JP2009137810A - フィルター装置及びオゾン供給装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】排気時の圧力損失を低減させてオゾン供給装置を簡素化させる。
【解決手段】フィルター装置1は上ケーシング部2とフィルター部3と第一ガス流通部4とベローズ部5と第二ガス流通部6と下ケーシング部7とを備える。例えばオゾンチャンバーから排出されたガスの圧力がベローズ部5の内圧よりも低い状態で前記ガスが上ケーシング部2導入口21に供されると(例えば前記ガスが真空排気される場合)、ベローズ部5が膨張してフィルター部3が導入口21を閉塞させてフィルター部3が導入口21に供されたガスをろ過処理する。一方、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力がベローズ部5の内圧以上で前記ガスが導入口21に供されると(例えば前記ガスが大気圧で排気される場合)、ベローズ部5が収縮した状態となり上ケーシング部2とフィルター部3との間に隙間が確保される。
【選択図】図3
【解決手段】フィルター装置1は上ケーシング部2とフィルター部3と第一ガス流通部4とベローズ部5と第二ガス流通部6と下ケーシング部7とを備える。例えばオゾンチャンバーから排出されたガスの圧力がベローズ部5の内圧よりも低い状態で前記ガスが上ケーシング部2導入口21に供されると(例えば前記ガスが真空排気される場合)、ベローズ部5が膨張してフィルター部3が導入口21を閉塞させてフィルター部3が導入口21に供されたガスをろ過処理する。一方、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力がベローズ部5の内圧以上で前記ガスが導入口21に供されると(例えば前記ガスが大気圧で排気される場合)、ベローズ部5が収縮した状態となり上ケーシング部2とフィルター部3との間に隙間が確保される。
【選択図】図3
Description
本発明は真空排気装置等に例示されるような真空技術に適用されるフィルターに関する。
真空排気装置には排気ラインを流通する流体に含まれる汚染物質を除去するためにフィルター装置が設けられている。真空装置内の管路内を大気状態から真空状態に減圧する場合、真空装置と真空ポンプとの間に、フィルター装置が設置されていると、そのフィルター装置自身の圧力損失により減圧に時間を要する。また、ポンプに掛かる負荷もおおきくなる。これを回避するために特許文献1の排気装置や特許文献2のパーティキュレイトトラップ装置に例示されように装置本体にバイパス配管が設けられ減圧操作時はフィルター装置を通さない管路に切り替える方法が一般的に採られている。
特開平9−306846号公報
実用新案登録2562701号明細書
真空装置の管路にフィルターを設置する場合、減圧操作時にバイパス配管を使用する場合では管路のためのスペースを多く必要とすると共に管路を切り替えるためのバルブシステムが必要となる。また、このバルブシステムを構成するバルブを開閉動作するための制御システムが必要となる。したがって、コストも高くなる。
そこで、本発明のフィルター装置は、オゾンチャンバーから排出されたガスを導入する導入口が形成された上ケーシング部と、この上ケーシング部に連結されると共に前記導入したガスを排出する排出口が形成された下ケーシング部と、この上ケーシング部と前記下ケーシング部とによって形成される空洞部に収容されると共に前記導入したガスをろ過処理するフィルター部と、このフィルター部の下端部に設けられると共に前記ろ過処理されたガスを前記空洞部に移行させる第一ガス流通部と、この第一ガス流通部の下端部に固定されると共に大気圧状態でガスが密閉されたベローズ部と、このベローズ部の下端部と前記下ケーシング部の底面部とに固定されると共に前記空洞部に滞留するガスを前記排出口に移行させる第二ガス流通部とを備え、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧よりも低い状態で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が膨張して前記フィルター部が前記導入口を閉塞させて前記フィルター部が前記導入口に供されたガスをろ過処理する一方で、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧以上で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が収縮した状態となり前記上ケーシング部と前記フィルター部との間に隙間が確保される。
本発明のオゾン供給装置は、オゾンチャンバーに接続されたオゾン排気系にフィルター装置が具備され、前記フィルター装置は、オゾンチャンバーから排出されたガスを導入する導入口が形成された上ケーシング部と、この上ケーシング部に連結されると共に前記導入したガスを排出する排出口が形成された下ケーシング部と、この上ケーシング部と前記下ケーシング部とが連結して形成される空洞部に収容されると共に前記導入したガスをろ過処理するフィルター部と、このフィルター部の下端部に設けられると共に前記ろ過処理されたガスを前記空洞部に移行させる第一ガス流通部と、この第一ガス流通部の下端部に固定されると共に大気圧状態でガスを密閉したベローズ部と、このベローズ部の下端部と前記下ケーシング部の底面部とに固定されると共に前記空洞部に滞留するガスを前記排出口に移行させる第二ガス流通部とを備え、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧よりも低い状態で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が膨張して前記フィルター部が前記導入口を閉塞させて前記フィルター部が前記導入口に供されたガスをろ過処理する一方で、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧以上で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が収縮した状態となり前記上ケーシング部と前記フィルター部との間に隙間が確保される。
以上のように本発明のフィルター装置及びオゾン供給装置によれば、圧力損失を生じさせずにスムーズに排気操作を行える。また、フィルター装置のベローズ部の外圧が前記ベローズ部の内圧よりも低圧になると、前記ベローズ部が膨張してフィルター手段としての機能が生じる。
以上のように本発明のフィルター装置及びオゾン供給装置によれば圧力損失を生じさせることなく排気操作が行える。したがって、排気時のバイパス配管が必要でなくなりオゾン供給装置を簡素化できる。また、バイパス配管を設置する場合と比べて配管類を必要としないので、バルブ類の開閉操作の制御も必要でなくなる。さらに、バイパス配管を設置する場合と比べてトータルのコストを低減させることができる。
図1は本発明の実施形態に係るフィルター装置の構成を示した断面図である。図2は前記フィルター装置の構成を示した分解断面図である。図3は前記フィルター装置の動作例を示した概略図である。図4は前記フィルター装置が適用されるオゾン供給装置の一実施形態を示した概略構成図である。
フィルター装置1は真空排気される流体に含まれる汚染物質を除去するためのフィルター装置である。フィルター装置1は図1及び図2に示されたように上ケーシング部2とフィルター部3と第一ガス流通部4とベローズ部5と第二ガス流通部6と下ケーシング部7とを備える。
上ケーシング部2は図示省略されたオゾンチャンバーから排出されたガスを導入する導入口21を有する。上ケーシング部2の導入口21の径は下ケーシング部7に形成されたガスの排出口71の径と同等に設定されている。上ケーシング部2及び下ケーシング部7の両端はNWフランジの形式となっており容易に他の管路と接続できるようになっている。すなわち、上ケーシング部2はフランジ22,23を備えている。下ケーシング部7はフランジ72,73を備えている。例えばフランジ22は図4に例示されたオゾン供給装置10の真空配管系12の配管に接続される一方でフランジ23は下ケーシング部7のフランジ72と接続される。フランジ72とフランジの接続部分には気密性を維持するためにNWフランジ用のセンターリング8を介在させている。また、下ケーシング部7のフランジ73はオゾン供給装置10の真空排気系12の配管に接続されている。
フィルター部3はフィルター材31と凹枠部32と凸枠部33とからなる。フィルター材31は凹枠部32に収納される。凹枠部32の開口部34及び凸枠部33の開口部35の径は上ケーシング部2の導入口21の径と略同等に設定されている。凸枠部33はフィルター材31が収納されている凹枠部32と嵌合した状態でボルト36によって凹枠部32と結合される。また、凹枠部32の端面には開口部34の径よりも大径のリング状に形成された弾性体からなるシール37が開口部34と同心に設けられる。
第一ガス流通部4はフィルター材31を通過した流体を上ケーシング2内に移行させる筒体からなる。この筒体の内径は凸枠部33の開口部34の径以上に設定されている。前記筒体は円筒状に形成されておりその周側面には前記流体を排出させる排出口41が適宜複数形成されている。第一ガス流通部4はベローズ部5の密閉板51に気密に接続されている。この接続は螺合または溶接等によって行えばよい。
ベローズ部5は両端の開口部をそれぞれ密閉板51,52によって密閉させて空気を大気圧状態で閉じ込めている。密閉板51,52は螺合または溶接等によってベローズ部5の端面と気密に接続される。ベローズ部5の全長は少なくとも図3(a)に示されたようにベローズ部5が収縮した時に上ケーシング部2内の底面と凹枠部32の端面とが離間すると共に図3(b)に示されたようにベローズ部5が膨張した時に前記端面が前記底面と接触できるように設定される。
第二ガス流通部6は下ケーシング部7内の流体を下ケーシング部7の排出口71に移行させる筒体からなる。この筒体は円筒状に形成されておりその周側面には前記流体を導入する導入口61が適宜複数形成されている。前記筒体の内径は第一ガス流通部4の内径と略同等に設定されている。第二ガス流通部6の端面はベローズ部5の閉塞板52に気密に接続されている。この接続も螺合または溶接等によって行えばよい。第二ガス流通部6のもう一方の端面は下ケーシング部7内の底面に固定されるフランジ62に接続されている。フランジ62はボルト63によって前記底面に固定される。
図3(a)及び図3(b)を参照しながらフィルター装置1の動作例について説明する。
フィルター装置1はベローズ部5内に閉じ込められた空気の膨張及び収縮を利用してフィルター部3を上ケーシング部2の天井面に接触及びその離脱を行う。例えば、流体が大気圧状態でフィルター装置1内に導入される場合、前記導入された流体の圧力がベローズ部5の内圧以上となっているので、フィルター装置1のベローズ部5は収縮した状態となっている。これにより図3(a)に示したように上ケーシング部2の天井面とフィルター部3との間に隙間が確保される。フィルター装置1内に導入された流体はフィルター部31を通らずに前記隙間を経由して上ケーシング部2内及び下ケーシング部7内を流通し第二ガス流通部6を介して排出される。
一方、流体が真空ポンプによってフィルター装置1内に導入される場合、前記導入された流体の圧力がベローズ部5の内圧よりも低くなるので、ベローズ部5が膨張してフィルター部3が上ケーシング部2の天井面に密着する。これにより図3(b)に示したように上ケーシング部2の導入口21が閉塞された状態となる。これによりフィルター部3が前記導入したガスをろ過処理できるようになる。フィルター部3によってろ過処理された流体は第一ガス流通路4を経由して上ケーシング部2内及び下ケーシング部7内を流通し第二ガス流通部6を介して排出される。
図4はフィルター装置1が適用されたオゾン供給装置の概略構成図である。
オゾン供給装置10は真空排気系11とオゾン供給系12とに連結された配管に2台のオゾンチャンバーを接続させている。真空排気系11とオゾン供給系12とに連結された配管13とオゾンチャンバー14a,14bとを連結する配管にはパーティクルフィルター15a,15bが設置されている。オゾン供給系11の配管にはバルブVsが設置されている。真空配管系12の配管にはバルブVeとフィルター装置16とオゾンキラー17が設置されている。フィルター装置1はオゾンキラー16からのパーティクルの逆流を防止する。ガス排気量が増加した場合には、フィルター装置1の機能により排気能力の確保とフィルターの保護を行う。
オゾンを系外の装置に供給する場合、バルブVeが閉に設定される一方でバルブVsが開に設定される。オゾンチャンバー14a,14b内のオゾンはそれぞれパーティクルフィルター15a,15bを介してオゾン供給系11に供給される。
次に、オゾンチャンバー14a,14b内のオゾンを真空排気する場合、バルブVsが閉に設定される一方でバルブVeが開に設定される。オゾンチャンバー14a,14b内のオゾンガスは真空ポンプ17によって吸引されてそれぞれパーティクルフィルター15a,15bを介して真空排気系12に供給される。真空排気系12に導入されたオゾンガスはフィルター装置1に供される。このときフィルター装置1のベローズ部5内の圧力はベローズ部5外の圧力もよりも高い状態となっているので、ベローズ部5が膨張してフィルター部1と上ケーシング部2とが密着する。真空ポンプ16によって吸引されたオゾンガスは図3(b)に示されたようにフィルター装置1のフィルター部3を経て第一ガス流通部4内に導入される。第一ガス流通部4の排出口41から排出されたガスは下ケーシング部7内に移行し第二ガス流通路6内に導入される。第二ガス流通路6内のガスは直ちにオゾンキラー16に供給される。
以上のようにオゾン供給装置10によれば真空排気系12の配管にフィルター装置1を備えることで真空操作時に圧力損失を生じさせることなく排気操作を行える。
1…フィルター装置
2…上ケーシング部、21…導入口、22,23…フランジ
3…フィルター部、31…フィルター材、32…凹枠部、33…凸枠部、34,35…開口部、36…ボルト、37…シール
4…第一ガス流通部、41…排出口
5…ベローズ部、51,52…密閉板
6…第二ガス流通部、61…排出口、62…フランジ、63…ボルト
7…下ケーシング部、71…排出口、72,73…フランジ
8…センターリング
10…オゾン供給装置、11…真空排気系、12…オゾン供給系、14a,14b…オゾンチャンバー、15a,15b…パーティクルフィルター、16…オゾンキラー、17…真空ポンプ
2…上ケーシング部、21…導入口、22,23…フランジ
3…フィルター部、31…フィルター材、32…凹枠部、33…凸枠部、34,35…開口部、36…ボルト、37…シール
4…第一ガス流通部、41…排出口
5…ベローズ部、51,52…密閉板
6…第二ガス流通部、61…排出口、62…フランジ、63…ボルト
7…下ケーシング部、71…排出口、72,73…フランジ
8…センターリング
10…オゾン供給装置、11…真空排気系、12…オゾン供給系、14a,14b…オゾンチャンバー、15a,15b…パーティクルフィルター、16…オゾンキラー、17…真空ポンプ
Claims (2)
- オゾンチャンバーから排出されたガスを導入する導入口が形成された上ケーシング部と、
この上ケーシング部に連結されると共に前記導入したガスを排出する排出口が形成された下ケーシング部と、
この上ケーシング部と前記下ケーシング部とによって形成される空洞部に収容されると共に前記導入したガスをろ過処理するフィルター部と、
このフィルター部の下端部に設けられると共に前記ろ過処理されたガスを前記空洞部に移行させる第一ガス流通部と、
この第一ガス流通部の下端部に固定されると共に大気圧状態でガスが密閉されたベローズ部と、
このベローズ部の下端部と前記下ケーシング部の底面部とに固定されると共に前記空洞部に滞留するガスを前記排出口に移行させる第二ガス流通部と
を備え、
前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧よりも低い状態で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が膨張して前記フィルター部が前記導入口を閉塞させて前記フィルター部が前記導入口に供されたガスをろ過処理する一方で、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧以上で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が収縮した状態となり前記上ケーシング部と前記フィルター部との間に隙間が確保されること
を特徴とするフィルター装置。 - オゾンチャンバーに接続されたオゾン排気系にフィルター装置が具備され、
前記フィルター装置は、
オゾンチャンバーから排出されたガスを導入する導入口が形成された上ケーシング部と、
この上ケーシング部に連結されると共に前記導入したガスを排出する排出口が形成された下ケーシング部と、
この上ケーシング部と前記下ケーシング部とが連結して形成される空洞部に収容されると共に前記導入したガスをろ過処理するフィルター部と、
このフィルター部の下端部に設けられると共に前記ろ過処理されたガスを前記空洞部に移行させる第一ガス流通部と、
この第一ガス流通部の下端部に固定されると共に大気圧状態でガスを密閉したベローズ部と、
このベローズ部の下端部と前記下ケーシング部の底面部とに固定されると共に前記空洞部に滞留するガスを前記排出口に移行させる第二ガス流通部と
を備え、
前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧よりも低い状態で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が膨張して前記フィルター部が前記導入口を閉塞させて前記フィルター部が前記導入口に供されたガスをろ過処理する一方で、前記オゾンチャンバーから排出されたガスの圧力が前記ベローズ部の内圧以上で前記ガスが前記導入口に供されると前記ベローズ部が収縮した状態となり前記上ケーシング部と前記フィルター部との間に隙間が確保されること
を特徴とするオゾン供給装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007318089A JP2009137810A (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | フィルター装置及びオゾン供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007318089A JP2009137810A (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | フィルター装置及びオゾン供給装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009137810A true JP2009137810A (ja) | 2009-06-25 |
Family
ID=40868837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007318089A Pending JP2009137810A (ja) | 2007-12-10 | 2007-12-10 | フィルター装置及びオゾン供給装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009137810A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7177789B2 (ja) | 2017-01-25 | 2022-11-24 | ベテル ジフロン ヤアコヴ インダストリーズ エルティーディー. | 換気バイパス付きnbcフィルタユニット |
-
2007
- 2007-12-10 JP JP2007318089A patent/JP2009137810A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7177789B2 (ja) | 2017-01-25 | 2022-11-24 | ベテル ジフロン ヤアコヴ インダストリーズ エルティーディー. | 換気バイパス付きnbcフィルタユニット |
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