JP2006035180A - 半導体ウェハ収納容器用ブレスフィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シート状濾材4を波形状に折曲して形成された円筒状フィルタ7の一方側端縁部を外枠9の装入凹溝19に装入してシール樹脂19aを充填して密に固定し、更に、前記円筒状フィルタ7の他方側端縁部を、蓋部材10の装入逆凹溝22に装入してシール樹脂22aを充填して密に固定する一方、前記円筒状フィルタ7と外枠9間に、環状の通気空間33を備えて形成され、且つ該ブレスフィルタ1は、固定リング11により半導体ウェハ収納容器2に通気可能に密に連結固定する。
【選択図】図2
Description
1 ブレスフィルタ
2 半導体ウェハ収納容器
4 シート状濾材
7 円筒状フィルタ
9 外枠
11 固定リング
19 装入凹溝
19a シール樹脂
22 装入逆凹溝
22a シール樹脂
33 環状の通気空間
Claims (1)
- 半導体ウェハ収納容器に1個または複数個設置されるブレスフィルタであって、該ブレスフィルタは、シート状濾材を波形状に折曲して形成された円筒状フィルタの一方側端縁部を外枠の装入凹溝に装入してシール樹脂を充填して密に固定し、更に、前記円筒状フィルタの他方側端縁部を、蓋部材の装入逆凹溝に装入してシール樹脂を充填して密に固定する一方、前記円筒状フィルタと外枠間に、環状の通気空間を備えて形成され、且つ該ブレスフィルタは、固定リングにより半導体ウェハ収納容器に通気可能に密に連結固定することを特徴とする半導体ウェハ収納容器用ブレスフィルタ。
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