KR20210118345A - 레티클 포드 - Google Patents

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KR20210118345A
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치아-호 츄앙
쉰-민 슈에
유-첸 츄
밍-치엔 치유
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구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드
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Abstract

본체, 덮개, 슬라이드 레일 요소, 슬라이드 잠금 요소, 그리고 덮임 대응 부품이 있는 레티클 포드로서, 슬라이드 레일 요소에는 함몰 부위와 슬롯 홈 부위가 있고 잠금 고정 방향을 규정하며, 함몰 부위는 슬롯 홈 부위에서 잠금 고정 방향을 따라 돌출하고, 슬라이드 잠금 요소는 슬라이드 레일 요소에 슬라이드 하는 방식으로 설치되며, 슬라이드 잠금 요소에는 잠금 부위와 탄성 암이 있고, 탄성 암은 슬롯 홈 부위의 슬롯 홈에 삽입되고, 잠금 부위에는 슬롯 홈 부위와 대응되는 높이의 잠금 홈이 있으며, 잠금 홈의 개구 위치 위쪽에 경사가이드면이 설치된다. 덮개가 본체에 대응하여 열린 상태에서 닫힌 상태가 될 때, 덮임 대응 부품은 경사가이드면을 따라 슬라이드 잠금 요소를 밀어 슬라이드 잠금 요소가 압축되게 하며, 덮임 대응 부품은 경사가이드면을 통해서 잠금 홈의 개구에 들어가고 탄성 암은 탄성 위치 에너지를 릴리즈하여 슬라이드 잠금 요소가 되돌아 오게 한다. 본 발명의 레티클 포드를 이용하면 레티클의 잠금 문제를 해결할 수 있다.

Description

레티클 포드{RETICLE POD}
본 발명은 레티클 포드, 특히 잠글 수 있는 레티클 포드에 관한 것이다.
첨단 리소그래피 제조공정에서, 특히 EUV(극자외선) 리소그래피 제조공정에서는 제조 공정의 환경 청결에 대한 요구가 매우 높다. 만약 분진 입자(particle)가 레티클을 오염시키는 경우, 리소그래피 제조공정의 결함을 야기하게 된다. 청결성과 레티클 보호를 위해, 일반적으로 레티클 포드를 사용하여 바깥의 분진 입자를 방지한다. 그리고 레티클 포드의 위 아래 덮개가 예기치 않게 열리는 것을 예방하기 위해, 통상적으로 레티클 포드를 여는 부위에 잠금쇠를 설치하여 레티클 포드의 위 아래 덮개를 잠금 고정시킨다. 하지만 이러한 잠금쇠는 조작을 더 해야 완전히 잠글 수 있으며, 만약 잠금쇠가 걸리도록 하지 않고 레티클 포드를 닫기만 하는 경우, 레티클 포드는 여전히 쉽게 열리게 되고 분진도 쉽게 레티클 포드 내로 들어가 레티클을 오염시키게 된다.
따라서, 기존의 레티클 포드의 여러 가지 문제점을 해결하고자 본 발명은 잠글 수 있는 레티클 포드를 제시한다.
상기 목적 및 기타 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 레티클 포드를 제시한다. 이 레티클 포드에는 개구가 위로 향하는 본체; 첫째 측면이 본체의 첫째 측면과 연결하여 레티클을 저장할 수 있는 공간을 형성하는 개구가 아래로 향하는 덮개; 본체의 첫째 측면과 반대되는 쪽의 둘째 측면에 설치되고 함몰 부위와 슬롯 홈 부위가 있으며, 상기 둘째 측면을 따라 잠금 고정 방향이 규정되고 함몰 부위는 슬롯 홈 부위에서 잠금 고정 방향을 따라 돌출하며, 함몰 부위의 높이는 슬롯 홈 부위보다 낮고 슬롯 홈 부위에는 슬롯 홈이 있는 최소한 한 개의 슬라이드 레일 요소; 슬라이드 레일 요소에 슬라이드하는 방식으로 설치되고 잠금 부위와 탄성 암이 있으며, 탄성 암은 잠금 부위의 반대 방향으로 잠금 고정 방향을 따라 돌출하고 상기 슬롯 홈에 삽입되며, 잠금 부위에는 슬롯 홈 부위와 대응되는 높이의 잠금 홈이 있으며, 이 잠금 홈의 개구 위치 위쪽에 경사가이드면이 있는 최소한 한 개의 슬라이드 잠금 요소; 및 덮개의 둘째 측면에 설치되며 위치가 함몰 부위에 대응하는 최소한 한 개의 덮임 대응 부품이 있다. 상기 덮개가 본체에 대응하여 열린 상태에서 닫힌 상태가 될 때, 덮임 대응 부품은 우선 경사가이드면을 따라 슬라이드 잠금 요소를 밀어 슬라이드 잠금 요소가 자유 위치에서 꽉 눌리는 위치로 밀려들어가게 하여 상기 탄성 암이 압축되게 한다. 상기 덮임 대응 부품은 후에 경사가이드면을 통해서 잠금 홈의 개구에 들어간다. 탄성 암은 탄성 위치 에너지를 릴리즈하여 슬라이드 잠금 요소가 자유 위치로 다시 되돌아 오게 한다. 덮개가 본체에 대응하여 닫힌 상태에 있을 때, 슬라이드 잠금 요소는 외부의 힘을 통해 자유 위치에서 잠금 고정 방향을 따라 잠금 고정 위치로 이동하며, 그 잠금 고정 위치에서 함몰 부위와 덮임 대응 부품은 잠금 홈에 들어가게 된다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 덮임 대응 부품은 경사가이드면을 통해서 잠금 홈의 개구에 들어가며, 덮임 대응 부품의 첫째 단의 단 부위는 잠금 부위와 서로 개입한다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 덮임 대응 부품의 둘째 단에는 저지 부위가 설치되며 이 둘째 단은 첫째 단과 반대 방향이다.
본 발명의 한 실시예에서는 더 나아가 본체와 덮개 사이에 설치되는 탄성 요소가 있으며, 슬라이드 잠금 요소가 잠금 고정 위치에서 꽉 눌린 위치로 이동할 때, 탄성 요소에 저장된 탄성 위치 에너지가 덮개를 열린 상태로 돌린다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 슬롯 홈의 개구는 위를 향한다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 탄성 암에는 삽인단과 탄성 부위가 있으며, 탄성 부위는 삽입단과 잠금 부위를 연결하며 삽입단은 슬롯 홈에 삽입된다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 슬라이드 잠금 요소에는 서로 대칭하는 탄성 암이 두 개 있으며, 각각 슬라이드 레일 요소의 슬롯 홈 부위의 위 아래 양단에서 슬롯 홈에 삽입된다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 슬라이드 잠금 요소에는 잠금 고정 방향과 평행하는 반사 대칭 축이 있다.
본 발명의 한 실시예에서, 상기 잠금 부위의 바깥 표면은 볼록한 면이다.
본 발명의 한 실시예에는 플레인 베어링 요소와 회전축이 포함되며, 플레인 베어링 요소는 본체의 첫째 측면에 설치되고, 회전축은 덮개의 첫째 측면에 설치된다. 그리고 회전축에는 회전 목 부위와 헤드 부위가 있으며, 헤드 부위는 중심을 달리하는 방식으로 회전 목 부위와 연결하고, 플레인 베어링 요소는 헤드 부위에 대응하는 모양을 지닌 구멍이 있어 회전축이 플레인 베어링 요소에 끼워져 설치되게 한다.
이렇게 해서 본 발명의 레티클 포드는 덮개를 본체로 향해 누르기만 하면 슬라이드 잠금 요소의 탄성이 슬라이드 잠금 요소를 원래 상태로 되돌려 덮개와 본체를 일정 정도 잠금 고정시킴으로써, 슬라이드 잠금 요소를 잠금 고정 위치로 완전히 이동하지 않더라도 슬라이드 잠금 요소가 레티클 포드가 쉽게 열리지 않도록 보장하여 저장된 레티클이 분진에 오염되는 것을 예방할 수 있다.
또한, 본 발명의 레티클 포드는 이전 기술에 비해 레티클 포드의 사용상의 편리성 및 안전성을 개선하고 부주의로 인해 발생하는 제조공정 원가를 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명 실시예의 레티클 포드의 입체 모습을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명 실시예의 레티클 포드의 분해된 모습을 보여주는 도면이다.
도 3은 본 발명 실시예의 슬라이드 레일 요소의 입체 모습을 보여주는 도면이다.
도 4는 본 발명 실시예의 슬라이드 레일 요소의 다른 각도에서의 모습을 보여주는 도면이다.
도 5는 본 발명 실시예의 슬라이드 잠금 요소의 외부 모습을 보여주는 도면이다.
도 6은 본 발명 실시예의 슬라이드 잠금 요소의 다른 각고에서의 모습을 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명 실시예의 슬라이드 잠금 요소를 슬라이드 레일 요소에 장착한 모습을 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명 실시예의 슬라이드 잠금 요소가 자유 위치에 있는 모습을 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명 실시예의 슬라이드 잠금 요소가 꽉 눌린 위치에 있는 모습을 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명 실시예의 덮임 대응 부품이 잠금 홈에 들어간 모습을 보여주는 도면이다.
도 11a는 본 발명 실시예의 덮임 대응 부품의 첫째 단과 잠금 부위가 서로 개입하는 보습을 보여주는 도면이다.
도 11b는 본 발명 실시예의 덮임 대응 부품이 잠금 홈에 들어간 모습의 단면도면이다.
도 12는 본 발명 실시예의 슬라이드 잠금 요소가 잠금 고장 위치에 있는 모습을 보여주는 도면이다.
도 13은 본 발명 실시예의 회전축의 입체 모습을 보여주는 도면이다.
도 14는 본 발명 실시예의 플레인 베어링 요소와 회전축의 조립을 보여주는 도면이다.
도 15는 본 발명 실시예의 플레인 베어링 요소와 회전축의 외부 모습을 보여주는 도면이다.
도 16은 본 발명의 다른 실시예의 슬라이드 잠금 요소의 외부 모습을 보여주는 도면이다.
본 발명의 기술적 특징과 실용적인 효능에 대해 충분히 이해할 수 있도록 돕기 위해 아래의 구체적인 실시예를 도면과 함께 제시하여 다음과 같이 설명한다. 해당 영역의 기술자들은 본 설명서에서 공개한 내용으로 본 발명의 목적, 특징 및 효능을 이해할 수 있다. 주의할 점은, 본 발명은 기타 구체적인 실시예로 시행하거나 응용할 수 있다는 것이다. 본 설명서의 세부 내용 역시 다른 관점과 응용에 기반하여 본 발명의 취지에 위배되지 않는 범위에서 여러 가지 수정과 변경을 실시할 수 있다. 아래의 실시예는 본 발명의 관련 기술과 내용을 좀 더 상세히 설명한다. 하지만 공개된 내용은 본 발명의 특허신청범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1 및 도 2에 표시된 바와 같이, 본 발명의 실시예의 레티클 포드(100)에는 본체(1), 덮개(2), 최소한 한 개의 슬라이드 레일 요소(3), 최소한 한 개의 슬라이드 잠금 요소(4), 그리고 최소한 한 개의 덮임 대응 부품(5)이 있다.
본체(1)의 개구는 위로 향하며, 안에는 레티클 거치 구역이 있어 레티클을 거치하는 데 사용된다(도면에 표시되지 않았음).
덮개(2)의 개구는 아래로 향해서 본체(1)를 덮으며, 덮개(2)의 첫째 측면(21)은 본체(1)의 첫째 측면(11)과 연결하고, 서로 덮여서 레티클을 저장하는 저장 공간 S를 형성한다.
도 2 및 도 3에 표시된 바와 같이, 슬라이드 레일 요소(3)는 본체(1)의 첫째 측면(11)과 반대쪽에 있는 둘째 측면(12)에 설치된다. 슬라이드 레일 요소(3)는 함몰 부위(31)와 슬롯 홈 부위(32)가 있으며, 둘째 측면(12)을 따라 잠금 고정 방향 d를 규정한다. 함몰 부위(31)는 슬롯 홈 부위(32)에서 잠금 고정 방향 d를 따라 돌출하며, 함몰 부위(31)의 높이는 슬롯 홈 부위(32)보다 낮다. 슬롯 홈 부위(32)에는 슬롯 홈(321)이 있다.
도 5 내지 도 7에 표시된 바와 같이, 슬라이드 잠금 요소(4)는 슬라이드 하는 방식으로 슬라이드 레일 요소(3)에 설치된다. 슬라이드 잠금 요소(4)에는 잠금 부위(41)와 탄성 암(42)이 있으며, 탄성 암(42)은 잠금 부위(41)에서 반대 방향으로 잠금 고정 방향 d에 돌출한다. 탄성 암(42)은 슬롯 홈(321)에 설치되며, 잠금 부위(41)에는 슬롯 홈 부위(32)와 대응되는 높이의 잠금 홈(411)이 있으며, 잠금 홈(411)의 개구 위치 위쪽에는 경사가이드면(412)이 설치된다.
도 1, 도 2 및 도 8에 표시된 바와 같이, 덮임 대응 부품(5)은 덮개(2)의 둘째 측면(22)에 설치되고 위치는 함몰 부위(31)와 대응한다.
다음은 레티클(100)을 잠그는 방법에 대해 설명한다.
덮개(2)와 본체(1)가 첫째 측면(11, 21)을 회전축으로 해서 서로 회전할 때, 덮개(2)는 본체(1)에 대응하여 열린 상태에서 닫힌 상태로 바뀐다. 닫힘 과정에서는 우선 도 8에 표시된 바와 같이 덮개(2)가 아래로 눌리면 덮임 대응 부품(5)이 마침 슬라이드 잠금 요소(4)의 경사가이드면(412)에 맞물린다. 도 9에 표시된 바와 같이, 덮개(2)를 계속 누르면 덮임 대응 부품(5)은 경사가이드면(412)을 따라 슬라이드 잠금 요소(4)를 밀어서 슬라이드 잠금 요소(4)가 도 8의 자유 위치에서 도 9에 표시된 눌림 위치(잠금 고정 방향에 반대 방향)으로 밀려서 탄성 암(42)이 눌려지게 한다. 탄성 암(42)은 이 과정에서 탄성 위치 에너지를 누적하게 된다.
도 10 및 도 11a에 표시된 바와 같이, 덮임 대응 부품(5)은 계속해서 아래로 이동하여 경사가이드면(412)을 통과하고, 잠금 홀(411)(도 6 참고)의 개구로 들어간다. 덮임 대응 부품(5)이 잠금 홈(411)에 들어간 후는 더 이상 슬라이드 잠금 요소(4)를 밀지 않기 때문에, 탄성 암(42)은 탄성 위치 에너지를 즉시 릴리즈하여 슬라이드 잠금 요소(4)가 도 9의 눌림 위치에서 자유 위치로 되돌아 오게 한다(도 10에 표시된 바와 같이). 도 11a에 표시된 바와 같이, 본 실시예에서, 덮임 대응 부품(5)의 첫째 단의 단 부위(51)와 잠금 부위(41)의 덮개(2)를 따른 열림 방향은 서로 개입하기 때문에, 사용자가 덮개(2)와 본체(1)를 더 잠금 고정시키는 것을 잊어버리더라도 레티클 포드(100)에 여전히 일정 정도의 잠금 기능이 있어 레티클 포드(100)가 예기치 않게 열리는 것을 예방할 수 있다.
도 12에 표시된 바와 같이, 덮개(2)는 본체(1)에 대응하여 닫힘 상태에 있을 때, 슬라이드 잠금 요소(4)는 외부의 힘을 통해 도 10의 자유 위치에서 잠금 고정 방향 d를 따라 잠금 고정 위치로 이동할 수 있다. 잠금 고정 위치에서, 함몰 부위(31)와 덮임 대응 부품(5)은 잠금 홈(411) 안에 소재한다. 도 11b에 표시된 바와 같이, 덮임 대응 부품(5)과 함몰 부위(31)의 총체적 높이는 슬롯 홈 부위(32)의 높이와 거의 같으며 슬라이드 잠금 요소(4)의 잠금 홈(411) 높이는 슬롯 홈 부위(32)와 대등하기 때문에 덮임 대응 부품(5)과 함몰 부위(31)는 잠금 홈(411)을 통과할 수 있어, 슬라이드 잠금 요소(4)가 덮임 대응 부품(5)과 함몰 부위(31)로 슬라이드 해서 이동하도록 한다(즉 잠금 고정 위치).
본 발명의 레티클 포드(100)는 자유 위치, 눌림 위치, 그리고 잠금 고정 위치 사이에서 전환할 수 있다. 덮개(2)를 본체(1)로 향해 아래로 누르기만 하면 슬라이드 잠금 요소(4)의 탄력이 슬라이드 잠금 요소(4)를 자유 위치에로 원래 상태로 되돌려 덮개(2)와 본체(1)를 일정 정도 잠금 고정시킨다. 그래서 슬라이드 잠금 요소(4)를 잠금 고정 위치로 완전히 밀지 않더라도 슬라이드 잠금 요소(4)는 레티클 포드(100)가 쉽게 열리지 않도록 보장하여 저장된 레티클이 분진에 오염되는 것을 예방할 수 있다. 그러므로 본 발명은 레티클 포드의 사용상의 편리성 및 안전성을 개선하고 부주의로 인해 발생하는 제조공정 원가를 줄일 수 있다.
도 12에 표시된 바와 같이, 덮임 대응 부품(5)의 둘째 단에는 저지 부위(52)가 설치되며, 이 둘째 단은 첫째 단과 반대 방향에 있다. 저지 부위(52)는 덮개(2)에 연결되며, 슬라이드 잠금 요소(4)가 저지 부위(52)까지 슬라이드 할 때, 저지 부위(52)의 저지를 받아 잠금 고정 위치에서 멈추게 된다.
또한, 도 1 및 도 2에 표시된 바와 같이, 레티클 포드(100)에는 본체(1)와 덮개(2) 사이에 설치되는 탄성 요소(6)가 있다. 탄성 요소(6)는 탄성 위치 에너지를 저장하여 덮개(2)가 열릴 때 자동적으로 홱 열리게 한다. 자세히 설명하자면, 덮개(2)가 본체(1)에 대응하여 열림 상태에서 닫힘 상태로 바뀔 때, 탄성 요소(6)는 눌려져서 탄성 위치 에너지를 저장한다. 이 때 레티클 포드(100)를 열려고 하면 손으로 슬라이드 잠금 요소(4)의 잠금 고정 위치를 해제해야 한다. 슬라이드 잠금 요소(4)가 외부의 힘에 의해 도 12의 잠금 고정 위치에서 도 9의 꽉 눌린 위치로 이동하면 덮임 대응 부품(5)의 첫째 단이 더 이상 잠금 부위(41)와 서로 개입하지 않게 한다. 이 때 탄성 요소(6)는 저장된 탄성 위치 에너지를 릴리즈하여 덮개(2)가 위를 향해 홱 열리고 덮개(2)는 본체(1)에 대응하여 열림 상태가 되게 한다. 다른 한편으로, 덮개(2)가 위를 향해 홱 열리기 때문에 덮임 대응 부품(5)은 더 이상 슬라이드 잠금 요소(4)를 밀지 않게 되며, 꽉 눌린 위치에 있는 슬라이드 잠금 요소(4)도 탄성 암(42)이 릴리즈하는 탄성 위치 에너지를 통해서 도 8에 표시된 자유 위치로 돌아가게 된다.
또한, 도 3 내지 도 7에 표시된 바와 같이, 슬롯 홈 부위(32)의 슬롯 홈(321)의 개구는 위로 향하며, 탄성 암(42)에는 삽입단(421)과 탄성 부위(422)가 있다. 탄성 부위(422)는 삽입단(421)과 잠금 부위(41)를 연결하며, 삽입단은(421)은 슬롯 홈(321)에 삽입된다.
본 실시예에서, 슬롯 홈 부위(32)에는 위 아래 두 개의 슬롯 홈(321, 322)이 있으며, 이 두 개의 삽입 홈은 서로 연결되어 상통하거나 연결 상통되지 않는 공간일 수 있다. 슬라이드 잠금 요소(4)에는 서로 대칭하는 두 개의 탄성 암(42)이 있으며, 각각 슬롯 홈 부위(32)의 위 아래 양단에서 슬롯 홈(321, 322)에 삽입된다. 그리고 탄성 부위(422)는 휘어진 모양을 하기 때문에 삽입단(421)은 슬롯 홈(321, 322)을 붙들게 된다. 따라서 탄성 부위(422)가 탄성 위치 에너지를 릴리즈할 때, 슬라이드 잠금 요소(4)는 슬라이드 레일 요소(3)를 이탈하지 않는다.
도 1 및 도 7에 표시된 바와 같이, 본 실시예에서 슬라이드 잠금 요소(4)에는 또한 조작 부위(43)가 있으며, 이는 잠금 부위(41)에서 수직으로 잠금 고정 방향 d에 돌출한다. 조작 부위(43)는 사용자가 쉽게 슬라이드 잠금 요소(4)를 밀거나 눌러서 슬라이드 하고 슬라이드 잠금 요소(4)를 눌림 위치 또는 잠금 고정 위치로 이동하는 데 사용된다.
도 8 내지 도 10, 그리고 도 12에 표시된 바와 같이, 본 실시예에서 슬라이드 레일 요소(3)는 두 개이며, 각각 본체(1)의 둘째 측면(12)의 좌우 양쪽에 설치된다. 슬라이드 잠금 요소(4) 역시 두 개이며, 각각 두 개의 슬라이드 레일 요소(3)에 설치된다. 하지만 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 슬라이드 레일 요소(3)와 슬라이드 잠금 요소(4)의 수량은 한 개 또는 여러 개일 수 있으며, 필요에 따라 결정할 수 있다. 일반적으로 두 개의 슬라이드 레일 요소(3)와 슬라이드 잠금 요소(4)가 사용하는 데 가장 적합하며, 비교적 좋은 밀폐 성능을 제공할 수 있다.
또한, 도 8 내지 도 10, 그리고 도 12에 표시된 바와 같이, 본 실시예에서 두 개의 슬라이드 잠금 요소(4)의 잠금 고정 방향 d는 서로 바라본다(안쪽을 향함). 하지만 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 두 개의 잠금 고정 방향 d는 같은 방향을 향하거나(둘 다 도면의 왼쪽이나 오른쪽을 향함), 두 개의 잠금 고정 방향 d는 서로 반대 방향으로 바깥쪽을 향할 수 있다.
또한, 도 8 내지 도 10, 그리고 도 12에 표시된 바와 같이, 본 실시예에서 두 개의 슬라이드 잠금 요소(4)는 서로 회전 대칭되며, 두 개의 슬라이드 잠금 요소(4)에는 각각 잠금 고정 방향 d에 평행하는 반사 대칭 축이 있다. 그에 따라 두 개의 슬라이드 잠금 요소(4)는 완전히 같은 부품으로서 동일한 조형을 사용할 수 있어 제조 공정 및 재료 원가를 줄일 수 있다.
도 16에 표시된 것은 본 발명의 다른 실시예의 슬라이드 잠금 요소(4a)이며, 이 슬라이드 잠금 요소(4a)로 슬라이드 잠금 요소(4)를 직접 교체할 수 있다. 슬라이드 잠금 요소(4a)와 슬라이드 잠금 요소(4)는 거의 동일하며, 잠금 부위(41a) 및 서로 대칭하는 두 개의 탄성 암(42a)이 있다.
잠금 부위(41a)에는 잠금 홈(411)과 원호 모양의 경사가이드면(412a)이 있고 잠금 부위(41a)의 바깥 표면(413)은 볼록한 면이며, 사용자가 슬라이드 잠금 요소(4a)를 편리하게 밀거나 누르고 슬라이드 잠금 요소(4a)를 눌림 위치 또는 잠금 고정 위치로 이동하는 데 사용할 수 있다.
탄성 암(42a)에는 각각 삽입단(421a)과 탄성 부위(422a)가 있으며, 탄성 부위(422a)는 삽입단(421a)과 잠금 부위(41a)를 연결한다. 두 개의 삽입단(421a)은 각각 슬롯 홈 부위(32)의 상하 양단에서 슬롯 홈(321, 322)에 삽입된다. 그리고 탄성 부위(422a)는 휘어진 모양을 하기 때문에 삽입단(421a)은 슬롯 홈(321, 322)을 붙들게 된다. 따라서 탄성 부위(422a)가 탄성 위치 에너지를 릴리즈할 때, 슬라이드 잠금 요소(4a)는 슬라이드 레일 요소(3)을 이탈하지 않는다.
도 1, 도2, 그리고 도 13 내지 도 15에 표시된 바와 같이, 레티클 포드(100)에는 플레인 베어링 요소(7)와 회전축(8)이 있으며, 플레인 베어링 요소(7)는 본체(1)의 첫째 측면(11)에 설치되며, 회전축(8)은 덮개(2)의 첫째 측면(21)에 설치된다. 도 13에 표시된 바와 같이, 회전축(8)에는 회전 목 부위(81)와 헤드 부위(82)가 있으며, 헤드 부위(82)는 중심을 달리하는 방식으로 회전 목 부위(81)에 연결된다. 도 14에 표시된 바와 같이, 플레인 베어링 요소(7)에는 헤드 부위(82) 모양에 대응하는 구멍(71)이 있어 회전축(8)이 플레인 베어링 요소(7)에 끼워져 설치된다. 도 15에 표시된 바와 같이, 헤드 부위(82)가 중심을 달리하는 방식으로 회전 목 부위(81)에 연결되기 때문에 회전 목 부위(81)가 플레인 베어링 요소(7) 안에서 회전할 때, 헤드 부위(82)와 구멍(71)은 서로 개입하여 회전축(8)이 플레인 베어링 요소(7)를 이탈할 수 없도록 한다. 덮개(2)와 본체(1)가 상대적으로 회전하여 특정 각도에 도달할 때만(도 14에 표시된 바와 같이) 헤드 부위(82)의 각도가 구멍(71)에 정면으로 위치하여 회전축(8)이 플레인 베어링 요소(7)를 이탈할 수 있도록 한다. 이러한 플레인 베어링 요소(7)와 회전축(8)을 통해서 덮개(2)와 본체(1)는 특정 각도에서만 해체될 수 있으며, 조립 후 특정 각도로 회전하지 않을 경우, 덮개(2)와 본체(1)는 상대적으로 회전할 뿐 해체되지 않는다.
본 발명에서 상기 실시예들은 일부 예시일 뿐이며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 실시예를 참고하여 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변경이 가능하며, 이러한 것들은 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다. 그러므로 본 발명의 보호범위는 특허청구범위에 기재된 것을 준거로 해야 할 것이다.
100 레티클 포드
1 본체
11 첫째 측면
12 둘째 측면
2 덮개
21 첫째 측면
22 둘째 측면
3 슬라이드 레일 요소
31 함몰 부위
32 슬롯 홈 부위
321 슬롯 홈
322 슬롯 홈
4 슬라이드 잠금 요소
4a 슬라이드 잠금 요소
41 잠금 부위
41a 잠금 부위
411 잠금 홈
412 경사가이드면
412a 경사가이드면
413 바깥 표면
42 탄성 암
42a 탄성 암
421 삽입단
421a 삽입단
422 탄성 부위
422a 탄성 부위
43 조작 부위
5 덮임 대응 부품
51 단 부위
52 저지 부위
6 탄성 요소
7 플레인 베어링 요소
71 구멍
8 회전축
81 회전 목 부위
82 헤드 부위
d 잠금 고정 방향
S 저장 공간

Claims (10)

  1. 개구가 위로 향하는 본체;
    첫째 측면이 본체의 첫째 측면과 연결하여 레티클을 저장할 수 있는 공간을 형성하는 개구가 아래로 향하는 덮개;
    본체의 첫째 측면과 반대되는 쪽의 둘째 측면에 설치되고 함몰 부위와 슬롯 홈 부위가 있으며, 상기 둘째 측면을 따라 잠금 고정 방향이 규정되고 함몰 부위는 슬롯 홈 부위에서 잠금 고정 방향을 따라 돌출하며, 함몰 부위의 높이는 슬롯 홈 부위보다 낮고 슬롯 홈 부위에는 슬롯 홈이 있는 최소한 한 개의 슬라이드 레일 요소;
    슬라이드 레일 요소에 슬라이드하는 방식으로 설치되고 잠금 부위와 탄성 암이 있으며, 탄성 암은 잠금 부위의 반대 방향으로 잠금 고정 방향을 따라 돌출하고 상기 슬롯 홈에 삽입되며, 잠금 부위에는 슬롯 홈 부위와 대응되는 높이의 잠금 홈이 있으며, 이 잠금 홈의 개구 위치 위쪽에 경사가이드면이 있는 최소한 한 개의 슬라이드 잠금 요소; 및
    덮개의 둘째 측면에 설치되며 위치가 함몰 부위에 대응하는 최소한 한 개의 덮임 대응 부품이 있으며,
    상기 덮개가 본체에 대응하여 열린 상태에서 닫힌 상태가 될 때, 덮임 대응 부품은 우선 경사가이드면을 따라 슬라이드 잠금 요소를 밀어 슬라이드 잠금 요소가 자유 위치에서 꽉 눌리는 위치로 밀려들어가게 하여 상기 탄성 암이 압축되게 하며, 상기 덮임 대응 부품은 후에 경사가이드면을 통해서 잠금 홈의 개구에 들어가며, 탄성 암은 탄성 위치 에너지를 릴리즈하여 슬라이드 잠금 요소가 자유 위치로 다시 되돌아 오게 하며,
    덮개가 본체에 대응하여 닫힌 상태에 있을 때, 슬라이드 잠금 요소는 외부의 힘을 통해 자유 위치에서 잠금 고정 방향을 따라 잠금 고정 위치로 이동하며, 그 잠금 고정 위치에서 함몰 부위와 덮임 대응 부품은 잠금 홈에 들어가게 되는 레티클 포드.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 덮임 대응 부품은 경사가이드면을 통과해서 잠금 홈의 개구로 들어가며, 덮임 대응 부품의 첫째 단의 단 부위는 잠금 부위와 서로 개입하는 레티클 포드.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 덮임 대응 부품의 둘째 단에는 저지 부위가 설치되고 둘째 단은 첫째 단과 반대 방향인 레티클 포드.
  4. 청구항 2에 있어서,
    본체와 덮개 사이에 설치되는 탄성 요소가 있으며, 상기 슬라이드 잠금 요소가 잠금 고정 위치에서 꽉 눌린 위치로 이동할 때, 탄성 요소에 저장된 탄성 위치 에너지가 덮개를 열린 상태로 돌리는 레티클 포드.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬롯 홈의 개구가 위로 향하는 레티클 포드.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성 암에는 삽인단과 탄성 부위가 있으며, 탄성 부위는 삽입단과 잠금 부위를 연결하고 삽입단은 슬롯 홈에 삽입되는 레티클 포드.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬라이드 잠금 요소에는 서로 대칭하는 탄성 암이 두 개 있으며, 각각 슬라이드 레일 요소의 슬롯 홈 부위의 위 아래 양단에서 슬롯 홈에 삽입되는 레티클 포드.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 슬라이드 잠금 요소에는 잠금 고정 방향과 평행하는 반사 대칭 축이 있는 레티클 포드.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 잠금 부위의 바깥 표면은 볼록한 면인 레티클 포드.
  10. 청구항 1에 있어서,
    플레인 베어링 요소와 회전축이 포함되며, 플레인 베어링 요소는 본체의 첫째 측면에 설치되고, 회전축은 덮개의 첫째 측면에 설치되며, 회전축에는 회전 목 부위와 헤드 부위가 있으며, 헤드 부위는 중심을 달리하는 방식으로 회전 목 부위와 연결하고, 플레인 베어링 요소는 헤드 부위에 대응하는 모양을 지닌 구멍이 있어 회전축이 플레인 베어링 요소에 끼워져 설치되게 하는 레티클 포드.
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWD211778S (zh) * 2020-09-22 2021-05-21 家登精密工業股份有限公司 光罩盒
US20230333463A1 (en) * 2022-04-19 2023-10-19 Entegris, Inc. Reticle container having magnetic latching
US20240111222A1 (en) * 2022-09-29 2024-04-04 Entegris, Inc. Extreme ultraviolet inner pod distributed support

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003222992A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Arakawa Jushi:Kk マスクケース
KR20070114366A (ko) * 2005-02-27 2007-12-03 엔테그리스, 아이엔씨. 마스크 컨테이너
KR20110076730A (ko) * 2009-12-29 2011-07-06 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 레티클 포드 및 그 지지부재
JP2017204608A (ja) * 2016-05-13 2017-11-16 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3240039A (en) * 1962-11-13 1966-03-15 Hawley Products Co Latch assembly
US4576307A (en) * 1984-01-05 1986-03-18 Doskocil Manufacturing Co., Inc. Separable elements held together by a sliding latch
US5988387A (en) * 1998-07-01 1999-11-23 Ade, Inc. Suspension package
US6367639B1 (en) * 1999-03-29 2002-04-09 Bob Mar Safety container providing optional opening and closing arrangements
DE10041886B4 (de) * 2000-08-25 2007-03-22 Ifco Systems Gmbh Transportbehälter
US7048133B2 (en) * 2001-04-23 2006-05-23 Black & Decker Inc. Storage container
JP2003226394A (ja) * 2002-01-31 2003-08-12 Arakawa Jushi:Kk マスクケース
TW533973U (en) * 2002-03-12 2003-05-21 Stanley Chiro Int Ltd Tool storage case with simple and convenient automatic closing lock buckling apparatus
JP2004143737A (ja) * 2002-10-23 2004-05-20 Kawamura Electric Inc ラッチ装置
US7194879B2 (en) * 2003-02-21 2007-03-27 Alpha Security Products, Inc. Security container with linked primary and secondary security features
US7322470B2 (en) * 2004-09-30 2008-01-29 Black & Decker Inc. Tool container
US7513364B2 (en) * 2004-10-29 2009-04-07 Gau Woei Super Hard Tool Co., Ltd. Casing with a locking unit
DE202005001458U1 (de) * 2005-01-28 2005-06-16 Rösler, Peter Kassette mit Verschlussschieber
CN101378973B (zh) * 2006-02-03 2012-05-30 安格斯公司 吸震的基底容器
TWI317339B (en) * 2006-12-22 2009-11-21 Ind Tech Res Inst A latch mechanism of clean container
PL2296987T3 (pl) * 2008-06-17 2014-05-30 Utz Georg Holding Ag Składany pojemnik magazynowo-transportowy
JP5268142B2 (ja) * 2008-09-27 2013-08-21 Ｈｏｙａ株式会社 マスクブランク収納ケース及びマスクブランクの収納方法、並びにマスクブランク収納体
CN201750761U (zh) * 2010-06-17 2011-02-23 巨匠音乐事业有限公司 具锁扣结构的箱体
JP6218309B2 (ja) * 2012-06-28 2017-10-25 Hoya株式会社 マスクブランク収納ケース及びマスクブランク収納体
KR102165828B1 (ko) * 2013-12-31 2020-10-14 효성티앤에스 주식회사 카세트 커버 잠금장치
US9764878B2 (en) * 2014-01-21 2017-09-19 Passionate Playground LLC Sanitary locking storage box
US9120605B1 (en) * 2014-08-07 2015-09-01 Bob Mar Safety container providing optional opening and closing arrangements
HK1215123A2 (zh) * 2015-04-10 2016-08-12 深圳迪凱工貿有限公司 層東側 表面無突起的飾品儲存裝置和飾品展示方法
US20190208880A1 (en) * 2016-03-21 2019-07-11 Shenzhen DiKai Industrial Co., Ltd. Jewelry Storage Device and Display Method Thereof
CN206532748U (zh) * 2017-02-24 2017-09-29 东风汽车公司 滑扣锁紧式保险丝盒防护罩
CN207799329U (zh) * 2017-10-31 2018-08-31 中勤实业股份有限公司 光罩盒
TWM555966U (zh) * 2017-10-31 2018-02-21 中勤實業股份有限公司 光罩盒
EP3531519B1 (en) * 2018-02-27 2022-10-12 Aptiv Technologies Limited Electrical junction box
CN209389327U (zh) * 2018-11-06 2019-09-13 昆山宏致电子有限公司 连接器组合的锁定结构

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003222992A (ja) * 2002-01-31 2003-08-08 Arakawa Jushi:Kk マスクケース
KR20070114366A (ko) * 2005-02-27 2007-12-03 엔테그리스, 아이엔씨. 마스크 컨테이너
KR20110076730A (ko) * 2009-12-29 2011-07-06 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 레티클 포드 및 그 지지부재
JP2017204608A (ja) * 2016-05-13 2017-11-16 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

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Publication number Publication date
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