JP2005009502A

JP2005009502A - ダイアフラム式バルブ

Info

Publication number: JP2005009502A
Application number: JP2003170717A
Authority: JP
Inventors: Kaoru Inagaki; 薫稲垣; Hirokazu Tashimo; 広和田下
Original assignee: Aisan Industry Co Ltd
Current assignee: Aisan Industry Co Ltd
Priority date: 2003-06-16
Filing date: 2003-06-16
Publication date: 2005-01-13

Abstract

【課題】高圧側室から低圧側室への流れを制御するダイアフラム式バルブにおいて、制御される気体中の物質がダイアフラムを透過する材質である場合に、その透過した物質を大気へ放出しないようにする。また、開弁時における流量を増大させる。
【解決手段】ダイアフラム４の一方の面側に高圧側室３と低圧側室９を設け、他方の面側に背圧室６を設け、ダイアフラム４に設けた弁部１２により前記高圧側室３と低圧側室９とを連通したり遮断したりする。前記背圧室６内の圧力を前記低圧側室９へ逃がす圧力逃がし穴１６を設ける。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はダイアフラム式バルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、例えば、自動車に搭載されたガソリン燃料タンクからの蒸発燃料を、蒸発燃料捕集用のキャニスタに導入するとともに、該キャニスタにおいて、浄化された空気を大気へ放出し、捕集された蒸発燃料をエンジンの吸気筒へパージさせる蒸発燃料系に、ガソリン燃料タンク内の正圧により開弁するダイアフラム式バルブが使用されている。
【０００３】
このようなダイアフラム式バルブとして、例えば図２１に示すようなダイアフラム式バルブが知られている（例えば特許文献１）。
【０００４】
この図２１に示すダイアフラム式バルブは、ゴム製のダイアフラム１０１の一方の面側に、高圧側室１０２と低圧側室１０３を設け、他方の面側に背圧室１０４を設け、ダイアフラム１０１の動きにより、その弁部１０５によって前記高圧側室１０２と低圧側室１０３とを連通したり遮断したりするようになっている。更に、前記背圧室１０４には、該背圧室１０４内の圧力を大気へ逃がす圧力逃がしポート１０６を設けるとともにダイアフラム制御スプリング１０７を設けている。
【０００５】
そして、例えば高圧側室１０２のポート１０８を燃料タンクに連通し、低圧側室１０３のポート１０９をキャニスタを通じてエンジンの吸気筒へ連通した状態において、燃料タンク内の蒸発燃料による正圧が所定以上に高くなるとその正圧が高圧側室１０２内に作用し、ダイアフラム制御スプリング１０７の付勢荷重に抗してダイアフラム１０１が、その弁部１０５がシート面１１０から離間するように開弁作動し、蒸発燃料が高圧側室１０２から低圧側室１０３内へ流れ、ポート１０９からキャニスタに捕集され、浄化された空気が大気へ出るようになっている。
【０００６】
【特許文献１】
実開昭５８−６６１５７号公報（第２図）
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来のように、ダイアフラム１０１をゴム材で形成し、背圧室１０４を圧力逃がしポート１０７で大気に開放したものにおいては、このダイアフラム式バルブを前記のようなガソリンの蒸発燃料系に用い、かつ、そのダイアフラム１０１がＨＣ（炭化水素）を透過するゴム材であると、ガソリンに含有する微小なＨＣがゴム材のダイアフラム１０１を透過して背圧室１０４から圧力逃がポート１０７を通じて大気へ放出される問題がある。
【０００８】
更に、前記従来のダイアフラム式バルブにおいては、背圧室１０４内が常時大気圧であるとともにダイアフラム１０１がダイアフラム制御スプリング１０７で押圧されているため、ダイアフラム１０１の弁部１０５は、高圧側室１０２内の正圧の作用のみにより開弁し、シート面１１０と弁部１０５との間を流れる気体の流量に対する通気抵抗が図２３の特性Ｅとなり、開弁後の流量を多く稼ぐことが困難な問題もある。
【０００９】
そこで本発明は、ガソリンの蒸発燃料系に用いられ、かつ、そのダイアフラムがＨＣを透過するゴム材で形成されている場合には、前記のような、ダイアフラムを透過したＨＣが大気へ放出されないようにするとともに、開弁後の流量を多く稼ぐことができるダイアフラム式バルブを提供することを目的とするものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記の課題を解決するために、請求項１記載の発明は、ダイアフラムの一方の面側に高圧側室と低圧側室を設け、他方の面側に背圧室を設け、ダイアフラムに設けた弁部により前記高圧側室と低圧側室とを連通したり遮断したりするダイアフラム式バルブであって、
前記背圧室内の圧力を前記低圧側室へ逃がす圧力逃がし穴を設けたことを特徴とするものである。
【００１１】
本発明において、高圧側室内に高圧気体が流入すると、ダイアフラムに設けた弁部が開弁して高圧側室と低圧側室が連通し、高圧側室内の気体が低圧側室内へ流れる。
【００１２】
このとき、ダイアフラムが背圧室側へ移動して背圧室内が昇圧されると、この圧力は圧力逃がし穴から低圧側室へ排出される。
【００１３】
また、前記高圧側室内へ流入する気体が、ガソリン燃料の蒸発燃料であり、ダイアフラムがＨＣを透過するゴム材であると、前記蒸発燃料中に含有するＨＣがダイアフラムを透過して背圧室内に侵入するが、この侵入したＨＣは圧力逃がし穴から低圧側室へ排出される。
【００１４】
したがって、前記背圧室に、前記従来のような大気に開放した圧力逃がし穴を設けることなくダイアフラムを支障なく作動させることができるとともに、背圧室に侵入したＨＣを大気へ放出させない。
【００１５】
請求項２記載の発明は、前記請求項１記載の発明において、前記圧力逃がし穴における低圧室側開口端を、高圧側室から低圧側室へ流れる気流により、圧力逃がし穴内の気体が吸い出される位置に設けたものである。
【００１６】
本発明においては、前記の作用、効果に更に高圧側室から低圧側室へ流れる気流により圧力逃がし穴内の気体が吸い出され、背圧室内の圧力が低下する。そのため、高圧側室内の圧力と背圧室内の圧力との差圧が大きくなり、ダイアフラムの弁部の開弁作用が促進されて、高圧側室内の圧力と低圧側室内の圧力との差圧に対する流量を増大させることができる。
【００１７】
請求項３記載の発明は、ダイアフラムの一方の面側に高圧側室を設けるとともに該高圧側室の略中央部に位置して低圧側室を設け、ダイアフラムの他方の面側に背圧室を設け、ダイアフラムの中央部に設けた弁部を前記低圧側室のシール面に接離して高圧側室と低圧側室を連通、遮断するダイアフラム式バルブであって、
前記ダイアフラムの弁部の位置に、前記背圧室と低圧側室とを連通する圧力逃がし穴を形成したことを特徴とするものである。
【００１８】
請求項４記載の発明は、ダイアフラムの一方の面側に低圧側室を設けるとともに該低圧側室の略中央部に位置して高圧側室を設け、ダイアフラムの他方の面側に背圧室を設け、ダイアフラムの中央部に設けた弁部を前記高圧側室のシール面に接離して高圧側室と低圧側室を連通、遮断するダイアフラム式バルブであって、
前記ダイアフラムの弁部の位置に、前記背圧室と高圧側室とを連通する圧力逃がし穴を形成したことを特徴とするものである。
【００１９】
請求項５記載の発明は、前記請求項３又は４記載の発明において、前記圧力逃がし穴を前記ダイアフラムの弁部に形成したものである。
【００２０】
これら請求項３〜５の発明においても前記請求項１記載の発明と同様の作用、効果を発揮する。
【００２１】
請求項６記載の発明は、前記請求項３記載の発明において、前記ダイアフラムの弁部の位置に、前記低圧側室内へ突出する筒部を形成し、該筒部に前記圧力逃がし穴を形成し、該圧力逃がし穴の低圧側開口端を低圧側室内に位置させたものである。
【００２２】
本発明においても前記請求項２と同様の作用、効果を発揮する。
請求項７記載の発明は、前記請求項６記載の発明において、前記筒部に形成した圧力逃がし穴の低圧室側開口端を、低圧側室内の気流に対して略直交する方向に指向させたものである。
【００２３】
本発明においては更に、前記圧力逃がし穴内の気体の吸い出し効果が高くなり、前記のような高圧側室内の圧力と低圧側室内の圧力との差圧に対する流量を一層増大させることができる。
【００２４】
請求項８記載の発明は、前記請求項７記載の発明において、前記筒部に形成した圧力逃がし穴の低圧室側開口端を、筒部の外周面より突出した位置に設けたものである。
【００２５】
本発明によれば、前記の流量を更に一層増大させることができる。
請求項９記載の発明は、前記請求項６記載の発明において、前記筒部を、ダイアフラムの弁部に形成したものである。
【００２６】
請求項１０記載の発明は、前記請求項６乃至８のいずれかに記載の発明において、前記筒部を、ダイアフラムのディッシュに形成したものである。
【００２７】
本発明によれば、更に、請求項６乃至８記載の圧力逃がし穴の形成が容易である。
【００２８】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施の形態について図１乃至図２０に示す実施例に基づいて説明する。
【００２９】
図１乃至図３は第１実施例を示す。
本第１実施例のダイアフラム式バルブ１を構成する外筒２は一端側である上端側が開口した有底筒状に形成され、該外筒２内に高圧側室３が形成されている。前記外筒２の開口側にはダイアフラム４が配置されているとともに、該ダイアフラム４における前記外筒２と反対側には背圧室カバー５が設けられ、該背圧室カバー５と外筒２とでダイアフラム４の外周部を挟持している。そして、該ダイアフラム４により、その一方の面側に高圧側室３を、他方の面側に背圧室６を区画形成している。
【００３０】
前記ダイアフラム４はゴム材等により形成され、前記高圧側室３には高圧側ポート７が設けられ、前記背圧室カバー５には前記従来のような大気への圧力逃がし穴は形成されておらず、背圧室６は大気に開放されていない。
【００３１】
前記高圧側室３が位置するダイアフラム４の一方の面側には、高圧側室３の略中央に位置して内筒８が配置され、該内筒８内が低圧側室９になっている。該低圧側室９の上端は開口され、該開口部１０が、前記ダイアフラム４側へ指向している。また、前記低圧側室９の他端側には低圧側ポート１１が設けられている。
【００３２】
前記ダイアフラム４の中央部には、ダイアフラム４と一体に形成された弁部１２が設けられており、該弁部２が、前記低圧側室９を形成する内筒８の開口側端のシート面１３に接離するように配置され、該弁部１２がシート面１３に接することにより、高圧側室３と低圧側室９とを遮断し、弁部１２がシート面１３から離れることにより、高圧側室３と低圧側室９を連通するようになっている。
【００３３】
前記ダイアフラム４における背圧室６側の面にはディッシュ１４が設けられており、背圧室６内に配置した付勢手段であるダイアフラム制御スプリング１５が、ディッシュ１４と背圧室カバー５間に圧縮介在されている。したがって、弁部１２が、ダイアフラム制御スプリング１５の付勢力による所定圧によって内筒８のシート面１３側へ付勢されている。
【００３４】
前記弁部１２には、その中央部、すなわち低圧側室９の開口部１０に位置して圧力逃がし穴１６が貫通して形成されており、背圧室６と低圧側室９との間を連通するようになっている。
【００３５】
次に、前記第１実施例におけるダイアフラム式バルブ１を、前記のようなガソリン燃料タンクからエンジンの吸気筒に至る蒸発燃料系に使用した場合についての作用について説明する。
【００３６】
この場合には、例えば前記の高圧側ポート７を燃料タンク側に接続し、前記低圧側ポート１１をキャニスタ側へ接続する。
【００３７】
燃料タンク内の蒸発燃料の圧力、すなわち、高圧側室３内の圧力が、ダイアフラム制御スプリング１５の付勢力よりも低い状態においては、図１及び図２に示すように、ダイアフラム４の弁部１２がシート面１３に圧接されて高圧側室３と低圧側室９の間が遮断されている。
【００３８】
給油時のように、燃料タンク内の蒸発燃料の圧力が上昇して、高圧側ポート７から高圧側室３内に流入した蒸発燃料の圧力が所定圧以上になると、その圧力によりダイアフラム４が、ダイアフラム制御スプリング１５の付勢力に抗して押し上げられ、ダイアフラム４の弁部１２が図３に示すようにシート面１３から離間して開弁し、高圧側室３と低圧側室９とを連通する。
【００３９】
この開弁時におけるダイアフラム４の上動により背圧室６内が加圧されると、その背圧室６内の圧力は、圧力逃がし穴１６から排出され、ダイアフラム４の上動は妨げられず、何等支障なく開弁作動が行われる。
【００４０】
また、ダイアフラム４が、ＨＣなどを透過するゴム材で形成されているものにおいて、高圧側室３内の蒸発燃料中の微小なＨＣがダイアフラム４を透過して背圧室６内に入った場合には、その背圧室６内のＨＣは圧力逃がし穴１６から低圧側室９内へ排出され、低圧側ポート１１を通じて、例えばキャニスタに捕獲される。したがって、ＨＣの大気への放出を防止することができる。
【００４１】
図４乃至図６は第２実施例を示す。
本第２実施例は、前記第１実施例におけるダイアフラム４の弁部１２の中央部に位置して、低圧側室９内へ突出する筒部２０を弁部１２と一体に形成し、該筒部２０内に、前記の圧力逃がし穴１６と同様の圧力逃がし穴２１を貫通形成したものである。
【００４２】
また、前記筒部２０の外径は、前記内筒８の内径よりも小径に設定されており、該筒部２０の外周面と低圧側室９の周面間に流通空間２２が形成されるようになっている。更に、該筒部２０の突出長は所定量に設定するもので、例えば、弁部１２が最大に開弁した状態においても図６に示すように、筒部２０の先端（下端）が低圧側室９内に位置するように設定する。更に、圧力逃がし穴２１は、低圧側室９の軸方向に沿って形成され、その低圧室側開口端２１ａは、下方に向かって開口されている。
【００４３】
その他の構造は前記第１実施例と同様であるため、前記と同一部分には前記と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００４４】
本第２実施例においても、前記第１実施例と同様の作用、効果を発揮する上に、本第２実施例においては、更に次のような作用、効果を発揮する。
【００４５】
本第２実施例において、燃料タンク内の蒸発燃料の圧力が昇圧して高圧側ポート７から高圧側室３内に流入した蒸発燃料の圧力によりダイアフラム４がダイアフラム制御スプリング１５の付勢力に抗して押し上げられると、ダイアフラム４の弁部１２が図５に示すようにシート面１３から離間して開弁する。この開弁初期において、図５に示すように、蒸発燃料が高圧側室３側から低圧側室９内へ、流通空間２２を通じて矢印Ａのように流入すると、その流れにより圧力逃がし穴２１内の気体が矢印Ｂのように低圧側室９へ吸引され、背圧室６内の圧力が低下し、高圧側室３内の圧力と背圧室６内の圧力との差圧が増大し、ダイアフラム４のリフト量が増大し、弁部１２の開弁量が増大する。
【００４６】
すなわち、高圧側室３内の圧力と低圧側室９内との差圧の増大に対する開弁量が、前記図２１に示す従来構造に比べて大きくなり、高圧側室３から低圧側室９内へ流れる流量が多くなる。
【００４７】
この差圧の変動と流量との関係を図２２に示す。この図２２において、Ｃは従来構造の特性を示し、Ｄは本発明の第２実施例による特性を示す。
【００４８】
また、流量と通気抵抗との関係を図２３に示す。この図２３においてＥは従来構造の特性を示し、Ｆは本発明の第２実施例による特性を示す。
【００４９】
以上のことから、本第２実施例においては、従来構造に比べて、開弁後の蒸発燃料の流量増大に対する通気抵抗の増大を抑制し、蒸発燃料を流れやすくすることができる。
【００５０】
図７は第３実施例を示す。
本第３実施例は、前記第２実施例の筒部２０を、前記ダイアフラム４のディッシュ１４に形成したものである。
【００５１】
すなわち、ディッシュ１４における弁部１２の位置であるディッシュ１４の中央部に、弁部１２を貫通して前記低圧側室９内に突出する筒部３０を、ディッシュ１４と一体形成し、該筒部３０に、前記の圧力逃がし穴２１と同様の圧力逃がし穴３１を貫通形成したものである。この筒部３０の外径と突出長及び低圧室側開口端３１ａは前記第２実施例と同様である。
【００５２】
その他の構造は、前記第２実施例と同様であるため、前記と同一部分には前記と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５３】
本第３実施例においても、前記第２実施例と同様の作用、効果を発揮することができる。
【００５４】
図８乃至図１２は第４実施例を示す。
本第４実施例は前記第３実施例における筒部３０に形成した圧力逃がし穴３１の低圧室側開口部３１ａの変形例で、前記圧力逃がし穴３１の低圧室側開口端３１ａを、筒部３０の周壁に開口して低圧室側開口端３１ｂとしたものである。
【００５５】
すなわち、圧力逃がし穴３１を、その先端（下端）に底壁３２を有する有底穴に形成し、圧力逃がし穴３１の先部に、筒部３０自体に貫通穴を形成して、該穴を低圧室側開口端３１ｂとし、該低圧室側開口端３１ｂを、低圧側室９の軸方向と略直交する方向に指向させたものである。該低圧室側開口端３１ｂは、図１０に示すように筒部３０の周方向に複数個形成されており、図の実施例では９０°間隔で４個形成されている。
【００５６】
その他の構造は前記第３実施例と同様であるため、前記と同一部分には前記と同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５７】
本第４実施例においても前記第３実施例と同様の作用、効果を発揮するが、本第４実施例においては前記第３実施例における蒸発燃料の流れやすさを一層高めることができる。
【００５８】
すなわち、前記第２実施例の図５と同様に弁部１２が開弁し、図１１に示すように、蒸発燃料が高圧側室３側から、低圧側室９内へ流通空間２２を通じて矢印Ａのように流入すると、その流れにより低圧室側開口端３１ｂから圧力逃がし穴３１内の気体が低圧側室９内へ吸引される。このとき、低圧室側開口端３１ｂが、低圧側室９の軸方向、すなわち、蒸発燃料の流れ方向Ａに対して略直交する方向に開口しているため、該低圧室側開口端３１ｂに負圧が発生し、圧力逃がし穴３１内の気体を低圧側室９内へ吸引する吸引力が大きくなり、背圧室６内の圧力が、前記第２及び第３実施例に比べて大きく低下する。
【００５９】
そのため、前記第２及び第３実施例に比べて、高圧側室３内と背圧室６内との差圧が大きくなり、ダイアフラム４のリフト量が増大し、高圧側室３内の圧力に対する開弁量が増大する。
【００６０】
したがって、開弁後の蒸発燃料の流量増大に対する通気抵抗の増大が、前記第２及び第３実施例の特性Ｆに比べて一層抑制され、蒸発燃料が更に流れやすくなる。
【００６１】
図１３乃至図１７は第５実施例を示す。
本第５実施例も前記第４実施例と同様に、圧力逃がし穴３１の低圧室側開口端を低圧側室９の軸方向と略直交する方向に指向させて形成したものであるが、本第５実施例では、前記筒部３０と別体に形成した開口部形成部材４０を、筒部３０の先端（下端）に接着剤等で固着し、該開口部形成部材４０に低圧室側開口端４１を形成したものである。
【００６２】
すなわち、開口部形成部材４０の中央上面に、前記圧力逃がし穴３１に連通する連通口４２を形成し、該連通口４２から外側方へ、すなわち低圧側室９の軸方向と略直交する方向における外側方へ低圧室側開口端４１を形成したものである。更に、該低圧室側開口端４１は、筒部３０の外周面よりも外側方へ突出したパイプ状の突部４３を形成して該突部４２内に形成されている。更に、該突部４３、すなわち低圧室側開口端４１は、図１５に示すように、筒部３０の周方向に複数個形成されており、図の実施例では９０°間隔で４個形成されている。
【００６３】
その他の構造は前記第４実施例と同様であるため、前記と同一部分には前記と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００６４】
本第５実施例においても前記第４実施例と同様の作用、効果を発揮するが、本第５実施例においては、前記第４実施例における蒸発燃料の流れやすさを、更に一層高めることができる。
【００６５】
すなわち、本第５実施例のように、低圧室側開口端４１を形成した突部４３を突設することにより、該突部４３以外の部分４４での低圧側室９の流通面積を大きく確保して、低圧室側開口端４１と内筒８の内周面との間の流通空間２２を狭くし、該流通空間２２での蒸発燃料の流速を、前記第４実施例よりも高めることができる。
【００６６】
このように流速が高くなることは、前記第４実施例に比べて、圧力逃がし穴３１内の気体を低圧側室９内へ吸引する吸引力が高くなり、高圧側室３内の圧力と背圧室６内の圧力との差圧が大きくなり、ダイアフラム４のリフト量が増大し、高圧側室３内の圧力に対する開弁量が増大する。
【００６７】
したがって、開弁後の蒸発燃料の流量増大に対する通気抵抗が図２３の特性Ｇのようになり、第４実施例に比べて蒸発燃料が更により一層流れやすくなる。
【００６８】
図１８乃至図２０は第６実施例を示す。
前記第１乃至第５実施例においては、外筒２内を高圧側室３とし、内筒８内を低圧側室９としたが、本第６実施例は、外筒２内を低圧側室９Ａとし、内筒８内を高圧側室３Ａとした場合において、前記実施例と同様の作用、効果を発揮できるようにしたものである。
【００６９】
すなわち、前記図１に示す第１実施例の構造において、その圧力逃がし穴１６を、図１８乃至図２０に示すように、弁部１２において、背圧室６と内筒８外の低圧側室９Ａとを連通する穴からなる圧力逃がし穴５０に変えたものである。
【００７０】
該圧力逃がし穴５０は、図１８及び図１９に示すように、弁部１２がシート面１３に接して閉弁した状態において、低圧室側開口端５０ａが内筒８を外れて低圧側室９Ａ側に開口するように形成されている。また、該圧力逃がし穴５０は、弁部１２の周方向に複数個形成されており、図の実施例では、前記図１０及び図１５と同様に９０°間隔で４個形成されている。
【００７１】
なお、外筒２内を低圧側としたことにより、前記のポート７は低圧側ポート１１ａとし、前記ポート１１は高圧側ポート７ａとしている。
【００７２】
その他の構造は前記第１実施例と同様であるため、前記と同一部分には前記と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００７３】
本第６実施例において、蒸発燃料を高圧側ポート７ａを通じて高圧側室３Ａ内へ流入させると、その蒸発燃料の圧力により弁部１２が図２０に示すように開弁し、蒸発燃料は図２０の矢印Ａ´のように流れ、低圧側室９Ａ内へ流入する。
【００７４】
この開弁初期において蒸発燃料が圧力逃がし穴５０の低圧側開口端５０ａ近傍を流れると、背圧室６内の気体が圧力逃がし穴５０を通じて低圧側室９Ａ内へ吸引され、高圧側室３Ａの圧力と背圧室６内の圧力との差圧が大きくなり、前記実施例と同様の作用によって蒸発燃料が流れやすくなる。
【００７５】
また、ダイアフラム４を透過して背圧室６内に入ったＨＣは、圧力逃がし穴５０から低圧側室９Ａ内に排出されるため、前記実施例と同様に、ＨＣを大気へ放出することが防止される。
【００７６】
前記各実施例は、本発明のダイアフラム式バルブを蒸発燃料系に配置した場合の例であるが、本発明は、蒸発燃料中のＨＣの大気放出防止を目的とするもの以外に、気体の流量を稼ぐ目的のダイアフラム式バルブにも適用することができるもので、本発明は前記の蒸発燃料系に配置するダイアフラム式バルブに限定するものではない。
【００７７】
【発明の効果】
以上のようであるから、本発明のダイアフラム式バルブを、例えばダイアフラムがＨＣを透過するゴム材であって、ガソリン燃料の蒸発燃料を制御するバルブに使用した場合に、バルブ機能を損なうことなくその蒸発燃料に含有するＨＣが大気に放出されることを防止することができる。
【００７８】
更に、背圧室に連通させた圧力逃がし穴を、低圧側室内に突出させて設けることにより、高圧側室内の圧力と低圧側室内の圧力との差圧に対する流量を増大させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施例を示す側断面図。
【図２】図１における弁部の閉弁状態を示す拡大側断面図。
【図３】図２における開弁状態を示す拡大側断面図。
【図４】本発明の第２実施例を示す側断面図。
【図５】図４における弁部の開弁初期の状態を示す拡大側断面図。
【図６】図５の状態から更に開弁した状態を示す拡大側断面図。
【図７】本発明の第３実施例を示す側断面図。
【図８】本発明の第４実施例を示す側断面図。
【図９】図８における弁部の閉弁状態を示す拡大側断面図。
【図１０】図９におけるＸ−Ｘ線拡大断面図。
【図１１】図８における弁部の開弁初期の状態を示す拡大側断面図。
【図１２】図１１の状態から更に開弁した状態を示す拡大側断面図。
【図１３】本発明の第５実施例を示す側断面図。
【図１４】図１３における弁部の閉弁状態を示す拡大側断面図。
【図１５】図１４におけるＹ−Ｙ線拡大断面図。
【図１６】図１３における弁部の開弁初期の状態を示す拡大側断面図。
【図１７】図１６の状態から更に開弁した状態を示す拡大側断面図。
【図１８】本発明の第６実施例を示す側断面図。
【図１９】図１８における弁部の閉弁状態を示す拡大側断面図。
【図２０】図１９の状態から開弁した状態を示す拡大側断面図。
【図２１】従来構造を示す側断面図。
【図２２】本発明と従来構造における高圧側室内の圧力と低圧側室内の圧力との差圧に対する流量を比較した図。
【図２３】本発明と従来構造における流量に対する通気抵抗との関係を示す図。
【符号の説明】
３，３Ａ高圧側室
４ダイアフラム
５背圧室カバー
６背圧室
９，９Ａ低圧側室
１２弁部
１３シート面
１４ディッシュ
１５付勢手段
１６，２１，３１，５０圧力逃がし穴
２０，３０筒部
２１ａ，３１ａ，３１ｂ，４１，５０ａ開口端

Claims

ダイアフラムの一方の面側に高圧側室と低圧側室を設け、他方の面側に背圧室を設け、ダイアフラムに設けた弁部により前記高圧側室と低圧側室とを連通したり遮断したりするダイアフラム式バルブであって、
前記背圧室内の圧力を前記低圧側室へ逃がす圧力逃がし穴を設けたことを特徴とするダイアフラム式バルブ。
前記圧力逃がし穴における低圧室側開口端を、高圧側室から低圧側室へ流れる気流により、圧力逃がし穴内の気体が吸い出される位置に設けた請求項１記載のダイアフラム式バルブ。
ダイアフラムの一方の面側に高圧側室を設けるとともに該高圧側室の略中央部に位置して低圧側室を設け、ダイアフラムの他方の面側に背圧室を設け、ダイアフラムの中央部に設けた弁部を前記低圧側室のシール面に接離して高圧側室と低圧側室を連通、遮断するダイアフラム式バルブであって、
前記ダイアフラムの弁部の位置に、前記背圧室と低圧側室とを連通する圧力逃がし穴を形成したことを特徴とするダイアフラム式バルブ。
ダイアフラムの一方の面側に低圧側室を設けるとともに該低圧側室の略中央部に位置して高圧側室を設け、ダイアフラムの他方の面側に背圧室を設け、ダイアフラムの中央部に設けた弁部を前記高圧側室のシール面に接離して高圧側室と低圧側室を連通、遮断するダイアフラム式バルブであって、
前記ダイアフラムの弁部の位置に、前記背圧室と高圧側室とを連通する圧力逃がし穴を形成したことを特徴とするダイアフラム式バルブ。
前記圧力逃がし穴を前記ダイアフラムの弁部に形成した請求項３又は４記載のダイアフラム式バルブ。
前記ダイアフラムの弁部の位置に、前記低圧側室内へ突出する筒部を形成し、該筒部に前記圧力逃がし穴を形成し、該圧力逃がし穴の低圧側開口端を低圧側室内に位置させた請求項３記載のダイアフラム式バルブ。
前記筒部に形成した圧力逃がし穴の低圧室側開口端を、低圧側室内の気流に対して略直交する方向に指向させた請求項６記載のダイアフラム式バルブ。
前記筒部に形成した圧力逃がし穴の低圧室側開口端を、筒部の外周面より突出した位置に設けた請求項７記載のダイアフラム式バルブ。
前記筒部を、ダイアフラムの弁部に形成した請求項６記載のダイアフラム式バルブ。
前記筒部を、ダイアフラムのディッシュに形成した請求項６乃至８のいずれかに記載のダイアフラム式バルブ。