JP2000046300A - ガス供給装置とそのガス供給方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 半導体製造装置に用いられるガス充填容器交
換時のパージ用不活性ガスの消費量を極力抑えると共
に、充填管脱着時の自由度と作業性を損なわずに充填管
内への大気流入の防止を可能にしたガス供給装置を提供
する。 【解決手段】 自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備
えた実ガス送気ラインと、逆止弁４、開閉弁５を備えた
不活性ガスパージラインと、逆止弁７、開閉弁６を備え
た排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス充
填容器９の容器元栓８の口金接続部に前記ガスラインを
接続する充填管１４とで構成したガス供給装置におい
て、前記充填管１４に実ガス送気ライン接続用の第１の
ポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポー
トと、前記第２のポートに連通し且つ容器元栓８の口金
接続用の第３のポートとを設け、前記第１のポートと第
２のポートとの間に開閉可能な分流弁１０を設けたこと
を特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造に用い
られる特殊材料ガスのガス供給装置とそのガス供給方法
に係り、特に、ガス充填容器交換の際に、取り外した充
填管の口金接続部の開口部より配管内に大気の流入を防
止する機能を備えるガス供給装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の半導体用特殊材料ガスのガス供給
装置は、図８に示す通り、実ガスを消費設備に供給する
ための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガ
ス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための
パージ逆止弁４、パージ開閉弁５、止め弁２１を備えた
不活性ガスパージラインと、配管内の残ガス及びパージ
ガスの排気をするための排気開閉弁６、排気逆止弁７を
備えた排気ラインと、これらのガス流路を合流してガス
充填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を
接続する止め弁付二重充填管１８を有している。

【０００３】この止め弁付二重充填管１８の口金接続部
はガス充填容器９の交換の際に取り付け取り外しがある
ため、固定配管ではなくある程度自由度をもたせた構造
にしている。そして、その口金接続部は、図９に示すよ
うに不活性ガスパージラインの止め弁２１の部分を含め
た溶接一体構造のものが多い。半導体用特殊材料ガスに
は可燃性や毒性、腐食性といった危険性の高いガスが多
くあり、ガス充填容器９の交換においては、容器元栓８
を閉めた後に止め弁付二重充填管１８内部の残ガスを不
活性ガスにて排気ラインにパージ置換し安全な状態にし
てから口金接続部を外している。

【０００４】そして、新しいガス充填容器に交換する場
合、外した口金接続部を再度接続し、気密試験後に再び
止め弁付二重充填管１８内部に侵入した大気を不活性ガ
スにて排気ラインにパージ置換し、更には排気ラインよ
り配管内を真空引きしてから容器元栓８を開けて実ガス
置換後に送気に切り替えるといった操作手順が一般的で
ある。

【０００５】また、半導体用特殊材料ガスは極めて高純
度のガスが求められているために、ガス充填容器交換の
際の脱着により大気に曝露される止め弁付二重充填管１
８の口金接続部の口元配管内部においても、大気が侵入
して内壁に大気中の水分や汚染物質、パーティクル等が
吸着されないように、開放中は図９の太い実線矢印で示
すように不活性ガスパージラインから口金接続部の開口
部に向けて不活性ガスをパージしている。不活性ガスと
しては、窒素ガスやアルゴンガスが一般的に用いられて
いる。

【０００６】図１０は、特開平２−２０３１００号公報
をもとにした従来のガス供給装置（以下、公知例１とい
う）の構成図である。実ガス送気ラインには自動遮断弁
１が設けられ、不活性ガスパージラインにはパージ逆止
弁４、パージ開閉弁５、更にバイパス開閉弁２２が設け
られている。尚、排気ラインは省略している。

【０００７】そして、図１１に示すように、前記したガ
ス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接
続部にガス流路を接続する二重充填管１９は、溶接一体
構造になっている。この例の場合、ガス充填容器９の交
換の際に取り外した二重充填管１９の口金接続部の開口
部より配管内に大気の流入を防止するため、取り外して
いる間は不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５とバ
イパス開閉弁２２の両方を開き、二重充填管１９を構成
する２つのガス流路から図１１の太い実線矢印で示すよ
うに口金接続部の開口部に向けて不活性ガスをパージし
ている。

【０００８】図１２は、特開平７−２２２３号公報をも
とにした従来のガス供給装置（以下、公知例２という）
の構成図である。実ガス送気ラインには自動遮断弁１、
減圧弁２、送気弁３が設けられ、不活性ガスパージライ
ンにはパージ開閉弁５、充填管パージ逆止弁１１が設け
られている。排気ラインへの単独の開閉弁はなく、切換
逆止弁付充填管２０に組み込まれた切換弁１２がこのラ
インへの開閉機能を司っている。

【０００９】そして、これらのガス流路を合流してガス
充填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を
接続する切換逆止弁付充填管２０もまた充填管パージ逆
止弁１１を含め切換弁１２を組み込んだ溶接一体構造の
ものが多い。この例の場合、ガス充填容器９の交換の際
に取り外した切換逆止弁付充填管２０の口金接続部の開
口部より配管内に大気の流入を防止するため、取り外し
ている間は切換逆止弁付充填管２０に組み込まれた切換
弁１２が排気ライン側に開放され、実ガス送気ライン側
が閉じる。また、不活性ガスパージラインのパージ開閉
弁５が開き、図１３の太い実線矢印で示すように口金接
続部の開口部と排気ラインの２方向に向けて不活性ガス
をパージしている。

【００１０】しかし、上記した従来の装置では、以下の
ような問題があった。第１の問題点は、公知例１及び公
知例２の場合においては、ガス充填容器交換の際の不活
性ガスパージ量が多くなり不経済なことである。その理
由は、図１０の公知例１の場合では大気解放されるガス
流路が２つあり、不活性ガスパージラインのパージ開閉
弁５とバイパス開閉弁２２の両方を開きパージするた
め、配管内に大気が逆拡散しない流量は２流路分必要と
なるからである。叉、図１２の公知例２の場合では不活
性ガスをパージしても通常陰圧になっている排気ライン
に不活性ガスが引き込まれるため、口金接続部の開口部
側にも流れるようにするには排気ラインの排気能力以上
の量を流す必要があるからである。

【００１１】第２の問題点は、公知例１の場合、不活性
ガスパージラインにバイパス開閉弁２２が追加されるた
め、配管構成及びその操作や制御系の構成が複雑になる
ことである。第３の問題点は、公知例２の場合、ガス充
填容器交換の際の切換逆止弁付充填管２０の口金接続部
の脱着取扱い振り回しが困難になることである。

【００１２】その理由は、切換逆止弁付充填管２０に集
合するガス流路配管が実ガス送気ラインと不活性ガスパ
ージラインと排気ラインの３つになるからである。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
した従来技術の欠点を改良し、特に、半導体製造装置に
用いられるガス充填容器の交換の際にパージする不活性
ガスの消費量を極力抑えると共に、充填管脱着時の自由
度と作業性を損なわずに充填管の配管内に大気の流入を
防止することを可能にした新規なガス供給装置とそのガ
ス供給方法を提供することである。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、基本的には、以下に記載されたような技
術構成を採用するものである。即ち、本発明に係わるガ
ス供給装置の第１態様は、実ガスを消費設備に供給する
ための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気
ラインと、配管内を不活性ガスに置換するための逆止
弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス
及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備
えた排気ラインと、これらのガスラインを合流してガス
充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接
続する充填管とで構成したガス供給装置において、前記
充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポートと、不
活性ガスパージライン接続用の常時開放の第２のポート
と、前記第２のポートに連通し且つ容器元栓の口金接続
用の常時開放の第３のポートとを設け、前記第１のポー
トと第２のポートとの間に開閉可能な分流弁を設けたこ
とを特徴とするものであり、叉、第２態様は、前記充填
管の第２のポートに、不活性ガスパージラインへのガス
の流入を阻止する逆止弁を一体的に設けたことを特徴と
するものであり、叉、第３態様は、実ガスを消費設備に
供給するための自動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実
ガス送気ラインと、配管内を不活性ガスに置換するため
の逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパージラインと、
残ガス及びパージガスの排気をするための逆止弁、開閉
弁を備えた排気ラインと、これらのガスラインを合流し
てガス充填容器の容器元栓の口金接続部に前記ガスライ
ンを接続する充填管とで構成したガス供給装置におい
て、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポー
トと、不活性ガスパージライン接続用の第２のポート
と、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設けると
共に、前記第３のポートに対し、前記第１のポートと第
２のポートとを選択的に切換える切換弁を一体的に設け
たことを特徴とするものであり、叉、第４態様は、実ガ
スを消費設備に供給するための自動遮断弁、減圧弁、送
気弁を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガス
に置換するための逆止弁、開閉弁を備えた不活性ガスパ
ージラインと、残ガス及びパージガスの排気をするため
の逆止弁、開閉弁を備えた排気ラインと、これらのガス
ラインを合流してガス充填容器の容器元栓の口金接続部
に前記ガスラインを接続する充填管とで構成したガス供
給装置において、前記充填管に実ガス送気ライン接続用
の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第
２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートと
を設け、前記第１のポートに実ガス送気方向にのみ開く
第１の逆止弁を一体的に設けると共に、前記第２のポー
トに不活性ガスパージラインへのガスの流入を阻止する
第２の逆止弁を一体的に設けたことを特徴とするもので
あり、叉、第５態様は、前記排気ラインは、実ガス送気
ラインに設けられた自動遮断弁より前記ガス充填容器側
の実ガス送気ラインから分岐して設けられていることを
特徴とするものである。

【００１５】叉、本発明に係わるガス供給装置のガス供
給方法の態様は、実ガスを消費設備に供給するための自
動遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ライン
と、配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉
弁を備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパー
ジガスの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気
ラインと、これらのガスラインを合流してガス充填容器
の容器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充
填管とで構成し、前記充填管に実ガス送気ライン接続用
の第１のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第
２のポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートと
を設けたガス供給装置のガス供給方法であって、前記充
填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けられた自
動遮断弁迄の前記実ガス送気ラインを不活性ガスでパー
ジ置換する第１の工程と、前記充填管の第１のポートと
実ガス送気ラインに設けられた自動遮断弁迄の実ガス送
気ライン内の不活性ガスを実ガス送気ライン内に閉じ込
める第２の工程と、前記充填管の第３のポートを前記ガ
ス充填容器から取り外すと共に、前記第３のポートに不
活性ガスを供給する第３の工程と、前記充填管の第３の
ポートを交換用のガス充填容器に接続する第４の工程
と、前記充填管の第３のポートと実ガス送気ラインに設
けられた自動遮断弁迄の実ガス送気ラインを真空にする
第５の工程と、前記交換用のガス充填容器から所定のガ
スを前記実ガス送気ラインに供給する第６の工程と、を
含むことを特徴とするものである。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係わるガス供給装
置の実施の形態について説明する。図１を参照すると、
本発明の形態は実ガスを消費設備に供給するための自動
遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気ライ
ンと、配管内を不活性ガスに置換するためのパージ逆止
弁４、パージ開閉弁５を備えた不活性ガスパージライン
と、残ガス及びパージガスの排気をするための排気逆止
弁７、排気開閉弁６を備えた排気ラインと、これらのガ
ス流路を合流してガス充填容器９の容器元栓８の口金接
続部に当該ガス流路を接続する分流弁付充填管１４を有
する。分流弁付充填管１４は実ガス送気ラインと不活性
ガスパージラインの２本の自由度をもったガス流路配管
と容器元栓８の口金接続部直近に分流弁１０を設けて合
流する。

【００１７】分流弁１０の３つのポートは、図２に示す
ように２つの常時開放ポートを不活性ガスパージライン
側と容器元栓８の口金接続部側に設け、分流開閉ポート
を実ガス送気ライン側に設ける。尚、排気ラインは分流
弁付充填管１４の実ガス送気ラインから実ガスを消費設
備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３
を備えた実ガス送気ラインに入る直前で分岐して構成す
る。

【００１８】このように構成したガス供給装置の動作に
ついて、図３を参照して説明する。ガス充填容器交換の
際には、まず始めに分流弁付充填管１４の配管内の実ガ
スを図３（ｂ）に示すように不活性ガスでパージ置換す
る。即ち、排気ラインの排気開閉弁６と分流弁付充填管
１４にある分流弁１０を開き、配管内の残ガスを排気す
ると同時に、内圧が抜けると不活性ガスパージラインの
パージ開閉弁５を開き、図３（ｂ）の太い実線で示す配
管内に不活性ガスを流し、配管内を不活性ガスで置換す
る。その後、排気ラインの排気開閉弁６を閉じ、次に分
流弁付充填管１４にある分流弁１０を閉じて配管内に不
活性ガスを封じ込める。この状態で図３（ｃ）に示すよ
うに、分流弁付充填管１４の口金接続部を取り外す。不
活性ガスパージラインのパージ開閉弁５が開いているた
め、口金接続部を外している間は不活性ガスが口金接続
部の開口部に向けて図３（ｃ）の太い実線で示す配管内
を流れるので口金接続部の開口部の配管から大気が侵入
するのを防ぐことができる。図３（ｃ）に示す状態で、
新しいガス充填容器に交換して分流弁付充填管１４の口
金接続部を再度接続する。その後、接続部の気密試験を
経て再び図３（ｂ）の配管内パージ置換を行う。

【００１９】このようにして、本発明では、大気侵入の
防止を可能にしている。

【００２０】

【実施例】以下に、本発明に係わるガス供給装置とその
ガスの供給方法の具体例を図面を参照しながら詳細に説
明する。 （第１の具体例）図１は、本発明に係わるガス供給装置
の具体例の構造を示す図であって、図１には、実ガスを
消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送
気弁３を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガ
スに置換するための逆止弁４、開閉弁５を備えた不活性
ガスパージラインと、残ガス及びパージガスの排気をす
るための逆止弁７、開閉弁６を備えた排気ラインと、こ
れらのガスラインを合流してガス充填容器９の容器元栓
８の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管１４
とで構成したガス供給装置において、前記充填管１４に
実ガス送気ライン接続用の第１のポート３１と、不活性
ガスパージライン接続用の常時開放の第２のポート３２
と、前記第２のポート３２に連通し且つ容器元栓８の口
金接続用の常時開放の第３のポート３３とを設け、前記
第１のポート３１と第２のポート３２との間に開閉可能
な分流弁１０を設けたガス供給装置が示されている。

【００２１】叉、前記排気ラインは、実ガス送気ライン
に設けられた自動遮断弁１より前記ガス充填容器９側の
実ガス送気ラインから分岐して設けられているガス供給
装置が示されている。以下に、図１〜図３を用いて更に
詳細に説明する。図１は本発明の配管系統図、図２は図
１における口金接続部開放時の不活性ガス流路を示す断
面図、図３は本発明の動作を説明する図である。

【００２２】本発明の第１の具体例の構成は、実ガスを
消費設備に供給するための自動遮断弁１、減圧弁２、送
気弁３を備えた実ガス送気ラインと、配管内を不活性ガ
スに置換するためのパージ逆止弁４、パージ開閉弁５を
備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガ
スの排気をするための排気逆止弁７、排気開閉弁６を備
えた排気ラインと、これらのガス流路を合流してガス充
填容器９の容器元栓８の口金接続部に当該ガス流路を接
続する分流弁付充填管１４とで構成したものである。

【００２３】分流弁付充填管１４は実ガス送気ラインと
不活性ガスパージラインの２本の自由度をもったガス流
路配管と容器元栓８の口金接続部と、この口金接続部直
近に設けた分流弁とからなり、図２に示すように、分流
弁１０の３つのポートの内、第２のポート３２は、不活
性ガスパージラインに接続する不活性ガスパージライン
側の常時開放ポートであり、第３のポート３３は、容器
元栓８の口金接続部に接続する口金接続部側の常時開放
ポートであり、第１のポート３１は、上記第２のポート
３２及び第３のポート３３から分流弁１０を介して設け
られた実ガス送気ライン側のポートである。

【００２４】尚、排気ラインは分流弁付充填管１４の実
ガス送気ラインから実ガスを消費設備に供給するための
自動遮断弁１、減圧弁２、送気弁３を備えた実ガス送気
ラインに入る直前で分岐して設けられている。不活性ガ
スとしては高純度の窒素ガスまたはアルゴンガスを用い
る。また、排気ラインは排気設備や除害設備、真空ポン
プ等に繋がっており、配管系の一連の動作に対して対応
できるようになっている。

【００２５】次に、この具体例の動作について図２及び
図３を参照して説明する。図３（ａ）はガス供給装置が
停止スタンバイの状態を示すもので、すべての開閉弁が
閉じており配管内にガスは流れていない。ガス充填容器
９の交換の際には、まず始めに分流弁付充填管１４の配
管内の実ガスを、図３（ｂ）に示すように、不活性ガス
でパージ置換する。排気ラインの排気開閉弁６と分流弁
付充填管１４にある分流弁１０を開き、配管内の残ガス
を排気すると同時に、内圧が抜けると不活性ガスパージ
ラインのパージ開閉弁５を開き、図３（ｂ）の太い実線
で示す配管内に不活性ガスを流す。排気ラインからの真
空引きと不活性ガスを流すことを交互に繰り返す回分パ
ージ等により太い実線で示す配管内は不活性ガスに置換
される。その後、排気ラインの排気開閉弁６を閉じ、次
に分流弁付充填管１４にある分流弁１０を閉じて配管内
に不活性ガスを封じ込める。この状態で図３（ｃ）に示
すように分流弁付充填管１４の口金接続部を取り外す。
不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５が開いている
ため、口金接続部を外している間は、図３（ｃ）の太い
実線で示すように、不活性ガスが口金接続部の開口部に
向けて配管内を流れる。この場合、公知例と異なり、不
活性ガスパージラインは１本であり、また通常、分流弁
付充填管１４の配管内径は１．８ｍｍ程度と小さいた
め、ごく少量の不活性ガス流量（毎分１０リットル程
度）で口金接続部の開口部の配管から大気が侵入するの
を防ぐことができる。

【００２６】そして、図３（ｃ）に示す状態で新しいガ
ス充填容器に交換して分流弁付充填管１４の口金接続部
を再度接続する。その後、接続部の気密試験を経て、再
び図３（ｂ）の配管内のガスのパージ置換を行うが、大
気侵入がほとんどないので回分パージ等は簡略化でき
る。不活性ガスパージラインのパージ開閉弁５を閉じ、
排気ラインの排気開閉弁６と分流弁付充填管１４にある
分流弁１０を開け、排気ラインより配管内を真空引きし
た後、排気ラインの排気開閉弁６を閉じて配管内を真空
状態にする。その後、容器元栓８を開けて実ガス置換後
に実ガス送気ラインの自動遮断弁１と送気弁３を開ける
と、図３（ｄ）の太い実線で示す配管内に実ガスが入り
送気状態となる。

【００２７】（第２の具体例）次に、本発明の第２の具
体例について図４の配管系統図を参照して説明する。第
２の具体例では、前記した第１の具体例の図１の構成に
おいて、分流弁１０の不活性ガスパージライン側に充填
管パージ逆止弁１１を一体的に設けたタイプの分流逆止
弁付充填管１５で構成するものである。

【００２８】動作については、基本的には第１の具体例
と同じであるが、実ガス送気時に、分流逆止弁付充填管
１５の不活性ガスパージライン側へは充填管パージ逆止
弁１１により実ガスが入らないように構成したものであ
る。実ガスに曝される配管の範囲が少なくなる分、不活
性ガスでのパージ置換特性が向上する利点を有する。 （第３の具体例）次に、本発明の第３の具体例について
図５、図６を参照して説明する。

【００２９】第３の具体例では、前記した第１の具体例
の図１の構成において、分流弁１０を切換弁１２に置き
換えたタイプの切換弁付充填管１６で構成したものであ
る。動作については基本的には、第１の具体例と同じで
あるが、配管内パージ置換においての動作が、まず切換
弁１２を実ガス送気ライン側に流れるよう（不活性ガス
パージライン側が閉）にしてから不活性ガスパージライ
ンのパージ開閉弁５を開けて切換弁１２の閉位置まで不
活性ガスを流れる状態にし、排気ラインの排気開閉弁６
を開けて真空引きしながら切換弁１２を実ガス送気ライ
ンと不活性ガスパージラインに交互に切り換える回分パ
ージにすることで口金接続部と切換弁１２の間を不活性
ガスに置換するという方法になる。

【００３０】口金接続部を外している間は不活性ガスが
口金接続部の開口部に向けて図６の太い実線で示す配管
内を流れる。実ガス送気時においては第２の具体例と同
様に、切換弁付充填管１６の不活性ガスパージライン側
が閉止状態になるので実ガスは入らないため、実ガスに
曝される配管の範囲が少なくなる分、不活性ガスでのパ
ージ置換特性が向上する利点を有する。

【００３１】（第４の具体例）図７は、本発明の第４の
具体例の配管系統図である。本発明の第２の具体例の図
４の分流弁１０を充填管送気逆止弁１３に置き換え、実
ガス送気方向に一方通行にしたタイプの二連逆止弁付充
填管１７で構成するものである。

【００３２】動作については基本的には第1の具体例と
同じであるが、配管内パージ置換、口金接続部取り外
し、実ガス送気の各状態での第１の具体例における分流
弁１０の開閉動作が不要になる。更に、実ガス送気時に
おいては、第２の具体例と同様に充填管パージ逆止弁１
１により二連逆止弁付充填管１７の不活性ガスパージラ
イン側へは実ガスは入らないため、実ガスに曝される配
管の範囲が少なくなる分、不活性ガスでのパージ置換特
性が向上する利点を有すると共に、開閉操作の必要な分
流弁や切換弁がないので操作性も向上する利点を有す
る。

【００３３】

【発明の効果】本発明に係わるガス供給装置とそのガス
供給方法は上述のように構成したので、以下のような効
果を奏する。 （１） 口金接続部を外している間の不活性ガス流路
は、不活性ガスパージラインから口金接続部の開口部に
向けての一経路になるから、ガス充填容器交換の際に、
パージする不活性ガスの消費量を抑えることができ、し
かも、充填管の配管内に大気の流入を防止することがで
きる。

【００３４】（２） 配管経路を増やさない構成である
から、充填管脱着時の自由度と作業性を損なわずに、充
填管の配管内に大気の流入を防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のガス供給装置の構成を示す第1の具体
例の配管系統図である。

【図２】図１における口金接続部開放時の不活性ガス流
路を示す断面図である。

【図３】図１の動作を示す図であり、（ａ）は停止スタ
ンバイ状態を示す図、（ｂ）は配管内パージ置換状態を
示す図、（ｃ）は口金接続部取り外し状態を示す図、
（ｄ）は実ガス送気状態を示す図である。

【図４】本発明の第２の具体例を示す配管系統図であ
る。

【図５】本発明の第３の具体例を示す配管系統図であ
る。

【図６】図５における口金接続部開放時の不活性ガス流
路を示す断面図である。

【図７】本発明の第４の具体例を示す配管系統図であ
る。

【図８】従来のガス供給装置の標準的な例を示す配管系
統図である。

【図９】図８における口金接続部開放時の不活性ガス流
路を示す断面図である。

【図１０】他の従来例の配管系統図である。

【図１１】図１０における口金接続部開放時の不活性ガ
ス流路を示す断面図である。

【図１２】別の従来例の配管系統図である。

【図１３】図１２における口金接続部開放時の不活性ガ
ス流路を示す断面図である。

【符号の説明】

１．自動遮断弁 ２．減圧弁 ３．送気弁 ４．パージ逆止弁 ５．パージ開閉弁 ６．排気開閉弁 ７．排気逆止弁 ８．容器元栓 ９．ガス充填容器 １０．分流弁 １１．充填管パージ逆止弁 １２．切換弁 １３．充填管送気逆止弁 １４．分流弁付充填管 １５．分流逆止弁付充填管 １６．切換弁付充填管 １７．二連逆止弁付充填管 １８．止め弁付二重充填管 １９．二重充填管 ２０．切換逆止弁付充填管 ２１．止め弁 ２２．バイパス開閉弁 ２３．分流弁ボディ ２４．分流開閉駆動棒 ２５．切換弁ボディ ２６．切換駆動棒 ２７．止め弁ボディ ２８．パージ開閉駆動棒 ３１．第１のポート ３２．第２のポート ３３．第３のポート

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 実ガスを消費設備に供給するための自動
   遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、
   配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を
   備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガ
   スの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ライ
   ンと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容
   器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管
   とで構成したガス供給装置において、 前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポート
   と、不活性ガスパージライン接続用の常時開放の第２の
   ポートと、前記第２のポートに連通し且つ容器元栓の口
   金接続用の常時開放の第３のポートとを設け、前記第１
   のポートと第２のポートとの間に開閉可能な分流弁を設
   けたことを特徴とするガス供給装置。
2. 【請求項２】 前記充填管の第2のポートに、不活性ガ
   スパージラインへのガスの流入を阻止する逆止弁を一体
   的に設けたことを特徴とする請求項１記載のガス供給装
   置。
3. 【請求項３】 実ガスを消費設備に供給するための自動
   遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、
   配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を
   備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガ
   スの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ライ
   ンと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容
   器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管
   とで構成したガス供給装置において、 前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポート
   と、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、
   容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設けると共
   に、前記第３のポートに対し、前記第１のポートと第２
   のポートとを選択的に切換える切換弁を一体的に設けた
   ことを特徴とするガス供給装置。
4. 【請求項４】 実ガスを消費設備に供給するための自動
   遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、
   配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を
   備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガ
   スの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ライ
   ンと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容
   器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管
   とで構成したガス供給装置において、 前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第１のポート
   と、不活性ガスパージライン接続用の第２のポートと、
   容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設け、前記第
   １のポートに実ガス送気方向にのみ開く第１の逆止弁を
   一体的に設けると共に、前記第２のポートに不活性ガス
   パージラインへのガスの流入を阻止する第２の逆止弁を
   一体的に設けたことを特徴とするガス供給装置。
5. 【請求項５】 前記排気ラインは、実ガス送気ラインに
   設けられた自動遮断弁より前記ガス充填容器側の実ガス
   送気ラインから分岐して設けられていることを特徴とす
   る請求項１乃至４の何れかに記載のガス供給装置。
6. 【請求項６】 実ガスを消費設備に供給するための自動
   遮断弁、減圧弁、送気弁を備えた実ガス送気ラインと、
   配管内を不活性ガスに置換するための逆止弁、開閉弁を
   備えた不活性ガスパージラインと、残ガス及びパージガ
   スの排気をするための逆止弁、開閉弁を備えた排気ライ
   ンと、これらのガスラインを合流してガス充填容器の容
   器元栓の口金接続部に前記ガスラインを接続する充填管
   とで構成し、前記充填管に実ガス送気ライン接続用の第
   １のポートと、不活性ガスパージライン接続用の第２の
   ポートと、容器元栓の口金接続用の第３のポートとを設
   けたガス供給装置のガス供給方法であって、 前記充填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けら
   れた自動遮断弁迄の前記実ガス送気ラインを不活性ガス
   でパージ置換する第１の工程と、 前記充填管の第１のポートと実ガス送気ラインに設けら
   れた自動遮断弁迄の実ガス送気ライン内の不活性ガスを
   実ガス送気ライン内に閉じ込める第２の工程と、 前記充填管の第３のポートを前記ガス充填容器から取り
   外すと共に、前記第３のポートに不活性ガスを供給する
   第３の工程と、 前記充填管の第３のポートを交換用のガス充填容器に接
   続する第４の工程と、 前記充填管の第３のポートと実ガス送気ラインに設けら
   れた自動遮断弁迄の実ガス送気ラインを真空にする第５
   の工程と、 前記交換用のガス充填容器から所定のガスを前記実ガス
   送気ラインに供給する第６の工程と、を含むことを特徴
   とするガス供給装置のガス供給方法。