TWI720850B - 光罩盒 - Google Patents

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TWI720850B
TWI720850B TW109109151A TW109109151A TWI720850B TW I720850 B TWI720850 B TW I720850B TW 109109151 A TW109109151 A TW 109109151A TW 109109151 A TW109109151 A TW 109109151A TW I720850 B TWI720850 B TW I720850B
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薛新民
禇育辰
邱銘乾
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Abstract

一種光罩盒，其包含：本體、蓋體、滑軌構件、滑扣構件及蓋合對應件，滑軌構件具有凹陷部及插槽部並定義鎖定方向，凹陷部自插槽部沿鎖定方向凸伸，滑扣構件可滑動地設置於滑軌構件，滑扣構件具有扣部及彈性臂，彈性臂插設於插槽部的插槽，扣部具有高度匹配插槽部的扣槽，扣槽的開口位置的上方設有一斜導面，其中於蓋體相對本體自開啟狀態轉為閉合狀態，蓋合對應件沿斜導面推擠滑扣構件，使滑扣構件被壓縮，蓋合對應件通過斜導面而進入扣槽的開口，彈性臂釋放彈性位能而使滑扣構件回彈。藉由本發明的光罩盒，可解決光罩盒的鎖扣問題。

Description

光罩盒
本發明係關於一種光罩盒，更特別的是關於一種可鎖扣的光罩盒。
先進微影製程中，特別是EUV(極紫外光)微影製程，對製程環境的潔淨度要求極高。若有塵粒(particle)汙染光罩，則會造成微影製程的缺陷。為達到潔淨度與保護光罩的需求，一般使用光罩盒以阻攔外界的塵粒。為了防止光罩盒的上下蓋不預期地被打開，一般在光罩盒的開啟處設有鎖扣，可鎖定光罩盒的上下蓋。然而，這些鎖扣需要進一步地操作才能上鎖，若是僅將光罩盒關閉而忘記將鎖扣上鎖，光罩盒仍會輕易地被打開，塵粒就極容易進入光罩盒中汙染光罩。
因此，為解決習知光罩盒的種種問題，本發明提出一種可鎖扣的光罩盒。
為達上述目的及其他目的，本發明提出一種光罩盒，其包含：一開口朝上的本體；一開口朝下的蓋體，該蓋體的一第一側與該本體的一第一側樞接，而相對蓋合形成一容置光罩的存放空間；至少一滑軌構件，設置於該本體的相反於該第一側的一第二側，該滑軌構件具有一凹陷部及一插槽部並沿該第二側定義一鎖定方向，該凹陷部自該插槽部沿該鎖定方向凸伸，該凹陷部 的高度低於該插槽部，該插槽部具有一插槽；至少一滑扣構件，可滑動地設置於該滑軌構件，該滑扣構件具有一扣部及一彈性臂，該彈性臂自該扣部反向該鎖定方向凸伸，該彈性臂插設於該插槽，該扣部具有高度匹配該插槽部的一扣槽，該扣槽的開口位置的上方設有一斜導面；以及至少一蓋合對應件，設置於該蓋體的第二側且位置對應於該凹陷部，其中，於該蓋體相對該本體自開啟狀態轉為閉合狀態，該蓋合對應件先沿該斜導面推擠該滑扣構件，使該滑扣構件於一自由位置被推入一緊壓位置而使該彈性臂被壓縮，該蓋合對應件後通過該斜導面而進入該扣槽的開口，該彈性臂釋放彈性位能而使該滑扣構件回彈至該自由位置，於該蓋體相對該本體為閉合狀態，該滑扣構件可經外力而自該自由位置沿該鎖定方向移動至一鎖定位置，於該鎖定位置，該凹陷部及該蓋合對應件位於該扣槽。
於本發明之一實施例中，該蓋合對應件通過該斜導面而進入該扣槽的開口，該蓋合對應件的一第一端的一端部與該扣部相干涉。
於本發明之一實施例中，該蓋合對應件的一第二端設有一止擋部，該第二端反向於該第一端。
於本發明之一實施例中，更包括一彈性構件，設置於該本體及該蓋體之間，於該滑扣構件自該鎖定位置移動到緊壓位置，該彈性構件所儲存的彈性位能使該蓋體轉為開啟狀態。
於本發明之一實施例中，該插槽的開口朝上。
於本發明之一實施例中，該彈性臂具有一插入端及一彈性部，該彈性部連接該插入端及該扣部，該插入端插入該插槽。
於本發明之一實施例中，該滑扣構件具有彼此對稱的二彈性臂，分別自該滑軌構件的插槽部的上下兩端插入該插槽。
於本發明之一實施例中，該滑扣構件具有平行該鎖定方向的一鏡射對稱軸。
於本發明之一實施例中，該扣部的外表面為凸面。
於本發明之一實施例中，更包括一軸套構件及一轉軸，該軸套構件設置於該本體的第一側，該轉軸設置於該蓋體的第一側，該轉軸具有一旋轉頸部及一頭部，該頭部偏心地連接於該旋轉頸部，該軸套構件具有形狀對應該頭部的一穿孔而使該轉軸穿置於該軸套構件。
藉此，本發明的光罩盒，只要將蓋體下壓於本體，滑扣構件的彈力可使滑扣構件復位而一定程度地鎖定蓋體與本體。即便忘記進一步將滑扣構件移動至鎖定位置，滑扣構件依然可確保光罩盒不被輕易地被打開，避免所儲存的光罩受到塵粒汙染。本發明的光罩盒相對先前技術，可改善光罩盒在使用上的便利及安全性，降低因疏失而產生的製程成本。
100:光罩盒
1:本體
11:第一側
12:第二側
2:蓋體
21:第一側
22:第二側
3:滑軌構件
31:凹陷部
32:插槽部
321:上插槽
322:下插槽
4:滑扣構件
4a:滑扣構件
41:扣部
41a:扣部
411:扣槽
412:斜導面
412a:斜導面
413:外表面
42:彈性臂
42a:彈性臂
421:插入端
421a:插入端
422:彈性部
422a:彈性部
43:操作部
5:蓋合對應件
51:端部
52:止擋部
6:彈性構件
7:軸套構件
71:穿孔
8:轉軸
81:旋轉頸部
82:頭部
d:鎖定方向
S:存放空間
圖1係為根據本發明實施例之光罩盒之立體示意圖。
圖2係為根據本發明實施例之光罩盒之爆炸示意圖。
圖3係為根據本發明實施例之滑軌構件之立體示意圖。
圖4係為根據本發明實施例之滑軌構件之另一視角示意圖。
圖5係為根據本發明實施例之滑扣構件之外觀示意圖。
圖6係為根據本發明實施例之滑扣構件之另一視角示意圖。
圖7係為根據本發明實施例之滑扣構件安裝於滑軌構件之示意圖。
圖8係為根據本發明實施例之滑扣構件於自由位置之示意圖。
圖9係為根據本發明實施例之滑扣構件於緊壓位置之示意圖。
圖10係為根據本發明實施例之蓋合對應件進入扣槽之示意圖。
圖11A係為根據本發明實施例之蓋合對應件第一端與扣部相干涉之示意圖。
圖11B係為根據本發明實施例之蓋合對應件進入扣槽之剖面圖。
圖12係為根據本發明實施例之滑扣構件於鎖定位置之示意圖。
圖13係為根據本發明實施例之轉軸之立體示意圖。
圖14係為根據本發明實施例之軸套構件及轉軸之組裝示意圖。
圖15係為根據本發明實施例之軸套構件及轉軸之外觀示意圖。
圖16係為根據本發明另一實施例之滑扣構件之外觀示意圖。
為充分瞭解本發明，茲藉由下述具體之實施例，並配合所附之圖式，對本發明做一詳細說明。本領域技術人員可由本說明書所公開的內容瞭解本發明的目的、特徵及功效。須注意的是，本發明可透過其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本發明的精神下進行各種修飾與變更。以下的實施方式將進一步詳細說明本發明的相關技術內容，但所公開的內容並非用以限制本發明的申請專利範圍。說明如後： 如圖1及圖2所示，本發明實施例之光罩盒100其包含：一本體1、一蓋體2、至少一滑軌構件3、至少一滑扣構件4及至少一蓋合對應件5。
本體1開口朝上，其內有一光罩置放區，用以供置放一光罩(圖未示)。
蓋體2開口朝下並蓋合於本體1，蓋體2的一第一側21與本體1的一第一側11樞接，而相對蓋合形成一容置光罩的存放空間S。
如圖2及圖3所示，滑軌構件3設置於本體1的相反於第一側11的一第二側12。滑軌構件3具有一凹陷部31及一插槽部32，並沿第二側12定義一鎖定方向d。凹陷部31自插槽部32沿鎖定方向d凸伸，且凹陷部31的高度低於插槽部32。插槽部32具有一上插槽321。
如圖5至圖7所示，滑扣構件4可滑動地設置於滑軌構件3。滑扣構件4具有一扣部41及一彈性臂42，彈性臂42自扣部41反向鎖定方向d凸伸。彈性臂42插設於上插槽321，扣部41具有高度匹配插槽部32的一扣槽411，扣槽411的開口位置的上方設有一斜導面412。
如圖1、圖2及圖8所示，蓋合對應件5設置於蓋體2的第二側22且位置對應於凹陷部31。
接下來將說明如何執行光罩盒100的鎖扣。
當蓋體2與本體1以第一側11、21為旋轉軸而相對樞轉，可使蓋體2相對本體1自開啟狀態轉為閉合狀態。在閉合的過程中，首先如圖8所示，蓋體2下壓，蓋合對應件5正好抵於滑扣構件4的斜導面412。如圖9所示，當蓋體2繼續下壓，蓋合對應件5沿斜導面412推擠滑扣構件4，使滑扣構件4於圖8的 自由位置被推入圖9所示的緊壓位置(反向於鎖定方向)而使彈性臂42被壓縮。彈性臂42在此過程中累積了彈性位能。
如圖10及圖11A所示，蓋合對應件5持續向下移動，通過斜導面412而進入扣槽411(參考圖6)的開口，由於蓋合對應件5進入扣槽411後不再擠滑扣構件4，因此彈性臂42立即釋放彈性位能，使滑扣構件4從圖9的壓縮位置回彈至自由位置(如圖10所示)。如圖11A所示，在本實施例中，蓋合對應件5的一第一端的端部51與扣部41沿蓋體2的開啟方向相干涉，因此即便使用者忘記進一步將蓋體2與本體1鎖定，光罩盒100仍具有一定程度的鎖扣能力，可防止光罩盒100不預期的開啟。
如圖12所示，於蓋體2相對本體1為閉合狀態，滑扣構件4可經外力而自圖10的自由位置沿鎖定方向d移動至一鎖定位置。於鎖定位置，凹陷部31及蓋合對應件5位於扣槽411之中。如圖11B所示，由於蓋合對應件5與凹陷部31的總體高度約略等於插槽部32的高度，而滑扣構件4的扣槽411高度匹配插槽部32，因此，蓋合對應件5與凹陷部31可通過扣槽411，而使滑扣構件4滑移至蓋合對應件5與凹陷部31(即鎖定位置)。
藉由本發明的光罩盒100，可在自由位置、緊壓位置及鎖定位置之間切換。只要將蓋體2下壓於本體1，滑扣構件4的彈力可使滑扣構件4復位於自由位置而一定程度地鎖定蓋體2與本體1。即便忘記進一步將滑扣構件4移動至鎖定位置，滑扣構件4依然可確保光罩盒100不被輕易地被打開，避免所儲存的光罩受到塵粒汙染。因此，本發明可改善光罩盒在使用上的便利及安全性，降低因疏失而產生的製程成本。
進一步地，如圖12所示，蓋合對應件5的一第二端設有一止擋部52，該第二端反向於該第一端。止擋部52連接於蓋體2，因此當滑扣構件4滑至止擋部52時，受到止擋部52的止擋而停止於鎖扣位置。
進一步地，如圖1及圖2所示，光罩盒100更包括一彈性構件6，設置於本體1及蓋體2之間。彈性構件6可儲存彈性位能，用以使蓋體2在開啟時自動彈開。詳細來說，當蓋體2相對本體1自開啟狀態轉為閉合狀態，彈性構件6被壓縮而儲存彈性位能；若要開啟光罩盒100，則需手動解除滑扣構件4的鎖定位置。於滑扣構件4受外力而自圖12的鎖定位置移動到圖9的緊壓位置，使蓋合對應件5的第一端不再與扣部41相干涉，此時彈性構件6釋放所儲存的彈性位能使蓋體2向上彈開、樞轉，使蓋體2相對本體1轉為開啟狀態。另一方面，由於蓋體2向上彈開，蓋合對應件5不再推擠滑扣構件4，在緊壓位置的滑扣構件4亦藉由彈性臂42釋放彈性位能而回彈至圖8所示的自由位置。
進一步地，如圖3至圖7所示，插槽部32的上插槽321其開口朝上，彈性臂42具有一插入端421及一彈性部422，彈性部422連接插入端421及扣部41，插入端421插入上插槽321。
在本實施例中，插槽部32具有上下兩個插槽：上插槽321、下插槽322，該二個插槽可彼此連通，也可為互不連通的空間。滑扣構件4具有彼此對稱的二彈性臂42，分別自插槽部32的上下兩端插入上插槽321、下插槽322。又由於彈性部422呈彎曲狀而使得插入端421可勾住上插槽321、下插槽322，因此當彈性部422釋放彈性位能時，滑扣構件4並不會因此脫離滑軌構件3。
進一步地，如圖1及圖7所示，在本實施例中，滑扣構件4更具有一操作部43，自扣部41垂直鎖定方向d凸伸。操作部43可供使用者方便推、壓滑扣構件4，改變滑扣構件4而位移至緊縮位置或鎖定位置。
進一步地，如圖8-10、12所示，在本實施例中，滑軌構件3提供為二個，分別設置於本體1的第二側12的左右兩方，滑扣構件4亦提供為二個，分別設置於二個滑軌構件3。然而本發明不限於此，滑軌構件3與滑扣構件4的數量可以為單個，也可以是複數個，視需求而定。一般而言，二個滑軌構件3與滑扣構件4最符合使用直覺，並且可提供較佳的密合功能。
進一步地，如圖8-10、12所示，在本實施例中，二個滑扣構件4的鎖定方向d為彼此相向(朝內)。然而本發明不限於此，二個鎖定方向d可為朝同一方向(皆朝圖面的左方或皆朝圖面的右方)，或者二個鎖定方向d彼此反向朝外。
進一步地，如圖8-10、12所示，在本實施例中，二個滑扣構件4互相為旋轉對稱，並且，二個滑扣構件4分別具有平行鎖定方向d的一鏡射對稱軸。換句話說，二個滑扣構件4為完全相同的元件，可使用同一模具製造而降低製造工序與物料成本。
進一步地，如圖16所示，顯示本發明另一實施例的滑扣構件4a。滑扣構件4a可直接替換滑扣構件4。滑扣構件4a與滑扣構件4大致相同，具有扣部41a及彼此對稱的二彈性臂42a。
扣部41a具有扣槽411及圓弧的斜導面412a，扣部41a的外表面413為凸面，可供使用者方便推、壓滑扣構件4a，改變滑扣構件4a而位移至緊縮位置或鎖定位置。
彈性臂42a各自具有一插入端421a及一彈性部422a，彈性部422a連接插入端421a及扣部41a，二插入端421a分別自插槽部32的上下兩端插入上插槽321、下插槽322。又由於彈性部422a呈彎曲狀而使得插入端421a可勾住上插槽321、下插槽322，因此當彈性部422a釋放彈性位能時，滑扣構件4a並不會因此脫離滑軌構件3。
進一步地，如圖1至2、圖13至圖15所示，光罩盒100更包括一軸套構件7及一轉軸8，軸套構件7設置於本體1的第一側11，轉軸8設置於蓋體2的第一側21。如圖13所示，轉軸8具有一旋轉頸部81及一頭部82，頭部82偏心地連接於旋轉頸部81。如圖14所示，軸套構件7具有形狀對應頭部82的一穿孔71而使轉軸8穿置於軸套構件7。如圖15所示，由於頭部82偏心地連接於旋轉頸部81，因此當旋轉頸部81在軸套構件7中旋轉時，頭部82與穿孔71互相干涉而使轉軸8無法脫離軸套構件7；只有在蓋體2與本體1相對旋轉至特定角度時(如圖14所示)，頭部82的角度剛好正對穿孔71而可使轉軸8脫離軸套構件7。藉由這樣的軸套構件7及轉軸8，蓋體2與本體1只有在特定角度下才能拆裝，而組裝後若不旋轉到特定角度，蓋體2與本體1只能相對樞轉而不能拆裝。
本發明在上文中已以實施例揭露，然熟習本項技術者應理解的是，該實施例僅用於描繪本發明，而不應解讀為限制本發明之範圍。應注意的是，舉凡與該實施例等效之變化與置換，均應設為涵蓋於本發明之範疇內。因此，本發明之保護範圍當以申請專利範圍所界定者為準。
100:光罩盒
1:本體
2:蓋體
31:凹陷部
32:插槽部
41:扣部
412:斜導面
42:彈性臂
43:操作部
5:蓋合對應件
52:止擋部
6:彈性構件
d:鎖定方向

Claims (10)

  1. 一種光罩盒，其包含：一開口朝上的本體；一開口朝下的蓋體，該蓋體的一第一側與該本體的一第一側樞接，而相對蓋合形成一容置光罩的存放空間；至少一滑軌構件，設置於該本體的相反於該第一側的一第二側，該滑軌構件具有一凹陷部及一插槽部並沿該第二側定義一鎖定方向，該凹陷部自該插槽部沿該鎖定方向凸伸，該凹陷部的高度低於該插槽部，該插槽部具有一插槽；至少一滑扣構件，可滑動地設置於該滑軌構件，該滑扣構件具有一扣部及一彈性臂，該彈性臂自該扣部反向該鎖定方向凸伸，該彈性臂插設於該插槽，該扣部具有高度匹配該插槽部的一扣槽，該扣槽的開口位置的上方設有一斜導面；以及至少一蓋合對應件，設置於該蓋體的第二側且位置對應於該凹陷部，其中，於該蓋體相對該本體自開啟狀態轉為閉合狀態，該蓋合對應件先沿該斜導面推擠該滑扣構件，使該滑扣構件於一自由位置被推入一緊壓位置而使該彈性臂被壓縮，該蓋合對應件後通過該斜導面而進入該扣槽的開口，該彈性臂釋放彈性位能而使該滑扣構件回彈至該自由位置， 於該蓋體相對該本體為閉合狀態，該滑扣構件可經外力而自該自由位置沿該鎖定方向移動至一鎖定位置，於該鎖定位置，該凹陷部及該蓋合對應件位於該扣槽。
  2. 如請求項1所述之光罩盒，其中該蓋合對應件通過該斜導面而進入該扣槽的開口，該蓋合對應件的一第一端的一端部與該扣部相干涉。
  3. 如請求項2所述之光罩盒，其中該蓋合對應件的一第二端設有一止擋部，該第二端反向於該第一端。
  4. 如請求項2所述之光罩盒，更包括一彈性構件，設置於該本體及該蓋體之間，於該滑扣構件自該鎖定位置移動到該緊壓位置，該彈性構件所儲存的彈性位能使該蓋體轉為開啟狀態。
  5. 如請求項1所述之光罩盒，其中該插槽的開口朝上。
  6. 如請求項1所述之光罩盒，其中該彈性臂具有一插入端及一彈性部，該彈性部連接該插入端及該扣部，該插入端插入該插槽。
  7. 如請求項1所述之光罩盒，其中該滑扣構件具有彼此對稱的二彈性臂，分別自該滑軌構件的插槽部的上下兩端插入該插槽。
  8. 如請求項1或7所述之光罩盒，其中該滑扣構件具有平行該鎖定方向的一鏡射對稱軸。
  9. 如請求項1所述之光罩盒，其中該扣部的外表面為凸面。
  10. 如請求項1所述之光罩盒，更包括一軸套構件及一轉軸，該軸套構件設置於該本體的第一側，該轉軸設置於該蓋體的第一側，該轉軸具有一旋轉頸部及一頭部，該頭部偏心地連接於該旋轉頸 部，該軸套構件具有形狀對應該頭部的一穿孔而使該轉軸穿置於該軸套構件。
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