KR20200127031A - 기판 수납 용기 - Google Patents

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KR20200127031A
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오사무 오가와
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신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

금속제의 부재를 사용하지 않고, 기체의 유통을 제어할 수 있는 밸브체를 구비하는 기판 수납 용기를 제공한다. 기판 수납 용기(1)에 장착되는 밸브체(40)로서, 개방 단부(411)가 형성되고 또한, 내부 공간(412)을 가지는 통체(41)와, 내부 공간(412)을, 제1 공간(413)과 제2 공간(414)으로 구획하고 또한, 개방 단부(411)에 이르는 마개부(42)와, 개방 단부(411) 및 마개부(42)를 덮는 탄성체(43)를 가지고, 제1 공간(413)은, 용기 본체(10)의 외부와 연통하는 제1 연통공(416)을 가지고, 또한, 제2 공간(414)은, 용기 본체(10)의 내부와 연통하는 제2 연통공(417)을 가지고, 탄성체(43)는, 마개부(42)에 밀착하거나 또는 마개부(42)로부터 이격됨으로써, 용기 본체(10)에 대한 기체의 유통을 제어하는 것이다.

Description

기판 수납 용기
본 발명은, 용기 본체에 대한 기체의 유통을 제어하는 밸브체를 구비한 기판 수납 용기에 관한 것이다.
기판을 수납하는 기판 수납 용기는, 용기 본체와, 용기 본체의 개구를 폐지(閉止)하는 커버체, 용기 본체에 대한 기체의 유통을 제어하는 밸브체를 구비하고 있다. 이 밸브체는, 체크 밸브 기능을 가지는 것이며, 밸브체와, 밸브체를 개폐시키는 금속제의 탄성 부재를 가지고 있다(예를 들면, 특허문헌 1 및 특허문헌 2 참조).
밸브체의 체크 밸브 기능은, 일방향의 기체의 유통을 제어하는 것이므로, 기체의 유통 방향을 따라, 밸브체 자체가 교체되거나, 밸브체 및 탄성 부재가 재조합되고 있다.
일본공개특허 제 2008-066330호 공보 일본공개특허 제 2004-179449호 공보
그런데, 기판 수납 용기는, 기판을 기밀 상태로 수납하기 위하여, 밸브체로부터 기체가 공급되고, 또한 밸브체를 통하여 배출되지만, 수납하는 기판의 가공 시에, 기판에 부착된 잔류 물질도, 공급한 기체와 함께 배출되는 경우가 있다. 이 때문에, 밸브체의 금속제의 탄성 부재 등이, 잔류 물질에 의해 부식되는 경우가 있었다.
이에, 본 발명은 이상의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 금속제의 부재를 사용하지 않고, 기체의 유통을 제어할 수 있는 밸브체를 구비하는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은, 기체의 공급 또는 배기와 같은 기체의 양방향으로의 유통을 제어할 수 있는 밸브체를 구비하는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
(1) 본 발명에 따른 하나의 태양은, 기판을 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체의 개구를 폐지하는 커버체, 상기 용기 본체에 대한 기체의 유통을 제어하는 밸브체를 구비하는 기판 수납 용기로서, 상기 밸브체는, 개방 단부(端部)가 형성되고 또한, 내부 공간을 가지는 통체와, 상기 내부 공간을, 제1 공간과 제2 공간으로 구획하고 또한, 상기 개방 단부에 이르는 마개부와, 상기 개방 단부 및 상기 마개부를 덮는 탄성체를 가지고, 상기 제1 공간은, 상기 용기 본체의 외부와 연통하는 제1 연통공을 가지고, 또한, 상기 제2 공간은, 상기 용기 본체의 내부와 연통하는 제2 연통공을 가지고, 상기 탄성체는, 상기 마개부에 밀착하거나 또는 상기 마개부로부터 이격됨으로써, 상기 용기 본체에 대한 기체의 유통을 제어하는 것이다.
(2) 상기 (1) 태양에 있어서, 상기 탄성체는, 판형이고 또한, 상기 제1 공간과, 상기 제2 공간만을 상기 기체가 흐르도록, 상기 제1 공간측의 개방 단부와 상기 마개부 사이, 및 상기 마개부와 상기 제2 공간측의 개방 단부 사이를, 각각 실링해도 된다.
(3) 상기 (1) 또는 (2) 태양에 있어서, 상기 탄성체는, 상기 제1 공간 또는 상기 제2 공간에 양압이 가해지는 경우에, 부푸는 것에 의해 상기 마개부와의 사이에 간극을 형성하여, 상기 용기 본체에 대한 상기 기체의 유통을 가능하게 하고 또한 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간에 양압이 가해지지 않는 경우에, 상기 마개부와 밀착되어, 상기 용기 본체에 대한 상기 기체의 유통을 차단해도 된다.
(4) 상기 (1) 내지 (3) 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 탄성체는, 분리 가능한 상태로 상기 통체에 장착되어도 된다.
(5) 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 밸브체는, 상기 용기 본체에 설치된 기체 유로의 도중에 장착되어도 된다.
(6) 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 제1 연통공은, 상기 용기 본체에 형성된 관통공에 끼워지는 고정통과 연통하고, 상기 제2 연통공은, 상기 고정통에 조합되는 유지통와 연통되어도 된다.
(7) 상기 (1) 내지 (4) 중 어느 하나의 태양에 있어서, 상기 제1 연통공은, 상기 용기 본체에 형성된 관통공에 끼워지는 고정통과 연통하고, 상기 제2 연통공은, 상기 고정통에 조합되는 유지통에 연결된 중간 커버통과 연통되어도 된다.
(8) 상기 (6) 또는 (7) 태양에 있어서, 상기 밸브체는, 상기 기체를 여과하는 필터를 가져도 된다.
본 발명에 의하면, 금속제의 부재를 사용하지 않고, 기체의 유통을 제어할 수 있는 밸브체를 구비하는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 실시형태의 기판 수납 용기를 나타내는 개략 분해 사시도이다.
도 2는 용기 본체에서의 밸브체를 나타내는 개략 단면도이다.
도 3은 밸브체의 구조를 나타내는, (a) 단면 사시도, (b) 단면도이다.
도 4는 기판 수납 용기에 장착된 밸브체의, (a) 기체 유통을 차단한 상태, (b) 기체 유통을 가능하게 한 상태를 각각 나타내는 개략 단면도이다.
도 5는 변형예에서의 마개부의 선단의 형상을 나타내는 개략도이다.
도 6은 변형예에서의 마개부의 배치를 나타내는 단면도이다.
도 7은 제2 실시형태의 용기 본체에서의 밸브체를 나타내는 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 본 명세서의 실시형태에 있어서는, 전체를 통하여, 동일한 부재에는 동일한 부호를 부여하고 있다.
도 1은, 본 발명에 따른 실시형태의 기판 수납 용기(1)를 나타내는 개략 분해 사시도이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는, 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 커버체(20)와, 용기 본체(10)와 커버체(20) 사이에 설치되는 환형의 패킹(30)을 구비하고 있다.
용기 본체(10)는, 상자형체이며, 개구(11)가 정면에 형성된 프론트 오픈형이다. 개구(11)는, 외측으로 넓어지도록 단차를 형성하여 굴곡 형성되고, 그 단차부의 면이, 패킹(30)이 접촉하는 실링면(12)으로 되어, 개구(11)의 정면의 내주 에지에 형성되어 있다. 그리고, 용기 본체(10)는,300mm 직경이나 450mm 직경의 기판(W)의 삽입 조작을 행하기 용이한 점에서, 프론트 오픈형이 바람직하지만, 개구(11)가 하면에 형성된 보텀 오픈형이라도 된다.
용기 본체(10)의 내부 좌우 양측에는, 지지체(13)가 배치되어 있다. 지지체(13)는, 기판(W)의 탑재 및 위치 결정을 하는 기능을 가지고 있다. 지지체(13)에는, 복수의 홈이 높이 방향으로 형성되고, 소위 홈 티스(teeth)를 구성하고 있다. 그리고, 기판(W)은, 동일한 높이의 좌우 2군데의 홈 티스에 탑재되어 있다. 지지체(13)의 재료는, 용기 본체(10)와 동일한 것이라도 되지만, 세정성이나 슬라이드 이동성을 높이기 위하여, 상이한 재료가 사용되어도 된다.
또한, 용기 본체(10)의 내부 후방(안쪽)에는, 리어 리테이너(rear retainer)(도시하지 않음)이 배치되어 있다. 리어 리테이너는, 커버체(20)가 폐지된 경우에, 후술하는 프론트 리테이너와 쌍으로 되어, 기판(W)을 유지한다. 다만, 본 실시형태와 같이 리어 리테이너를 구비하지 않고, 지지체(13)가, 홈 티스 안쪽에, 예를 들면, 「く」자형이나 직선형으로 된 기판 지지부를 가짐으로써, 프론트 리테이너와 기판 지지부로 기판(W)을 유지하는 것이라도 된다. 이 지지체(13)나 리어 리테이너는, 용기 본체(10)에 인서트 성형이나 끼워맞춤 등에 의해 설치되어 있다.
기판(W)은, 이 지지체(13)에 지지되어 용기 본체(10)에 수납된다. 그리고, 기판(W)의 일례로서는, 실리콘 웨퍼를 들 수 있지만 특별히 한정되지 않으며, 예를 들면, 석영 웨이퍼, 갈륨 비소 웨이퍼 등이라도 된다.
용기 본체(10)의 천정 중앙부에는, 로보틱 플랜지(14)가 착탈 가능하게 설치되어 있다. 청정한 상태로 기판(W)을 기밀 수납한 기판 수납 용기(1)는, 공장 내의 반송 로봇으로, 로보틱 플랜지(14)를 파지(把持)하여, 기판(W)을 가공하는 공정마다 가공 장치로 반송된다.
또한, 용기 본체(10)의 양 측부의 외면 중앙부에는, 작업자에 그립 유지되는 매뉴얼 핸들(15)이 각각 착탈 가능하게 장착되어 있다.
도 2는, 용기 본체(10)에서의 밸브체(40)를 나타내는 개략 단면도다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(10)의 내측 바닥면부(101)에는, 급기부(16)와 배기부(17)가 설치되는 동시에, 용기 본체(10)의 외측 바닥판(102)에는, 급기부(16)에 대응하는 기체 도입부(50)와, 배기부(17)에 대응하는 기체 배출부(51)가 설치되어 있다. 그리고, 급기부(16) 또는 배기부(17)에는, 기체를 여과하는 필터(44)가 배치되어 있다.
내측 바닥면부(101)와 외측 바닥판(102) 사이에는, 급기부(16)와 기체 도입부(50)를 연통하는 급기 유로(60)(기체 유로) 및 배기부(17)와 기체 배출부(51)를 연통하는 배기 유로(70)(기체 유로)가 설치되어 있다. 그리고, 기체 유로(배관)인 급기 유로(60) 및 배기 유로(70)의 도중에는, 후술하는 밸브체(40)가 장착되어 있다.
급기 유로(60)는, 기체 도입부(50) 및 밸브체(40)를 연통하는 제1 급기 유로(61)와, 급기부(16) 및 밸브체(40)를 연통하는 제2 급기 유로(62)를 가지고, 마찬가지로, 배기 유로(70)는, 기체 배출부(51) 및 밸브체(40)를 연통하는 제1 배기 유로(71)와, 배기부(17) 및 밸브체(40)를 연통하는 제2 배기 유로(72)를 가지고 있다.
이 때, 각 배관은, 강성(剛性)이 높은 수지제의 배관이라도 되고, 가요성을 가지는 튜브라도 된다. 또한, 제1 급기 유로(61) 또는 제1 배기 유로(71), 바람직하게는 급기 유로(60) 또는 배기 유로(70)는, 기체 도입부(50) 측 또는 기체 배출부(51) 측이 낮아지도록 설치되어 있으면 된다.
이들은, 커버체(20)에 의해 폐지된 기판 수납 용기(1)의 내부에, 기체 도입부(50)로부터 급기 유로(60) 및 급기부(16)를 통하여 질소 가스 등의 불활성 기체나 드라이 에어를 공급하고, 필요에 따라 배기부(17)로부터 배기 유로(70) 및 기체 배출부(51)를 통하여 배출함으로써, 기판 수납 용기(1)의 내부 기체를 치환하거나, 저습도의 기밀 상태를 유지하거나, 기판(W) 상의 불순 물질을 날려 보내는 등에 의해, 기판 수납 용기(1)의 내부 청정성을 유지하도록 되어 있다.
또한, 배기부(17)로부터 배기된 기체를 검지함으로써, 기판 수납 용기(1)의 내부가 도입된 기체로 치환되었는지 확인할 수 있다. 그리고, 급기부(16) 및 배기부(17)는, 기판(W)을 바닥면에 투영한 위치로부터 떨어진 위치에 있는 것이 바람직하지만, 급기부(16) 및 배기부(17)의 수량이나 위치는, 도시한 것으로 한정되지 않고, 용기 본체(10)의 바닥면의 4개의 코너부에 위치하고 있어도 된다. 또한, 급기부(16) 및 배기부(17)는, 커버체(20) 측에 장착되어도 된다.
한편, 커버체(20)는, 용기 본체(10)의 개구(11)의 정면에 장착되는, 대략 직사각형이다. 커버체(20)는, 도시하지 않은 잠금 기구(機構)를 가지고 있고, 용기 본체(10)에 형성된 걸림구멍(도시하지 않음)에 걸림클릭이 끼워넣어지는 것에 의해 자물쇠를 잠글 수 있도록 되어 있다. 또한, 커버체(20)는, 중앙부에 기판(W)의 전부(前部)의 주위 에지를 수평으로 유지하는 탄성의 프론트 리테이너(도시하지 않음)가 착탈 가능하게 장착 또는 일체로 형성되어 있다.
이 프론트 리테이너는, 지지체(13)의 홈 티스 및 기판 지지부 등과 마찬가지로, 웨이퍼가 직접 접촉하는 부위이므로, 세정성이나 슬라이드 이동성이 양호한 재료가 사용되고 있다. 프론트 리테이너도, 커버체(20)에 인서트 성형이나 끼워맞춤 등으로 설치할 수 있다.
그리고, 커버체(20)에는, 패킹(30)을 다는 장착홈(21)이 형성되어 있다. 더욱 상세하게는, 커버체(20)의 용기 본체(10) 측의 면에는, 개구(11)의 단차부보다 작은 볼록부(22)가 환형으로 형성됨으로써, 단면 대략 U자형의 장착홈(21)이 환형으로 형성되어 있다. 이 볼록부(22)는, 커버체(20)를 용기 본체(10)에 장착했을 때, 개구(11)의 단차부보다 안쪽으로 들어간다.
이 용기 본체(10) 및 커버체(20)의 재료로서는, 예를 들면, 폴리카보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 시클로올레핀 폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르술폰, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머 등의 열가소성 수지가 있다. 이 열가소성 수지는, 도전성 카본, 도전섬유, 금속섬유, 도전성 고분자 등으로 이루어지는 도전제, 각종 대전방지제, 자외선 흡수제 등이 더욱 적절하게 첨가되어도 된다.
다음으로, 패킹(30)은, 커버체(20)의 정면 형상(및 용기 본체(10)의 개구(11)의 형상)에 대응한 환형이며, 본 실시형태에서는, 직사각형 프레임형이다. 다만, 환형의 패킹(30)은, 커버체(20)로의 장착 전의 상태로, 원환(圓環)(링)형이라도 된다.
패킹(30)은, 용기 본체(10)의 실링면(12)과 커버체(20) 사이에 배치되고, 커버체(20)를 용기 본체(10)에 장착했을 때, 실링면(12)과 커버체(20)에 밀착되어 기판 수납 용기(1)의 기밀성을 확보하고, 기판 수납 용기(1)로의 외부로부터의 먼지, 습기 등의 침입을 저감시키고 또한, 내부로부터 외부로의 기체의 누출을 저감시키는 것이다.
패킹(30)의 재료로서는, 폴리에스테르계의 엘라스토머, 폴리올레핀계의 엘라스토머, 불소계의 엘라스토머, 우레탄계의 엘라스토머 등으로 이루어지는 열가소성의 엘라스토머, 불소 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 실리콘계의 고무 등의 탄성 재료를 사용할 수 있다. 이들 재료에는, 밀착성을 개질하는 관점에서, 카본, 유리섬유, 마이카, 탈크, 실리카, 탄산칼슘 등으로 이루어지는 충전제, 폴리에틸렌, 폴리아미드, 폴리아세탈, 불소계 수지, 실리콘 수지 등의 수지가 소정량 선택적으로 첨가되어도 된다.
그리고, 필터(44)는, 공급 또는 배출되는 기체를 여과하는 것이며, 4불화 에틸렌, 폴리에스테르 섬유, 불소 수지 등으로 이루어지는 다공질막, 유리섬유 등으로 이루어지는 분자 여과 필터, 활성탄 섬유 등의 여과재에 화학 흡착제를 담지시킨 케미컬 필터 등으로부터 선택된다.
필터(44)는, 급기부(16) 또는 배기부(17)에, 1장 또는 복수 장 유지되어 있다. 그리고, 복수 장의 필터(44)를 사용하는 경우에는, 동일한 종류의 것이라도 되지만, 성질이 상이한 것을 조합하는 것이, 파티클 이외에, 유기물의 오염 등도 방지할 수 있으므로, 보다 바람직하다. 예를 들면, 필터(44)는, 용기 본체(10)를 세정할 때, 물이나 세정액 등의 액체가 체류하지 않도록, 액체의 통과를 억제하는 기능도 달성하기 위하여, 필터(44)의 한쪽에 소수성 또는 친수성의 재료를 사용하여, 액체의 투과를 더욱 억제해도 된다.
여기서, 밸브체(40)에 대하여 설명한다. 밸브체(40)는, 용기 본체(10)에 대한 기체의 유통을 제어하는 것이며, 기체 유로인 급기 유로(60) 또는 배기 유로(70)의 도중에 장착되어 있다.
도 3은, 밸브체(40)의 구조를 나타내는, (a) 단면 사시도, (b) 단면도이다.
밸브체(40)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 개방 단부(411)가 형성되고 또한, 내부 공간(412)을 가지는 통체(41)와, 내부 공간(412)을 제1 공간(413)과 제2 공간(414)으로 구획하고 또한, 개방 단부(411)에 이르는 마개부(42)와, 개방 단부(411) 및 마개부(42)를 덮는 탄성체(43)를 가지고 있다.
통체(41)의 벽면에는, 외측으로 돌출하는 원환형의 플랜지(415)가 형성되어 있고, 원환형의 플랜지(415)의 내측 에지는, 통체(41)의 벽면을 관통하는 원형상의 개방 단부(411)를 형성하고 있다. 본 실시형태에서는, 원환형의 플랜지(415)에 의해 형성된 원형상의 개방 단부(411)는, 통체(41)의 상벽면에 설치되어 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 통체(41)의 하벽면에 설치되어도 된다.
마개부(42)는, 내부 공간(412)을, 용기 본체(10)의 외부측에 위치하는 제1 공간(413)과 제1 공간(413)보다 용기 본체(10)의 내부 측에 위치하는 제2 공간(414)으로 구획하는 판형이며, 통체(41)의 개방 단부(411)에 대향하는 벽면(418)(하벽면)에 세워져 설치되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 마개부(42)는, 상면에서 볼 때, 개방 단부(411)를 균등하게 2분할하고 또한 그 직경 방향을 따라 연장하도록, 개방 단부(411)의 중앙 위치에 설치되어 있다. 또한, 마개부(42)는, 평면이 되는 선단(421)을 가지고 있다.
제1 공간(413)은, 용기 본체(10)의 외부와 연통하는 제1 연통공(416)(내경: Φ6 정도)을 가지고, 또한, 제2 공간(414)은, 용기 본체(10)의 내부와 연통하는 제2 연통공(417)(내경: Φ6 정도)을 가지고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 제1 연통공(416) 및 제2 연통공(417)은, 각각, 통체(41)의 일단 측 및 타단 측에 형성되어 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 통체(41)의 벽면(418)에 형성되어도 된다. 이 경우에, 통체(41)의 양단 측이 커버 등에 의해 폐지되어 있다.
제1 연통공(416)은, 용기 본체(10)의 외부와 연통하는 제1 급기 유로(61) 또는 제1 배기 유로(71)의 일단 측와 연통하고, 제2 연통공(417)은, 용기 본체(10)의 내부와 연통하는 제2 급기 유로(62) 또는 제2 배기 유로(72)의 일단 측와 연통하고 있다.
전술한 통체(41) 및 마개부(42)는, 예를 들면, 폴리카보네이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머 등의 열가소성 수지를 비금속의 재료로서 형성되어 있다.
탄성체(43)는, 마개부(42)의 선단(421)에 밀착하거나 또는 마개부(42)의 선단(421)으로부터 이격됨으로써, 용기 본체(10)에 대한 기체의 유통을 제어하는 것이며, 개방 단부(411) 및 마개부(42)를 덮는 원판형상의 베이스(431)로 이루어져 있다.
그리고, 내측 바닥면부(101)에 설치된 원환형의 가압부(1011)는, 탄성체(43)를 통체(41)에 가압하기 위하여, 분리 가능한 상태로, 탄성체(43)를 통하여 통체(41)에 장착되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 탄성체(43)는, 가압부(1011)에 의해, 분리 가능하도록 통체(41)에 장착되어 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 접착이나 용착 등에 의해 통체(41)에 직접 장착되어도 된다.
또한, 탄성체(43)는, 마개부(42)의 선단(421)에 밀착하고 있는 상태로, 용기 본체(10)의 내측 바닥면부(101)와의 사이에 간극을 가지도록, 설치되어 있다. 이로써, 탄성체(43)는, 부푸는 것에 의해, 마개부(42)의 선단(421)으로부터 이격되는 것이 가능하다.
그리고, 탄성체(43)는, 급기 또는 배기되는 기체가, 제1 공간(413)과 제2 공간(414)만을 통하여 흐르도록, 제1 공간(413) 측의 개방 단부(411)와 마개부(42)의 선단(421) 사이, 및 마개부(42)의 선단(421)과 제2 공간(414) 측의 개방 단부(411) 사이를, 확실하게 실링하고 있다.
탄성체(43)는, 비금속의 재료에 의해 형성되면 되고, 비금속의 재료로서는, 각종 고무나 열가소성 엘라스토머 등을 사용할 수 있다. 예를 들면, 폴리에스테르계의 엘라스토머, 폴리올레핀계의 엘라스토머, 불소계의 엘라스토머, 우레탄계의 엘라스토머 등으로 이루어지는 열가소성의 엘라스토머, 불소 고무, 에틸렌프로필렌 고무, 실리콘계의 고무 등을 사용할 수 있다.
마지막으로, 밸브체(40)가, 기체의 유통을 제어하는 상태를 설명한다.
도 4는, 기판 수납 용기(1)에 장착된 밸브체(40)의, (a) 기체 유통을 차단한 상태, (b) 기체 유통을 가능하게 한 상태를 각각 나타내는 개략 단면도다. 도 4의 (a)에 있어서, 제1 공간(413) 및 제2 공간(414)에 양압이 가해지지 않으면, 탄성체(43)는, 마개부(42)의 선단(421)에 밀착되어, 기체의 유통을 차단하고 있다.
예를 들면, 도 4의 (b)에 화살표로 나타낸 바와 같이, 제1 공간(413)에 소정값 이상의 양압이 가해지면, 탄성체(43)는, 양압의 크기에 따라 탄성 변형하여 부푸는 것에 의해, 마개부(42)의 선단(421)과의 사이에 간극(C)을 형성한다. 그리고, 제1 공간(413) 측으로부터의 기체는, 이 간극(C)을 통과하여, 제2 공간(414) 측으로 유통하고, 용기 본체(10)의 내부에 공급된다.
반대로, 제2 공간(414)에 소정값 이상의 양압이 가해져도, 탄성체(43)는 동일하게 부풀고, 마개부(42)의 선단(421)과의 사이에 간극(C)을 형성한다. 그리고, 제2 공간(414) 측으로부터의 기체는, 이 간극(C)을 통과하여, 제1 공간(413) 측으로 유통하고, 용기 본체(10)의 외부로 배출된다.
이와 같이, 본실시형태의 밸브체(40)는, 어느 한쪽으로부터의, 기체의 유통을 차단 또는 가능하게 하는 것이 아니라, 양 방향의 기체 유통을 차단 또는 가능하게 할 수 있다. 그리고, 기체의 유통이 가능하게 되는 압력의 소정값은, 탄성체(43)의 재료, 경도나 두께, 통체(41)의 연장 방향에서의 마개부(42)의 위치, 마개부(42)의 선단(421)의 형상을 변경함으로써 조절 가능하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시형태에 따른 기판 수납 용기(1)는, 기판(W)을 수납하는 용기 본체(10)와, 용기 본체(10)의 개구(11)를 폐지하는 커버체(20)와, 용기 본체(10)에 대한 기체의 유통을 제어하는 밸브체(40)를 구비하는 기판 수납 용기(1)로서, 밸브체(40)는, 용기 본체(10)에 설치된 기체 유로의 도중에 장착된 것이며, 개방 단부(411)가 형성되고 또한, 내부 공간(412)을 가지는 통체(41)와, 내부 공간(412)을, 제1 공간(413)과 제2 공간(414)으로 구획하고 또한, 개방 단부(411)에 이르는 마개부(42)와, 개방 단부(411) 및 마개부(42)를 덮는 탄성체(43)를 가지고, 제1 공간(413)은, 용기 본체(10)의 외부와 연통하는 제1 연통공(416)을 가지고, 또한, 제2 공간(414)은, 용기 본체(10)의 내부와 연통하는 제2 연통공(417)을 가지고, 탄성체(43)는, 마개부(42)에 밀착하거나 또는 마개부(42)로부터 이격됨으로써, 용기 본체(10)에 대한 기체의 유통을 제어하는 것이다.
이로써, 밸브체(40)의 제1 공간(413) 또는 제2 공간(414)의 한쪽으로부터 기체가 도입되고(양압이 되어), 소정의 압력값이 되면, 탄성체(43)가 부풀고, 마개부(42)의 선단(421)과의 사이에 간극(C)이 형성되므로, 도입된 기체는 밸브체(40)의 제1 공간(413) 또는 제2 공간(414)의 다른 쪽에 공급되게 된다.
또한, 기판 수납 용기(1)는, 금속성의 부재를 사용하지 않은 밸브체(40)를 구비하고 있으므로, 수납하는 기판(W)에 금속 부식성의 잔류 물질이 있다고 하더라도, 금속 부식의 문제가 일어나지 않아, 밸브체(40)가 작동하지 않는 사태가 일어나기 어렵다.
또한, 기판 수납 용기(1)는, 양 방향의 기체 유통을 제어하는 밸브체(40)를 구비하고 있으므로, 동일한 밸브체(40)를 용기 본체(10)의 기체 유로 도중에 적절하게 장착하는 것만으로, 급기부(16)나 배기부(17)의 위치와 개수에 관계없이, 모든 기체의 급기 및 배기 루트에 대응할 수 있다.
또한, 실시형태의 기판 수납 용기(1)를 사용하여 습도 유지 시험을 행하였으나, 시간의 경과에 의한 습도 저하는, 종래에 비해 특별히 큰 차이는 관찰되지 않았다.
그리고, 기체 도입부(50) 또는 급기 유로(60)로부터 제1 급기 유로(61) 또는 제1 배기 유로(71)를 통한 밸브체(40)까지의 거리가 길므로, 용기 본체(10)를 액체로 세정한 경우라도, 밸브체(40)까지 액체가 도달하기 어려워져, 용기 본체(10)의 건조 후의 수분이 남아 있는 것을 방지할 수 있다. 그리고, 밸브체(40)(마개부(42))보다 안쪽의 급기부(16) 또는 배기부(17)에는, 액체가 도달하지 않는다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대하여 상술했지만, 본 발명은 전술한 실시형태로 한정되지 않고, 특허청구의 범위에 기재된 본 발명의 요지의 범위 내에 있어서, 다양한 변형, 변경이 가능하다.
(변형예)
이하, 실시형태의 변형예를 설명한다.
도 5는, 변형예에서의 마개부(2)의 선단(21)의 형상을 나타내는 개략도이다.
도 6은, 변형예에서의 마개부(2)의 배치를 나타내는 단면도다.
상기 실시형태에 있어서, 제1 공간(413) 및 제2 공간(414)은, 각각, 1개의 제1 연통공(416) 및 1개의 제2 연통공(417)을 가지고 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 밸브체(40)의 용도에 따라, 각각, 2개 이상의 제1 연통공(416) 및/또는 2개 이상의 제2 연통공(417)을 가져도 된다.
또한, 상기 실시형태에 있어서, 개방 단부(411)는, 원형상이지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 타원형상, 삼각형상 또는 사각형상이라도 되고, 이 경우에, 탄성체(43)의 형상도, 개방 단부(411)의 형상에 맞추어서, 적절하게 변경해도 된다.
또한, 상기 실시형태에 있어서, 마개부(42)의 선단(421)은, 평면으로 되어 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 그 중앙 부분이 탄성체(43) 측으로 융기하는, 곡면 등과 같은 형상면이 되어도 되고, 이 경우에, 탄성체(43)는, 중앙 부분이 융기하는 선단(421)에 의해 위쪽으로 가압되므로, 선단(421)이 평면인 것에 비해, 기체의 유통이 가능하게 되는 압력의 소정값을 높일 수 있다.
그리고, 상기 실시형태에 있어서, 마개부(42)는, 개방 단부(411)의 중앙 위치에 설치되어 있지만, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 도 6에 나타낸 바와 같이, 개방 단부(411)의 중앙 위치로부터 통체(41)의 연장 방향에 편재하게 설치되어도 되고, 이 경우에, 기체의 유통이 가능해지는 압력의 소정값이 조절된다.
(제2 실시형태)
그런데, 상기 실시형태에서는, 밸브체(40)는, 용기 본체(10)에 설치된 기체 유로의 도중에 장착되도록 구성되었으나, 이것으로 한정되지 않고, 예를 들면, 용기 본체(10) 및 커버체(20) 중 적어도 한쪽에 장착되도록 구성되어도 된다.
도 7은, 제2 실시형태의 용기 본체(10)에서의 밸브체(40)를 나타내는 단면도이다. 밸브체(40)는, 도 7에 나타낸 바와 같이, 용기 본체(10)의 리브(180)에 의해 형성된 관통공(18)에 아래쪽으로부터 끼워지는 고정통(46)과, 관통공(18)에 실링 부재(45)를 통하여 위쪽으로부터 끼워 넣어지고, 고정통(46)에 위쪽으로부터 나사 결합에 의해 착탈 가능하게 조합되는 유지통(48)을 가지고 있다.
고정통(46)은, 용기 본체(10)의 내부 측이 개구된, 바닥이 있는 유저(有底) 원통형에 형성되어 있고, 고정통(46)의 내주에는, 유지통(48)을 장착하기 위한 장착용의 나사홈(462)이 새겨져 형성되어 있다. 또한, 고정통(46)의 외주면에는, 반경 외측 방향으로 연장되는 링형의 플랜지(463)가 주위에 설치되어 있고, 리브(180)의 개구 주위 에지부에 접촉하도록 되고 있다. 또한, 고정통(46)은, 바닥부 중심에, 통체(41)의 제1 연통공(416)과 연통하는 기체유통용의 통기구(461)가 형성되어 있다.
한편, 유지통(48)은, 용기 본체(10)의 외부 측이 개구된 유저 원통형에 형성되어 있고 또한, 유지통(48)의 외주면에는, 반경 외측 방향으로 연장되는 링형의 플랜지(483)가 주위에 설치되어 있고, 관통공(18)의 개구 주위 에지에 접촉하고 있다. 또한, 유지통(48)의 외주면에는, 고정통(46)에 장착하기 위한 나사홈(482)이 새겨져 형성되고, 이 나사홈(482)이 고정통(46)의 나사홈(462)과 나사 결합한다. 다만, 고정통(46) 및 유지통(48)은, 나사 결합이 아닌, 압입(壓入)이나 걸림 등의 다른 방법으로 서로 장착되어도 된다.
또한, 유지통(48)은, 용기 본체(10)(바닥면)의 내부 측에, 기체유통용의 복수의 통기구(도시하지 않음)를 구획하는 구획 리브(도시하지 않음)가 격자형 또는 방사형으로 설치되어 있고, 이 구획 리브의 이면(裏面)에는, 필터(44)를 수납하는 수납 공간이 형성되어 있다.
그리고, 유지통(48)은, 외주면에 실링 부재(45)가 장착되어 있고, 유지통(48)과 관통공(18)의 내주면의 사이로부터, 용기 본체(10)의 내부에 침입하는 외기나 세정액을 차단하고, 또한 용기 본체(10)의 내부로부터 누출되는 기체를 차단할 수 있다.
그런데, 밸브체(40)는, 유지통(48)의 내주벽에 실링 부재(47)를 통하여 장착되고, 유지통(48)과의 사이에 필터(44)를 유지하는 중간 커버통(49)도 가지고 있다.
중간 커버통(49)은, 용기 본체(10)의 외부측이 개구된 유저 원통형에 형성되어 있고 또한, 용기 본체(10)의 내부 측에, 필터(44)가 탑재되도록 되어 있다. 또한, 중간 커버통(49)의 외주면에는 돌기가 형성되어 있어, 유지통(48)의 내주면 측에 형성된 걸림 홈과 걸리는 것에 의해, 중간 커버통(49)은, 유지통(48)에 연결되어 장착되어 있다. 이 중간 커버통(49)은, 바닥부 중심에, 통체(41)의 제2 연통공(417)과 연통하는 기체유통용의 통기구(491)가 형성되어 있다.
그리고, 밸브체(40)는, 고정통(46)과 중간 커버통(49) 사이에 배치되고, 개방 단부(411)가 형성되고 또한, 내부 공간(412)을 가지는 통체(41)와, 내부 공간(412)을 제1 공간(413)과 제2 공간(414)으로 구획하고 또한, 개방 단부(411)에 이르는 마개부(42)와, 개방 단부(411) 및 마개부(42)를 덮는 탄성체(43)를 가지고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 통체(41), 마개부(42) 및 탄성체(43)에 대해서는, 상기 실시형태와 동일하므로, 이들에 대한 설명은 생략한다.
전술한 고정통(46), 유지통(48) 및 중간 커버통(49)은, 예를 들면, 폴리카보네이트, 폴리에테르이미드, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머 등의 열가소성 수지를 재료로 하여 형성되어 있다. 또한, 실링 부재(45, 47)에는, 예를 들면, 불소 고무, NBR 고무, 우레탄 고무, EPDM 고무, 실리콘 고무 등의 재료로 형성된, O링 등이 사용되고 있다.
제2 실시형태의 기판 수납 용기(1)이라도, 금속성의 부재를 사용하지 않은 밸브체(40)를 구비하고 있으므로, 수납하는 기판(W)에 금속 부식성의 잔류 물질이 있다고 하더라도, 금속 부식의 문제가 일어나지 않아, 밸브체(40)가 작동하지 않는 사태가 일어나기 어렵다.
(제2 실시형태의 변형예)
또한, 상기 실시형태에 있어서, 유지통(48)은, 관통공(18)에 끼워진 고정통(46)의 내측에 조합되지만, 반대로, 고정통(46)이, 관통공(18)에 끼워진 유지통(48)의 내측에 조합되어도 된다. 또한, 상기 실시형태에 있어서, 밸브체(40)는 중간 커버통(49)을 가지고 있지만, 중간 커버통(49)을 가지지 않고, 제2 연통공(417)이 유지통(48)과 연통되어도 된다. 이 경우에, 필터(44)는, 유지통(48)에 직접 접착 또는 용착되면 된다.
1: 기판 수납 용기 10: 용기 본체 11: 개구
12: 실링면 13: 지지체 14: 로보틱 플랜지
15: 매뉴얼 핸들 16: 급기부 17: 배기부
18: 관통공 101: 내측 바닥면부 102: 외측 바닥판
180: 리브 1011: 가압부 20: 커버체
21: 장착홈 22: 볼록부 30: 패킹
40: 밸브체 41: 통체 411: 개방 단부
412: 내부 공간 413: 제1 공간 414: 제2 공간
415: 플랜지 416: 제1 연통공 417: 제2 연통공
418: 벽면 42: 마개부 421: 선단
43: 탄성체 431: 베이스 44: 필터
45: 실링 부재 47: 실링 부재 46: 고정통
461: 통기구 462: 나사홈 463: 플랜지
48: 유지통 482: 나사홈 483: 플랜지
49: 중간 커버통 491: 통기구 50: 기체 도입부
51: 기체 배출부 60: 급기 유로 61: 제1 급기 유로
62: 제2 급기 유로 70: 배기 유로 71: 제1 배기 유로
72: 제2 배기 유로
W: 기판
C: 간극

Claims (8)

  1. 기판을 수납하는 용기 본체;
    상기 용기 본체의 개구를 폐지(閉止)하는 커버체; 및
    상기 용기 본체에 대한 기체의 유통을 제어하는 밸브체;를 구비하는 기판 수납 용기로서,
    상기 밸브체는,
    개방 단부(端部)가 형성되고 또한, 내부 공간을 가지는 통체와,
    상기 내부 공간을, 제1 공간과 제2 공간으로 구획하고 또한, 상기 개방 단부에 이르는 마개부와,
    상기 개방 단부 및 상기 마개부를 덮는 탄성체를 가지고,
    상기 제1 공간은, 상기 용기 본체의 외부와 연통하는 제1 연통공을 가지고, 또한, 상기 제2 공간은, 상기 용기 본체의 내부와 연통하는 제2 연통공을 가지고,
    상기 탄성체는, 상기 마개부에 밀착하거나 또는 상기 마개부로부터 이격됨으로써, 상기 용기 본체에 대한 기체의 유통을 제어하는, 기판 수납 용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 탄성체는, 판형이고 또한, 상기 제1 공간과, 상기 제2 공간만을 상기 기체가 흐르도록, 상기 제1 공간측의 개방 단부와 상기 마개부 사이, 및 상기 마개부와 상기 제2 공간 측의 개방 단부 사이를, 각각 실링하는, 기판 수납 용기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 탄성체는, 상기 제1 공간 또는 상기 제2 공간에 양압(陽壓)이 가해지는 경우에, 부푸는 것에 의해 상기 마개부와의 사이에 간극을 형성하여, 상기 용기 본체에 대한 상기 기체의 유통을 가능하게 하고 또한, 상기 제1 공간 및 상기 제2 공간에 양압이 가해지지 않는 경우에, 상기 마개부와 밀착되어, 상기 용기 본체에 대한 상기 기체의 유통을 차단하는, 기판 수납 용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 탄성체는, 분리 가능한 상태로 상기 통체에 장착되어 있는, 기판 수납 용기.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 밸브체는, 상기 용기 본체에 설치된 기체 유로의 도중에 장착되어 있는, 기판 수납 용기.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 연통공은, 상기 용기 본체에 형성된 관통공에 끼워지는 고정통과 연통하고,
    상기 제2 연통공은, 상기 고정통에 조합되는 유지통과 연통하는, 기판 수납 용기.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 연통공은, 상기 용기 본체에 형성된 관통공에 끼워지는 고정통과 연통하고,
    상기 제2 연통공은, 상기 고정통에 조합되는 유지통에 연결된 중간 커버통과 연통하는, 기판 수납 용기.
  8. 제6항 또는 제7항에 있어서,
    상기 밸브체는 상기 기체를 여과하는 필터를 가지는, 기판 수납 용기.
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WO (1) WO2019176581A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020065968A1 (ja) * 2018-09-28 2020-04-02 ミライアル株式会社 基板収納容器

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3298391A (en) * 1967-01-17 Two way flow anti-siphon valve assembly
JPS5815959B2 (ja) * 1979-12-25 1983-03-28 アルプス電気株式会社 透明積層配線基板の製造方法
US6319297B1 (en) * 1998-03-27 2001-11-20 Asyst Technologies, Inc. Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges
JP2004179449A (ja) 2002-11-28 2004-06-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2005009502A (ja) * 2003-06-16 2005-01-13 Aisan Ind Co Ltd ダイアフラム式バルブ
JP2008066330A (ja) 2006-09-04 2008-03-21 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器及び逆止弁
JP2009277687A (ja) * 2008-05-12 2009-11-26 Shin Etsu Polymer Co Ltd バルブ機構及び基板収納容器
US20100051501A1 (en) * 2008-08-29 2010-03-04 International Business Machines Corporation Ic waper carrier sealed from ambient atmosphere during transportation from one process to the next
KR20170088411A (ko) * 2014-12-01 2017-08-01 엔테그리스, 아이엔씨. 기재 수용기 밸브 조립체
KR20180048652A (ko) * 2015-09-04 2018-05-10 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 가스 주입 장치

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5329505B2 (ko) 1974-01-11 1978-08-21
JPS50103229U (ko) * 1974-01-28 1975-08-26
US5396925A (en) * 1993-12-16 1995-03-14 Abbott Laboratories Anti-free flow valve, enabling fluid flow as a function of pressure and selectively opened to enable free flow
JPH1089035A (ja) * 1996-09-17 1998-04-07 Nippon Soken Inc 内燃機関の潤滑回路における油圧制御装置
JP2002364766A (ja) 2001-06-12 2002-12-18 Toyoda Gosei Co Ltd ダイヤフラム弁
TW511650U (en) * 2001-09-12 2002-11-21 Ind Tech Res Inst Ventilator device for cleaning container
JP4204302B2 (ja) * 2002-10-25 2009-01-07 信越ポリマー株式会社 収納容器
EP1555689B1 (en) * 2002-10-25 2010-05-19 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. Substrate storage container
US7428914B2 (en) * 2004-05-19 2008-09-30 Toyoda Gosei Co., Ltd. Flow control valve
TWI346638B (en) * 2008-12-26 2011-08-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd A purging valve and a wafer container having the purging valve
JP5241607B2 (ja) * 2009-05-21 2013-07-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
TWI411563B (zh) * 2009-09-25 2013-10-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd 光罩盒
JP5815959B2 (ja) 2011-02-08 2015-11-17 近藤工業株式会社 Ｎ２ガスパージ装置におけるノズルユニット
JP5888492B2 (ja) * 2011-12-02 2016-03-22 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP6058365B2 (ja) * 2012-11-26 2017-01-11 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
WO2016002005A1 (ja) * 2014-07-01 2016-01-07 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP6578237B2 (ja) * 2016-03-31 2019-09-18 株式会社吉野工業所 吐出容器
KR102469954B1 (ko) * 2017-07-14 2022-11-23 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 기판 수납 용기

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3298391A (en) * 1967-01-17 Two way flow anti-siphon valve assembly
JPS5815959B2 (ja) * 1979-12-25 1983-03-28 アルプス電気株式会社 透明積層配線基板の製造方法
US6319297B1 (en) * 1998-03-27 2001-11-20 Asyst Technologies, Inc. Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges
JP2004179449A (ja) 2002-11-28 2004-06-24 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2005009502A (ja) * 2003-06-16 2005-01-13 Aisan Ind Co Ltd ダイアフラム式バルブ
JP2008066330A (ja) 2006-09-04 2008-03-21 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器及び逆止弁
JP2009277687A (ja) * 2008-05-12 2009-11-26 Shin Etsu Polymer Co Ltd バルブ機構及び基板収納容器
US20100051501A1 (en) * 2008-08-29 2010-03-04 International Business Machines Corporation Ic waper carrier sealed from ambient atmosphere during transportation from one process to the next
KR20170088411A (ko) * 2014-12-01 2017-08-01 엔테그리스, 아이엔씨. 기재 수용기 밸브 조립체
KR20180048652A (ko) * 2015-09-04 2018-05-10 신포니아 테크놀로지 가부시끼가이샤 가스 주입 장치

Also Published As

Publication number Publication date
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