JPH109441A - 真空用ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 弁体がシール面に密着して閉鎖状態にあると
き、弁体の収納用空間は密閉された密閉空間となる。従
つて、大気中に配置した真空用ゲートバルブを閉鎖作動
させ、開口部に接続された真空容器内を排気すると、収
納用空間は、大気が取り込まれたまま密閉されてしま
う。このため、真空用ゲートバルブが開放されたとき
に、収納用空間内のガスが真空容器内に放出されてしま
う。 【解決手段】 弁体７の閉鎖作動状態で、収納用空間９
と外部とを連通する収納用空間用連通路２３を形成し、
該収納用空間用連通路２３を開閉バルブ２５を介して真
空源２６に接続させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空用ゲートバルブに
関し、特に真空用ゲートバルブが装備される真空装置の
急速排気及び清浄化を図り得る真空用ゲートバルブに関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の真空用ゲートバルブとして、例え
ば特開平７−２９３７４４号公報に記載されるものが知
られている。この真空用ゲートバルブは、貫通する開口
部、及び一端部がボンネットフランジによつて覆われた
収納用空間を有し、開口部と収納用空間とを連通する弁
体用開口部が形成された弁箱と、開口部の開放時に収納
用空間に収納され、開口部の閉鎖時に弁体用開口部から
進入し、開口部の周辺のシール面に密着して、開口部を
閉鎖すると共に収納用空間を密閉する弁体と、ボンネッ
トフランジに設けられ、気密を保持したロッドを介して
弁体を駆動する駆動手段とを有する。

【０００３】このような真空用ゲートバルブは、駆動手
段によつて往復駆動されるロッドの動作に応じて弁体が
往復駆動され、この弁体が弁体用開口部から進入して開
口部を閉鎖すると共に、弁体が弁体用開口部から引き出
されて開口部が開かれる。かくして、開口部に接続され
た真空容器を開放又は遮断することができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の真空用ゲートバルブにあつては、次のような
技術的課題を有している。すなわち、弁体がシール面に
密着して閉鎖状態にあるとき、弁体の収納用空間は密閉
された密閉空間となつている。このため、真空容器を含
む真空装置を大気中に配置した状態から真空用ゲートバ
ルブを閉鎖作動させ、開口部に接続された真空容器内を
排気すると、収納用空間は、大気が取り込まれたまま密
閉される。また、弁箱の内壁やシール材などから放出さ
れたガスがこの密閉された収納用空間内に除々に蓄積さ
れる。次いで、真空用ゲートバルブが開放されたとき
に、収納用空間内のガスが真空容器内に放出される。こ
のため、収納用空間の内部を、予め又は適宜に排気させ
る必要がある。しかしながら、真空容器を含む真空装置
の排気を効率よく急速に行うことができないという技術
的課題を有している。この技術的課題は、弁体の両側の
開口部が減圧状態として使用される場合において、顕在
化する。

【０００５】更に、図５に示すように一対の真空容器５
５，５５’にそれぞれ真空用ゲートバルブ２１，２１’
を接続させ、かつ、両真空用ゲートバルブ２１，２１’
同士を配管５６によつて接続させた場合、両真空用ゲー
トバルブ２１，２１’の弁体がシール面に密着して閉鎖
状態にあるとき、配管５６内を含んで両真空用ゲートバ
ルブ２１，２１’の弁体の間に区画される空間が、外部
と隔絶された状態で形成される。この密閉された空間内
に閉じ込められた大気は、真空用ゲートバルブ２１を開
いたときに、外部に流出することなく一方の真空容器５
５内に確実に流れ込んでしまい、悪影響を及ぼす。この
ため、配管５６の内部を含めて、予め十分に排気させて
おく必要がある。しかしながら、真空容器５５，５５’
及び配管５６を含む真空装置の排気を効率よく急速に行
うことができないという技術的課題を有している。な
お、図５に示す真空用ゲートバルブ２１，２１’は、被
加工物等の搬送物が搬送装置によつて一対の真空容器５
５，５５’の間を搬送される際に開閉される。

【０００６】加えて、真空用ゲートバルブの弁体よりも
一側に位置する開口部が大気に開放されて使用される場
合、弁体よりも大気側に位置する壁面には、大気中を浮
遊しているパーティクルや不純ガス分子などの不純物が
付着することによる汚染が避けられない。そして、真空
用ゲートバルブが開放されたときに、この不純物が真空
容器内に放出される。その結果、真空容器を含む真空装
置の清浄状態を維持することができないという技術的課
題を有している。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような従
来の技術的課題に鑑みてなされたもので、その構成は、
次の通りである。請求項１の発明は、貫通する開口部１
０、及び一端部がボンネットフランジ３によつて覆われ
た収納用空間９を有し、開口部１０と収納用空間９とを
連通する弁体用開口部５が形成された弁箱１と、開口部
１０の開放時に収納用空間９に収納され、開口部１０の
閉鎖時に弁体用開口部５から開口部１０に進入し、開口
部１０の周辺のシール面４ａ，４ｂに密着して、開口部
１０を閉鎖すると共に弁箱１、ボンネットフランジ３及
び弁体７によつて区画される収納用空間９を密閉する弁
体７と、ボンネットフランジ３に設けられ、気密を保持
してボンネットフランジ３を挿通するロッド６を介して
弁体７を駆動する駆動手段１８とを有する真空用ゲート
バルブにおいて、弁体７の閉鎖作動状態で、収納用空間
９と外部とを連通する収納用空間用連通路２３を形成
し、該収納用空間用連通路２３を開閉バルブ２５を介し
て真空源２６に接続させることを特徴とする真空用ゲー
トバルブである。請求項２の発明は、弁体７の閉鎖作動
状態で、弁体７と開口部１０に接続される相手側装置
（２１’）との間に区画されて密閉状態となる開口部１
０の密閉空間１０ａと、外部とを連通する密閉空間用連
通路３０を形成し、該密閉空間用連通路３０を開閉バル
ブ３２を介して真空源２６に接続させることを特徴とす
る請求項１の真空用ゲートバルブである。請求項３の発
明は、収納用空間用連通路３６又は密閉空間用連通路３
７の少なくとも一方の外部側に分岐管を接続させ、分岐
管の一方の枝管４１，４６には真空源２６を接続させ、
他方の枝管４２，４７にはパージガスを供給するガス源
２８を接続させると共に、一方の枝管４１，４６又は他
方の枝管４２，４７を選択的に開放可能な開閉バルブ２
５，２７，３２，３４，４０，４５を設けることを特徴
とする請求項１又は２の真空用ゲートバルブである。請
求項４の発明は、収納用空間用連通路２３，２４又は密
閉空間用連通路３０，３１の少なくとも一方を２個形成
し、２個の該連通路２３，２４又は３０，３１の一方の
該連通路２３，３０には開閉バルブ２５，３２を介して
真空源２６を接続させ、他方の該連通路２４，３１には
開閉バルブ２７，３４を介してパージガスを供給するガ
ス源２８を接続させることを特徴とする請求項１又は２
の真空用ゲートバルブである。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図１，図２は、本発明に係
る真空用ゲートバルブの１実施の形態を示す。図中にお
いて符号１は真空用ゲートバルブ２１の弁箱であり、弁
箱１はほぼ矩形筒状をなし、弁箱１の他端部（図上で下
端部）中央には、弁座部材２を気密に固着して備え、ま
た、弁箱１の一端部（図上で上端部）は、ボンネットフ
ランジ３で気密に覆われ、弁座部材２とボンネットフラ
ンジ３との間に収納用空間９が形成されている。この弁
箱１の他端部には、弁箱１の中心軸線と直交する方向に
延びる開口部１０が、弁座部材２を含んで貫通状態で形
成されている。

【０００９】また、弁箱１の弁座部材２の上部には、収
納用空間９と開口部１０とを連通させる弁体用開口部５
が設けられ、弁体用開口部５に接続する箇所の開口部１
０の上面側を除く内周面には、第１シール面４ａが形成
されると共に、弁座部材２の上面には、弁体用開口部５
の回りに環状をなすように第２シール面４ｂが周設され
ている。具体的には、第１シール面４ａは、弁体用開口
部５の両側から下方に向けて次第に間隔が縮小する傾斜
面及び開口部１０の下面によつて形成され、図２に示す
正面視で台形の一部をなしている。勿論、第１シール面
４ａは、開口部１０を十分に開放できる位置に形成され
ている。

【００１０】この弁箱１の内部の収納用空間９には、弁
体７が昇降自在に配置される。弁体７は、開口部１０の
開放作動時に収納用空間９に収納され、開口部１０の閉
鎖作動時に弁体用開口部５から開口部１０に進入し、第
１，第２シール面４ａ，４ｂに密着して、開口部１０を
閉鎖すると共に収納用空間９を密閉する。従つて、弁体
７の下部は、第１シール面４ａと適合する台形状を有
し、第１シール面４ａに対応する第１シール部材８ａを
取付けてある。また、弁体７の上部は、平板状をなし、
その下面に第２シール部材８ｂを周設してある。図１，
図２に示す開放状態から弁体７が下降すれば、弁体７の
第１シール部材８ａが第１シール面４ａに密着すると共
に、第２シール部材８ｂが第２シール面４ｂに密着し、
弁体７によつて開口部１０が閉鎖される。

【００１１】弁体７によつて開口部１０が閉鎖された状
態で、開口部１０には、密閉空間１０ａ及び減圧空間１
０ｂが形成される。密閉空間１０ａは、弁体７よりも一
側に位置し、相手側装置となる例えば図１に仮想線で示
す真空用ゲートバルブ２１’及び真空容器５５’が接続
されることにより、密閉される。また、減圧空間１０ｂ
は、弁体７よりも他側に位置し、図１に示す真空容器５
５が接続されることにより、減圧される。すなわち、開
口部１０の一端部に相手側装置が接続され、開口部１０
の他端部に真空容器５５が直接接続されている。

【００１２】一方、ボンネットフランジ３の中央部には
貫通孔３ａが設けられ、この貫通孔３ａを気密を保持し
て挿通するロッド６が配置され、ロッド６の他端部が弁
体７に固着されている。また、ボンネットフランジ３の
外面には、駆動機構部１１及び駆動源１７からなる駆動
手段１８が配設され、駆動手段１８によりロッド６が往
復駆動されるようになつている。

【００１３】そして、弁箱１には、図１に示すように収
納用空間９と外部（大気側）とを連通する２個の第１，
第２連通路２３，２４を形成する。第１連通路２３は、
第１開閉バルブ２５を備える第１配管５０を介して真空
ポンプを有する真空源２６に接続させる。また、第２連
通路２４は、第２開閉バルブ２７を備える第２配管５１
を介して清浄なパージガスを供給するガス源２８に接続
させる。この第１，第２連通路２３，２４は、収納用空
間用連通路を構成している。

【００１４】更に、弁体７による開口部１０の閉鎖作動
によつて形成される密閉空間１０ａと外部（大気側）と
を連通する２個の第３，第４連通路３０，３１を形成す
る。第３連通路３０は、第３開閉バルブ３２を備える第
３配管５２を介して真空源２６に接続させる。また、第
４連通路３１は、第４開閉バルブ３４を備える第４配管
５３を介して清浄なパージガスを供給するガス源２８に
接続させる。この第３，第４連通路３０，３１は、密閉
空間用連通路を構成している。

【００１５】なお、収納用空間９に開口する第１，第２
連通路２３，２４は、それぞれ弁箱１に形成したが、少
なくとも一方をボンネットフランジ３に形成することも
可能である。また、密閉空間１０ａに開口する第３連通
路３０は、弁箱１に形成し、第４連通路３１は、弁箱１
の弁座部材２に形成してあるが、これらは弁座部材２を
含む弁箱１に形成すればよい。更に、収納用空間９及び
密閉空間１０ａに接続する真空源２６及びガス源２８は
共用させてあるが、それぞれ別個に備えることも可能で
ある。

【００１６】次に、作用について説明する。駆動手段１
８によつて往復駆動されるロッド６の動作に応じ、弁体
７が往復駆動される。図１に示す開放状態から、弁体７
が下降して弁体用開口部５から挿入されれば、シール材
８ａ，８ｂが弁座部材２のシール面４ａ，４ｂに密着
し、開口部１０を遮断して閉鎖状態となる。また、弁体
７が上昇して弁体用開口部５から引き出されれば、弁体
７が収納用空間９内に収納され、開口部１０が開放状態
となる。

【００１７】このような真空用ゲートバルブ２１の作動
に際し、大気中に配置した真空用ゲートバルブ２１に閉
鎖作動を与え、その状態で真空容器５５内を図外の真空
ポンプによつて排気すれば、真空容器５５と共に減圧空
間１０ｂが減圧される。一方、収納用空間９は、大気が
取り込まれたまま密閉される。このため、真空用ゲート
バルブ２１に閉鎖作動を与え、その状態で密閉空間１０
ａを予め減圧させた場合であつても、次にバルブを開放
したときに、収納用空間９に取り込まれていたガスが一
気に真空容器５５内に向けて放出され、真空容器５５に
付属する真空ポンプや真空計などの機器に著しい悪影響
を及ぼす。

【００１８】また、再度、真空容器５５内を図外の真空
ポンプによつて排気させ、収納用空間９をも排気させた
後に真空用ゲートバルブ２１に閉鎖作動を与えた場合で
あつても、収納用空間９の内壁やシール部材８ａ，８ｂ
などから放出される不純物を含むガスが徐々に蓄積され
て、収納用空間９内の圧力が次第に上昇する。この収納
用空間９内のガスが、真空用ゲートバルブ２１の開放作
動時に真空容器５５内に向けて放出され、同様の悪影響
を及ぼす。更に、密閉空間１０ａに接続する真空用ゲー
トバルブ２１’が開閉されて密閉空間１０ａに大気が導
入される場合には、弁体７よりも大気側に位置する壁面
には、大気中を浮遊しているパーティクルや不純ガス分
子などが付着することによる汚染が避けられない。

【００１９】これに対し、次のような第１，第２開閉バ
ルブ２５，２７の切り換え操作を行い、収納用空間９内
を減圧又は清浄化させる。すなわち、収納用空間９内に
空気又は不純物を含むガスが溜まつている場合には、第
１開閉バルブ２５を開けると共に真空源２６を作動させ
る。これにより、密閉状態の収納用空間９内の空気又は
その他のガスが、第１連通路２３及び第１配管５０を介
して外部へ単独で排気される。その結果、真空用ゲート
バルブ２１の開放作動時に真空容器５５内に空気又はそ
の他のガスが放出されることを回避できる。

【００２０】次いで、必要に応じ、第１開閉バルブ２５
を閉じると共に第２開閉バルブ２７を開け、第２配管５
１及び第２連通路２４を介してガス源２８からの清浄な
パージガスを収納用空間９内に導入した後、これを真空
源２６の作動によつて排気する。このようにして、収納
用空間９を清浄化できる。更に必要であれば、この操作
を数回繰り返すことにより、収納用空間９の不純物はパ
ージガスと共に良好に排除され、収納用空間９内が清浄
化される。このように、密閉状態の収納用空間９に溜ま
つた空気又はその他のガスを真空源２６の作動によつて
外部へ排気するのみでは清浄化が不十分な場合、つまり
パーティクル等によつて収納用空間９の内壁が汚染され
ている場合に、清浄なパージガスを供給・排気する作業
を１回又は複数回行えばよい。

【００２１】また、図５に示すように一対の真空容器５
５，５５’にそれぞれ真空用ゲートバルブ２１，２１’
を接続させ、両真空用ゲートバルブ２１，２１’同士を
配管５６によつて接合させた場合、両真空用ゲートバル
ブ２１，２１’のそれぞれの弁体７の間の配管５６内
に、密閉空間１０ａを含む空間が外部と隔絶された状態
で形成される。この密閉空間１０ａを含む空間内に空気
その他のガスが閉じ込められている場合、このガスは、
真空用ゲートバルブ２１を開放作動させたときに、外部
に流出することなく一方の真空容器５５内に流れ込んで
しまう。この一方の真空用ゲートバルブ２１の開口部１
０の密閉空間１０ａに接続される他方の真空用ゲートバ
ルブ２１’は、一方の真空用ゲートバルブ２１と同様の
構造を有して相手側装置の一部を構成している。

【００２２】これに対し、次のように第３，第４開閉バ
ルブ３２，３４を切り換え、配管５６及び密閉空間１０
ａからなる空間内を減圧及び清浄化させる。すなわち、
配管５６及び密閉空間１０ａからなる空間内に空気その
他のガスが溜まつている場合には、第３開閉バルブ３２
を開けると共に真空源２６を作動させる。これにより、
密閉状態の配管５６及び密閉空間１０ａからなる空間に
溜まつたガスが、第３連通路３０及び第３配管５２を介
して外部へ単独で排気される。その結果、真空用ゲート
バルブ２１の開放作動時に真空容器５５内にガスが放出
されることを回避することができる。

【００２３】次いで、第３開閉バルブ３２を閉じると共
に第４開閉バルブ３４を開け、第４配管５３及び第４連
通路３１を介してガス源２８からの清浄なパージガス
を、配管５６及び密閉空間１０ａからなる空間内に導入
した後、このパージガスを真空源２６の作動によつて排
気することにより、配管５６及び密閉空間１０ａからな
る空間内を減圧かつ清浄化できる。必要であれば、この
操作を数回繰り返すことにより、配管５６及び密閉空間
１０ａからなる空間内の不純物がパージガスと共に良好
に排除され、空間内が高度に清浄化される。このよう
に、密閉状態の配管５６及び密閉空間１０ａからなる空
間内に溜まつたガスを真空源２６の作動によつて外部へ
排気するのみでは清浄化が不十分な場合に、清浄なパー
ジガスを供給・排気する作業を１回又は複数回行えばよ
い。

【００２４】このように、本発明の真空用ゲートバルブ
２１によれば、一対の真空容器５５，５５’及び真空用
ゲートバルブ２１，２１’を配置したときに、第３連通
路３０を使用して、弁体７間の密閉空間１０ａを含む空
間に取り込まれたガスを排気することができる。また、
第３，第４連通路３０，３１を使用して、ガス源２８か
らの清浄ガスをこの密閉空間１０ａを含む空間にパージ
させた後に排気させることにより、密閉空間１０ａを含
む空間の内壁に付着した汚染物を除去することにもな
り、真空容器５５内への汚染の拡大を防止できる。かく
して、一対の真空容器５５，５５’を含む真空装置の排
気を速やかかつ効率よく行うことが可能になると共に、
清浄化を行うこともできる。

【００２５】ところで、上記実施の形態にあつては、収
納用空間９に開口する第１，第２連通路２３，２４を別
個に形成し、また、密閉空間１０ａに開口する第３，第
４連通路３０，３１を別個に形成した。しかし、図３に
示すように第１，第２連通路２３，２４を１個の連通路
３６によつて形成し、連通路３６の大気側に３方切換バ
ルブ４０を介して分岐管を接合し、一方の枝管４１には
真空源２６を接続し、他方の枝管４２にはガス源２８に
接続し、３方切換バルブ４０の切換え操作によつて上記
実施の形態と同様の作用を得ることも可能である。この
３方切換バルブ４０は、連通路３６を遮断する遮断位
置、連通路３６を一方の枝管４１に連通させる第１連通
位置及び連通路３６を他方の枝管４２に連通させる第２
連通位置を切換え可能に有する。

【００２６】また、図４に示すように第３，第４連通路
３０，３１を１個の連通路３７によつて形成し、連通路
３７の大気側に３方切換バルブ４５を介して分岐管を接
合し、一方の枝管４６には真空源２６を接続し、他方の
枝管４７にはガス源２８を接続し、３方切換バルブ４５
の切換え操作によつて上記実施の形態と同様の作用を得
ることも可能である。この３方切換バルブ４５は、連通
路３７を遮断する遮断位置、連通路３７を一方の枝管４
６に連通させる第１連通位置及び連通路３７を他方の枝
管４７に連通させる第２連通位置を切換え可能に有す
る。

【００２７】なお、図３に示す３方切換バルブ４０は、
一方の枝管４１又は他方の枝管４２を選択的に開放させ
る開閉バルブとすればよく、一方の枝管４１に設けた第
１開閉バルブ２５と、他方の枝管４２に設けた第２開閉
バルブ２７とで、置換することも可能である。同様に、
図４に示す３方切換バルブ４５は、一方の枝管４６又は
他方の枝管４７を選択的に開放させる開閉バルブとすれ
ばよく、一方の枝管４６に設けた第３開閉バルブ３２
と、他方の枝管４７に設けた第４開閉バルブ３４とで、
置換することも可能である。

【００２８】

【発明の効果】以上の説明によつて理解されるように、
本発明に係る真空用ゲートバルブによれば、次の効果を
奏することができる。請求項１によれば、弁体の閉鎖作
動状態で開閉バルブを開くと共に真空源を作動させるこ
とにより、収納用空間内を単独で排気させることができ
る。その結果、収納用空間に取り込まれていたガスが、
真空用ゲートバルブを開放したときに真空用ゲートバル
ブに接続する真空容器内に向けて放出され、真空容器に
付属する真空ポンプや真空計などの機器に著しい悪影響
を及ぼすことが防止される。加えて、収納用空間の内壁
やシール部材などから放出される不純物を含むガスが徐
々に蓄積されて、収納用空間内の圧力が次第に上昇し、
収納用空間内のガスが、真空用ゲートバルブの開放作動
時に同様の悪影響を及ぼすことも防止することができ
る。かくして、真空容器を含む真空装置の簡便な急速排
気に資することができる。このような効果は、弁体の両
側の開口部が共に減圧状態として使用される場合におい
て、著しい。

【００２９】請求項２によれば、弁体の閉鎖作動状態で
開閉バルブを開くと共に真空源を作動させることによ
り、真空用ゲートバルブの開口部の密閉空間、つまり真
空用ゲートバルブの弁体と、真空用ゲートバルブの開口
部に接続される相手側装置との間に区画されて密閉状態
となる空間を単独で排気させることができる。その結
果、真空用ゲートバルブを開放したときに、密閉空間に
取り込まれていたガスが、真空用ゲートバルブに接続す
る真空容器内に向けて放出され、真空容器に付属する真
空ポンプや真空計などの機器に著しい悪影響を及ぼすこ
とを防止することができる。加えて、密閉空間の内壁な
どから放出される不純物を含むガスが徐々に蓄積され
て、密閉空間内の圧力が次第に上昇し、密閉空間内のガ
スが、真空用ゲートバルブの開放作動時に同様の悪影響
を及ぼすことも防止することができる。かくして、真空
容器を含む真空装置の簡便な急速排気に資することがで
きる。

【００３０】請求項３又は４によれば、収納用空間又は
密閉空間の内の少なくとも一方に、ガス源からのパージ
ガスを供給することもできる。このため、請求項１，２
の効果に加え、次の効果を奏することができる。すなわ
ち、弁体よりも大気側に位置する壁面に、大気中を浮遊
しているパーティクルや不純ガス分子などの不純物が付
着することによる汚染を生じた際、パージガスの供給及
び排気を行うことにより、これらの不純物を除去するこ
とができる。かくして、真空容器を含む真空装置の清浄
化に資することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の１実施の形態に係る真空用ゲートバ
ルブを断面で示す側面図。

【図２】 同じく真空用ゲートバルブを断面で示す正面
図。

【図３】 同じく収納用空間に接続する開閉バルブの他
の構造例を示す図。

【図４】 同じく密閉空間に接続する開閉バルブの他の
構造例を示す図。

【図５】 一対の真空容器の間に真空用ゲートバルブを
配置した状態を示す側面図。

【符号の説明】

１：弁箱、３：ボンネットフランジ、５：弁体用開口
部、６：ロッド、７：弁体、９：収納用空間、１０：開
口部、１０ａ：密閉空間、１０ｂ：減圧空間、１８：駆
動手段、２１：真空用ゲートバルブ、２３：第１連通路
（収納用空間用連通路）、２４：第２連通路（収納用空
間用連通路）、２５：第１開閉バルブ、２６：真空源、
２７：第２開閉バルブ、３０：第３連通路（密閉空間用
連通路）、３１：第４連通路（密閉空間用連通路）、３
２：第３開閉バルブ、３４：第４開閉バルブ、４０：３
方切換バルブ（開閉バルブ）、４１：一方の枝管、４
２：他方の枝管、４５：３方切換バルブ（開閉バル
ブ）、４６：一方の枝管、４７：他方の枝管、５５：真
空容器、５６：配管。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 貫通する開口部（１０）、及び一端部が
   ボンネットフランジ（３）によつて覆われた収納用空間
   （９）を有し、開口部（１０）と収納用空間（９）とを
   連通する弁体用開口部（５）が形成された弁箱（１）
   と、開口部（１０）の開放時に収納用空間（９）に収納
   され、開口部（１０）の閉鎖時に弁体用開口部（５）か
   ら開口部（１０）に進入し、開口部（１０）の周辺のシ
   ール面（４ａ，４ｂ）に密着して、開口部（１０）を閉
   鎖すると共に弁箱（１）、ボンネットフランジ（３）及
   び弁体（７）によつて区画される収納用空間（９）を密
   閉する弁体（７）と、ボンネットフランジ（３）に設け
   られ、気密を保持してボンネットフランジ（３）を挿通
   するロッド（６）を介して弁体（７）を駆動する駆動手
   段（１８）とを有する真空用ゲートバルブにおいて、弁
   体（７）の閉鎖作動状態で、収納用空間（９）と外部と
   を連通する収納用空間用連通路（２３）を形成し、該収
   納用空間用連通路（２３）を開閉バルブ（２５）を介し
   て真空源（２６）に接続させることを特徴とする真空用
   ゲートバルブ。
2. 【請求項２】 弁体（７）の閉鎖作動状態で、弁体
   （７）と開口部（１０）に接続される相手側装置（２
   １’）との間に区画されて密閉状態となる開口部（１
   ０）の密閉空間（１０ａ）と、外部とを連通する密閉空
   間用連通路（３０）を形成し、該密閉空間用連通路（３
   ０）を開閉バルブ（３２）を介して真空源（２６）に接
   続させることを特徴とする請求項１の真空用ゲートバル
   ブ。
3. 【請求項３】 収納用空間用連通路（３６）又は密閉空
   間用連通路（３７）の少なくとも一方の外部側に分岐管
   を接続させ、分岐管の一方の枝管（４１，４６）には真
   空源（２６）を接続させ、他方の枝管（４２，４７）に
   はパージガスを供給するガス源（２８）を接続させると
   共に、一方の枝管（４１，４６）又は他方の枝管（４
   ２，４７）を選択的に開放可能な開閉バルブ（２５，２
   ７，３２，３４，４０，４５）を設けることを特徴とす
   る請求項１又は２の真空用ゲートバルブ。
4. 【請求項４】 収納用空間用連通路（２３，２４）又は
   密閉空間用連通路（３０，３１）の少なくとも一方を２
   個形成し、２個の該連通路（２３，２４、３０，３１）
   の一方の該連通路（２３，３０）には開閉バルブ（２
   ５，３２）を介して真空源（２６）を接続させ、他方の
   該連通路（２４，３１）には開閉バルブ（２７，３４）
   を介してパージガスを供給するガス源（２８）を接続さ
   せることを特徴とする請求項１又は２の真空用ゲートバ
   ルブ。