各其它元件以确保负载承受特性和性能不会改变。另外，肘部驱动器在近端连杆内的位置简化了在现有技术中的多根中心轴的结构，即可以由一单独的支柱替代，以用于转动近端连杆。此外，如上所述，电接头和真空接头允许改变机器人上部的电接头和/或真空接头，而不需改变机器人基体内的电接头或真空接头，反之亦然。此外，用在肩台驱动器和肘部驱动器中的电机被预装配并具有一体化的结构。从而，安装或替换每个或全部驱动器所需的工作量减小了。
另外，根据本发明的机器人比传统的晶片处理机器人更坚固耐用。再者，由构架112提供的结构刚性和稳定性减少了在传统机器人中由于多个元件作用为给基体提供结构刚性而产生的维护和修理的需要。另外，在现有技术的驱动系统中的偏置电机和滑轮系统被去掉，并代之以包括与它们所驱动的元件同轴的电枢的驱动系统。另外，在传统机器人中用于驱动连杆的皮带被去掉，并代之以钢带。皮带受到频繁地磨损并经常要更换，将它们从本发明的机器人中去掉可减少保持机器人正常工作所需的维护。此外，本发明中的元件数量被最少化。例如，在现有技术中的轴承组、皮带、张紧惰轮以及多根中心轴的数量在本发明中被省略。具有较少的零件减少了在给定时间零件需要维护的可能性。
除了上述的特征以外，相对传统结构，本发明的机器人提供了高度的精度。构架和支柱各自都提供了相当大的强度，而在肩台和肘部驱动器中使用的谐波传动提供了比传统的无刷电机本身更高的精度。此外，如上所述，皮带的去除提高了对来自机器人中各种驱动器的扭矩传递的控制。
虽然本发明在此详细描述，但应理解的是，本发明不局限于在此公开的实施例。在不背离由所附的权利要求书所限定的本发明的精髓和范围的前提下，本领域技术人员可以作出各种变化、替代及改进。

Claims (46)

1.一种工件处理机器人，包括：
基体，其包括：
    刚性构架，其赋予所述基体结构刚性；以及
    盖板，其与所述构件配合以确定所述基体内的壳体；
刚性支柱，其具有赋予所述支柱结构刚性的厚度，所述刚性支柱能够相对于所述基体转动，并能够在所述支柱的大部分缩回进所述基体内的第一位置和所述支柱的大部分垂直向上伸出所述基体的第二位置之间轴向移动；
线性驱动器，其位于所述基体内，用于在所述第一位置和所述第二位置之间沿轴向移动所述支柱；
第一旋转驱动器，其位于所述支柱的底部，用于相对所述基体转动所述支柱；
牢固安装到所述支柱上的近端连杆；
可转动地连接到所述近端连杆上的远端连杆；以及
第二转动驱动器，其位于所述支柱的顶部、用于相对所述近端连杆转动所述远端连杆。
2.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，还包括可转动地连接到所述远端连杆上的端部操纵装置。
3.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述基体可设计得具有不同的高度。
4.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述构架的所述结构刚性允许所述基体可设计得具有不同的高度。
5.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，还包括所述基体顶部和所述支柱之间的浮动密封件，以防止流体随着所述支柱移动而进入所述基体的所述底部和所述支柱之间，所述浮动密封件能够在水平面内径向移动。
6.如权利要求5所述的工件处理机器人，其特征在于，所述浮动密封件包括：
环绕所述支柱的低摩擦、低磨损材料，所述支柱能够在所述低摩擦、低磨损材料内移动；以及
固定到所述基体的所述顶部的中心部分并环绕所述低摩擦、低磨损材料的可塑性材料，在径向载荷从所述支柱施加时，所述可塑性材料允许所述低摩擦、低磨损材料径向移动。
7.如权利要求5所述的工件处理机器人，其特征在于，还包括在所述近端连杆和所述远端连杆之间的密封件，以防止流体随着所述远端连杆相对所述近端连杆移动而进入所述近端连杆和所述远端连杆之间。
8.如权利要求7所述的工件处理机器人，其特征在于，所述浮动密封件和所述密封件通过防止腐蚀元素进入机器人内而允许机器人在不利环境内工作。
9.如权利要求7所述的工件处理机器人，其特征在于，所述浮动密封件和所述密封件允许机器人内部环境保持在与机器人外部环境不同的压力下。
10.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述支柱可设计得具有不同的长度。
11.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述支柱的所述结构刚性允许所述支柱可设计得具有不同的长度。
12.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第二旋转驱动器在所述支柱顶部的位置允许所述支柱可设计得具有不同的长度。
13.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述近端连杆是可设计得具有不同的长度。
14.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述近端连杆包括：
具有单个、整体结构的管；以及
一对在所述管各端的轮毂。
15.如权利要求14所述的工件处理机器人，其特征在于，所述管的所述单个、整体结构允许所述近端连杆可被缩放。
16.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述近端连杆由可拆卸的螺钉被牢固地连接到所述支柱上。
17.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述近端连杆通过焊接牢固地连接到所述支柱上。
18.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述远端连杆是可缩放的。
19.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，所述远端连杆包括：
具有单个、整体结构的管；以及
一对在所述管各端的轮毂。
20.如权利要求19所述的工件处理机器人，其特征在于，所述管的所述单个、整体结构允许所述远端连杆可设计得具有不同的高度。
21.如权利要求1所述的工件处理机器人，其特征在于，还包括：
在所述近端连杆的第一端部的第一滑轮，所述第一滑轮固定到所述第二旋转驱动器上并由其转动；
在所述近端连杆的相对所述第一端的第二端处的第二滑轮，所述第二滑轮固定到所述远端连杆上；以及
至少一个固定到所述第一和第二滑轮上的带，用于从所述第一滑轮向所述第二滑轮传递扭矩。
22.如权利要求21所述的工件处理机器人，其特征在于，所述至少一个带包括：
第一金属带，其具有沿所述第一滑轮的所述边缘固定到第一位置的第一端，以及具有沿所述第二滑轮的边缘固定到第一位置的第二端；
第二金属带，其具有沿所述第一滑轮的所述边缘固定到第二位置的第一端，以及具有沿所述第二滑轮的所述边缘固定到第二位置的第二端；
其中，所述第一滑轮在第一方向的转动增大了所述第一金属带的张力，而所述第一滑轮在第二、相对方向的转动增大了所述第二金属带的张力。
23.如权利要求21所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一滑轮包括第一上部和第一下部，所述第二滑轮包括第二上部和第二下部，并且所述至少一个带包括：
第一金属带，其具有沿所述第一上部的所述边缘固定到第一位置的第一端，以及具有沿所述第二上部的边缘固定到第一位置的第二端；以及
第二金属带，其具有沿所述第一下部的所述边缘固定到第二位置的第一端，以及具有沿所述第二下部的所述边缘固定到第二位置的第二端；
其中，所述第一滑轮在第一方向的转动增大了所述第一金属带的张力，而所述第一滑轮在第二、相对方向的转动增大了所述第二金属带的张力。
24.如权利要求23、26、27任一项所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一滑轮的所述第一上部能够相对所述第一滑轮的所述第一下部可调节地转动，以调节所述第一和第二金属带之间的张力。
25.如权利要求23、26、27任一项所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第二滑轮的所述第二上部能够相对所述第二滑轮的所述第二下部可调节地转动，以调节所述第一和第二金属带之间的张力。
26.如权利要求21所述的工件处理机器人，其特征在于，所述至少一条带由金属制成。
27.如权利要求21所述的工件处理机器人，其特征在于，所述至少一条带由合成聚合物制成。
28.一种用于旋转并移动工件处理机器人的驱动系统，所述机器人包括基体、能够相对于所述基体转动的支柱、由所述支柱驱动旋转的第一连杆和可转动地连接到所述第一连杆上的第二连杆，所述系统包括：
用于相对基体转动支柱的旋转驱动器，所述旋转驱动器包括：
具有转动部分的电机；
从所述电机延伸并与所述转动部分具有公共转动轴的输出轴；以及
谐波传动器，包括固定到所述输出轴上的内部波形发生器、以及连接到支柱上并转动支柱的输出花键轴。
29.如权利要求28所述的用于旋转并移动工件处理机器人的驱动系统，其特征在于，所述内部波形发生器和所述输出花键轴与所述转动部分具有所述公共转动轴。
30.如权利要求28所述的用于旋转并移动工件处理机器人的驱动系统，其特征在于，所述驱动系统还包括：
用于相对第一连杆转动第二连杆的第二转动驱动器，所述第二转动驱动器包括：
具有第二转动部分的第二电机；
从所述第二电机伸出并与所述第二转动部分具有公共转动轴的第二输出轴；以及
第二谐波传动器，其包括固定到所述第二输出轴上的第二内部波形发生器，和连接到第二连杆上并相对第一连杆转动第二连杆的第二输出花键轴。
31.如权利要求30所述的用于旋转并移动工件处理机器人的驱动系统，其特征在于，所述第二内部波形发生器和所述第二输出花键轴与所述第二转动部分具有所述公共转动轴。
32.如权利要求30所述的用于旋转并移动工件处理机器人的驱动系统，其特征在于，所述驱动系统还包括：
用于相对基体移动支柱的线性驱动器，所述线性驱动器包括：
具有第三转动部分的第三电机；
从所述第三电机伸出并与所述第三转动部分具有公共转动轴的圆头螺旋丝杆；
与所述圆头螺旋丝杆接合并支撑支柱的托架，所述圆头螺旋丝杆能够移动所述托架，以及
至少一个固定到所述基体上的导轨，所述托架还被可移动地固定到所述至少一个导轨上。
33.一种工件处理机器人，包括：
基体；
支柱，其能够相对于基体转动，并能够在缩回进所述基体之内的第一位置和大部分垂直伸出所述基体之外的第二位置之间轴向移动；
线性驱动器，其用于在所述第一位置和所述第二位置之间轴向移动所述支柱；
用于相对所述基体转动所述支柱的第一转动驱动器；
牢固地安装到所述支柱上的近端连杆；
可转动地连接到所述近端连杆上的远端连杆；
用于相对所述近端连杆转动所述远端连杆的第二转动驱动器；
用于将电流传输通过机器人的电接头；以及
机器人内部的接头，包括：
具有第一多个电端子的第一解耦板，来自机器人的第一部分的电接头终止于所述第一多个电端子；
具有第二多个电端子的第二解耦板，来自机器人的第二部分的电接头终止于所述第二多个电端子，所述第一和第二解耦板能够安装到机器人内部，以电连接所述第一和第二多个电端子；
其中，所述接头允许将机器人的所述第一部分的所述电接头从机器人去掉，而不必将所述电接头从机器人的所述第二部分除去。
34.如权利要求33所述的工件处理机器人，其特征在于，还包括：
用于将低压传输通过机器人的真空管；
其中，所述第一解耦板还包括第一真空配装件，来自机器人的所述第一部分的真空管终止于所述第一真空管，而所述第二解耦板还包括第二真空配装件，来自所述机器人的所述第二部分的真空管终止于所述第二真空管，并且
所述接头允许将机器人的所述第一部分的所述真空管从机器人中除去，而不必将所述真空管从机器人的所述第二部分除去。
35.如权利要求33所述的工件处理机器人，其特征在于，所述接头允许所述机器人可被缩放。
36.如权利要求33所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一和第二解耦板座落于所述支柱内。
37.如权利要求35或36所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一和第二解耦板紧贴地配合在支柱内，以将所述第一和第二解耦板上方支柱内的环境与所述第一和第二解耦板下方支柱内的环境隔离。
38.如权利要求37所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一和第二解耦板上方支柱内的所述环境具有与所述第一和第二解耦板下方支柱内的所述环境具有不同的压力。
39.一种工件处理机器人，包括：
基体；
支柱，其能够相对于所述基体转动，并能够在缩回进所述基体之内的第一位置和大部分垂直伸出所述基体之外的第二位置之间轴向移动；
线性驱动器，其用于在所述第一位置和所述第二位置之间轴向移动所述支柱；
用于相对所述基体转动所述支柱上的第一转动驱动器；
牢固地安装到所述支柱的近端连杆；
可转动地连接到所述近端连杆上的远端连杆；
用于相对所述近端连杆转动所述远端连杆的第二转动驱动器；
可转动地连接到所述远端连杆上的端部操纵装置；
用于将电流传输通过机器人的电接头；以及
机器人内部的接头，其包括：
具有第一多个电端子的第一解耦板，来自机器人的所述基体和支柱的电接头终止于所述第一多个电端子；
具有第二多个电端子的第二解耦板，来自机器人的所述第一远端连杆、所述第二远端连杆和所述端部操纵装置的电接头终止于所述第二多个电端子，所述第一和第二解耦板能够安装到机器人内部，以电连接所述第一和第二多个电端子；
其中，所述接头允许来自机器人的所述第一远端连杆、所述第二远端连杆和所述端部操纵装置的所述电接头从机器人上除去，而不必将所述电接头从机器人的所述基体和支柱除去。
40.如权利要求39所述的工件处理机器人，其特征在于，所述接头允许将机器人的所述基体和支柱的所述电接头从机器人上除去，而不必将所述电接头从机器人的所述第一远端连杆、所述第二远端连杆和所述端部操纵装置除去。
41.如权利要求39所述的工件处理机器人，其特征在于，还包括：
用于将低压传输通过机器人的真空管；
其中，所述第一解耦板还包括第一真空配装件，来自机器人的所述基体和支柱的真空管终止于所述第一真空管，而所述第二解耦板还包括第二真空配装件，来自机器人的所述第一远端连杆、所述第二远端连杆和所述端部操纵装置的真空管终止于所述第二真空管，并且
所述接头允许来自机器人的所述第一远端连杆、所述第二远端连杆和所述端部操纵装置的所述真空管从机器人上除去，而不必将所述真空管从机器人的所述基体和支柱除去。
42.如权利要求41所述的工件处理机器人，其特征在于，所述接头允许将机器人的所述基体和支柱的所述真空管从机器人上除去，而不必将所述真空管从机器人的所述第一远端连杆、所述第二远端连杆和所述端部操纵装置除去。
43.如权利要求39所述的工件处理机器人，其特征在于，所述接头允许机器人可被缩放。
44.如权利要求39所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一和第二解耦板座落于支柱内。
45.如权利要求43或44所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一和第二解耦板紧贴地配合在支柱内，以将所述第一和第二解耦板上方支柱内的环境与所述第一和第二解耦板下方支柱内的环境隔离。
46.如权利要求45所述的工件处理机器人，其特征在于，所述第一和第二解耦板上方支柱内的环境与所述第一和第二解耦板下方支柱内的环境具有不同的压力。
CNB008036527A 1999-01-15 2000-01-14 工件处理机器人 Expired - Fee Related CN1151910C (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11607799P 1999-01-15 1999-01-15
US60/116,077 1999-01-15
US11644699P 1999-01-19 1999-01-19
US60/116,446 1999-01-19

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1344194A CN1344194A (zh) 2002-04-10
CN1151910C true CN1151910C (zh) 2004-06-02

Family

ID=26813872

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB008036527A Expired - Fee Related CN1151910C (zh) 1999-01-15 2000-01-14 工件处理机器人

Country Status (9)

Country Link
US (1) US6634851B1 (zh)
EP (1) EP1150808A1 (zh)
JP (1) JP2002534820A (zh)
KR (1) KR20010101564A (zh)
CN (1) CN1151910C (zh)
AU (1) AU2612500A (zh)
HK (1) HK1040067A1 (zh)
TW (1) TW483807B (zh)
WO (1) WO2000041855A1 (zh)

Families Citing this family (65)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002166377A (ja) * 2000-12-04 2002-06-11 Yaskawa Electric Corp 基板搬送用ロボット
US7891935B2 (en) 2002-05-09 2011-02-22 Brooks Automation, Inc. Dual arm robot
AU2003296827A1 (en) 2002-12-13 2004-07-09 Recif Device for gripping a semiconductor plate through a transfer opening, using the closure of the opening
US8109172B2 (en) * 2003-09-05 2012-02-07 Fabworx Solutions, Inc. Wrist assembly for robotic arm
DE10350801A1 (de) * 2003-10-29 2005-06-16 Kuka Roboter Gmbh Handhabungsgerät, insbesondere für die Nahrungsmittel-Industrie
JP2005161409A (ja) * 2003-11-28 2005-06-23 Aitec Corp 搬送ロボットのシール構造
TWI274640B (en) * 2004-04-08 2007-03-01 Fabworx Solutions Inc Hub assembly for robotic arm having pin spacers
US7296962B2 (en) * 2004-04-08 2007-11-20 Fabworx Solutions, Inc. Split assembly robotic arm
US8573919B2 (en) * 2005-07-11 2013-11-05 Brooks Automation, Inc. Substrate transport apparatus
TWI310974B (en) * 2005-07-15 2009-06-11 Fabworx Solutions Inc An end effecter
CN100342517C (zh) * 2005-10-19 2007-10-10 哈尔滨工业大学 二维并联驱动的硅片搬运机器人
JP4606388B2 (ja) * 2006-06-12 2011-01-05 川崎重工業株式会社 基板移載装置の搬送系ユニット
US8220354B2 (en) * 2006-06-28 2012-07-17 Genmark Automation, Inc. Belt-driven robot having extended Z-axis motion
US8701519B2 (en) * 2006-06-28 2014-04-22 Genmark Automation, Inc. Robot with belt-drive system
US8293066B2 (en) 2006-09-19 2012-10-23 Brooks Automation, Inc. Apparatus and methods for transporting and processing substrates
US9524896B2 (en) 2006-09-19 2016-12-20 Brooks Automation Inc. Apparatus and methods for transporting and processing substrates
US8419341B2 (en) 2006-09-19 2013-04-16 Brooks Automation, Inc. Linear vacuum robot with Z motion and articulated arm
US7901539B2 (en) 2006-09-19 2011-03-08 Intevac, Inc. Apparatus and methods for transporting and processing substrates
KR100810488B1 (ko) * 2006-11-15 2008-03-07 주식회사 로보스타 더블암형 로봇
JP4737123B2 (ja) * 2007-03-19 2011-07-27 トヨタ自動車株式会社 移送ロボット
US8459140B2 (en) * 2007-04-18 2013-06-11 Fabworx Solutions, Inc. Adjustable wrist design for robotic arm
CN101543991B (zh) * 2008-03-28 2012-07-18 常州鸿臻电子技术有限公司 一种三维机械手
EP2187433B1 (en) * 2008-11-12 2018-10-24 Intevac, Inc. Apparatus and method for transporting and processing substrates
CN101740439B (zh) * 2008-11-14 2014-05-07 布鲁克斯自动技术公司 用于传输和处理衬底的装置和方法
JP2011119556A (ja) * 2009-12-07 2011-06-16 Yaskawa Electric Corp 水平多関節ロボットおよびそれを備えた搬送装置
US8340851B2 (en) * 2009-12-11 2012-12-25 Wang Chin-Hsiung Autonomous mobile robot
CN102410342B (zh) * 2010-09-21 2014-02-19 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 多轴齿轮箱结构
TWI454627B (zh) * 2010-09-29 2014-10-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 多軸齒輪箱結構
CN103237634B (zh) 2010-10-08 2016-12-14 布鲁克斯自动化公司 同轴驱动的真空机器人
TWI586500B (zh) * 2010-10-08 2017-06-11 布魯克斯自動機械公司 機器人運送裝置及基板處理裝置
CN102019615A (zh) * 2010-10-20 2011-04-20 沈阳芯源微电子设备有限公司 一种晶片传递装置
CN102152316A (zh) * 2011-03-16 2011-08-17 哈尔滨工业大学 一种硅片传输机器人r轴结构
US9221180B2 (en) 2011-12-23 2015-12-29 Fabworx Solutions, Inc. Extended wrist assembly for robotic arm
US11065759B2 (en) * 2012-02-08 2021-07-20 Vanrx Pharmasystems Inc. Articulated arm apparatus
TWI629743B (zh) * 2012-02-10 2018-07-11 布魯克斯自動機械公司 基材處理設備
CN102581745B (zh) * 2012-02-29 2014-09-10 清华大学 一种化学机械抛光传输机器人系统
US20150135880A1 (en) * 2012-03-15 2015-05-21 Moog Inc. Sealed robot base system
CN102897335B (zh) * 2012-09-14 2015-09-09 昆山古鳌电子机械有限公司 捆钞机夹钞手移位机构
TWI476857B (zh) * 2012-11-20 2015-03-11 Hiwin Tech Corp Wafer handling robot
CN103862468B (zh) * 2012-12-18 2016-03-30 上银科技股份有限公司 晶圆搬运机器人
CN103867675B (zh) * 2012-12-18 2016-06-08 上银科技股份有限公司 一种晶圆搬运机器人
CN105127985B (zh) * 2013-01-07 2017-09-01 日本电产三协株式会社 工业用机器人
CN103972136B (zh) * 2013-02-06 2016-09-21 上银科技股份有限公司 晶圆搬运机器人
CN103413773B (zh) * 2013-07-15 2015-09-02 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种硅片全自动上下料机械手及其运动轨迹控制方法
JP6665095B2 (ja) * 2013-08-26 2020-03-13 ブルックス オートメーション インコーポレイテッド 基板搬送装置
US10071887B2 (en) * 2013-10-23 2018-09-11 Applied Materials, Inc. Universal component lift apparatus, assemblies, and methods for electronic device manufacturing
CN103600590B (zh) * 2013-11-06 2016-03-16 青岛中科英泰商用系统股份有限公司 带有印泥补充装置和旋转机构的盖章机
JP2016068200A (ja) * 2014-09-30 2016-05-09 セイコーエプソン株式会社 ロボット
CN104723332B (zh) * 2015-03-19 2017-04-05 北京工业大学 一种直驱式可翻转晶圆传输机器人
CN104948687B (zh) * 2015-05-07 2019-03-19 东方晶源微电子科技（北京）有限公司 一种适用于光机检测系统的带传动机构
US9828093B2 (en) * 2015-05-27 2017-11-28 First Principles, Inc. System for recharging remotely controlled aerial vehicle, charging station and rechargeable remotely controlled aerial vehicle, and method of use thereof
ITUB20159241A1 (it) * 2015-12-23 2017-06-23 Comau Spa Robot industriale multi-asse, in particolare di tipo SCARA
CN106926246B (zh) * 2015-12-31 2019-05-28 中微半导体设备(上海)股份有限公司 一种真空环境中使用的机械臂
US9714012B1 (en) 2016-01-22 2017-07-25 International Business Machines Corporation Power source element replacement during vehicle operation
US9764703B2 (en) 2016-01-22 2017-09-19 International Business Machines Corporation Power source element detection and monitoring
CN105729442A (zh) * 2016-01-27 2016-07-06 太仓荣中机电科技有限公司 一种自由度机械手臂
US11345053B2 (en) * 2016-09-16 2022-05-31 Verb Surgical Inc. Belt termination and tensioning in a pulley arrangement for a robotic arm
CA3034639C (en) * 2016-09-16 2021-03-23 Verb Surgical Inc. Robotic arms
EP3513300A4 (en) 2016-09-16 2020-06-03 Verb Surgical Inc. SENSOR WITH MULTIPLE DEGREE OF FREEDOM
SG11202107472WA (en) * 2019-02-20 2021-08-30 Kokusai Electric Corp Substrate processing apparatus, furnace opening closer and method of manufacturing semiconductor device
JP7313765B2 (ja) * 2019-09-30 2023-07-25 ファナック株式会社 ロボット用アーム製造方法およびロボット用アーム
US11413744B2 (en) * 2020-03-03 2022-08-16 Applied Materials, Inc. Multi-turn drive assembly and systems and methods of use thereof
CN112754663A (zh) * 2021-01-06 2021-05-07 深圳康诺思腾科技有限公司 机械臂及具有其的机器人
US20220354731A1 (en) * 2021-05-07 2022-11-10 Gruszka Capital, LLC Caress and therapeutic massage apparatus and associated method
CN113460198B (zh) * 2021-08-16 2022-08-09 扬州宝陆汽车部件有限公司 一种汽车冲压件转运机器人

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4984745A (en) * 1985-01-22 1991-01-15 Gmf Robotics Corporation Electric robot for use in a hazardous location
US4702668A (en) 1985-01-24 1987-10-27 Adept Technology, Inc. Direct drive robotic system
US5069524A (en) 1988-03-07 1991-12-03 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Robot hand optical fiber connector coupling assembly
US4955250A (en) 1989-06-08 1990-09-11 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Multiple forearm robotic elbow configuration
US5178512A (en) * 1991-04-01 1993-01-12 Equipe Technologies Precision robot apparatus
US5513946A (en) 1991-08-27 1996-05-07 Canon Kabushiki Kaisha Clean robot
US5794487A (en) 1995-07-10 1998-08-18 Smart Machines Drive system for a robotic arm
US5682795A (en) * 1995-07-10 1997-11-04 Smart Machines Robotic joint using metal bands
US5733096A (en) 1995-09-13 1998-03-31 Silicon Valley Group, Inc. Multi-stage telescoping structure

Also Published As

Publication number Publication date
CN1344194A (zh) 2002-04-10
US6634851B1 (en) 2003-10-21
JP2002534820A (ja) 2002-10-15
WO2000041855A1 (en) 2000-07-20
AU2612500A (en) 2000-08-01
HK1040067A1 (zh) 2002-05-24
TW483807B (en) 2002-04-21
EP1150808A1 (en) 2001-11-07
KR20010101564A (ko) 2001-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1151910C (zh) 工件处理机器人
CN108608063B (zh) 一种并联五轴光学镜面加工装备
CN209050749U (zh) 一种可移动六自由度并联钻孔机器人
CN210223951U (zh) 一种全自动ic平面固晶机的固晶机构
CN1776893A (zh) 电子元件压接装置
CN112103238A (zh) 晶圆测试用旋转升降台
CN1309521C (zh) 放电加工装置
CN112108809B (zh) 高真空金属波纹管焊接机及焊接方法
CN106181170B (zh) 板材拼焊定位装置、系统及方法
CN110034051A (zh) 翻转结构及晶圆甩干设备
CN112338438A (zh) 用于耳铰与弦管组对焊接的送管定位装置
CN106625093B (zh) 一种可精确补偿的自动去毛刺装置
CN214769673U (zh) 一种适应多种零部件的新型激光焊接装置
CN116043212A (zh) 针对齿/链轮齿面缺陷的激光熔覆修复-强化装置和方法
CN208005048U (zh) 一种六轴焊接机器人
CN107891244A (zh) 一种输电线路钢管杆旋转焊接系统
CN103573815A (zh) 微动台及气浮轴承
CN110948160A (zh) 一种随车吊臂焊接用的焊接工作站
CN213827802U (zh) 用于耳铰与弦管组对焊接的送管定位装置
CN209920247U (zh) 一种用于精密陶瓷的钻孔加工设备
CN206595232U (zh) 一种晶圆级芯片倒装定位平台
CN111391285A (zh) 一种h型管炭纤维缠绕回转装置及缠绕方法
CN220196612U (zh) 一种蝶形激光器尾纤焊接装置
CN220149158U (zh) 一种机器人抱紧机械结构
CN205869807U (zh) 板材拼焊定位装置及系统

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20040602

Termination date: 20100222