JP2022169328A - 収容棚 - Google Patents
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Abstract
Description
それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚であって、
複数の前記収容部のそれぞれに配置され、前記収容部に収容された前記容器に第1ガス又は第2ガスを供給する供給口と、
複数の前記供給口のそれぞれに接続された分岐配管と、
複数の前記分岐配管に接続された供給配管と、
前記供給配管に前記第1ガスを供給する第1供給部と、
前記供給配管に前記第2ガスを供給する第2供給部と、
前記供給配管から前記第1ガス及び前記第2ガスを排出する排気部と、を備え、
前記第1供給部は、前記第1ガスの供給源である第1供給源と、前記第1供給源と前記供給配管とを接続する第1ガス配管と、前記第1ガス配管における前記第1ガスの流動を選択的に遮断する第1バルブと、を備え、
前記第2供給部は、前記第2ガスの供給源である第2供給源と、前記第2供給源と前記供給配管とを接続する第2ガス配管と、前記第2ガス配管における前記第2ガスの流動を選択的に遮断する第2バルブと、を備え、
前記排気部は、前記第1ガス及び前記第2ガスを排出するための排気口と、前記供給配管と前記排気口との間の前記第1ガス及び前記第2ガスの流動を選択的に遮断する排気バルブと、を備えている点にある。
(1)上記の実施形態では、第1バルブ53と第2バルブ63とが互いに独立している構成を例として説明した。しかし、そのような構成に限定されることなく、例えば、第1バルブ53及び第2バルブ63が閉鎖状態である第1状態、第1バルブ53が開放状態かつ第2バルブ63が閉鎖状態である第2状態、及び第1バルブ53が閉鎖状態かつ第2バルブ63が開放状態である第3状態のいずれかに切り替え可能なように、第1バルブ53と第2バルブ63とが一体的に構成されていても良い。
以下では、上記において説明した収容棚の概要について説明する。
それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚であって、
複数の前記収容部のそれぞれに配置され、前記収容部に収容された前記容器に第1ガス又は第2ガスを供給する供給口と、
複数の前記供給口のそれぞれに接続された分岐配管と、
複数の前記分岐配管に接続された供給配管と、
前記供給配管に前記第1ガスを供給する第1供給部と、
前記供給配管に前記第2ガスを供給する第2供給部と、
前記供給配管から前記第1ガス及び前記第2ガスを排出する排気部と、を備え、
前記第1供給部は、前記第1ガスの供給源である第1供給源と、前記第1供給源と前記供給配管とを接続する第1ガス配管と、前記第1ガス配管における前記第1ガスの流動を選択的に遮断する第1バルブと、を備え、
前記第2供給部は、前記第2ガスの供給源である第2供給源と、前記第2供給源と前記供給配管とを接続する第2ガス配管と、前記第2ガス配管における前記第2ガスの流動を選択的に遮断する第2バルブと、を備え、
前記排気部は、前記第1ガス及び前記第2ガスを排出するための排気口と、前記供給配管と前記排気口との間の前記第1ガス及び前記第2ガスの流動を選択的に遮断する排気バルブと、を備えている。
前記供給配管と前記第1ガス配管との接続部を第1接続部とし、前記供給配管と前記第2ガス配管との接続部を第2接続部とし、前記供給配管と前記排気管との接続部を排気接続部とし、前記供給配管と複数の前記分岐配管のそれぞれとの接続部を分岐接続部として、
前記排気接続部は、前記第1接続部及び前記第2接続部のうちの下流側のものと同じ位置又はそれよりも下流側であって、複数の前記分岐接続部のうちの最も上流側のものと同じ位置又はそれよりも上流側に配置されていると好適である。
前記制御部は、
前記第1バルブを開放状態とすると共に、前記第2バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第1ガス供給モードと、
前記第2バルブを開放状態とすると共に、前記第1バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第2ガス供給モードと、
前記第1バルブ及び前記第2バルブを閉鎖状態とすると共に、前記排気バルブを開放状態とする排気モードと、を選択的に実行可能に構成され、
前記排気モードは、前記第1ガス供給モード及び前記第2ガス供給モードの一方から他方に切り替える場合に、前記第1ガス供給モードと前記第2ガス供給モードとの間に実行されると好適である。
前記第2供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第2ガスの供給を行い、
前記制御部は、前記供給配管の内部の圧力が大気圧と同等以下になるまでの期間、前記排気モードを実行すると好適である。
前記第1ガスは、不活性ガスであり、
前記第2ガスは、清浄空気であり、
前記制御部は、少なくとも前記第1ガス供給モードから前記第2ガス供給モードへ切り替える場合に、前記排気モードを実行すると好適である。
前記酸素濃度センサは、前記供給配管における、前記第1バルブ及び前記第2バルブよりも下流側であって、前記排気バルブよりも上流側に配置され、
前記制御部は、前記第1ガス供給モードから前記第2ガス供給モードに切り替えた後、前記酸素濃度センサにより検出された前記濃度が規定の濃度閾値以上である場合に、前記第2ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号を出力すると好適である。
1 :収容部
2 :供給口
3 :分岐配管
4 :供給配管
5 :第1供給部
51 :第1供給源
52 :第1ガス配管
53 :第1バルブ
6 :第2供給部
61 :第2供給源
62 :第2ガス配管
63 :第2バルブ
7 :排気部
71 :排気口
72 :排気バルブ
Claims (6)
- それぞれが容器を収容する複数の収容部を備えた収容棚であって、
複数の前記収容部のそれぞれに配置され、前記収容部に収容された前記容器に第1ガス又は第2ガスを供給する供給口と、
複数の前記供給口のそれぞれに接続された分岐配管と、
複数の前記分岐配管に接続された供給配管と、
前記供給配管に前記第1ガスを供給する第1供給部と、
前記供給配管に前記第2ガスを供給する第2供給部と、
前記供給配管から前記第1ガス及び前記第2ガスを排出する排気部と、を備え、
前記第1供給部は、前記第1ガスの供給源である第1供給源と、前記第1供給源と前記供給配管とを接続する第1ガス配管と、前記第1ガス配管における前記第1ガスの流動を選択的に遮断する第1バルブと、を備え、
前記第2供給部は、前記第2ガスの供給源である第2供給源と、前記第2供給源と前記供給配管とを接続する第2ガス配管と、前記第2ガス配管における前記第2ガスの流動を選択的に遮断する第2バルブと、を備え、
前記排気部は、前記第1ガス及び前記第2ガスを排出するための排気口と、前記供給配管と前記排気口との間の前記第1ガス及び前記第2ガスの流動を選択的に遮断する排気バルブと、を備えている、収容棚。 - 前記排気部は、前記供給配管と前記排気口とを接続する排気管を更に備え、
前記供給配管と前記第1ガス配管との接続部を第1接続部とし、前記供給配管と前記第2ガス配管との接続部を第2接続部とし、前記供給配管と前記排気管との接続部を排気接続部とし、前記供給配管と複数の前記分岐配管のそれぞれとの接続部を分岐接続部として、
前記排気接続部は、前記第1接続部及び前記第2接続部のうちの下流側のものと同じ位置又はそれよりも下流側であって、複数の前記分岐接続部のうちの最も上流側のものと同じ位置又はそれよりも上流側に配置されている、請求項1に記載の収容棚。 - 前記第1バルブ、前記第2バルブ、及び前記排気バルブを制御する制御部を更に備え、
前記制御部は、
前記第1バルブを開放状態とすると共に、前記第2バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第1ガス供給モードと、
前記第2バルブを開放状態とすると共に、前記第1バルブ及び前記排気バルブを閉鎖状態とする第2ガス供給モードと、
前記第1バルブ及び前記第2バルブを閉鎖状態とすると共に、前記排気バルブを開放状態とする排気モードと、を選択的に実行可能に構成され、
前記排気モードは、前記第1ガス供給モード及び前記第2ガス供給モードの一方から他方に切り替える場合に、前記第1ガス供給モードと前記第2ガス供給モードとの間に実行される、請求項1又は2に記載の収容棚。 - 前記第1供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第1ガスの供給を行い、
前記第2供給部は、大気圧よりも高い圧力で前記第2ガスの供給を行い、
前記制御部は、前記供給配管の内部の圧力が大気圧と同等以下になるまでの期間、前記排気モードを実行する、請求項3に記載の収容棚。 - 前記容器は、半導体基板を収容するように構成され、
前記第1ガスは、不活性ガスであり、
前記第2ガスは、清浄空気であり、
前記制御部は、少なくとも前記第1ガス供給モードから前記第2ガス供給モードへ切り替える場合に、前記排気モードを実行する、請求項3又は4に記載の収容棚。 - 前記供給配管における酸素の濃度を検出する酸素濃度センサを更に備え、
前記酸素濃度センサは、前記供給配管における、前記第1バルブ及び前記第2バルブよりも下流側であって、前記排気バルブよりも上流側に配置され、
前記制御部は、前記第1ガス供給モードから前記第2ガス供給モードに切り替えた後、前記酸素濃度センサにより検出された前記濃度が規定の濃度閾値以上である場合に、前記第2ガス供給モードへの切り替えが完了したことを示す信号を出力する、請求項5に記載の収容棚。
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