JP2001118917A - 基板搬送コンテナ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 酸素や水分その他の大気中の低分子の侵入を
防止した状態で運搬可能な基板輸送コンテナを提供す
る。 【解決手段】 一面側を開口させた箱状を成すコンテナ
本体１００、コンテナ本体１００の開口を塞ぐ状態でコ
ンテナ本体１００の開口縁１０１に圧着される底蓋２０
０、コンテナ本体１００の開口縁１０１の全周に亘って
コンテナ本体１００と底蓋２００との間に挟持される中
空パッキン１１、及び中空パッキン１１の内部圧力を調
整するための圧力調整部１２を備えた基板搬送コンテ
ナ。これによって、中空パッキン１１内の内部圧力を自
在に調整し、コンテナ本体１００と底蓋２００との間の
密閉状態を維持する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板搬送コンテナ
に関し、特には、半導体ウエハや液晶基板等の電子基板
の搬送に用いるための密閉式の基板搬送コンテナに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ、液晶基板、磁気ディスク
等の電子基板を用いた電子機器の製造は、発塵のないク
リーンルーム内において行われている。一方、クリーン
ルーム間において電子基板を搬送する場合には、可搬式
で密閉可能な局所清浄化コンテナ（すなわち基板搬送コ
ンテナ）に、カセットに保持させた電子基板を収納した
状態で行う。これによって、クリーンルームの外であっ
ても、電子基板を大気中の塵埃に暴露させることなく電
子基板を搬送し、製造することができる。このような基
板搬送コンテナは、ＳＭＩＦ（Standard Mechanical In
terface ）ポッドという商品名（アシストテクノロジー
社）で市販されており、図７の断面図に示すような構造
となっている。

【０００３】この図に示す基板搬送コンテナは、一面側
を開口した箱状のコンテナ本体１００と、コンテナ本体
１００の開口を塞ぐ底蓋２００とで構成されている。コ
ンテナ本体１００は、その開口縁１０１が一回り大きく
広げられた段差形状に成形されており、広げられた開口
縁１０１の内側壁にラッチ溝１０２が設けられている。
底蓋２００は、コンテナ本体１００の開口縁１０１内に
嵌合する大きさを有すると共に、ラッチ溝１０２に嵌入
される状態で底蓋２００の側周から突出自在のラッチ２
０１と、このラッチ２０１の突出を操作するラッチ操作
部２０２とを備えている。ラッチ２０１は、ＡＢＳ（Ac
rylonitrile-Butadiene-Styrene copolymer)やポリカー
ボネートで構成されている。また、この底蓋２００の周
縁には、コンテナ本体１００を塞いだ状態で、コンテナ
本体１００の開口縁１０１の全周に亘って押圧されるパ
ッキン２０３が設けられている。このパッキン２０３
は、底蓋２００の周縁において、コンテナ本体１００側
に向かう面に設けたパッキン用溝２０４内に固定されて
いる。

【０００４】図８は、このような構成の基板搬送コンテ
ナの開閉動作を説明するための要部断面図である。先
ず、図８（ａ）に示すように、ラッチ操作部（２０２）
の操作によってラッチ２０１を底蓋２００内に収納させ
た状態で、底蓋２００をコンテナ本体１００の開口縁１
０１内に嵌合させる。その後、図８（ｂ）に示すよう
に、ラッチ操作部（２０２）の操作によって、ラッチ２
０１を底蓋２００の側周から突出させてラッチ溝１０２
内に嵌入させる。さらに、図２（ｃ）に示すように、ラ
ッチ操作部（２０２）の操作によって、ラッチ溝１０２
内に嵌入させたラッチ２０１の先端をコンテナ本体１０
０と反対側に向けて傾ける。これによって、パッキン２
０３を介して底蓋２００をコンテナ本体１００に対して
圧着させ、コンテナ本体１００の内部を密閉する。

【０００５】このような構成の基板搬送コンテナは、コ
ンテナ本体１００の内部への大気中の塵埃の侵入を防止
することを目的としたものであり、酸素、水分、揮発性
の有機物やその他の低分子等の侵入を防止することはで
きない。そこで、例えば半導体ウエハのように、高い清
浄度が要求される電子基板を搬送する場合には、カセッ
ト４に保持させた電子基板Ｗをコンテナ本体１００の内
部に収納した後、コンテナ本体１００の内部をアルゴン
（Ａｒ）や窒素ガス（Ｎ₂ ）等の不活性なガス（以下、
不活性ガスと記す）で置換して底蓋２００を閉じる。そ
して、コンテナ本体１００の内部を不活性ガス雰囲気に
して密閉した状態で、この基板搬送コンテナに収納され
た電子基板Ｗを搬送する。この際、不活性ガスによるコ
ンテナ本体１００内部の置換は、底蓋２００を開閉する
都度行われ、これによって電子基板への有機物、ホウ
素、燐等の分子吸着汚染や、電子基板表面への自然酸化
膜の形成を防止している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
コンテナ本体１００の内部を不活性ガスで置換した場合
であっても、コンテナ本１００内部への低分子の侵入を
防止することはできず、基板搬送コンテナ内部における
水分や酸素やその他の低分子の濃度は、基板搬送コンテ
ナの放置時間の増加に伴って徐々に上昇する。

【０００７】特に、基板搬送コンテナを移動させるため
にコンテナ本体１００を持ち上げると、図９に示すよう
に内部に収納した電子基板の重みや底蓋２００の自重が
底蓋２００に加わるため、これらの重みでラッチ２０１
が撓んで変形し、パッキン２０３とコンテナ本体１００
との間に微小な隙間ができる。このため、この隙間から
コンテナ本体１００の内部に低分子が侵入し、これらの
低分子によって電子基板が汚染され、例えば、半導体ウ
エハの表面に自然酸化膜が成長したり、有機物やホウ
素、リン等の分子吸着汚染が起こる。これは、この半導
体ウエハを用いた半導体装置の特性に影響を及ぼし、半
導体装置の歩留りを低下させる要因になる。

【０００８】そこで本発明は、酸素や水分やその他の低
分子の侵入による電子基板の汚染を防止した状態で内部
に収納した電子基板を搬送可能な基板搬送コンテナを提
供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るための本発明の基板搬送コンテナは、一面側を開口さ
せた箱状を成すコンテナ本体、このコンテナ本体の開口
を塞ぐ状態で当該コンテナ本体に圧着される底蓋、コン
テナ本体と底蓋との間に挟持される中空パッキン、及び
この中空パッキンの内部圧力を調整するための圧力調整
部を備えたことを特徴としている。

【００１０】このような基板搬送コンテナでは、中空パ
ッキンの内部圧力を調整するための圧力調整部を設けた
ことで、コンテナ本体と底蓋との圧着状態に対応させて
中空パッキンの内部圧力を自在に調整することができ
る。また、コンテナ本体と底蓋との圧着状態が変化して
も、この間に挟持される中空パッキンの内部圧力を圧力
調整部によって調整することで、コンテナ本体と底蓋と
の密閉状態を確保できる。

【００１１】また、本発明の基板搬送コンテナは、コン
テナ本体に圧着された底蓋に対して内側から加えられた
圧力を、コンテナ本体と底蓋との間に挟持される中空パ
ッキンの内部に伝えて当該中空パッキンの内部圧力を高
めるための加圧部を備えた構成を採っている。

【００１２】このような構成の基板搬送コンテナでは、
コンテナ本体に圧着された底蓋に対して内側から圧力が
加わることでコンテナ本体と底蓋との圧着状態に緩みが
生じた場合であっても、底蓋に圧力が加わることで中空
パッキンの内部圧力が高まるため、コンテナ本体と底蓋
との間で中空パッキンが自動的に膨張し、コンテナ本体
と底蓋との密閉状態が維持される。

【００１３】また、本発明の基板搬送コンテナは、一面
側を開口させた箱状を成し外側に向かって広がる段差形
状に成形された開口縁を有するコンテナ本体と、コンテ
ナ本体の開口縁内壁に設けられたラッチ溝と、コンテナ
本体の開口縁内に嵌入する状態でコンテナ本体の開口を
塞ぐ底蓋と、底蓋の側周から突出自在に設けられると共
にラッチ溝内に嵌入自在なラッチとを備えた基板搬送コ
ンテナにおいて、弾性率が１０ＧＮ／ｍ² を越える材料
でラッチが構成されているか、またはラッチにおける底
蓋と略平行な面に、底蓋の側周からの突出方向に沿った
凸条が形成されていることを特徴としている。

【００１４】このような構成の基板搬送コンテナでは、
コンテナ本体の開口を塞いだ状態の底蓋に対して内側か
ら加えられる圧力に対して、ラッチの撓みが小さく抑え
られるため、コンテナ本体と底蓋との密閉状態が維持さ
れる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の電子基板搬送コン
テナの実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
尚、従来の技術で図７乃至図８を用いて説明したと同様
の構成要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略
する。

【００１６】（第１実施形態）図１（ａ）〜図１（ｄ）
は、第１実施形態の基板搬送コンテナにおける密閉部分
の要部拡大断面図である。これらの図に示す基板搬送コ
ンテナは、従来の技術で説明したと同様の構成のコンテ
ナ本体１００及び底蓋２００を備えており、従来の技術
との相違点は底蓋２００に設けられたパッキン１１の構
成と、パッキン１１の内部圧力を調整するための圧力調
整部１２を備えた点とにある。

【００１７】すなわちこれらの図に示した基板搬送コン
テナは、底蓋２００の周縁において、コンテナ本体１０
０側に向かう面に設けたパッキン用溝２０４内に固定さ
れているパッキン１１として、中空パッキン１１を用い
ている。この中空パッキン１１は、高いガスバリア性を
有するシリコーンゴムやエチレンプロピレンゴムで形成
されることとする。また、この中空パッキン１１は、内
部圧力を高めることによって膨張させた状態で、パッキ
ン用溝２０４の高さを十分に越える容積になるものとす
る。

【００１８】また、圧力調整部１２は、コンテナ本体１
００を底蓋２００で塞いだ状態で、中空パッキン１１に
連通されると共に外部の加圧手段（図示省略）に接続さ
れる通気管１２ａと、この通気管１２ａに設けられた開
閉弁１２ｂとで構成されている。例えば、通気管１２ａ
は、底蓋２００の外側になる面から底蓋２００を貫通さ
せた状態で、パッキン用溝２０４内の中空パッキン１１
に連通されている。尚、図面においては、説明のために
ラッチ２０１と通気管１２ａとを交差させた状態で図示
しているが、この通気管１２ａは、ラッチ２０１が配置
されていない位置に配設されてることとする。また、こ
の通気管１２ａに接続される加圧手段は、例えばアルゴ
ン（Ａｒ）等や窒素（Ｎ₂ ）ガス等の不活性なガス（以
下、不活性ガスと記す）の高圧ガスボンベであることと
する。

【００１９】このように構成された基板搬送コンテナを
用いる場合、底蓋２００の上方からコンテナ本体１００
を外した状態で、カセットに保持させた電子基板を底蓋
２００上に載置し、この電子基板を覆う状態で底蓋２０
０上にコンテナ本体１００を被せた後、コンテナ本体１
００の内部を窒素ガス（Ｎ₂ ）等の不活性ガスで置換し
てコンテナ本体１００の開口を塞ぐ。この際、先ず、図
１（ａ）に示すように、ラッチ２０１を底蓋２００内に
収納させた状態で、底蓋２００をコンテナ本体１００の
開口縁１０１内に嵌合させる。

【００２０】次に、図１（ｂ）に示すように、底蓋２０
０の側周からラッチ２０１を突出させ、ラッチ溝１０２
内にラッチ２０１嵌入させる。

【００２１】その後、図１（ｃ）に示すように、ラッチ
溝１０２内に嵌入させたラッチ２０１の先端をコンテナ
本体１００と反対側に向けて傾ける。これによって、底
蓋２００をコンテナ本体１００側に押圧して圧着させ
る。またさらに、圧力調整部１２の通気管１２ａに加圧
手段を接続して開閉弁１２ｂを開き、通気管１２ａを介
して外部の加圧手段（図示省略）から中空パッキン１１
内に加圧気体（不活性ガス等）を導入し、コンテナ本体
１００と底蓋２００との間で中空パッキン１１を膨張さ
せる。この際、中空パッキン１１がコンテナ本体１００
と底蓋２００との両方に十分な面積で密着するように、
また、図１（ｄ）に示すように、コンテナ本体１００を
持ち上げることによって底蓋２００が下がった場合にも
コンテナ本体１００と底蓋２００とに対する中空パッキ
ン１１の密着性が確保される程度に、中空パッキン１１
内部を所定の圧力に制御して開閉弁１２ｂを閉じる。

【００２２】一方、この基板搬送コンテナの内部から電
子基板を取り出す場合には、底蓋２内にラッチ２１を収
納し、コンテナ本体１００への底蓋２００の圧着状態を
解放し、底蓋２００からコンテナ本体１００を取り外
す。尚、上述におけるラッチ２０１の操作は、ここでは
図示を省略したラッチ操作部（図７参照）によって行な
うこととする。

【００２３】このような構成の基板搬送コンテナでは、
中空パッキン１１内の圧力調整するための圧力調整部１
２を設けたことで、中空パッキン１１の内部圧力を自在
に調整できる。このため、コンテナ本体１００と底蓋２
００とに対する中空パッキン１１の密着性を自在に調整
することが可能になる。例えば、基板搬送コンテナを移
動させる際にコンテナ本体１００を持ち上げることで、
図１（ｄ）に示すように内部に収納されている電子基板
やカセット及び底蓋２００の自重が底蓋２００に掛か
り、これによって、コンテナ本体１００と底蓋２００と
の圧着状態に緩みが生じた場合であっても、この間に挟
持される中空パッキン１１内部圧力を圧力調整部１２に
よって調整することで、コンテナ本体１００と底蓋２０
０との密閉状態を確保することができる。したがって、
搬送中における基板搬送コンテナの密閉性をも向上させ
ることが可能になる。この結果、例えば、電子基板Ｗと
して収納した半導体ウエハの表面に自然酸化膜が成長し
たり、半導体ウエハの表面が低分子の吸着によって汚染
されることを防止でき、この半導体ウエハを用いた半導
体装置の歩留りの向上を図ることが可能になる。

【００２４】図２は、このような密閉状態にある基板搬
送コンテナ内部の酸素濃度の経時変化を示すグラフであ
る。ここでは、第１実施形態の基板搬送コンテナ及び従
来の基板搬送コンテナに関し、コンテナ本体内における
酸素濃度を約１０ｐｐｍにまで低減して密閉した後の酸
素濃度の経時変化を測定した。このグラフに示すよう
に、従来の基板搬送コンテナにおける酸素濃度と比較
して、第１実施形態の基板搬送コンテナにおける酸素濃
度の経時的な上昇が低く抑えられ、コンテナ内部の密
閉性が向上し、酸素の侵入を防止する効果が得られたこ
とが確認された。

【００２５】また、図３は、同様の密閉状態にある基板
搬送コンテナ内部の水分濃度の経時変化を示すグラフで
ある。ここでは、第１実施形態の基板搬送コンテナ及び
従来の基板搬送コンテナに関し、コンテナ本体内におけ
る水分濃度を約１０ｐｐｍにまで低減して密閉した後の
水分濃度の経時変化を測定した。このグラフに示すよう
に、従来の基板搬送コンテナにおける水分濃度と比較
して、第１実施形態の基板搬送コンテナにおける水分濃
度の経時的な上昇が低く抑えられ、コンテナ内部の密
閉性が向上し、水分の侵入を防止する効果が得られたこ
とが確認された。

【００２６】（第２実施形態）図４は、第２実施形態の
基板搬送コンテナにおける密閉部分の要部拡大断面図で
ある。この図に示す基板搬送コンテナは、第１実施形態
で説明した基板搬送コンテナに、中空パッキン１１の内
部圧力を高めるための加圧部１３を設けた構成になって
いる。

【００２７】この加圧部１３は、ラッチ２０１の上下動
に連動するシリンダ１３ａ、及びシリンダ１３ａ内部と
中空パッキン１１内とを接続する連通管１３ｂとで構成
されている。

【００２８】シリンダ１３ａは、底蓋２００内部の中央
付近においてラッチ２０１の下面に設けられ、この部分
におけるラッチ２０１の降下にともない、シリンダ１３
ａのピストン頭部が押し圧されるように構成されてい
る。また、連通管１３ｂは、シリンダ１３ａの底部に接
続され、圧力調整部１２の通気管１２ａの開閉弁１２ｂ
よりも中空パッキン１１側に接続されている。

【００２９】この基板搬送コンテナを用いる場合には、
第１実施形態の基板搬送コンテナと同様に用いる。

【００３０】このような構成の基板搬送コンテナは、例
えば、基板搬送コンテナを移動させる際にコンテナ本体
１００を持ち上げた場合、内部に収納されている電子基
板やカセット及び底蓋２００の自重が底蓋２００に掛か
ると、これによって底蓋２００にコンテナ本体１００の
内側から圧力が加えられ、ラッチ溝１０２にラッチ２０
１を嵌入させた部分が固定された状態で底蓋２００が撓
み、これに伴ってラッチ操作部２０２側のラッチ２０１
部分が降下するようにラッチ２０１が撓んでシリンダ１
３ａのピストンが押し下げられる。このため、シリンダ
１３ａ内部の圧力が連通管１３ｂ及び通気管１２ａを通
じて中空パッキン１１内に伝えられて中空パッキン１１
の内部圧力が高まり、中空パッキン１１が自動的に膨張
する。

【００３１】したがって、上述のようにして、底蓋２０
０に対して内側から圧力が加わることでコンテナ本体１
００と底蓋２００との圧着状態に緩みが生じた場合、コ
ンテナ本体１００と底蓋２００との間で中空パッキン１
１が自動的に膨張するため、コンテナ本体１００と底蓋
２００との密閉状態が自動的に維持されることになる。
この結果、第１実施形態と同様に、半導体ウエハを用い
た半導体装置の歩留りの向上を図ることが可能になる。

【００３２】尚、この第２実施形態では、基板搬送コン
テナの底蓋２００に設けた圧力調整部１２の通気管１２
ａに対して加圧部１３の連通管１３ｂを接続させた構成
を説明した。しかし、加圧部１３の連通管１３ｂは、中
空パッキン１１と直接接続させても良い。また、中空パ
ッキン１１内の内部圧力がある程度の状態に保たれてお
り、かつ中空パッキン１１が十分に膨張した状態に維持
される場合には、圧力調整部１２を設けずに、加圧部１
３のみを中空パッキン１１と接続させた構成にしても良
い。このような構成であっても、底蓋２００にコンテナ
本体１００の内側から圧力が加えられることで、ラッチ
２０１が撓んでシリンダ１３ａのピストンが押し下げら
れて中空パッキン１１内に自動的にシリンダ１３ａから
圧力が加えられるため、コンテナ本体１００と底蓋２０
０との密閉状態が自動的に維持されることになる。

【００３３】（第３実施形態）図５（ａ）〜図５（ｄ）
は、第３実施形態の基板搬送コンテナにおける密閉部分
の要部拡大断面図である。これらの図に示す基板搬送コ
ンテナは、従来の技術で説明したと同様の構成のコンテ
ナ本体１００及び底蓋２００を備えており、従来の技術
との相違点はラッチ１４の材質にある。

【００３４】すなわち、ラッチ１４は、金属材料やセラ
ミックス材料、プラスティック材料等の中から選択され
た、曲げ弾性率１０ＧＮ／ｍ² を越える材料で構成され
ていることとする。このような材料としては、例えばア
ルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金、
ステンレス、マグネシウム、アルミナ、ジルコニア、窒
化ケイ素、シリコンカーバイト、窒化ホウ素、窒化アル
ミニウム、ポリフェリレンサルファイド、ポリアミドイ
ミド、ポリブチレンテレフタレート、ガラスフェノー
ル、液晶ポリマー等を好適に用いることができる。

【００３５】また、ラッチ１４との摩擦によるラッチ溝
１０２内壁の損傷を防止するために、ラッチ溝１０２の
内壁を構成するラッチ受け１５も、ラッチ１４と同様の
材料で構成することが望ましい。さらに、底蓋２００の
中央においてラッチ１４の端部を支持するラッチ操作部
（図示省略）も、ラッチ１４と同様の材料で構成するこ
とが望ましい。

【００３６】さらに、ラッチ溝１０２の内壁（すなわち
ラッチ受け１５の表面）を保護膜１６で覆うこととす
る。この保護膜１６は、例えばフッ素樹脂のように、ラ
ッチ１４との間の摩擦によって削れ難い材料であること
が望ましい。また特に、ラッチ１４及びラッチ受け１５
が絶縁性材料で構成されている場合には、酸化錫等の導
電性金属酸化物、ポリアニリン等の導電性ポリマー、界
面活性剤等の帯電防止材料を保護膜１６として用いるこ
とで、ラッチ１４によってラッチ溝１０２の内壁から削
り取られた塵をそのまま付着させずに外部に落とし易く
し、これによって基板搬送コンテナ内部での発塵を防止
することとする。

【００３７】このような構成の板搬送コンテナを用いる
場合には、先ず、図５（ａ）に示すように、ラッチ１４
を底蓋２００内に収納した状態で、底蓋２００にコンテ
ナ本体１００を被せる。次に、図５（ｂ）に示すよう
に、底蓋２００の側壁からラッチ１４を突出させてコン
テナ本体１００のラッチ溝１０２内にラッチ１４の先端
を嵌入させる。その後、図５（ｃ）に示すように、ラッ
チ１４の先端をコンテナ本体１００と反対側に傾けるこ
とで、パッキン２０３を介して底蓋２００をコンテナ本
体１００に圧着させる。

【００３８】このような構成の基板搬送コンテナでは、
曲げ弾性率１０ＧＮ／ｍ² を越える材料でラッチ１４を
構成するようにしたことで、例えば、基板搬送コンテナ
を移動させる際にコンテナ本体１００を持ち上げること
で、内部に収納した電子基板やカセット及び底蓋２００
の自重が底蓋２００に掛かり、図５（ｄ）に示すように
底蓋２００に対してコンテナ本体１００の内側から圧力
が加えられた場合であっても、ラッチ１４の撓みを小さ
く抑えることができる。このため、パッキン２０３を介
してコンテナ本体１００と底蓋２００との密閉状態を維
持することができる。したがって、上記各実施形態と同
様に、半導体ウエハを用いた半導体装置の歩留りの向上
を図ることが可能になる。

【００３９】（第４実施形態）図６（ａ）は、第４実施
形態の基板搬送コンテナにおける密閉部分の要部拡大断
面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）に示したラッチ１
７のＡ−Ａ断面図である。これらの図に示す基板搬送コ
ンテナと、第３実施形態の基板搬送コンテナとの相違点
はラッチ１７の構成にある。

【００４０】すなわち、ラッチ１７は、その下面（すな
わちコンテナ本体１００を底蓋２００で塞いだ状態でコ
ンテナ本体１００と反対側に向かう面）側に、補強用の
凸条１７ａをリブ状に設けた構成になっている。この凸
条１７ａは、ラッチ１７の突出方向に亘って単数、また
は図示したように複数設けられている。また、この凸条
１７ａは、図示したようなリブ状のものでも良いが、ラ
ッチ１７を波板で構成することによって形成されたもの
であっても良い。

【００４１】尚、このような構成のラッチ１７は、第３
実施形態で図５を用いて説明したラッチ（１４）と同様
の材質からなるものであっても良い。この場合、ラッチ
溝１０２の内壁を構成するラッチ受け部分は、第３実施
例と同様の材質で構成することが望ましい。さらに、ラ
ッチ溝１０２の内壁は、第３実施形態と同様の保護膜１
６で覆われていることとする。また、凸条１７ａは、ラ
ッチ１７の下面側に設けても良い。

【００４２】この基板搬送コンテナを用いる場合には、
第３実施形態の基板搬送コンテナと同様に用いる。

【００４３】このような構成の基板搬送コンテナでは、
ラッチ１７の下面側（または上面側）に、その突出方向
に亘る凸条１７ａを設けたことで、コンテナ本体１００
の開口を塞いだ状態の底蓋２００に対して内側から加え
られる圧力に対して、ラッチ１７の撓みを小さく抑える
ことができる。このため、第３実施形態と同様に、コン
テナ本体１００と底蓋２００との密閉状態を維持するこ
とができる。したがって、上記各実施形態と同様に、半
導体ウエハを用いた半導体装置の歩留りの向上を図るこ
とが可能になる。

【００４４】尚、上述の各実施形態中での説明は省略し
たが、第１実施形態及び第２実施形態の少なくとも何方
か一方と、第３実施形態及び第４実施形態の少なくとも
何方か一方とを組み合わせることも可能であり、このよ
うに組み合わせて実施することで、さらに基板搬送コン
テナ内の密閉状態を確実にすることが可能になる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の基板搬送
コンテナによれば、コンテナ本体の開口を塞いだ状態の
底蓋に対して内側から圧力が加えられた場合であって
も、コンテナ本体と底蓋との密閉状態を維持することが
可能になる。このため、例えばコンテナ本体を持ち上げ
て基板搬送コンテナを移動させることで、底蓋に荷重が
掛けられた場合であっても基板搬送コンテナ内部の密閉
状態が維持されるため、内部に収納した電子基板が、外
気に含まれる酸素、水分、揮発性有機物やその他の低分
子の侵入によって汚染されることを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の基板搬送コンテナの要部拡大断
面図である。

【図２】基板搬送コンテナ内部の酸素濃度の経時変化を
示すグラフである。

【図３】基板搬送コンテナ内部の水分濃度の経時変化を
示すグラフである。

【図４】第２実施形態の基板搬送コンテナの要部拡大断
面図である。

【図５】第３実施形態の基板搬送コンテナの要部拡大断
面図である。

【図６】第４実施形態の基板搬送コンテナの要部拡大断
面図である。

【図７】基板搬送コンテナの全体構成図である。

【図８】従来の基板搬送コンテナの要部拡大断面図であ
る。

【図９】従来の基板搬送コンテナの課題を説明するため
の要部拡大断面図である。

【符号の説明】

１１…中空パッキン、１２…圧力調整部、１３…加圧
部、１４，１７…ラッチ、１６…保護膜、１７ａ…凸
条、１００…コンテナ本体、１０１…開口縁、１０２…
ラッチ溝、２００…底蓋

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一面側を開口させた箱状を成すコンテナ
   本体と、 前記コンテナ本体の開口を塞ぐ状態で当該コンテナ本体
   に圧着される底蓋と、 前記コンテナ本体の開口縁の全周に亘って、当該コンテ
   ナ本体と前記底蓋との間に挟持される中空パッキンと、 前記コンテナ本体と前記底蓋との間に挟持された前記中
   空パッキンの内部圧力を調整するための圧力調整部とを
   備えたことを特徴とする基板搬送コンテナ。
2. 【請求項２】 一面側を開口させた箱状を成すコンテナ
   本体と、 前記コンテナ本体の開口を塞ぐ状態で当該コンテナ本体
   に圧着される底蓋と、 前記コンテナ本体の開口縁の全周に亘って、当該コンテ
   ナ本体と前記底蓋との間に挟持される中空パッキンと、 前記コンテナ本体に圧着された状態の前記底蓋に当該コ
   ンテナ本体の内側から加えられる圧力を、前記中空パッ
   キンの内部に伝えて当該中空パッキンの内部圧力を高め
   るための加圧部とを備えたことを特徴とする基板搬送コ
   ンテナ。
3. 【請求項３】 一面側を開口させた箱状を成し外側に向
   かって広がる段差形状に成形された開口縁を有するコン
   テナ本体と、当該コンテナ本体の開口縁内壁に設けられ
   たラッチ溝と、前記開口縁内に嵌入する状態で前記コン
   テナ本体の開口を塞ぐ底蓋と、当該底蓋の側周から突出
   自在に設けられると共に前記ラッチ溝内に嵌入自在なラ
   ッチとを備えた基板搬送コンテナにおいて、 前記ラッチは、弾性率が１０ＧＮ／ｍ² を越える材料か
   らなることを特徴とする基板搬送コンテナ。
4. 【請求項４】 請求項３記載の基板搬送コンテナにおい
   て、 前記ラッチ溝の内壁は、帯電防止材料からなる保護膜で
   覆われていることことを特徴とする基板搬送コンテナ。
5. 【請求項５】 一面側を開口させた箱状を成し外側に向
   かって広がる段差形状に成形された開口縁を有するコン
   テナ本体と、当該コンテナ本体の開口縁内壁に設けられ
   たラッチ溝と、前記開口縁内に嵌入する状態で前記コン
   テナ本体の開口を塞ぐ底蓋と、当該底蓋の側周から突出
   自在に設けられると共に前記ラッチ溝内に嵌入自在なラ
   ッチとを備えた基板搬送コンテナにおいて、 前記ラッチにおける前記底蓋と略平行な面には、当該ラ
   ッチの突出方向に沿った凸条が形成されていることを特
   徴とする基板搬送コンテナ。
6. 【請求項６】 請求項５記載の基板搬送コンテナにおい
   て、 前記ラッチ溝の内壁は、帯電防止材料からなる保護膜で
   覆われていることことを特徴とする基板搬送コンテナ。