JP4278128B2 - 基板処理装置および基板の処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、反応室内にて基板を処理する基板処理装置および基板の処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の基板処理装置においては、基板支持部材であるボートを移載するボート移載室(ボートローディングエリア)において、基板表面への自然酸化膜の生成を防止するため、酸素濃度を通常20ppm以下に保っている。この酸素濃度を保つためには、400l(リットル)/min程度の窒素(N2)を常時供給していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このため、従来の基板処理装置においては、N2消費量が多く、省エネルギーの観点で問題があった。
【0004】
本発明の目的は、N2等のパージガス(不活性ガス)の消費量を低減し、省エネルギーに貢献できる基板処理装置および基板の処理方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明は、基板を基板支持部材に載置した状態で反応室内にて処理する基板処理装置において、前記反応室は不活性ガス雰囲気の気密室に連接され、前記基板の前記反応室内での処理中と、前記処理中以外の時とで、前記気密室内に導入する前記不活性ガスの流量を可変させる手段を有することを特徴とする。
【0006】
本発明の基板処理装置では、上記構成により、N2等の不活性パージガスの消費量を低減し、省エネルギーに貢献できる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、図面を用いて本発明の実施の形態について詳細に説明する。なお、以下で説明する図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【0008】
図1は本発明の実施の形態の基板処理装置の全体構成斜視図である。
【0009】
本実施の形態の基板処理装置は、基板(ウェーハ。図示省略)の加熱手段を備えた反応室(反応炉)1と、反応室1へ反応ガスを導入する反応ガス導入手段2と、反応室1内の反応ガスを排気する反応ガス排気手段3と、基板の支持手段であり、基板を処理するために反応室1に収納されるボート(基板支持部材)4と、ボート移載室(ボートローディングエリア)5と(図1中、斜線を引いた部分)、ボート移載室5へ不活性ガスを導入する不活性ガス導入手段6と、不活性ガスの流量を可変させる例えばマスフロコントローラ(ガス流量を制御するためのコントローラ)等からなる不活性ガス流量可変手段7と、ボート移載室5内の不活性ガスを排気する不活性ガス排気手段8と、未処理基板を収納した基板収納容器を保管するための基板収納容器格納部9と、ボート4を反応室1内に挿入し、あるいは引き出すためのボート昇降機(ボートエレベータ)10と、基板を収納する基板収納容器11と、基板をボート4へ移載し、あるいは処理後の基板をボート4から移載するために、基板収納容器11の蓋を開閉する基板収納容器開閉手段12と、基板を整列させる基板整列手段13と、ボート4と基板収納容器開閉手段12あるいは基板整列手段13との間で基板の移載を行う基板移載機14と、基板収納容器ロードポート15と、基板収納容器ロードポート15と基板収納容器開閉手段12あるいは基板収納容器格納部9との間で基板収納容器11の搬送を行う基板収納容器搬送手段16と、カセットステージ17とを備えている。
【0010】
図2は本発明の実施の形態の基板処理装置において不活性ガス(パージガス)としてN2ガスを導入するシーケンスを示す図である。
【0011】
本実施の形態では、ボート4(図1参照)を2個使用する2ボートシステムの場合を示す。また、プロセス時間(ボート4が反応室1に対し、ロードされ、アンロードされるまでの時間)が600分の場合を示す。なお、プロセス条件により、各工程(イベント)の時間は変動する。
【0012】
本実施の形態では、ボートロード(ボートアップ)時とボートアンロード(ボートダウン)時におけるボート4が、ボートローディングエリアの雰囲気にさらされるとき、すなわち、ボート移載室5内にあるときのみ、ボートローディングエリアを所定の酸素濃度以下にする。ボート4がロードされ、反応室1内に入ると、ボートローディングエリアへ供給されるN2ガスの流量を減らすか、またはN2ガスの導入を止める。ここでは、図2に示すように、N2ガスの流量を200l/minに減らしている。次に、ボート4がアンロードの所定時間前にN2ガスを大量に流し、酸素濃度を下げる。ここでは、図2に示すように、アンロードの30分前にN2ガスの流量を900l/minに流し、酸素濃度を20ppm以下に下げる。このようにN2ガスを大量に流す時間は30分である。この時間は、プロセスレシピ(プロセス仕様)において入力されている時間に基いて自動的に計算、制御させることが可能である。所定の酸素濃度(20ppm以下)になったら、N2ガスの流量を900l/minから400l/minに減らし、20ppm以下の所定の酸素濃度を保つ。
【0013】
この酸素濃度が20ppm以下に保たれている間に、ボート4のアンロードを行う。また、次のバッチのボート4のロードを行う。導入されるN2パージの流量が、マスフロコントローラにより可変となっており、O2濃度が高いときには、N2流量を最大値で流し、O2濃度が所定の値以下において最小限のN2流量で制御可能になっている。
【0014】
このシーケンスにより、N2ガスを常に大量に流すことなく、N2雰囲気でのボート4のロード、アンロードが可能となる。すなわち、基板がボートローディングエリアの雰囲気に晒される際のみ所望の低O2濃度となっていれば良いため、N2ガスをボート4のロード、アンロードの前にのみ大量に流し、ボート4が反応室1内に入って基板の処理中は、N2ガスの流量を減らすか、またはN2ガスの導入を止めることにより、従来N2ガスを常時400l/min流していた場合と比較してN2ガスの消費量を大幅に低減することができる。また、N2雰囲気でボート4のロード、アンロードを行うことにより、基板への自然酸化膜の堆積を抑制することができる。
【0015】
このように、本実施の形態では、基板を基板支持部材であるボート4に載置した状態で反応室1内にて処理する基板処理装置において、反応室1は不活性ガスであるN2ガス雰囲気の気密室であるボート移載室5に連接され、基板の反応室1内での処理中と、この処理中以外の時とで、ボート移載室5内に導入するN2ガスの流量を可変させる不活性ガス流量可変手段7を有する。この構成により、N2ガスの消費量を大幅に低減でき、したがって、省エネルギーに貢献することができる。
【0016】
図3はN2パージシステムの制御方法を示す図である。
【0017】
図3のパラメータテーブルに示すように、方式(モード)としては、自動、手動、N2パージ処理なしが選択可能である。N2パージ方式は、全自動シーケンス、半自動シーケンスが選択可能である。O2濃度チェックは、例えばボート移載室(ボートローディングエリア)5で行うか、カセット開閉手段(図5の31参照)のところで行う。また、N2パージシーケンス手動方式では、パラメータにより、任意のバルブを開閉可能とすることができる。
【0018】
図4はN2パージ炉の全体構成斜視図である。
【0019】
21、22、23は循環ダクト、24はクリーンユニット(PTFE(ポリテトラフルオロエチレン)フィルタ)、25はN2冷却ノズルである。なお、循環ダクト21、22、23にはそれぞれ、ブロワと科学フィルタと放熱器が設けられている。
【0020】
図4に示すように、N2循環式とすることにより、N2使用料を低減することが可能である。
【0021】
図5はN2パージシステム(N2導入部)を示す図である。
【0022】
31はカセット開閉手段、10はボート昇降機、39はボートが反応室に対し、ロード、アンロードされる位置、32はボートへの基板移載位置、33は処理後の基板冷却を行うためのボート待機位置、34はブロワ、35、36はバルブ、37はフィルタ、38はファン、25はボート待機位置33にあるボートおよび基板を冷却するためのN2ライン、40はボートが反応室にロード、アンロードされる際に反応室下方でボートに対し、N2シャワーを施すN2ラインである。
【0023】
ボート移載室(ボートローディングエリア)5へは、基板冷却、N2シャワーの3箇所からN2が導入される。
【0024】
図6はN2パージシーケンス(動作制限事項)を示す図である。
【0025】
図6に示すように、▲1▼カセット投入、払い出し、カセットからの基板放出においては、ボート移載室(ボートローディングエリア)5内を任意に設定可能な所定のO2濃度以下で、カセット開閉手段31が動作可能になっている。また、▲2▼ボート4のロード、アンロードにおいては、ボート移載室5内を任意に設定可能な所定のO2濃度以下で、ボートのロード、アンロード動作が可能になっている。また、▲3▼基板の処理時においては、ボート移載室5内を任意に設定可能な所定のO2濃度以下では、N2の流量をマスフロコントローラにより、図2の900l/min→400l/minのように流量を下げて、ボートのアンロードを可能とし、所定のO2濃度より高いときは、N2流量を最大にして、ボートのアンロードを禁止するようにしている。
【0026】
図7はN2パージが可能なエリアを示す図表である。
【0027】
図8は本実施の形態により取得したO2濃度の推移データ(N2パージ評価データ)を示す図である。すなわち、N2流量によるO2濃度の時間的変化をプロットしたデータを示す。
【0028】
このように、基板との接触部分をN2雰囲気にすることにより、基板への自然酸化膜の堆積を抑制することが可能になる。
【0029】
以上本発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の基板処理装置および基板の処理方法によれば、N2等の不活性パージガスの消費量を低減することができ、その結果、省エネルギーに貢献することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の基板処理装置の全体構成斜視図である。
【図2】本実施の形態の基板処理装置において不活性ガス(パージガス)としてN2ガスを導入するシーケンスを示す図である。
【図3】N2パージシステムの制御方法を示す図である。
【図4】N2パージ炉の全体構成斜視図である。
【図5】N2パージシステム(N2導入部)を示す図である。
【図6】N2パージシーケンスを示す図である。
【図7】N2パージが可能なエリアを示す図表である。
【図8】本実施の形態により取得したO2濃度の推移データ(N2パージ評価データ)を示す図である。
【符号の説明】
1…反応室、2…反応ガス導入手段、3…反応ガス排気手段、4…ボート、5…ボート移載室、6…不活性ガス導入手段、7…不活性ガス流量可変手段、8…不活性ガス排気手段、9…基板収納容器格納部、10…ボート昇降機、11…基板収納容器、12…基板収納容器開閉手段、13…基板整列手段、14…基板移載機、15…基板収納容器ロードポート、16…基板収納容器搬送手段、17…カセットステージ、21、22、23…循環ダクト、24…クリーンユニット、25…N2冷却ノズル(N2ライン)、31…カセット開閉手段、32…ボートの基板移載位置、33…ボート待機位置、34…ブロワ、35、36…バルブ、37…フィルタ、38…ファン、39…ボートが反応室に対し、ロード、アンロードされる位置、40…N2ライン。
Claims (4)
- 基板を基板支持部材に載置した状態で処理する反応室と、
前記反応室に連接される不活性ガス雰囲気の気密室と、
前記反応室で基板を処理中に、前記気密室内に導入する前記不活性ガスの流量を、第一のガス流量とするか、または前記気密室内に導入する前記不活性ガスの導入を止めるかし、前記反応室で処理された基板を前記反応室から前記気密室へアンロードする所定時間前に、前記気密室内に導入する不活性ガスの流量を、第二のガス流量に増やし、前記気密室の酸素濃度を所定の酸素濃度以下にし、前記気密室の酸素濃度が該所定の酸素濃度以下になったら、前記不活性ガスの流量を前記第二のガス流量から、前記第一のガス流量より大きい第三のガス流量に減らし、前記気密室の酸素濃度を前記所定の酸素濃度以下に保つことで前記アンロードすることが可能となるように制御する不活性ガス流量可変手段とを有することを特徴とする基板処理装置。 - 不活性ガス流量可変手段が気密室内に導入する不活性ガスの流量を第一のガス流量とするか、または前記気密室内に導入する前記不活性ガスの導入を止めつつ、基板を基板支持部材に載置した状態で反応室内にて処理する工程と、
前記反応室で処理された基板を前記反応室から気密室にアンロードする所定時間前に、不活性ガス流量可変手段が前記気密室内に導入する不活性ガスの流量を第二のガス流量に増やし、前記気密室の酸素濃度を所定の酸素濃度以下にし、前記気密室の酸素濃度が該所定の酸素濃度以下になったら、前記不活性ガスの流量を前記第二のガス流量から、前記第一のガス流量より大きい第三のガス流量に減らし、前記気密室の酸素濃度を前記所定の酸素濃度以下に保つ工程と、
前記反応室で処理された基板を前記反応室から前記所定の酸素濃度以下に保たれた前記気密室にアンロードするアンロード工程と、
を有することを特徴とする基板の処理方法。 - 前記アンロード工程前に、前記気密室内の酸素濃度が所定の酸素濃度以下であるか否かをチェックし、該酸素濃度が前記所定の酸素濃度よりも高いときは、前記アンロードすることを禁止することを特徴とする請求項2記載の基板の処理方法。
- 基板を基板支持部材に載置した状態で気密室から反応室へロードするロード工程と、
基板を基板支持部材に載置した状態で前記反応室内にて処理する基板処理工程と、
前記反応室で処理された基板を前記反応室から前記気密室にアンロードするアンロード工程とを有し、
前記基板処理工程では、不活性ガス流量可変手段が前記気密室内に導入する不活性ガスの流量を第一のガス流量とするか、または前記気密室内に導入する前記不活性ガスの導入を止めた状態から、前記不活性ガス流量可変手段が前記気密室内に導入する不活性ガスの流量を第二のガス流量に増やし、前記気密室の酸素濃度が所定の酸素濃度以下になったら、前記不活性ガスの流量を前記第二のガス流量から、前記第一のガス流量より大きい第三のガス流量に減らし、前記気密室の酸素濃度を前記所定の酸素濃度以下に保つことで前記ロード工程およびアンロード工程を可能とすることを特徴とする基板の処理方法。
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