TWI620699B - Substrate storage container - Google Patents

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TWI620699B
TWI620699B TW103130228A TW103130228A TWI620699B TW I620699 B TWI620699 B TW I620699B TW 103130228 A TW103130228 A TW 103130228A TW 103130228 A TW103130228 A TW 103130228A TW I620699 B TWI620699 B TW I620699B
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Takaharu Oyama
Tsuyoshi Nagashima
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Miraial Co Ltd
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Abstract

一種基板收納容器(1),包括容器主體(2)和蓋體(3)。容器主體(2)的開口周緣部(28)具有擁有相互相對的位置關係並與蓋體(3)相對形成的至少一對卡合凹部。蓋體(3)包括蓋體主體(30)和至少一對插銷構件(32),當容器主體開口部(21)被蓋體(3)封閉時,至少一對插銷構件(32)能在卡合位置與卡合解除位置之間移動,在卡合位置,至少一對插銷構件(32)通過分別與至少一對卡合凹部卡合,將蓋體主體(3)固定在容器主體(2)上,在卡合解除位置,通過解除插銷構件與卡合凹部的卡合而解除蓋體主體(30)相對於容器主體(2)的固定。當插銷構件(32)位於卡合位置時,通過至少一對插銷構件(32)的前端部(322)分別與形成至少一對卡合凹部的開口周緣部(28)的卡合凹部形成部(232A)抵接,使蓋體主體(30)從開口周緣部(28)分離。

Description

基板收納容器
本發明係關於一種用於收納半導體晶片等基板的基板收納容器。
以往,作為用於收納半導體晶片等基板的容器,具備容器主體和蓋體的結構的容器是眾所周知的。
容器主體具有一個端部形成有容器主體開口部且另一個端部封閉的筒狀壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍形成並可收納多個基板。蓋體相對於容器主體開口部可裝拆並可封閉容器主體開口部。在基板收納空間內,基板支承板狀部以成對的方式設置在壁部上。當容器主體開口部未被蓋體封閉時,基板支承板狀部能夠在使相鄰的基板以規定的間隔彼此分離且並列的狀態下支承多個基板的邊緣部。
在作為蓋體的一部分的、封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分上設置有前部保持構件。當容器主體開口部被蓋體封閉時,前部保持構件能夠支承多個基板的邊緣部。此外,後側基板支承部以與前部保持構件成對的方式設置在壁部上。後側基板支承部能夠支承多個基板的邊緣部。當容器主體開口部被蓋體封閉時,後側基板支承部通過與前部保持構件協作,支承多個基板,由此在以 規定的間隔使相鄰的基板彼此分離且並列的狀態下保持多個基板。
現有技術文獻
專利文獻1:國際公開第2013/025629號
為了能夠將蓋體插入容器主體開口部,在形成容器主體開口部的開口周緣部與封閉容器主體開口部的蓋體之間形成有微小的間隙。因此,當在用蓋體封閉容器主體開口部的狀態下輸送基板收納容器時,蓋體在容器主體開口部內稍微移動並與開口周緣部抵接,從而使得開口周緣部與蓋體互相摩擦。由此,會產生粉塵(產生顆粒)。
本發明的目的在於提供一種能夠防止因開口周緣部與蓋體摩擦而產生粉塵的基板收納容器。
本發明提供一種基板收納容器,其包括:容器主體,在內部形成有能收納多個基板的基板收納空間,並且在一個端部具有開口周緣部,該開口周緣部形成與該基板收納空間連通的容器主體開口部;以及蓋體,相對於該開口周緣部可裝拆,並能以被該開口周緣部包圍的位置關係封閉該容器主體開口部,該開口周緣部具有至少一對卡合凹部,該至少一對卡合凹部具有相互相對的位置關係並以與該蓋體相對的方式形成,該蓋體包括蓋體主體和至少一對插銷構件,當該容器主體開口部被該蓋體封閉時,該至少一對插銷構件能在卡合位置與卡合解除位置之間相對於該蓋體主體移動,當該至少一對插銷構件位於該卡合位置 時,該至少一對插銷構件分別與該至少一對卡合凹部卡合,由此將該蓋體主體固定在該容器主體上,當該至少一對插銷構件位於該卡合解除位置時,該插銷構件與該卡合凹部的卡合被解除,由此該蓋體主體相對於該容器主體的固定被解除,該至少一對插銷構件中的、與一方的插銷構件相對的另一方的插銷構件相對於該一方的插銷構件配置在上側,當該插銷構件位於該卡合位置時,該一方的插銷構件前端部與形成該至少一對卡合凹部中的一方的卡合凹部的該開口周緣部的卡合凹部形成部抵接,由此使該一方的插銷構件的前端部與該一方的卡合凹部的底部形成部抵接,在該一方的插銷構件將該蓋體主體推向上方後,該另一方的插銷構件的前端部與形成該另一方的卡合凹部的該開口周緣部的卡合凹部形成部抵接,由此使該另一方的插銷構件的前端部與該另一方的卡合凹部的底部形成部抵接,在該蓋體相對於該容器主體的該開口周緣部固定的狀態下,使該蓋體主體從該開口周緣部分離。
此外,較佳的是,該基板收納容器還包括插銷驅動部,該插銷驅動部由剛體構成,使該插銷構件在該卡合位置與該卡合解除位置之間移動,該插銷構件在該插銷構件的移動方向上能彈性地伸縮。
此外,較佳的是,該插銷構件的前端部在該插銷構件的移動方向上能彈性地伸縮。
此外,較佳的是,該插銷構件的前端部具有前端部通孔和周圍框部,該前端部通孔貫通該插銷構件的前端部, 該周圍框部位於該前端部通孔的周圍,包圍該前端部通孔,當該插銷構件位於該卡合位置時,該周圍框部與該卡合凹部形成部抵接。
此外,較佳的是,該插銷構件的前端部具有切口,該切口將作為該周圍框部的一部分的、當該插銷構件位於該卡合位置時與該卡合凹部形成部抵接的部分分成兩部分。
此外,較佳的是,該插銷構件具有:插銷構件主體部,由剛體構成;驅動部卡合部,由剛體構成,與該插銷驅動部卡合;以及彈性連接部,連接該插銷構件主體部和該驅動部卡合部,在該插銷構件的移動方向上能彈性地伸縮。
此外,較佳的是,該插銷構件具有插銷構件主體部和插銷前端部抵接部,該插銷前端部抵接部在該插銷構件的前端部從該插銷構件主體部突出,當該插銷構件位於該卡合位置時,與該卡合凹部形成部抵接,作為該插銷前端部抵接部的一部分的、與該卡合凹部形成部抵接的部分具有與作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷前端部抵接部抵接的部分一致的形狀。
此外,較佳的是,作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷構件的前端部抵接的部分是形成該卡合凹部的底部的部分。
此外,較佳的是,該蓋體為具有蓋體外側的面和蓋體內側的面的長方形狀的板狀,該卡合凹部的底部在與該蓋體外側的面或者該蓋體內側的面平行的截面上具有V形形狀,作為該插銷構件的前端部的一部分的、當該插銷構件 位於該卡合位置時與形成該卡合凹部底部的該卡合凹部形成部的部分抵接的部分具有與該卡合凹部的底部一致的V形端面。
此外,較佳的是,作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷構件的前端部抵接的部分是作為連接該卡合凹部的開口與底部的側壁的、具有從開口朝向底部直徑縮小的部分的側壁。
此外,較佳的是,作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷構件的前端部抵接的部分是形成該卡合凹部開口的部分。
按照本發明,能夠提供一種能夠防止因開口周緣部與蓋體摩擦而產生粉塵的基板收納容器。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器主體
3‧‧‧蓋體
21‧‧‧容器主體開口部
27‧‧‧基板收納空間
28‧‧‧開口周緣部
30‧‧‧蓋體主體
31‧‧‧插銷轉動構件(插銷驅動部)
32,32A,32B,32C,32D,32E,32F,32G,32H‧‧‧插銷臂(插銷構件)
230A,240A,230C,230D,230F,240C,240D‧‧‧底部
231A,231B,241A,241B,231C,231D,241C,241D,231F‧‧‧插銷卡合凹部(卡合凹部)
234F‧‧‧錐台形狀部
235H‧‧‧開口形成部
321E‧‧‧基端部(驅動部卡合部)
322,322A,322B,322C‧‧‧前端部
322D‧‧‧插銷前端部抵接部
322E,322F,322G,322H‧‧‧前端部
323E‧‧‧插銷臂主體部
331B,331G‧‧‧前端部通孔
332B,332G‧‧‧周圍框部
333C‧‧‧切口
335E‧‧‧彈性連接部
圖1為表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的立體圖。
圖2為表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的分解立體圖。
圖3為表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的插銷轉動構件31和插銷臂32的立體圖。
圖4A為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體3可從開口周緣部28上取下狀態時的、插銷轉動構件31和插銷臂32狀態的主視圖。
圖4B為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體主體30固定在開口周緣部28上的狀態時的、插銷 轉動構件31和插銷臂32狀態的主視圖。
圖5A為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體3可從開口周緣部28上取下狀態的剖視圖。
圖5B為表示由圖5A的雙點劃線A包圍部分的放大剖視圖。
圖5C為表示由圖5A的雙點劃線B包圍部分的放大剖視圖。
圖6A為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體主體30固定在開口周緣部28上的狀態的剖視圖。
圖6B為表示由圖6A的雙點劃線C包圍部分的放大剖視圖。
圖6C為表示由圖6A的雙點劃線D包圍部分的放大剖視圖。
圖7為表示本發明第二實施方式的基板收納容器1A的插銷臂32A的立體圖。
圖8為表示本發明第二實施方式的基板收納容器1A的剖視圖。
圖9為表示本發明第三實施方式的基板收納容器的插銷臂32B的立體圖。
圖10為表示本發明第四實施方式的基板收納容器的插銷臂32C的立體圖。
圖11為表示本發明第五實施方式的基板收納容器的插銷臂32D的立體圖。
圖12為表示本發明第六實施方式的基板收納容器的 插銷臂32E的立體圖。
圖13為表示本發明第七實施方式的基板收納容器的插銷臂32F的前端部322F與卡合凹部231F卡合狀態的主要部分的示意剖視圖。
圖14為表示本發明第八實施方式的基板收納容器的插銷臂32G的前端部322G與卡合凹部231F卡合狀態的主要部分的示意剖視圖。
圖15為表示本發明第九實施方式的基板收納容器的插銷臂32H的前端部322H與卡合凹部231A卡合狀態的主要部分的示意剖視圖。
下面,參照圖式對本發明第一實施方式的基板收納容器1進行說明。圖1為表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的立體圖。圖2為表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的分解立體圖。圖3為表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的插銷轉動構件31和插銷臂32的立體圖。圖4A為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體3可從開口周緣部28上取下狀態時的、插銷轉動構件31和插銷臂32狀態的主視圖。圖4B為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體主體30固定在開口周緣部28上的狀態時的、插銷轉動構件31和插銷臂32狀態的主視圖。
圖5A為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體3可從開口周緣部28上取下狀態的剖視圖。圖5B 為表示由圖5A的雙點劃線A包圍部分的放大剖視圖。圖5C為表示由圖5A的雙點劃線B包圍部分的放大剖視圖。圖6A為表示在本發明第一實施方式的基板收納容器1中蓋體主體30固定在開口周緣部28上的狀態的剖視圖。圖6B為表示由圖6A的雙點劃線C包圍部分的放大剖視圖。圖6C為表示由圖6A的雙點劃線D包圍部分的放大剖視圖。
在此,為了說明的方便,將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向(圖1中的左下方向)定義為向前方向D11,將其相反的方向定義為向後方向D12,並將它們定義為前後方向D1。此外,將從後述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的向上方向)定義為向上方向D21,將其相反的方向定義為向下方向D22,並將它們定義為上下方向D2。此外,將從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向(圖1中的左上方向)定義為向左方向D31,將其相反的方向定義為向右方向D32,並將它們定義為左右方向D3。
此外,收納於基板收納容器1中的基板(未圖示)為圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等用於工業的薄基板。本實施方式中的基板為直徑300mm至450mm的矽晶片。
如圖1、圖2所示,基板收納容器1具有容器主體2和蓋體3。容器主體2具有一個端部形成有容器主體開口部21且另一個端部封閉的筒狀壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。通過由壁部20的內側的面構成 的主體內側的面包圍而形成基板收納空間27。作為壁部20的一部分的、形成基板收納空間27的部分上配置有基板支承板狀部5。在基板收納空間27中能收納多個基板。
在基板收納空間27內,基板支承板狀部5以在左右方向D3上成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21未被蓋體3封閉時,基板支承板狀部5能夠以使相鄰的基板彼此以規定的間隔分離且並列的狀態支承多個基板的邊緣部。在基板支承板狀部5的後側設置有後側基板支承部6(參照圖5A等)。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時,後側基板支承部6能夠支承多個基板邊緣部的後部。
蓋體3相對於容器主體開口部21可裝拆,並能夠封閉容器主體開口部21。當蓋體3封閉容器主體開口部21時,蓋體內側的面(圖1所示的蓋體3的背面一側的面)與容器主體2的內側的面(由容器主體2的內側的面構成的主體內側的面)一起形成基板收納空間27。在作為蓋體3的一部分的、當容器主體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27相對的部分(蓋體內側的面)上設置有前部保持構件7。前部保持構件7以與後側基板支承部6成對的方式配置。
當容器主體開口部21被蓋體3封閉時,前部保持構件7能夠支承多個基板邊緣部的前部。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時,前部保持構件7通過與後側基板支承部6協作來支承多個基板,由此以使相鄰的基板彼此以規定的間隔分離且並列的狀態保持多個基板。下面,對各部分詳細地進行說明。
如圖1至圖2所示,容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由塑膠材料等構成,在第一實施方式中,後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由聚碳酸酯一體成型。
第一側壁25與第二側壁26相對,上壁23與下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端和第二側壁26的後端全都與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端和第二側壁26的前端構成開口周緣部28,開口周緣部28形成容器主體開口部21,容器主體開口部21具有與後壁22相對的位置關係,為大致長方形。
開口周緣部28設置在由壁部20構成的容器主體2的一個端部,後壁22位於容器主體2的另一個端部。由壁部20外側的面形成的容器主體2的外形為箱形。構成主體內側的面的壁部20的內側的面、亦即後壁22的內側的面、上壁23的內側的面、下壁24的內側的面、第一側壁25的內側的面和第二側壁26的內側的面形成被這些內側的面包圍的基板收納空間27。由開口周緣部28形成的容器主體開口部21與被壁部20包圍且形成於容器主體2內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中,以基板的上面與下面呈大致水準的位置關係最大能夠收納25個基板。
如圖1、圖2、圖5C所示,由上壁23和下壁24構成 的開口周緣部28的部分具有作為卡合凹部的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B,該插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B是通過朝向基板收納空間27外側凹陷而形成的。插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B以在上壁23和下壁24的左右兩端附近各一個的方式,形成有兩對共計四個,並且在上下方向D2上具有相互相對的位置關係。因此,當蓋體3安裝在開口周緣部28上時,插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B與蓋體3相對。形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的開口周緣部28的一部分構成卡合凹部形成部。
在上壁23的外側的面上,以與上壁23一體成型的方式設置有凸緣固定部(未圖示)。凸緣固定部(未圖示)配置在上壁23的中央部。如圖1、圖2所示,在凸緣固定部(未圖示)上固定有上端凸緣236。上端凸緣236配置在上壁23的中央部。當在AMHS(自動晶片輸送系統)或者PGV(晶片基板輸送台車)等中懸吊基板收納容器1時,上端凸緣236掛在作為懸吊構件的該的機械的臂(未圖示)上,由此,基板收納容器1懸吊在臂上。此外,為了方便起見,在圖5A、圖6A中省略了凸緣固定部和上端凸緣236的圖示。
如圖1所示,蓋體3為與容器主體2的開口周緣部28的形狀大致一致的大致長方形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可裝拆,通過將蓋體3安裝在開口周緣部28上,蓋體3能夠以被開口周緣部28包圍的位置關係封閉容器主體開口部21。如圖5A等所示,蓋體3具有蓋 體主體30(參照圖5A等)。
蓋體主體30具有為大致長方形板狀的內側板狀部301、大致長方形板狀的外側板狀部302和周壁部303。內側板狀部301的向後方向D12一側的面構成蓋體內側的面,當容器主體開口部21被蓋體3封閉時,與容器主體內側的面一起形成基板收納空間27。在內側板狀部301(參照圖5A等)的周緣部上設置有周壁部303,該周壁部303以包圍該周緣部一周的方式沿著該周緣部,向作為與內側板狀部301的蓋體內側的面垂直的方向的向前方向D11延伸。內側板狀部301與周壁部303由聚碳酸酯一體成型。
在向前方向D11上的周壁部303的伸出端部上配置有外側板狀部302。在外側板狀部302的周緣被周壁部303包圍的狀態下,外側板狀部302固定在內側板狀部301上。通過這種結構,如圖5A等所示,由內側板狀部301、周壁部303和外側板狀部302構成箱形的構造,形成被內側板狀部301、周壁部303和外側板狀部302包圍的蓋體內部空間304。此外,外側板狀部302的向前方向D11一側的面構成蓋體外側的面。因此,蓋體3作為整體,為具有蓋體外側的面和蓋體內側的面的大致長方形板狀(薄長方體形狀)。
在構成蓋體主體30的內側板狀部301的周向邊緣上安裝有環狀的密封構件4。密封構件4以繞蓋體主體30周壁部303一周的方式配置。密封構件4為可彈性變形的聚酯類、聚烯烴類等各種熱塑性彈性體、氟橡膠制的、矽橡膠 制的、等等。
當蓋體3安裝在開口周緣部28上時,密封構件4由於被形成在容器主體2上的臺階部201(參照圖2)與蓋體主體30內側的面夾持而彈性變形。也就是說,通過使密封構件4介於蓋體3與容器主體2之間,在蓋體主體30與開口周緣部28互相不抵接而分離的狀態下,蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部28上取下蓋體3,能夠使基板進出容器主體2內的基板收納空間27。
如圖5A等所示,在蓋體主體30的蓋體內部空間304中設置有插銷機構,該插銷機構具有作為插銷驅動部的插銷轉動構件31和作為插銷構件的插銷臂32。插銷機構在蓋體內部空間304中配置在偏向向左方向D31的位置和偏向向右方向D32的位置上。插銷臂32在上下方向D2上以成對的方式合計配置有兩對。如圖3所示,一對插銷臂32的基端部321分別與作為插銷驅動部的插銷轉動構件31卡合。插銷臂32從與插銷轉動構件31卡合的插銷臂32的基端部321分別朝向上方向D21和向下方向D22延伸。
更為具體而言,插銷轉動構件31由主要成分為POM(聚縮醛)的樹脂一體成型。因此,插銷轉動構件31由剛體構成,如後該地,當插銷臂32在卡合位置與卡合解除位置之間移動時,當從插銷臂32施加的反作用力等時,該剛體幾乎不彈性變形。插銷轉動構件31具有圓形狀部311,並且以能將圓形狀部311的中心作為轉動軸心轉動的方式支承在蓋體主體30的內側板狀部301(參照圖5A等) 上。雖然插銷轉動構件31能夠以這種方式轉動,但以不能朝上下方向D2和左右方向D3移動的方式支承在內側板狀部301上。在圓形狀部311周向邊緣附近的位置上,以點對稱的位置關係形成有一對長孔312,該長孔312為大致沿著周向邊緣的、圓形狀部311的圓心角為大體90°的弧狀。
如圖4A等所示,在長孔312中,從圓形狀部311的中心到長孔312的直線距離因長孔312的位置不同而不同。例如,從圓形狀部311的中心到長孔312的順時針方向上的端部的直線距離採用最大值。此外,從圓形狀部311的中心到長孔312的逆時針方向上的端部的直線距離採用最小值。在插銷轉動構件31的中央部,形成有呈直線狀的凹陷的直線狀凹部313。在直線狀凹部313中可卡合直線狀凸部,該直線狀凸部設置在用於對蓋體3進行開閉的裝置(未圖示)的臂的前端上。通過在該直線狀凸部(未圖示)與直線狀凹部313卡合的狀態下使臂(未圖示)轉動,能夠使插銷轉動構件31轉動。通過使插銷轉動構件轉動,由於從圓形狀部311的中心到長孔312的直線距離不同,所以如後該地,插銷轉動構件31能夠使插銷臂32在卡合位置與卡合解除位置之間移動。
此外,在插銷轉動構件31的周緣部上設置有彈性突出部314。彈性突出部314由以部分地覆蓋形成在插銷轉動構件31周緣部上的切口的方式形成的、在插銷轉動構件31周向上延伸的構件構成,並且該構件的一部分朝向插銷 轉動構件31半徑方向的外側突出。當圓柱狀的凸部325位於長孔312的順時針方向或者逆時針方向上的端部時,彈性突出部314能夠與形成在外側板狀部302上的卡合部(未圖示)卡合,並且由於該卡合,插銷轉動構件31成為暫時難以轉動的狀態。當插銷臂32位於卡合位置以外的位置時,彈性突出部314尤其不與外側板狀部302的一部分卡合,插銷轉動構件31處於能夠容易轉動的狀態。
當容器主體開口部21被蓋體3封閉時,兩對插銷臂32能夠在卡合位置與卡合解除位置之間相對於蓋體主體30移動,當兩對插銷臂32位於該卡合位置時,通過兩對插銷臂32分別與在上下方向D2上成對的兩對插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B卡合而將蓋體主體30固定在容器主體2上,當兩對插銷臂32位於該卡合解除位置時,兩對插銷臂32與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的卡合被解除,由此蓋體主體30相對於容器主體2的固定被解除。
具體而言,一對插銷臂32相對於通過插銷轉動構件31的轉動軸心且與左右方向D3和前後方向D1平行的面具有對稱形狀。因此,僅對一方的插銷臂32進行說明,在沒有特別必要的情況下,對另一方的插銷臂32省略說明。
如圖4A、圖4B所示,插銷臂32在主視圖中為大致長方形狀。如圖3所示,插銷臂32具有基端部321、前端部322和插銷臂主體部323,並且這些部分均由主要成分為PBT(聚對苯二甲酸丁二醇酯)的樹脂一體成型。位於插 銷轉動構件31的向下方向D22一側的插銷臂32的基端部321具有基部伸出部324,該基部伸出部324從插銷臂主體部323的向左方向D31一側的部分朝向上方向D21延伸。如圖4A等所示,在基部伸出部324的伸出端部上設置有朝向前方向D11延伸的圓柱狀的凸部325。圓柱狀的凸部325分別與插銷轉動構件31的一對長孔312中的一個卡合,並能夠在長孔312內相對於長孔312移動。
如圖4A所示,當圓柱狀的凸部325位於長孔312的逆時針方向上的端部時,插銷臂32位於卡合解除位置。此時,插銷臂32的前端部322成為未從形成在構成蓋體3上邊的周緣部303上的通孔303A、303B(參照圖5A、圖5C等)分別朝向上方向D21和向下方向D22突出的狀態。如圖4B所示,當圓柱狀的凸部325位於長孔312的順時針方向上的端部時,插銷臂32位於卡合位置。此時,如圖2、圖6B、圖6C所示,插銷臂32的前端部322從形成在構成蓋體3上邊的周壁部303上的通孔303A、303B朝向上方向D21和向下方向D22突出。
此外,如圖3所示,在插銷臂主體部323上設置有從插銷臂32的基端部321附近一直延伸到前端部322附近的、向前方突出的多個肋326。此外,在插銷臂主體部323上形成有被導向凸部327,該被導向凸部327以每兩個的方式形成,共計形成有四個,該被導向凸部327分別朝作為與插銷臂32的移動方向垂直的方向的向左方向D31和向右方向D32突出。被導向凸部327與形成在蓋體主體30 上的導向部(未圖示)卡合,由此,插銷臂32以可朝上下方向D2移動的方式支承在蓋體主體30的內側板狀部301上。通過使被導向凸部327被導向部(未圖示)引導,插銷臂32沿上下方向D2移動。通過這種結構,插銷臂32在卡合位置與卡合解除位置之間移動。
此外,如圖4A所示,插銷臂32的前端部322的端緣為在左右方向D3上延伸的直線狀。插銷臂32在長邊方向(上下方向D2)上具有下述程度的長度:如圖4B所示,當圓柱狀的凸部325位於順時針方向上的長孔312的端部時,即,插銷臂32位於卡合位置時,如圖6A至圖6C所示,一對插銷臂32的前端部322與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B卡合且同時與形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的底部230A、240A等的、卡合凹部形成部的一部分(以下稱為“底部形成部232A”)抵接。
在構成蓋體3的蓋體內側的面的內側板狀部301的部分上形成有朝基板收納空間27的外側(向前方向D11)凹陷的凹部(未圖示)。在凹部(未圖示)固定設置有前部保持構件7。
前部保持構件7具有前部保持構件基板承接部。前部保持構件基板承接部在左右方向D3上以規定的間隔分離且以成對的方式每兩個地配置。以成對的方式每兩個地配置的前部保持構件基板承接部,以25對並列的狀態設置在上下方向D2上。通過在基板收納空間27內收納基板並關閉蓋體3,前部保持構件基板承接部夾持並支承基板邊緣 部的端緣。
在上述結構的基板收納容器1中,通過以下的方式將蓋體3固定在容器主體2的開口周緣部28上。如圖4A所示,首先,使插銷轉動構件31轉動,由此使圓柱狀的凸部325成為位於逆時針方向上的長孔312的端部的狀態。由此,插銷臂32的前端部322成為未從形成在構成蓋體3的上邊和下邊的周壁部303上的通孔303A、303B分別朝向上方向D21和向下方向D22突出的狀態。此時,插銷臂32位於卡合解除位置。如圖5A所示,維持該狀態並將蓋體3安裝到開口周緣部28上。
此時,如圖5B所示,上側的蓋體3的周壁部303的部分隔著間隙S1從容器主體2的開口周緣部28分離,如圖5C所示,下側的蓋體3的周壁部303的部分與容器主體2的開口周緣部28抵接。
接著,使設置於用於開閉蓋體3的裝置(未圖示)的臂的前端的直線狀凸部與插銷轉動構件31的直線狀凹部313(參照圖4A等)卡合,並使該臂轉動,由此使插銷轉動構件31轉動。於是,插銷臂32的基端部321的凸部在插銷轉動構件31的長孔312內相對於長孔312相對地移動,由此,插銷轉動構件31的上側的插銷臂32朝向上方向D21移動,同時插銷轉動構件31下側的插銷臂32朝向下方向D22移動。此時,插銷臂32的前端部322成為從形成在構成蓋體3的上邊和下邊的周壁部303上的通孔303A和通孔303B分別朝向上方向D21和向下方向D22突出的狀 態。於是,如圖4B所示,由於圓柱狀的凸部325位於順時針方向上的長孔312的端部,插銷臂32位於卡合位置,並且,如圖6A~6C所示,插銷臂32的前端部322與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B卡合併與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的底部形成部232A、242A、底部形成部(未圖示)抵接。
此時,更為詳細地,首先,下側的插銷臂32的前端部322與插銷卡合凹部241A、241B的底部形成部242A、底部形成部(未圖示)抵接。由此,蓋體主體30被朝向上方向D21推,如圖6C所示,蓋體3的下側的周壁部303的部分隔著間隙S2從容器主體2的開口周壁部28分離。接著,通過上側的插銷臂32的前端部322與插銷卡合凹部231A、231B的底部形成部232A、底部形成部(未圖示)抵接,使插銷臂32處於卡合位置。通過這種方式,當插銷臂32位於卡合位置時,蓋體3的下側的周壁部303的部分隔著間隙S2從容器主體2的開口周壁部28分離,並且如圖6B所示,蓋體3的上側的周壁部303的部分也隔著間隙S2從容器主體2的開口周壁部28分離。
如此,通過上側的插銷臂32從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出而與容器主體2的插銷卡合凹部231A、231B卡合,並且下側的插銷臂32從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出而與容器主體2的插銷卡合凹部241A、241B卡合,由此使蓋體3固定在容器主體2的開口周緣部28上。
按照上述實施方式的基板收納容器1,能夠獲得以下 的效果。基板收納容器1包括容器主體2和蓋體3,該容器主體2在內部形成有能收納多個基板的基板收納空間27,並在一個端部具有開口周緣部28,該開口周緣部28形成與基板收納空間27連通的容器主體開口部21,該蓋體3相對於開口周緣部28可裝拆,並能夠以被開口周緣部28包圍的位置關係封閉容器主體開口部21。開口周緣部28具有擁有相互相對的位置關係且與蓋體3相對形成的兩對插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B。蓋體3包括蓋體主體30和至少一對插銷構件(插銷臂32),該至少一對插銷構件(插銷臂32)能夠在卡合位置與卡合解除位置之間移動,在該至少一對插銷構件(插銷臂32)位於卡合位置時,當容器主體開口部21被蓋體3封閉時,該至少一對插銷構件(插銷臂32)分別與至少一對插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B卡合而將蓋體主體30固定在容器主體2上,當該至少一對插銷構件(插銷臂32)位於卡合解除位置時,該至少一對插銷構件(插銷臂32)與卡合凹部231A、231B、241A、241B的卡合被解除,由此蓋體主體30相對於容器主體2的固定被解除。此外,當插銷臂32位於卡合位置時,至少一對插銷臂321的前端部322分別與至少一對插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的底部形成部232A、242A、底部形成部(未圖示)抵接,由此使蓋體主體30從形成容器主體開口部21的開口周緣部28分離。
即,按照上述結構,當插銷臂32位於卡合位置時,能夠使蓋體3的下側的周壁部303的部分從容器主體2的開 口周壁部28分離,並且也能夠使蓋體3的上側的周壁部303的部分從容器主體2的開口周壁部28分離。因此,當輸送基板收納容器1時,能夠防止蓋體3的下側的周壁部303的部分與容器主體2的開口周壁部28摩擦,從而能夠防止因摩擦產生粉塵(產生顆粒)。
下面,參照圖7至圖8對本發明第二實施方式的基板收納容器進行說明。圖7為表示本發明第二實施方式的基板收納容器1A的插銷臂32A的立體圖。圖8為表示本發明第二實施方式的基板收納容器1A的剖視圖。在第二實施方式中,如圖7所示,在插銷臂32A的前端部322A具有V形端面這一點、以及如圖8所示的插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部230C、230D、240C、240D具有與插銷臂32A前端部322A的V形端面一致的V形底面這一點上,與第一實施方式的插銷臂32的前端部322不同。由於除此以外的結構與第一實施方式的結構相同,因此省略了說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
如圖8所示,基板收納容器1A的容器主體2A的插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部230C、230D、240C、240D在與蓋體外側的面或者蓋體內側的面平行的截面(與上下方向D2和左右方向D3平行的截面)上,分別具有V形形狀。V形的底部230C、230D、240C、240D分別以朝離開插銷轉動構件31的方向(向上方向D21或者向下方向D22)凹陷的方式形成。
如圖8所示,作為蓋體3A的插銷臂32A的前端部322A的一部分的、當插銷臂32A位於卡合位置時與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接的部分,具有V形的端面。V形的端面朝向從插銷轉動構件31離開的方向突出,並具有與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部230C、230D、240C、240D一致的形狀。V形的端面具有前端碰撞部面328A和一對偏移防止面329A。前端碰撞部面328A由左右方向D3上的V形端面中央部分的面構成。一對偏移防止面329A位於前端碰撞部面328A的大致左右方向D3上的兩側。前端碰撞部面328A與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的V形底面的最深部分卡合。一對偏移防止面329A能分別與形成插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的V形底面的底部形成部232C、232D、242C、242D面抵接。
按照上述結構的第二實施方式的基板收納容器1A,能夠獲得以下的效果。插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部230C、230D、240C、240D在與蓋體外側的面或者蓋體內側的面平行的截面(與上下方向D2和左右方向D3平行的截面)上具有V形形狀。此外,作為插銷構件的插銷臂32A的前端部322A的一部分的、當插銷臂32A位於卡合位置時與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接的部分,具有與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部230C、 230D、240C、240D一致的V形端面。
按照這種結構,在與蓋體外側的面或者蓋體內側的面平行的方向(與上下方向D2和左右方向D3平行的方向)上,能夠相對於插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D對插銷臂32A進行定位,在同一方向上,能夠抑制插銷臂32A相對於插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D產生位置偏移。
下面,參照圖9對本發明第三實施方式的基板收納容器進行說明。圖9為表示本發明第三實施方式的基板收納容器的插銷臂32B的立體圖。在第三實施方式中,如圖9所示,在插銷臂32B的前端部322B具有前端部通孔331B這一點上與第二實施方式的插銷臂32A的前端部322A不同。由於除此以外的結構與第二實施方式的結構相同,因此省略了說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
插銷臂32B的前端部322B具有前端部通孔331B和周圍框部332B。前端部通孔331B在前後方向D1上貫通插銷臂32B的前端部322B。周圍框部332B位於前端部通孔331B的周邊,構成包圍前端部通孔331B的框。當插銷臂32B位於卡合位置時,周圍框部332B與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D(參照圖8)抵接。周圍框部332B與第二實施方式的作為插銷臂32A的前端部322A的一部分的、當插銷臂32A位於卡合位置時與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D 的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接的部分具有同樣的V形端面。
周圍框部332B以與插銷臂主體部323一體成型的方式與插銷臂主體部323連接,由於周圍框部332B由厚度比插銷臂主體部323薄的框部構成,所以在插銷臂32B的移動方向(上下方向D2)上能彈性地變形。因此,插銷臂32B的前端部322B在插銷臂32B的移動方向上能彈性地伸縮。
按照上述結構的第三實施方式的基板收納容器,能夠獲得以下的效果,基板收納容器1包括作為插銷驅動部的插銷轉動構件31,該插銷驅動部由剛體構成並使作為插銷構件的插銷臂32B在卡合位置與卡合解除位置之間移動。
此外,插銷臂32B的前端部322B具有貫通插銷臂32B的前端部322B的前端部通孔331B、以及周圍框部332B,該周圍框部332B位於前端部通孔331B周邊且包圍前端部通孔331B,在插銷臂32B位於卡合位置時與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D(參照圖8)抵接。
按照該結構,能夠使插銷臂32B的前端部322B在插銷臂32B的移動方向上彈性地伸縮。因此,能夠防止下述不利情況的產生,該不利情況是:當插銷臂32B位於卡合位置時,由於微小的尺寸誤差,使成對的插銷臂32B中的一方的插銷臂32B的前端部322B與插銷卡合凹部231C、231D的底部形成部232C、232D抵接、而另一方的插銷臂32B的前端部322B未與插銷卡合凹部241C、241D的底部 形成部242C、242D抵接。結果是,本實施方式能夠可靠地使成對的兩方的插銷臂32B的前端部322B與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接。
下面,參照圖10對本發明第四實施方式的基板收納容器進行說明。圖10為表示本發明第四實施方式的基板收納容器的插銷臂32C的立體圖。在第四實施方式中,如圖10所示,在插銷臂32C的前端部322C具有將周圍框部332C分成兩部分的切口333C這一點上與第三實施方式的插銷臂32B的前端部322B不同。由於除此以外的結構與第三實施方式的結構相同,因此省略了說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
在作為構成插銷臂32C的前端部322C的周圍框部332C的一部分的、當插銷臂32C位於卡合位置時與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的V形的底部形成部232C、232D、242C、242D(參照圖8)的最深部分抵接的部分上,形成有將該部分分成兩部分的切口333C。切口333C形成在相當於第三實施方式的前端碰撞部面328B的部分上。由於切口333C的存在,周圍框部332C左側的部分與右側的部分隔著切口333C分離。
按照上述結構的第四實施方式的基板收納容器,能夠獲得以下的效果。作為插銷構件的插銷臂32C的前端部322C具有切口333C,該切口333C將作為周圍框部332C的一部分的、當插銷臂32C位於卡合位置時與插銷卡合凹 部231C、231D、241C、241D(參照圖8)的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接的部分分成兩部分。因此,能夠使在插銷臂32C的移動方向上能彈性地伸縮的插銷臂32C的前端部322C在相同方向上能夠以更具有彈性的方式伸縮。
下面,參照圖11對本發明第五實施方式的基板收納容器進行說明。圖11為表示本發明第五實施方式的基板收納容器的插銷臂32D的立體圖。在第五實施方式中,在插銷臂32D具有插銷臂主體部323D和插銷前端部抵接部322D這一點上、以及插銷臂主體部323D前端的部分具有大致三角形的三角形狀部3231D這一點上與第一實施方式的插銷臂32不同。由於除此以外的結構與第一實施方式的結構相同,因此省略了說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
插銷臂主體部323D前端的部分具有大致三角形的三角形狀部3231D,並以從插銷轉動構件31分離的方式突出。在大致三角形的三角形狀部3231D中最突出的頂角部分上,以與插銷臂主體部323D的大致三角形的三角形狀部3231D一體成型的方式連接有插銷前端部抵接部322D。插銷前端部抵接部322D具有碰撞部328D和偏移防止部329D。
碰撞部328D以從插銷轉動構件31分離的方式從插銷臂主體部323D的大致三角形的三角形狀部3231D的頂角細小地突出。偏移防止部329D設置有一對,並且偏移防 止部329D的一個端部以與碰撞部328D一體成型的方式與碰撞部328D連接。隨著靠近偏移防止部329D的另一個端部,偏移防止部329D分別沿著插銷臂主體部323D前端的大致三角形的三角形狀部3231D的兩個斜邊延伸到相當於左右方向D3上的插銷臂主體部323D端緣的位置。因此,一對偏移防止部329D分別構成懸臂彈簧並能夠容易地變形。
作為插銷前端部抵接部322D的一部分的、與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D(參照圖8)抵接的部分亦即相當於插銷臂32D前端端面的碰撞部328D的端面和偏移防止部329D的端面,具有與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D(參照圖8)一致的形狀。
按照上述結構的第五實施方式的基板收納容器,能夠獲得以下的效果。插銷臂32D具有插銷臂主體部323D和插銷前端部抵接部322D,該插銷前端部抵接部322D在插銷臂32D的前端部從插銷臂主體部323D突出且當插銷臂32D位於卡合位置時與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D(參照圖8)的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接。作為插銷前端部抵接部322D的一部分的、與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、242D抵接的部分,具有與插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底部形成部232C、232D、242C、 242D一致的形狀。
按照這種結構,能夠由碰撞部328D和從碰撞部328D延伸而構成懸臂彈簧的偏移防止部329D構成插銷前端部抵接部322D,從而能夠在能更柔軟地追隨插銷卡合凹部231C、231D、241C、241D的底面的狀態下抵接。
下面,參照圖12對本發明第六實施方式的基板收納容器進行說明。圖12為表示本發明第六實施方式的基板收納容器的插銷臂32E的立體圖。在第六實施方式中,在具有用於連接插銷臂主體部323E和作為驅動部卡合部的插銷臂32E的基端部321E的彈性連接部335E這一點上,與第二實施方式的插銷臂32A不同。由於除此以外的結構與第二實施方式的結構相同,因此省略了說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
插銷臂32E具有相互一體成型的基端部321E、前端部322A以及插銷臂主體部323E。此外,插銷臂32E具有彈性連接部335E。彈性連接部335E連接插銷臂主體部323E與驅動部卡合部,彈性連接部335E在插銷臂32E的移動方向上能彈性地伸縮。
具體而言,與第一實施方式同樣地,插銷臂32E的基端部321E具有圓柱狀的凸部325和基部伸出部324。基部伸出部324以與在左右方向上延伸的基端部左右伸出部326E一體成型的方式與基端部左右伸出部326E連接。通過使插銷臂主體部323E的向下方向D22一側上的端部和基端部左右伸出部326E與彈性連接部335E一體成型,從 而使這些構件互相連接。彈性連接部335E的厚度遠遠薄於基端部左右伸出部326E和插銷臂主體部323E的向下方向D22一側的端部。彈性連接部335E中途的部分以朝向前後方向D1的波狀的方式彎曲。而與此相對,插銷臂主體部323E的向下方向D22一側的端部和基端部左右伸出部326E,由當插銷臂32E在卡合位置與卡合解除位置之間移動時幾乎不彈性變形的剛體構成。
按照上述結構的第六實施方式的基板收納容器,能夠獲得以下的效果。作為插銷構件的插銷臂32E具有由剛體構成的插銷臂主體部323E、作為驅動部卡合部的基端部321E以及彈性連接部335E,該驅動部卡合部由剛體構成並與作為插銷驅動部的插銷轉動構件31卡合,該彈性連接部335E連接插銷臂主體部323E和基端部321E。按照該結構,能夠使作為插銷構件的插銷臂32E在插銷臂32E的移動方向(上下方向D2)上能彈性地伸縮。
下面,參照圖13對本發明第七實施方式的基板收納容器進行說明。圖13為表示本發明第七實施方式的基板收納容器的插銷臂32F前端部322F與卡合凹部231F卡合狀態的主要部分的示意剖視圖。第七實施方式的插銷臂32F的前端部322F的形狀、卡合凹部231F的形狀與第一實施方式的插銷臂32的前端部322的形狀、卡合凹部231A的形狀不同。由於除此以外的結構與第一實施方式的結構相同,因此省略了說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
如圖13所示,卡合凹部231F的開口236F和底部230F由側壁連接,該側壁具有構成卡合凹部形成部的垂直部分233F和錐台形狀部234F,該卡合凹部形成部形成卡合凹部231F。即,側壁的錐台形狀部234F構成從開口236F朝向底部230F直徑縮小的部分。具體而言,錐台形狀部234F從開口236F朝向底部230F延伸到規定的深度。在錐台形狀部234F中,卡合凹部231F的寬度在左右方向D3上逐漸變窄。此外,錐台形狀部234F的下端和底部形成部232F由垂直部分233F連接,該垂直部分233F具有在左右方向D3上的卡合凹部231F的寬度成為一定的形狀。
插銷臂32F的前端部322F具有插銷側錐台形狀部332F。插銷側錐台形狀部332F位於比插銷臂32F的前端328F更靠插銷臂32F的基部(向下方向D22)的位置。當插銷臂32F位於卡合位置時,插銷側錐台形狀部332F的錐臺面,通過面與錐台形狀部234F的錐臺面抵接。此時,插銷臂32F的前端328F不與卡合凹部231F的底部形成部232F抵接。
下面,參照圖14對本發明第八實施方式的基板收納容器進行說明。圖14為表示本發明第八實施方式的基板收納容器的插銷臂32G的前端部322G與卡合凹部231F卡合狀態的主要部分示意剖視圖。在第八實施方式的插銷臂32G的前端部322G具有與第三實施方式的前端部通孔331B同樣的前端部通孔331G這一點上,與第七實施方式的插銷臂32F的前端部322F不同。由於除此以外的結構與第七 實施方式的結構相同,因此省略說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
與第三實施方式的插銷臂32B的前端部322B同樣地,插銷臂32G的前端部322G具有前端部通孔331G和周圍框部332G。前端部通孔331G在前後方向D1上貫通插銷臂32G的前端部322G。周圍框部332G具有插銷側錐台形狀部334G,該插銷側錐台形狀部334G在比構成插銷臂32G的前端328G的部分更靠基部一側的部分,與錐台形狀部234F的錐臺面抵接。因此,當插銷臂32G位於卡合位置時,插銷臂32G的前端328G不與卡合凹部231F的底部形成部232F抵接。
按照上述結構的第八實施方式的基板收納容器,插銷臂32G的前端部322G具有前端部通孔331G和周圍框部332G,該前端部通孔331G貫通插銷臂32G的前端部322G,當插銷臂32G位於卡合位置時,該周圍框部332G與錐台形狀部234F的錐臺面抵接。按照該結構,能夠使插銷臂32G的前端部322G在插銷臂32G的移動方向上能彈性地伸縮。
下面,參照圖15對本發明第九實施方式的基板收納容器進行說明。圖15為表示本發明第九實施方式的基板收納容器的插銷臂32H的前端部322H與卡合凹部231A卡合狀態的主要部分示意剖視圖。第九實施方式的插銷臂32H的前端部322H在具有與作為形成卡合凹部的開口236A的卡合凹部形成部的一部分的開口形成部235A的部分抵接 的彈性構件332H這一點上,與第一實施方式的插銷臂32的前端部322不同。由於除此以外的結構與第一實施方式的結構相同,因此省略說明。對於相同的構件賦予相同的附圖標記進行說明。
插銷臂32H的前端部322H具有變細部334H和彈性構件332H。變細部334H在插銷臂32H的前端部322H變細。比變細部334H更靠插銷臂32H的前端一側(向上方向D21一側)的部分在左右方向D3上寬度小於插銷臂32H的基部一側(向下方向D22一側)的部分。彈性構件332H以相同的材質且以較薄的厚度與插銷臂32H一體成型,或通過與插銷臂32H不同材質的橡膠等嵌入構成,彈性構件332H配置於變細部334H。彈性構件332H具有環狀,並以環繞變細部334H一周的方式安裝在變細部334H上。當插銷臂32H位於卡合位置時,比變細部334H更靠插銷臂32H的基部一側的部分通過彈性構件332H與形成開口236A的開口形成部235A抵接。此時,插銷臂32H的前端328H不與卡合凹部231A的底部形成部232A抵接。
本發明並不限於上述的實施方式,在權利要求書的技術範圍內可以進行變形。例如當圓柱狀的凸部325位於長孔312的順時針方向或者逆時針方向上的端部時,作為插銷驅動部的插銷轉動構件31成為暫時難以轉動的結構,並不限於上述實施方式的結構。具體而言,如圖4B所示,當圓柱狀的凸部325位於順時針方向上的長孔312的端部時,也可以在該長孔312的端部形成圓柱狀的凸部325可 卡合的、朝向插銷轉動構件31的圓形狀部311中心方向凹陷的凹部。
此外,基板收納容器、蓋體和插銷構件的材料、形狀和結構也不限於上述實施方式的材料、形狀和結構。例如,插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B形成有兩對,但並不限於此。只要至少形成有一對即可。此外,插銷臂的形狀也不限於上述實施方式的插銷臂32的形狀。
同樣地,插銷卡合凹部的形狀也不限於上述的實施方式的插銷卡合凹部的形狀和結構。例如,雖然作為卡合凹部形成部的一部分的、插銷構件的前端抵接的部分,在第七實施方式、第八實施方式中由錐台形狀部234F構成,但並不限於此。作為卡合凹部形成部的一部分的、插銷構件的前端抵接的部分只要是作為連接卡合凹部的開口與底部的側壁的、具有從開口朝向底部直徑縮小的部分的側壁即可。

Claims (11)

  1. 一種基板收納容器,該基板收納容器包括:容器主體,在內部形成有能收納多個基板的基板收納空間,並且在一個端部具有開口周緣部,該開口周緣部形成與該基板收納空間連通的容器主體開口部;以及蓋體,相對於該開口周緣部可裝拆,並能以被該開口周緣部包圍的位置關係封閉該容器主體開口部,該開口周緣部具有至少一對卡合凹部,該至少一對卡合凹部具有相互相對的位置關係並以與該蓋體相對的方式形成,該蓋體包括蓋體主體和至少一對插銷構件,當該容器主體開口部被該蓋體封閉時,該至少一對插銷構件能在卡合位置與卡合解除位置之間相對於該蓋體主體移動,當該至少一對插銷構件位於該卡合位置時,該至少一對插銷構件分別與該至少一對卡合凹部卡合,由此將該蓋體主體固定在該容器主體上,當該至少一對插銷構件位於該卡合解除位置時,該插銷構件與該卡合凹部的卡合被解除,由此該蓋體主體相對於該容器主體的固定被解除,該至少一對插銷構件中的、與一方的插銷構件相對的另一方的插銷構件相對於該一方的插銷構件配置在上側,當該插銷構件位於該卡合位置時,該一方的插銷構件的前端部與形成該至少一對卡合凹部中的一方的卡合凹部的該開口周緣部的卡合凹部形成部的底部形成部抵接,在該一方的插銷構件將該蓋體主體推向上方後,該另一方的插銷 構件的前端部與形成該另一方的卡合凹部的該開口周緣部的卡合凹部形成部的底部形成部抵接,在該蓋體相對於該容器主體的該開口周緣部固定的狀態下,使該蓋體主體從該開口周緣部分離。
  2. 如請求項1的基板收納容器,其中,該基板收納容器還包括插銷驅動部,該插銷驅動部由剛體構成,使該插銷構件在該卡合位置與該卡合解除位置之間移動,該插銷構件在該插銷構件的移動方向上能彈性地伸縮。
  3. 如請求項2的基板收納容器,其中,該插銷構件的前端部在該插銷構件的移動方向上能彈性地伸縮。
  4. 如請求項2或3的基板收納容器,其中,該插銷構件的前端部具有前端部通孔和周圍框部,該前端部通孔貫通該插銷構件的前端部,該周圍框部位於該前端部通孔的周圍,包圍該前端部通孔,當該插銷構件位於該卡合位置時,該周圍框部與該卡合凹部形成部的底部形成部抵接。
  5. 如請求項4的基板收納容器,其中,該插銷構件的前端部具有切口,該切口將作為該周圍框部的一部分的、當該插銷構件位於該卡合位置時與該卡合凹部形成部的底部形成部抵接的部分分成兩部分。
  6. 如請求項2的基板收納容器,其中,該插銷構件具有:插銷構件主體部,由剛體構成;驅動部卡合部,由剛體構成,與該插銷驅動部卡合;以及彈性連接部,連接該 插銷構件主體部和該驅動部卡合部,在該插銷構件的移動方向上能彈性地伸縮。
  7. 如請求項1的基板收納容器,其中,該插銷構件具有插銷構件主體部和插銷前端部抵接部,該插銷前端部抵接部在該插銷構件的前端部從該插銷構件主體部突出,當該插銷構件位於該卡合位置時,與該卡合凹部形成部的底部形成部抵接,作為該插銷前端部抵接部的一部分的、與該卡合凹部形成部的底部形成部抵接的部分具有與作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷前端部抵接部抵接的部分亦即底部形成部一致的形狀。
  8. 如請求項1的基板收納容器,其中,作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷構件的前端部抵接的部分亦即底部形成部是形成該卡合凹部的底部的部分。
  9. 如請求項8的基板收納容器,其中,該蓋體為具有蓋體外側的面和蓋體內側的面的長方形狀的板狀,該卡合凹部的底部在與該蓋體外側的面或者該蓋體內側的面平行的截面上具有V形形狀,作為該插銷構件的前端部的一部分的、當該插銷構件位於該卡合位置時與形成該卡合凹部底部的該卡合凹部形成部的部分亦即底部形成部抵接的部分具有與該卡合凹部的底部一致的V形端面。
  10. 如請求項1的基板收納容器,其中,作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷構件的前端部抵接的部分是作 為連接該卡合凹部的開口與底部的側壁的、具有從開口朝向底部直徑縮小的部分的側壁。
  11. 如請求項1的基板收納容器,其中,作為該卡合凹部形成部的一部分的、該插銷構件的前端部抵接的部分是形成該卡合凹部開口的部分。
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