KR100810488B1 - 더블암형 로봇 - Google Patents
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Abstract
Description
217, 417, 517; 회전중심축
223a, 223b, 423a, 423b, 523a, 523b; 핸드부
회전중심축(217)은 어깨관절부(217a, 217b, 417a, 417b, 517a, 517b)의 중심축이며, 선회중심축(215)은 더블암형 로봇의 회전의 중심을 이루는 축이다.
또한, 각각의 더블암형 로봇은 2조의 로봇암(210, 220)으로 구성되며, 2조의 로봇암(210, 220)은 상하로 배치된다(도 3a, 도 3b 참조). 제1 조의 로봇암(210)은 슬라이더(216a, 416a, 516a), 어깨관절부(217a, 417a, 517a), 제1 암(218a, 418a, 518a), 무릎관절부(219a, 419a, 519a), 제2 암(221a, 421a, 521a), 핸드관절부(222a, 422a, 522a), 핸드부(223a, 423a, 523a)로 이루어지며, 제2 조의 로봇암(220)은 슬라이더(216b, 416b, 516b), 어깨관절부(217b, 417b, 517b), 제1 암(218b, 418b, 518b), 무릎관절부(219b, 419b, 519b), 제2 암(221b, 421b, 521b), 핸드관절부(222b, 422b, 522b), 핸드부(223b, 423b, 523b)로 이루어진다.
Claims (10)
- 관절부에 의해 회전가능하게 연결되어 회전구동원에 의한 회전력을 전달하는 2조의 로봇암(210, 220)을 구비하고, 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 상하이동의 고저를 조절하는 이동부재를 구비한 더블암형 로봇에 있어서,슬라이더(216a, 216b)와 연결된 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 어깨관절부(217a, 217b)의 회전중심축(217)을 상하 동축으로 하여 배치하고,상기 2조의 로봇암(210, 220)을 선회중심축(215)을 중심으로 선회가능하도록 하고, 상기 회전중심축(217)과 선회중심축(215)을 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 신축방향과 동일직선(226)상에 평행하게 배치되도록 하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제1항에 있어서,상기 회전중심축(217)은 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 신장(伸張)시 핸드관절부(222a, 222b)와 상기 선회중심축(215) 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제1항에 있어서,취출 또는 공급되는 피가공물을 지지하는 핸드부(223a, 223b)에 체결된 핸드관절부(222a, 222b)의 중심과 상기 피가공물의 중심은 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 신축방향과 동일직선(226)상에 위치되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제1항에 있어서,상기 이동부재는,고정부재(212)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제1 이동부재(213)를 구비하여 1단으로 구성되거나,상기 고정부재(212)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제1 이동부재(213)와, 상기 제1 이동부재(213)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제2 이동부재(214)를 구비하여 2단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 관절부에 의해 회전가능하게 연결되어 회전구동원에 의한 회전력을 전달하는 2조의 로봇암(210, 220)을 구비하고, 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 상하이동의 고저를 조절하는 이동부재를 구비한 더블암형 로봇에 있어서,슬라이더(416a, 416b)와 연결된 어깨관절부(417a)의 회전중심축(417c)과 어깨관절부(417b)의 회전중심축(417d)을 상기 2조의 로봇암(210, 220)이 신축되는 방향으로 소정거리만큼 서로 이격되도록 배치하고,상기 2조의 로봇암(210, 220)을 선회중심축(415)을 중심으로 선회가능하도록 하고, 상기 회전중심축(417c, 417d)과 선회중심축(415)을 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 신축방향과 동일직선(426)상에 평행하게 배치되도록 하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제5항에 있어서,취출 또는 공급되는 피가공물을 지지하는 핸드부(423a, 423b)에 체결된 핸드관절부(422a, 422b)의 중심과 상기 피가공물의 중심은 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 신축방향과 동일직선(426)상에 위치되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제5항에 있어서,상기 이동부재는,고정부재(412)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제1 이동부재(413) 구비하여 1단으로 구성되거나,상기 고정부재(412)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제1 이동부재(413)와, 상기 제1 이동부재(413)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제2 이동부재(414a, 414b)를 구비하여 2단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 관절부에 의해 회전가능하게 연결되어 회전구동원에 의한 회전력을 전달하는 2조의 로봇암(210, 220)을 구비하고, 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 상하이동의 고저를 조절하는 이동부재를 구비한 더블암형 로봇에 있어서,슬라이더(516a, 516b)와 연결된 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 어깨관절부(517a, 517b)의 회전중심축(515)을 상하 동축으로 하여 배치하고,또한, 상기 2조의 로봇암(210, 220)을 선회가능하게 하는 선회중심축(515)을 상기 회전중심축(515)과 동축으로 배치되도록 하는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제8항에 있어서,취출 또는 공급되는 피가공물을 지지하는 핸드부(523a, 523b)에 체결된 핸드관절부(522a, 522b)의 중심과 상기 피가공물의 중심은 상기 2조의 로봇암(210, 220)의 신축방향과 동일직선(526)상에 위치되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
- 제8항에 있어서,상기 이동부재는,고정부재(512)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제1 이동부재(513)를 구비하여 1단으로 구성되거나,상기 고정부재(512)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제1 이동부재(513)와, 상기 제1 이동부재(513)의 일면에 장착되어 상하방향으로 이동가능한 제2 이동부재(514)를 구비하여 2단으로 구성되는 것을 특징으로 하는 더블암형 로봇.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060112796A KR100810488B1 (ko) | 2006-11-15 | 2006-11-15 | 더블암형 로봇 |
CN2007101881726A CN101195220B (zh) | 2006-11-15 | 2007-11-13 | 双臂型机器人 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060112796A KR100810488B1 (ko) | 2006-11-15 | 2006-11-15 | 더블암형 로봇 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100810488B1 true KR100810488B1 (ko) | 2008-03-07 |
Family
ID=39397759
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060112796A KR100810488B1 (ko) | 2006-11-15 | 2006-11-15 | 더블암형 로봇 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100810488B1 (ko) |
CN (1) | CN101195220B (ko) |
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2006
- 2006-11-15 KR KR1020060112796A patent/KR100810488B1/ko active IP Right Grant
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2007
- 2007-11-13 CN CN2007101881726A patent/CN101195220B/zh active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101195220A (zh) | 2008-06-11 |
CN101195220B (zh) | 2010-06-09 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130219 Year of fee payment: 6 |
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FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160223 Year of fee payment: 9 |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180223 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190125 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200129 Year of fee payment: 13 |