JP5190279B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
図1Aはこの発明の第1の実施形態に係るダウンフロー発生機構の一例を示す平面図、図1Bはこの発明の第1の実施形態に係るダウンフロー発生機構の一例を示す断面図である。
図3はこの発明の第2の実施形態に係るダウンフロー発生機構の一例を示す断面図である。
図4はこの発明の第3の実施形態に係る基板処理装置の一例を示す平面図、図5は図4中のA−A線に沿う断面図である。
Claims (5)
- 被処理基板に処理を施す処理ユニットと、
被処理基板を運搬する運搬容器が載置される載置部を有し、この載置部に載置された前記運搬容器と前記処理ユニットとの間で被処理基板を搬入出する搬入出モジュールと、
清浄気体を供給する清浄気体供給機構、この清浄気体供給機構から前記清浄気体が供給され、内部の圧力が、清浄度が周囲よりも高い状態に保たれる前記搬入出モジュールの内部の圧力に対して陽圧とされる清浄気体溜め空間、及びこの清浄気体溜め空間と前記搬入出モジュールの内部とを連通する複数の孔と、を備え、前記清浄気体を、前記清浄気体溜め空間から前記搬入出モジュールの内部に前記複数の孔を介して噴射し、前記搬入出モジュールの内部にダウンフローを発生させるダウンフロー発生機構と、
を具備し、
前記清浄気体溜め空間は、前記搬入出モジュールの上部に設けられ、前記清浄気体供給機構から前記清浄気体を供給するための清浄気体供給管が接続されている空間形成用筐体の内部に形成された空間であることを特徴とする基板処理装置。 - 前記清浄気体が乾燥した清浄気体であり、前記搬入出モジュールの内部に前記複数の孔を介して噴射された前記乾燥した清浄気体を除電する除電装置を、さらに、具備することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記清浄気体が窒素ガスであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記複数の孔は、前記空間形成用筐体に形成されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記清浄気体は、前記清浄気体溜め空間に圧縮して充満されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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