JPH062699U - ウエハキャリアボックス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 据え付け及び持ち運びの両方に容易に使用す
ることができ、内部に収納するウエハの酸化を防止す
る。 【構成】 一方を開口して形成され、複数枚のウエハが
挿入されたウエハキャリア１を収納する筐体２と、筐体
２の開口部３を塞ぐ蓋体４と、この蓋体４によって閉塞
された筐体２内に不活性ガスを供給する接続配管５とか
らなり、筐体２の開口部３と蓋体４との間に、筐体２内
圧が外圧以下のとき内部を密封し、内圧が外圧より高く
なったとき筐体２内の不活性ガスが外部に漏れるように
したシール部４Ａを設けた。また、筐体２は導電性樹脂
によって成形し帯電による塵埃の付着を防止する。さら
に、蓋体４は右開きまたは左開きの左右両側へ開くこと
ができるようにする。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、複数枚のウエハを一時的に収納するためのウエハキャリアボックス に関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般に、ウエハを一時的に保管する手段としては、ウエハを一定間隔を置いて 複数枚並列に配設した状態で保持するウエハキャリアが用いられる。このウエハ キャリアに複数枚のウエハを挿入し、このウエハを挿入したウエハキャリアを収 納棚等に載置して一時保管していた。

【０００３】 また、製造ラインから別の場所へ搬送する場合等には、内部を密封できる収納 ボックスを用い、ウエハキャリアをこの収納ボックスに収納して蓋を閉じ、内部 を密封して搬送していた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、前述のようなウエハの一時保管手段では、収納棚等に載置したウエ ハキャリアを搬送する場合、収納ボックスに移し変えなければならない。

【０００５】 また、収納ボックスは密封式であり、内部の気体はボックス内外で還流するこ とはないので、空気が内部に流入し長期間残留するとウエハが酸化することがあ るという問題点がある。

【０００６】 本考案は以上の問題点に鑑みなされたもので、据え付け及び持ち運びの両方に 容易に使用することができると共に、内部に収納するウエハの酸化を確実に防止 することができるウエハキャリアボックスを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】 本考案は前記課題を解決するために、一方を開口して形成され、複数枚のウエ ハが一定間隔をおいて支持されたウエハキャリアを収納する筐体と、この筐体の 開口部を塞ぐ蓋体と、この蓋体によって閉塞された筐体内に不活性ガスを供給す る不活性ガス供給部とからなり、前記筐体の開口と前記蓋体との間に、筐体内圧 が外圧以下のとき内部を密封し、筐体内圧が外圧より高くなったとき筐体内の不 活性ガスが外部に漏れるようにしたシール部を設けたことを特徴とする。

【０００８】 また、筐体は導電性樹脂によって成形し、帯電による塵埃の付着を防止するこ とが望ましい。

【０００９】 さらに、前記蓋体の前記筐体への取付部は前記開口部の両側に設け、蓋体を右 開きまたは左開きの左右両側へ開くことができるようにすることが望ましい。

【００１０】

【作用】

前記構成により、不活性ガス供給部から不活性ガスがボックス内に供給される と、ボックス内においては外部よりも僅かに圧力が高くなり、筐体と蓋体との間 のシール部から不活性ガスが外部に漏れる。不活性ガス供給部からは常時不活性 ガスがボックス内に供給されており、ボックス内では供給される新しい不活性ガ スによってそれまで筐体内に残留していた不活性ガスが外部に排出され、蓋を開 いて内部に空気が流入してもボックス内から外部に排出される不活性ガスととも に外部に排出され、ボックス内を不活性ガス雰囲気にしてウエハの酸化を防止す る。

【００１１】 また、筐体を導電性樹脂で成形することによりボックスが帯電することがなく なり、ウエハの歩留り低下の原因になる塵埃の付着を防止する。

【００１２】 さらに、蓋体を左右両方へ開くようにすることで、据え置く場所によって一方 に開くことができない場合にも他方へ開くことができるようになる。これにより 、据置き場所の条件に関係なく、ウエハキャリアボックスを載置することができ る。

【００１３】

【実施例】

以下、本考案の一実施例について図１から図７を参照しながら説明する。

【００１４】 本実施例のウエハキャリアボックスは主に、一方を開口して形成され、ウエハ キャリア１を収納する筐体２と、この筐体２の開口部３を塞ぐ蓋体４と、この蓋 体４によって閉塞された筐体２内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部とし ての接続配管５とから構成されている。

【００１５】 ウエハキャリア１は上方が開口した籠状に形成され、その内側には一定間隔を 置いて複数の支持板部１Ａが並列に配設され、複数枚のウエハ（図示せず）を一 定間隔をおいて並行に支持するようになっている。このウエハキャリア１はカー ボンを含む導電性樹脂によって形成され、帯電するのを防止している。１Ｂは取 っ手で、この取っ手１Ｂをロボットや作業者が持ってウエハキャリア１を筐体２ 内に挿入する。１Ｃは下側に２本形成された足部である。

【００１６】 筐体２は一方を開口したほぼ立方体状に形成され、その開口部３の周囲には蓋 体４を閉塞したときに筐体２内を封止するＯリング（図示せず）が装着されるＯ リング用溝部７が設けられている。このＯリング用溝部７の周囲には補強用のフ ランジ部８が形成されている。この筐体２は前記ウエハキャリア１と同様にカー ボンを含む導電性樹脂によって形成され、筐体２が据え置かれた場所で筐体２と の接触部分を介してこの筐体２及びウエハキャリア１がアースされる。フランジ 部８の左右両側には蓋体４を筐体２に取り付けための蓋体支持軸１０，１１がそ れぞれ設けられている。この蓋体支持軸１０，１１はフランジ部８の両側部分に 上下に２つずつ設けられた軸部１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂによって構成さ れている。各軸部１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂは上方へ延出した棒状の軸か ら構成され、後述する蓋体４の蓋体支持部２３の係止穴２４Ａ，２５Ａが上方か ら装着されるようになっている。さらに、フランジ部８の両側には、後述する蓋 体４の取っ手２８が係止する係止穴１２，１３が設けられてる。フランジ部８の 上側にはウエハキャリアボックスを持ち運ぶための取っ手１４の一方が係止する 取っ手係止部１５が設けられている。さらに、フランジ部８の下側には、ウエハ キャリアボックスを据え置いた状態でボックスが傾斜するように足部１６が設け られている。この足部１６を設けてボックスを傾斜させるのは、ウエハキャリア １に挿入された複数のウエハ（図示せず）がその一側面（裏面）だけで支持板部 １Ａに接触させるようにするためである。これはウエハの他面（加工が施される 表面）が支持板部１Ａに接触することで不良部分が発生するのを防止するためで ある。

【００１７】 筐体２の上側面及び左右側面には成形時の収縮及びたわみ（補強）を考慮して 複数の溝が形成されている。さらに、上側面には前記取っ手１４の一方が前記フ ランジ部８の取っ手係止部１５に係止された状態でこの取っ手１４の他方が係止 される取っ手係止部１８が設けられている。そして、取っ手１４はこれら各取っ 手係止部１５，１８に着脱自在に取り付けられる。

【００１８】 筐体２内の下側壁にはカーボンを含まない樹脂で成形された擦り板２０が取り 付けられ、ウエハキャリア１と筐体２とが直接に擦れることで内部に含まれるカ ーボンが飛散するのを防止している。このとき、ウエハキャリア１は筐体２とそ の内側壁で接触することによってアースされている。さらに、この擦り板２０の 部分には筐体２の外部まで貫通して形成された固定用穴２１が設けられている。 筐体２はこの固定用穴２１を介して据え置かれた場所に動かないようにボルト等 で固定される。

【００１９】 蓋体４は透明の樹脂で形成され、その上下が互いに対称に形成されている。こ の蓋体４の左右方向一側には前記筐体２の各蓋体支持軸１０，１１に嵌合する蓋 体支持部２３が設けられている。この蓋体支持部２３は２本の支持腕部２４，２ ５から構成され、蓋体支持軸１０，１１の各軸部１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１ Ｂにそれぞれ嵌合する係止穴２４Ａ，２５Ａを有している。この係止穴２４Ａ， ２５Ａは前記各軸部１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂのいずれにも嵌合できるよ うになっている。各支持腕部２４，２５の取り付け位置は、蓋体４が右開きに取 り付けられた状態（図６の状態）と左開きに取り付けられた状態（図７の状態） とで蓋体４の取り付け高さが変化しないように設定されている。これは、蓋体支 持軸１０，１１の各軸部１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂの取り付け位置につい ても同様である。

【００２０】 蓋体４の左右方向他側にはこの蓋体４を開閉するための取っ手２８が取り付け られている。この取っ手２８は弾性部材によって、前記係止穴１２，１３に挿入 する部分をＵ字状に折り曲げて形成されている。そして、このＵ字部分が係止穴 １２，１３に撓みながら挿入され挿入後に多少開くことで抜け落ちないように係 止する構成となっている。蓋体４の内側面（筐体２側面）にはシール面４Ａ（図 ６、図７参照）が形成され、前記筐体２のフランジ部８に形成されたＯリング用 溝部７に装着されたＯリング（図示せず）と接触することで筐体２内を封止する ようになっている。

【００２１】 さらに、蓋体支持軸１０，１１の各軸部１０Ａ，１０Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ、蓋 体支持部２３の係止穴２４Ａ，２５Ｂ及び取っ手２８の取り付けられる位置は、 以下のように設定される。蓋体４を閉めることで蓋体４の内側シール面４ＡがＯ リングと接触して蓋体４内部を封止するが、この場合シール面はＯリングに弱い 圧力で押圧されるように設定されている。即ち、不活性ガスが筐体２内に充満さ れ内部圧が外部圧よりも高くなると、その圧力によってシール面４ＡとＯリング によるシール部分から不活性ガスが漏れて外部に流出する程度の弱い圧力で蓋体 ４のシール面４ＡがＯリングに押圧されるように設定されている。これにより、 不活性ガスが筐体２内に常時供給されることで筐体２内圧が高く維持されると、 筐体２内の不活性ガスがシール部分から常時漏れて外部に流出し、不活性ガスは 筐体２内でとどまることなく常に流れるようになる。また、筐体２の内部圧が外 部圧と同じ圧力か外部圧より低いときにはシール面４ＡとＯリングとが気密に圧 接して筐体２内を封止する。なお、不活性ガスが漏れ出る筐体２内外の圧力差は 通常0.2ｋｇ／ｃｍ²程度に設定されている。

【００２２】 筐体２の後面には筐体２内に不活性ガスを供給する接続配管５を接続するため の配管接続穴３０（図４参照）が設けられている。この配管接続穴３０には接続 配管５の接続金具３１の一方が気密に取り付けられる。接続金具３１の他方は接 続配管５に気密に取り付けられ、この接続配管５が筐体２に容易に接続できるよ うになっている。この接続金具３１として、接続したときに内部通路が連通され 、切り放すと内部通路が塞がるような構成のものが望ましい。これにより、接続 配管５を筐体２に接続したときに内部通路が連通して不活性ガスが筐体２内に供 給され、切り放すとそれぞれの部分が塞がって筐体２内及び接続配管５内から不 活性ガスが流出しないようになる。

【００２３】 以上のように構成されたウエハキャリアボックスは通常クリーンルームにおい て使用される。ウエハキャリアボックスはこのクリーンルーム内の載置棚等に据 え置かれ、必要に応じて固定用穴２１を介してボルト等によって載置棚に固定さ れる。さらに、クリーンルーム内に配設された不活性ガス（通常は窒素ガス）の 供給用配管から接続配管５を引出して筐体２に接続する。

【００２４】 そして、ウエハを複数枚挿入したウエハキャリア１をウエハキャリアボックス 内に収納する場合は、まず蓋体４を開き、内部にこのウエハキャリアを挿入する 。このとき、ウエハキャリア１はウエハキャリアボックス内でその内側壁のうち 、奥壁部に接触することで筐体２を介してアースされる。次いで、蓋体４を閉塞 して筐体２内を密封する。このとき、接続配管５からは窒素ガスが筐体２内に供 給されており、筐体２内のガスは外部に常時漏れ出している。これにより、蓋体 ４の開放で筐体２内に流入した空気は窒素ガスと共に外部に流出して筐体２内は 常に窒素ガスが充満する。

【００２５】 この結果、ウエハは空気に晒されることがなくなり、ウエハの酸化を防止する ことができる。

【００２６】 さらに、ウエハキャリア１及び筐体２を導電性樹脂で成形したので、これらが 帯電して塵埃を吸着することがなくなり、ウエハの塵埃による不良発生を大幅に 減少させることができる。

【００２７】 また、固定用穴２１を介して筐体２を据え置いた場所に固定することで、例え ばロボットの腕が筐体２に当たっても筐体２がずれることがなくなる。

【００２８】 なお、前記実施例では不活性ガス供給部として接続配管５を用いが、本考案は これに限らず、例えば小型の窒素ガスボンベを筐体２の裏面部に取り付け、減圧 弁によって一定圧力（例えば0.2ｋｇ／ｃｍ²程度）に減圧し、接続金具を介して 筐体２内に窒素ガスを供給するように設定してもよい。これにより前記同様の作 用、効果を奏すると共に、この場合窒素ガスを供給し続けて内部を不活性ガス雰 囲気に維持した状態で搬送することができるようになる。

【００２９】

【考案の効果】

以上詳述したように、本考案のウエハキャリアボックスによれば、筐体の開口 と蓋体との間に、筐体内圧が外圧より高くなると筐体内の不活性ガスが外部に漏 れるようにしたシール部を設け、不活性ガス供給部から不活性ガスを供給して筐 体内のガスをシール部から外部へ排出するようにしたので、筐体内部を不活性ガ ス雰囲気に維持することができ、ウエハの酸化を防止することができる。

【００３０】 また、筐体は導電性樹脂によって成形したので、帯電による筐体への塵埃の付 着を防止することができ、この塵埃による不良の発生を防止することができる。

【００３１】 さらに、蓋体を左右両方へ開くことができるようにしたので、場所の制約を受 けずにボックスを据え置くことができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係るウエハキャリアボックスを示す分
解斜視図である。

【図２】図１のウエハキャリアボックスを示す斜視図で
ある。

【図３】図２のウエハキャリアボックスの側面図であ
る。

【図４】ウエハキャリアボックスの取っ手及び接続配管
を含む縦断面図である。

【図５】ウエハキャリアボックスの背面図である。

【図６】ウエハキャリアボックスにウエハキャリアを収
納し蓋体を右開きに取り付けた状態を示す斜視図であ
る。

【図７】ウエハキャリアボックスにウエハキャリアを収
納せずに蓋体を左開きに取り付けた状態を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１…ウエハキャリア、２…筐体、４…蓋体、５…接続配
管。

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 一方を開口して形成され、複数枚のウエ
   ハが一定間隔をおいて支持されたウエハキャリアを収納
   する筐体と、この筐体の開口部を塞ぐ蓋体と、この蓋体
   によって閉塞された筐体内に不活性ガスを供給する不活
   性ガス供給部とからなり、 前記筐体の開口と前記蓋体との間に、筐体内圧が外圧以
   下のとき内部を密封し、筐体内圧が外圧より高くなった
   とき筐体内の不活性ガスが外部に漏れるようにしたシー
   ル部を設けたことを特徴とするウエハキャリアボック
   ス。
2. 【請求項２】 前記筐体が導電性樹脂によって成形さ
   れ、据え置かれた筐体の内部に収納されたウエハキャリ
   アがこの筐体の内側壁に接触することでこのウエハキャ
   リア及び筐体がともにアースされ、帯電による塵埃の付
   着を防止することを特徴とする請求項１記載のウエハキ
   ャリアボックス。
3. 【請求項３】 前記蓋体の前記筐体への取付部が前記開
   口部の両側に設けられ、蓋体を右開きまたは左開きの左
   右両側へ開くことができるようにした請求項１または２
   記載のウエハキャリアボックス。