KR20070114366A - 마스크 컨테이너 - Google Patents

마스크 컨테이너 Download PDF

Info

Publication number
KR20070114366A
KR20070114366A KR1020077021892A KR20077021892A KR20070114366A KR 20070114366 A KR20070114366 A KR 20070114366A KR 1020077021892 A KR1020077021892 A KR 1020077021892A KR 20077021892 A KR20077021892 A KR 20077021892A KR 20070114366 A KR20070114366 A KR 20070114366A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
latch
packaging container
base
mask packaging
rail
Prior art date
Application number
KR1020077021892A
Other languages
English (en)
Inventor
앤소니 매티어스 티벤
크리스챤 앤더슨
브라이언 와이즈맨
Original Assignee
엔테그리스, 아이엔씨.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔테그리스, 아이엔씨. filed Critical 엔테그리스, 아이엔씨.
Publication of KR20070114366A publication Critical patent/KR20070114366A/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
    • G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67353—Closed carriers specially adapted for a single substrate
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Library & Information Science (AREA)
  • Closures For Containers (AREA)
  • Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)

Abstract

인간 또는 동물의 눈의 내부로의 투약용으로 적합한 약물 전달 시스템이 설명된다. 본 발명은 눈 내의 바람직한 목표 부분에 하나 이상의 약물의 방향성 있는 전달을 제공하며 약물 전달 요소가 위치되는 사람에게는 보이지 않게 남아있는 약물 전달 요소를 포함한다. 본 약물 전달 시스템은 약물 전달 요소를 눈의 망막에 접착시키는 접착부, 및/또는 유리체 임플랜트를 형성하도록 약물 전달 요소를 대체로 포위하는 중합체 외피를 포함할 수 있다. 외피는 일플랜트가 눈에 위치되었을 때 임플랜트의 안정성과 취급을 개선시킬 수 있다. 또한, 약물 전달 시스템의 제조 및 사용 방법이 설명된다.
마스크 포장 컨테이너, 레티클, 덮개, 베이스, 래치 기구, 스프링, 레일

Description

마스크 컨테이너{MASK CONTAINER}
본 발명은 집적 회로를 제조하는데 사용되는 마스크를 저장하고 이송하기 위한 밀봉가능한 힌지식의 래칭가능한 컨테이너에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼를 이용하여 집적 회로와 같은 반도체 부품이 만들어진다. 이러한 목적을 위해, 최종 제품 내의 구조물의 위치와 크기를 투사 및 형성하기 위해 비교적 취약한 마스크(또는 레티클)가 사용된다. 이러한 마스크는 일반적으로 대체로 평면인 기판의 형태이다. 제조 동안에, 작은 이물질 입자가 마스크 또는 기판에 정착되어 제조되는 마스크 또는 기판을 손상시키거나, 다른 방식으로 제조 공정을 방해할 수 있다. 이러한 이물질 입자는 마스크가 저장되고 이송되는 환경 내에 존재한다. 마스크의 취약한 특성과 이물질 입자의 마스크에의 접착을 방지하는 것에 대한 필요성 때문에 컨테이너가 사용된다. 이러한 컨테이너는 손상으로부터 마스크를 보호하고 먼지 없는 미세 환경을 제공하기 위한 이중 목적의 역할을 한다. 통상적으로 마스크용 컨테이너는 분리된 상부 커버 또는 덮개와, 바닥 또는 베이스로부터 제조되어왔다. 이 부분들은 각각이 그 배면에 일체식인 힌지부를 가지며 개별적으로 성형된다. 이어서, 컨테이너는 힌지를 완성하도록 금속 힌지 핀을 이용하여 조립된다. 베이스 부재의 전방의 레일에 위치설정된 C 형상의 래치는 봉해진 포장을 고정하도록 폐쇄되었을 때, 상부 커버 상에 탭을 포획하도록 수동으로 슬라이딩된다. 힌지부는 통상 상부 커버 및 베이스와 동일한 재료로 형성되며, 통상 마모 및 입자 생성을 초래할 수 있는 플라스틱 대 금속 마찰 접촉뿐만 아니라 플라스틱 대 플라스틱 마찰 접촉을 갖는다. 덮개를 베이스에 자동적으로 고정하는 래치와, 플라스틱 대 플라스틱 또는 플라스틱 대 금속 마찰 접촉 없는 따라서 관련된 입자 생성이 없는, 최소의 조립 단계로 합체될 수 있는 힌지는 상당히 바람직할 것이다.
본 발명은 마스크를 저장하고 이송하기 위한 컨테이너와 오버몰딩 기술과 리빙(living) 힌지를 사용하여 그 구성품을 연속적으로 성형함에 의한 컨테이너를 제조하는 방법을 제공함으로써 부분적으로 산업계의 요구를 해결한다. 컨테이너는 덮개, 베이스, 힌지, 및 래칭 기구를 포함한다. 일 실시예에서, 힌지는 사출 성형에 의해 제1 재료로 형성된다. 힌지는 베이스와 커버를 그 위에 오버몰드하도록 주형 내에 위치된다. 따라서 베이스와 덮개는 제2 사출 성형에 의해 일체식으로 형성되거나 오버몰딩에 의해 힌지에 기계적으로 연결된다. 힌지는 마찰 또는 마모 접촉이 없이 작용하는 리빙 힌지부를 갖는다. C 형상의 래치 캐리지와 일체식으로 형성된 스프링으로서 구성된 슬라이딩 래치 부재를 포함하는 래치 기구는 베이스의 전방측에서 레일에 슬라이딩식으로 결합된다. 스프링은 래치 부재를 "래치" 위치인 원래의 정상 위치로 편의시킨다. 래치는 덮개가 베이스에 근접함에 따라 덮개의 경사 형상 연장부 즉, 캠면이 래치의 경사 형상 배벨면 즉, 협동하는 캠면에 대해 가압될 때 자동적으로 작동될 수 있는데, 즉 상부 커버를 수용하고 상부 커버와 래치되도록 래치 위치로 이동한다. 덮개 탭 연장부가 래치 캐리지 내의 노치로 진입되고 따라서 래치 캐리지가 스프링의 힘 하에서 원래 위치로 해제될 때까지 하방으로 이동하는 덮개 연장부의 힘은 캠면에 접촉되며 각각의 두 개의 래치 캐리지를 외부로 가압한다. 덮개 연장부가 그렇게 배치될 때, 덮개 연장부는 레일과 함께 정렬되며 래치 스프링은 래치 기구를 잠금되고 폐쇄된 위치에 보유한다. 래치의 다른 하향 지향 경사 형상 배벨식 에지는 아래로부터 상방으로 이동하는 액츄에이터에 의한 래치 기구를 자동적으로 개방하도록 사용될 수 있다.
본 발명의 특징 및 장점은 래치 기구가 수동으로 또는 로봇식으로 작동될 수도 있고, 하부로부터 상방으로 또는 상부로부터 하방으로 중 어느 하나로 연장되는 단순한 수직 이동 작동 아암과 함께 로봇식으로 작동될 수도 있다는 점이다.
본 발명의 특징 및 장점은 부품의 최소 개수이다. 예컨대, 각각의 래치 기구는 이용되는 상부 커버와 베이스의 부분에 부가하여 오직 하나의 추가적인 부품으로 이루어진다. 이것은 간편함, 세척의 용이함, 조립 비용과 같은 제조 비용을 최소화시키는 것을 용이하게 한다.
특징 및 장점은 힌지 내에 마찰 부품이 없는 것이다.
본 발명의 바람직한 실시예의 특징 및 장점은 래치 캐리지들 양자 모두가 그들의 래치 위치를 향해 내측으로 편의되어 있어서 컨테이너의 상부 또는 하부 중 하나로부터 도입되는 단순한 수직 이동에 의해 래치 캐리지 양자를 모두 외측으로 동시에 가압할 수 있는 캠면을 구비하는 액츄에이터를 두 개의 래치 캐리지 사이에 삽입함으로서, 개방을 위한 로봇식 작동을 용이하게 하는 것이다.
바람직한 실시예의 특징 및 장점은 래치 캐리지가 상부 덮개 상의 액츄에이터 캠부에 의해 그리고 로봇식에 의해 모두 자동될 수 있는 캠면을 갖는다는 것이다. 또한, 래치는 수동으로 쉽게 작동된다.
본 발명의 이러한 그리고 다른 목적, 특징, 및 장점은 첨부된 도면의 견지에서 고려될 때 이하의 설명으로부터 명백할 것이다.
도1은 폐쇄된 위치에 있을 때의 본 명세서의 발명에 따른 컨테이너의 일 실시예의 사시도이다.
도2는 개방 위치에 있을 때의 도1의 컨테이너의 내부의 사시도이다.
도3은 개방 위치에 있을 때의 도1의 컨테이너의 외부의 평면도이다.
도4는 개방 위치에 있을 때의 도1의 컨테이너의 측단면도이다.
도5는 컨테이너가 부분적으로 개방되고 래치 캐리지가 그 정상 위치에 있는 래치 기구의 기능을 도시하는 사시도이다.
도6은 래치 캐리지를 외향으로 편의시키는 래칭 기구에서 상부 커버가 베이스에 결합하기 시작하는 래치 기구의 기능을 도시하는 사시도이다.
도7은 그 정상 위치로 복귀된 래칭 기구의 래치 캐리지에서 상부 커버가 베이스 상에 폐쇄되는 래치 기구의 기능을 도시하는 사시도이다.
도8은 컨테이너 내에서의 결합 전의 힌지의 도면이다.
도9는 컨테이너 내에서의 결합 전의 힌지의 도면이다.
도10은 컨테이너 내에서의 결합 전의 힌지의 상부의 사시도이다.
도11은 컨테이너 내에서의 결합 전의 힌지의 바닥부의 사시도이다.
도12는 컨테이너 내에서의 결합 전의 완전히 연장된 위치에서의 힌지의 단부도이다.
도13은 힌지의 리빙 힌지부의 단부도이다.
도14는 컨테이너 내에서의 결합 전의 완전히 절첩된 위치에서의 힌지의 단부도이다.
도15는 컨테이너 내에서의 결합 전의 완전히 절첩된 위치에서의 힌지의 단부도이다.
도16은 본 발명의 덮개와 베이스에 일체식으로 성형된 힌지 기구의 측단면도이다.
도17은 완전히 절첩된 위치에 있는 힌지를 도시하는 배면측으로부터의 컨테이너의 사시도이다.
도18은 래치 캐리지의 정면도이다.
도19는 래치 캐리지의 평면도이다.
도20은 래치 캐리지의 후방 측면도이다.
도21은 래치 캐리지의 단부도이다.
도22는 정상 위치로부터 후퇴된 래치 캐리지를 도시하는 베이스의 코너의 사시도이다.
도23은 본 래치 기구의 덮개 연장부에 결합하는 기구의 사시도이다.
도24는 래치 기구의 부분으로서의 베이스의 레일의 측면도이다.
도25는 래치 기구 양자가 컨테이너의 상부 또는 하부 중 어느 하나로부터 단순한 캠 액츄에이터에 의해 동시에 작동될 수 있는 방식에 관한 도면이다.
상기에서 설명된 도면들이 본 발명을 도시하기 위한 것이며 그 범주를 제한하려고 의도되지 않는다는 것이 이해되어야 한다.
도1 내지 도4는 본 발명의 마스크(레티클) 컨테이너의 실시예를 도시한다. 컨테이너(100)는 커버 또는 덮개(102)와 같은 상부 부재, 하부 부재 또는 베이스(104), 힌지(106), 한 쌍의 래칭 기구(108)를 포함한다.
덮개(102)는 대체로 평면형인 상부(112)를 구비하는 쉘(110)과, 대향 종방향 측면(114, 116)과 대향 측방향 측면(118, 120)을 가지며, 그에 의해 덮개 공동(121)을 형성한다. 덮개 공동(121) 내에는 대향된 리세스 구조물(122, 124)과 측방향으로 대향된 레티클 구속부 또는 쿠션(126, 128)이 배치된다. 본 발명의 몇몇 실시예에 적합한 예시적인 쿠션이 본 명세서에 참조로써 합체되어 있는 미국 특허 제6,216,873호에 개시되어 있다.
베이스(104)는 대체로 평평한 바닥부(130)와, 대향된 종방향 측면(132, 134)과, 대체로 대향된 측방향 측면(136, 138)을 갖는 쉘부(129)를 가지며, 그에 의해 베이스 공동(140)을 형성한다. 포스트(142, 144, 146, 148)는 베이스 공동(140)의 네 개의 코너 인근에서 바닥부(130)에 부착된다. 측방향으로 대향된 리세스 구조물(150, 152)이 각각 측방향 측면(136, 138)에 위치된다. 림(154)이 덮개(102)의 주연에 형성되며 렛지(156)가 베이스(104)의 주연에 형성된다. 림(154)은 컨테이너가 폐쇄되었을 때 렛지(156)에 밀봉식으로 접촉된다.
사용중, 마스크는 공동(140) 내에 위치되며 포스트(142 내지 148)에 의해 지지되며 구속된다. 덮개(102)가 폐쇄되었을 때, 쿠션(126, 128)이 마스크를 수직방향 및 측방향으로 탄성적으로 구속한다.
도2, 도3, 도4 및 도8 내지 도17을 참조하면, 힌지(106)는 단일체로(또는 다르게는 일체식으로) 제1 힌지 부재(170)와 제2 힌지 부재(172)를 가지며, 이들은 도6 내지 도16에 도시되는 바와 같이 힌지부(174)에 의해 분리된다. 이하에서 더욱 상세히 설명되는 것과 같이, 힌지부(174)는 힌지가 덮개와 베이스에 부착되었을 때 기능적으로 피봇식으로 휘어지는 것이 가능하도록 하는 감소된 두께 영역이며, "리빙(living) 힌지"를 구성한다. 제1 힌지 부재(170)는 립(182)에서 종결되는 평면부(180)를 포함하도록 의도될 수 있다. 제2 힌지 부재(172)는 각각의 제1, 제2, 및 제3 평면부(186, 188, 190)와 립(192)을 갖는다. 도시된 바와 같이, 제1, 제2, 및 제3 평면부(186, 188, 190)는 각지게 결합되며 제3 평면부(190)는 립(192)에서 종결된다. 도13에서 가장 잘 도시되는 바와 같이, 힌지부(174)는 대체로 아치형의 그루브(194)와 대체로 대향되는 노치(196)에 의해 형성된다.
도1, 도2, 도4 내지 도7, 도18 내지 도24를 참조하면, 각각의 래칭 기구(108)는 래치 캐리지(200), 레일(202), 및 상부 커버 돌출부 또는 연장부(204)를 갖는다. 도시된 래치 캐리지(200)는 스프링(210)을 수용하는 수직 단면이 C 형상인 본체(208)를 포함한다. 스프링은 양호하게는 사행형이며 본체 내에서 압축가능 하다. 래치 캐리지(200)는 배벨식이며(각지며) 대체로 수렴하는, 캠면으로서 작용하는 내부 측방향 에지(214, 216)를 갖는다. 또한, 래치 캐리지(208)는 복수의 파지 연장부(220)를 갖는 대체로 곡선형의 전방 부재(218)와 후방 부재(222)를 갖는다. 후방 부재(222)는 각각의 연장부(228, 230)와 연장부(226, 228)로부터 내측으로 연장되는 립(232, 234)를 통해 상부 및 하부 노치(224, 226)를 형성한다.
도5 내지 도7, 도22, 및 도24에서 가장 잘 도시되는 바와 같이, 레일(202)은 베이스(104)의 종방향 측면(132)으로부터 연장되는 제1 연장부(240)를 갖는다. 제2 및 제3 연장부(242, 244) 각각은 제1 연장부(240)로부터 연장되며 래치(200)의 노치(226, 228)를 슬라이딩식으로 수용하도록 크기가 정해진다. 또한, 레일(202)은 제1, 제2 및 제3 연장부(240, 242, 244)에 의해 형성된 구조물의 외부에 스프링 장착부(246)를 포함할 수 있다.
연장부(250)는 덮개(102)의 종방향 측면(114)으로부터 연장되며 도23 및 도25에 도시되는 바와 같이 대체로 경사진 표면(252)을 제공한다. 립(254)은 연장부(250)의 주요부(256)로부터 연장된다. 컨테이너가 완전히 폐쇄되었을 때, 립(254)은 베이스 래치 조립체의 제3 연장부(244)와 대체로 정렬된다.
래치(200)는 레일(202)에 슬라이딩식으로 배치되어서 스프링(210)은 스프링 장착부(246)으로부터 이격되어 래치(200)에 접하여 이를 편의시킨다. 컨테이너가 폐쇄되었을 때, 덮개 연장부(204)의 경사진 표면(252)은 래치(200)의 경사진 측방향 에지(214)에 접촉하며, 그에 의해 래치(200)를 그로부터 이격되는 방향으로 강제활주시키고 인접하는 스프링 장착부(246)에 대해 스프링(210)을 압축한다. 덮개 가 완전히 폐쇄되었을 때, 스프링(210)은 감압되어 래치(200)의 노치(224)가 레일(254)에 의해 부분적으로 수용되도록 스프링 장착부(246)로부터 이격되어 변위될 수 있게 한다. 이 위치에서, 래치(200)는 연장부(215)와 레일(202)에 걸쳐 연장되며, 그에 의해 덮개를 폐쇄된 위치에 고정한다. 배벨식 에지(216)는 도26에 도시된 것과 같은 자동 취급 장치(257)에 의해서와 같이, 상부 또는 하부로부터 래치를 자동적으로 개방하기 위해 유용하다. 자동 취급 장치는 배벨식 에지(216)에 상향 힘을 가함에 의해 래치(200)가 개방되도록 하며, 그에 의해 래치를 외부로 가압하고 덮개와 베이스 레일부가 결합해제될 수 있게 한다. 마찬가지로, 도5, 도6, 및 도7을 참조하면, 배벨식 에지(252) 또는 상부 덮개의 돌출부의 캠면은 래치 캐리지의 배벨식 표면(214)과 결합됨에 의해, 도6에서 화살표(251)에 의해 지시되는 바와 같이 래치 캐리지가 자동 후퇴하게 한다. 이어서 돌출부는 배벨식 표면을 벗어나며 도7의 화살표(253)에 의해 지시된 바와 같이 래치 캐리지가 그 정상 위치로 스냅식으로 복귀되도록 허용한다.
일 실시예에서, 컨테이너는 연속적인 성형 조작을 포함하는 공정에 의해 만들어진다. 하나의 예시적인 실시예에서, 힌지는 성형되며 경화되도록 허용된다. 이어서, 힌지는 제1 주형으로부터 제거되며 제2 주형 내에 위치된다. 제2 주형은 덮개와 베이스 부재용으로 적합한 제2 폴리머로 주입된다. 도16은 힌지, 덮개, 및 베이스를 형성하도록 사용된 폴리머들 사이의 기계적 또는 화학적 접착에 부가하여, 힌지가 현재의 덮개와 베이스에 매설되는 방식과 립(182, 192)이 힌지를 고착시키고 고정하는 방식을 도시한다. 래치(200)는 별도로 성형되고, 래치 캐리지와 스프링은 일체로 성형된다. 일체식 덮개, 베이스, 및 힌지는 경화되도록 허용된 후에 제2 몰드로부터 제거된다. 래치는 레일(202)에 설치된다. 마지막으로, 쿠션은 덮개(102)에 부착된다. 적합한 연속적인 성형 공정이 미국 특허 제6,428,729호, 제6,719,381호, 제6,402,552호, 및 제6,077,124호와 미국 특허 출원 제20030025244호에 개시되며, 각각은 본 명세서에 참조로써 합체되었다.
도16은 본 발명의 컨테이너가 완전히 개방되었을 때 힌지의 일치를 도시한다. 도14는 폐쇄된 위치의 힌지를 도시하며, 도15는 개방 위치와 폐쇄 위치 사이에서 대체로 중간쯤에 있는 힌지를 도시한다. 이러한 도면들은 힌지가 힌지부(174)에서 감소된 두께를 갖는 부분에서 굴곡될 때, 힌지결합이 달성되는 방식을 도시한다. 특정 실시예에서, 가요성 힌지 재료는 오버몰딩 작업 동안이 아닌 별도의 작업으로 베이스와 상부 커버에 기계적으로 부착될 수 있다. 몇몇 실시예에서, 리빙 힌지는 두 개의 재료로 형성될 수 있는데, 리빙 힌지용 가요성 재료와, 용접 또는 제2 오버몰딩 작업과 같은 수단에 의해서 베이스와 상부 커버에 대해 부착되기 위한 적합한 다른 재료가 그것이다.
힌지를 형성하기 위해 사용된 적합한 재료는 폴리프로필렌과 폴리우레탄을 포함하며 선택적으로 정전기를 분산하도록 본질적인 정전기 분산성 폴리머를 구비한다. 덮개, 베이스, 및 힌지용으로 적합한 재료는 아크릴로니트릴 부타디엔 스티렌(ABS; Acrylonitrile butadiene-styrene)을 포함하며, 선택적으로 정전기 분산 특성을 구비하는, 예컨대 이 출원의 소유자인 엔테그리스사(Entegris, Inc.)의 스탯프로 435(StatPro 435™)가 이러한 형태의 제품들을 성형하는데 이용된 재료이 다. 또한, 컨테이너에 대해 의도된 특정한 적용예에 따라, 다른 폴리머도 사용될 수 있다. 이러한 그리고 다른 적용예에 적합한 폴리머가 맥그로우힐 출판사(McGraw-Hill)의 1996년, 편집장 찰스 에이. 하퍼(Charles A. Harper)에 의한 플라스틱, 탄성 중합체, 및 합성물의 핸드북(Handbook of Plastics, Elastomers, and Composites) 제3판에 개시된다.
도면에 개시되지 않았지만, 컨테이너가 폐쇄되었을 때 상부 커버와 베이스 사이를 밀봉하도록 탄성 중합체 밀봉부가 컨테이너와 함께 이용될 수 있다. 특정 실시예에서, 밀봉부는 상부 커버와 베이스가 성형되기 전에 형성될 수 있으며, 오버몰딩에 의해 결합될 상기 상부 커버와 베이스를 위해 주형 내에 삽입될 수 있다.
본 발명의 사상을 벗어나지 않으면서 본 발명의 다양한 개조가 가능하기 때문에, 본 발명의 범주는 도시되고 설명된 실시예에 제한될 것이 아니다. 본 발명의 범주는 첨부된 청구항 및 그 등가물에 의해 결정될 것이다.

Claims (20)

  1. 마스크 포장 컨테이너이며,
    각각 힌지면과 래치면을 가지며, 그 힌지면에 힌지식으로 연결되고, 저장 영역을 형성하는 덮개 및 베이스와,
    덮개에 베이스를 고정하는 래치 기구를 포함하고,
    베이스의 래치면은 베이스로부터 말단 방향으로 연장되는 레일과, 레일로부터 연장되는 스프링 장착부를 포함하고, 레일은 레일 베이스와, 레일 베이스에 고정된 레일 플랫폼과, 스프링 장착부로부터 이격된 레일 말단부를 가지며,
    덮개의 래치면은 덮개로부터 말단 방향으로 연장되는 래치 결합 부재를 포함하고, 래치 결합 부재는 가이드부를 가지며,
    래치 기구는 수납부를 형성하며 래치 캐리지와 스프링을 포함하고, 래치 캐리지는 레일에 슬라이딩식으로 결합되며,
    래치 캐리지는 가이드부와 덮개의 가이드부를 수용하도록 크기가 정해진 노치부를 포함하는 덮개 결합 부재를 가지며, 래치 기구의 스프링은 래치 캐리지의 수납된 측면으로부터 베이스의 래치면 상의 스프링 장착부까지 연장되며 래치 캐리지 내에 배치되고, 래치 기구는 레일을 따라 슬라이딩식으로 배치되며 래치 캐리지의 안내부와 덮개의 가이드부의 상호 작용에 의해 스프링의 압축을 받고, 래치 기구의 이동은 일 방향으로는 레일 말단부에 의해, 다른 방향에서는 스프링 장착부를 향한 래치 캐리지와 스프링의 변위에서 기인하는 스프링력에 의해 제한되는 마스크 포장 컨테이너.
  2. 제1항에 있어서, 래치 캐리지와 스프링은 일체식으로 성형되는 마스크 포장 컨테이너.
  3. 제1항에 있어서, 래치 캐리지는 래치가 아래로부터 작동되는 것을 허용하도록 덮개 결합 부재의 아래에 제2 결합 부재를 포함하는 마스크 포장 컨테이너.
  4. 제1항에 있어서, 덮개의 래치 결합 부재는 경사 형상을 가지며, 래치 캐리지의 덮개 결합 부재는 대향 경사 형상을 갖는 마스크 포장 컨테이너.
  5. 래치 기구를 갖는 마스크 포장 컨테이너이며,
    마스크 포장 컨테이너는 제1 말단부와 제2 말단부를 갖는 레일과, 말단부들 사이에 이격된 스프링 장착부를 함께 형성하는 래치면을 각각 구비하는 덮개 및 베이스를 구비하고,
    래치 기구는,
    레일에 슬라이딩식으로 결합되며 스프링 장착부를 수납하는 래치 캐리지와,
    스프링 장착부를 향해 래치 캐리지 내에 배치된 스프링을 포함하며,
    래치 캐리지는 덮개와 베이스 래치면들을 함께 또는 이격시켜 유지하는 제1 위치를 가지며, 레일 상의 이 래치 캐리지의 위치는 제1 레일 말단부에 의해 한정 되며 스프링 장착부 상의 스프링력에 의해 유지되고,
    래치 캐리지는 덮개와 베이스의 래치면들이 만나거나 분리될 수 있게 하는 제2 위치를 가지며, 제2 위치는 제2 레일 말단부를 향하여, 그리고, 후퇴 방향으로 스프링력에 대항하여 래치 캐리지를 가압하는 힘의 인가시에 도달되는 마스크 포장 컨테이너.
  6. 제5항에 있어서, 래치 캐리지와 스프링은 일체로 성형되는 마스크 포장 컨테이너.
  7. 제5항에 있어서, 컨테이너는 두 개의 래치 기구를 가지며, 이들은 자동 작동을 실행하는 반대방향으로 배향된 후퇴 방향을 갖도록 배열되는 마스크 포장 컨테이너.
  8. 제5항에 있어서, 덮개의 래치 결합 부재는 경사 형상을 가지며, 래치 캐리지의 덮개 결합 부재는 대향 경사 형상을 갖는 마스크 포장 컨테이너.
  9. 베이스, 덮개, 및 베이스를 덮개에 결합하는 힌지를 포함하는 마스크 포장 컨테이너이며,
    마스크 포장 컨테이너의 힌지용의 제1 주형과 제1 폴리머를 제공하는 단계와,
    마스크 포장 컨테이너의 베이스와 덮개용의 제2 주형과 제2 폴리머를 제공하는 단계와,
    제1 주형 내에서 제1 폴리머로 힌지를 성형하는 단계와,
    힌지를 제1 주형으로부터 제거하는 단계와,
    힌지를 제2 주형에 위치시키는 단계와,
    제2 폴리머로 힌지 주위에 덮개와 베이스를 성형하는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  10. 제9항에 있어서,
    제3 주형과 제3 폴리머를 제공하는 단계와,
    제3 폴리머로부터 제3 주형 내에서 덮개를 베이스에 고정시키기 위한 래치를 성형하는 단계와,
    힌지없이 덮개 또는 베이스의 일 측면에 래치를 끼워 맞추는 단계를 더 포함하는 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  11. 제9항에 있어서, 제2 주형은 각각 래치면과 래치면으로부터 말단으로 연장되는 레일의 부분을 구비하는 덮개와 베이스를 구비하는 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  12. 제10항에 있어서, 제2 주형은 각각 래치면과 래치면으로부터 말단 방향으로 연장되는 레일의 부분들을 구비하는 덮개와 베이스를 제공하며, 래치를 끼워 맞추는 단계는 래치를 레일의 일 부분에 끼워 맞추는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  13. 제9항에 있어서, 제1 및 제2 폴리머는 동일한 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  14. 제9항에 있어서, 제1 및 제2 폴리머는 상이한 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  15. 제10항에 있어서, 제3 폴리머는 제1 폴리머 또는 제2 폴리머 중 하나와 동일한 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  16. 제10항에 있어서, 제3 폴리머는 제1 폴리머 및 제2 폴리머와 상이한 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  17. 제10항에 있어서, 래치를 성형하는 단계는 래치와 일체인 스프링을 성형하는 단계를 포함하는 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  18. 제9항에 있어서, 제1 폴리머는 복수의 폴리머를 포함하는 방법에 의해 제조 된 마스크 포장 컨테이너.
  19. 제10항에 있어서, 제1 폴리머는 복수의 폴리머를 포함하는 방법에 의해 제조된 마스크 포장 컨테이너.
  20. 제7항에 기재된 바와 같은 래치 레티클 컨테이너를 개방하는 방법이며, 두 개의 래치 캐리지 사이에서 이들을 강제 이격시키도록 기계적 액추에이터를 작동시키는 단계를 포함하는 래치 레티클 컨테이너를 개방하는 방법.
KR1020077021892A 2005-02-27 2006-02-27 마스크 컨테이너 KR20070114366A (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US65731405P 2005-02-27 2005-02-27
US60/657,314 2005-02-27
US11/364,812 2006-02-26
US11/364,812 US20060201958A1 (en) 2005-02-27 2006-02-26 Mask container

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20070114366A true KR20070114366A (ko) 2007-12-03

Family

ID=36969745

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020077021892A KR20070114366A (ko) 2005-02-27 2006-02-27 마스크 컨테이너

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20060201958A1 (ko)
EP (1) EP1858766A2 (ko)
JP (1) JP2008533512A (ko)
KR (1) KR20070114366A (ko)
WO (1) WO2006094113A2 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210118345A (ko) * 2020-03-19 2021-09-30 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 레티클 포드

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4789566B2 (ja) * 2005-09-30 2011-10-12 ミライアル株式会社 薄板保持容器及び薄板保持容器用処理装置
JP5122484B2 (ja) * 2006-02-03 2013-01-16 インテグリス・インコーポレーテッド 衝撃吸収基板容器及びその形成方法
US20090078591A1 (en) * 2007-09-20 2009-03-26 Silk Road Gifts, Inc. Travel case and caddy
JP5718232B2 (ja) 2008-09-17 2015-05-13 レスメド・リミテッドＲｅｓＭｅｄＬｉｍｉｔｅｄ 呼吸用ガスの加湿
TWI344926B (en) * 2008-12-05 2011-07-11 Gudeng Prec Industral Co Ltd Reticle pod
US8925290B2 (en) * 2011-09-08 2015-01-06 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Mask storage device for mask haze prevention and methods thereof
USD665167S1 (en) * 2011-10-31 2012-08-14 Illinois Tool Works Inc. Inflator carrying case
US9731876B1 (en) * 2013-02-26 2017-08-15 Csp Technologies, Inc. Flat pack guides
USD733429S1 (en) * 2013-10-08 2015-07-07 Jean-Pierre Grenier Case
USD799211S1 (en) * 2015-07-07 2017-10-10 Shenzhen Rapoo Technology Co., Ltd. Pack for unmanned plane
USD779822S1 (en) 2015-09-03 2017-02-28 Plasticase, Inc. Case
US10167134B2 (en) * 2015-10-13 2019-01-01 Altria Client Services Llc Article carrier for an electronic vaping device
USD831960S1 (en) * 2018-05-29 2018-10-30 Jeff Overall Drone case
TWI680348B (zh) * 2018-12-06 2019-12-21 家登精密工業股份有限公司 光罩盒及其組裝件
USD963337S1 (en) 2019-07-31 2022-09-13 Plasticase, Inc. Case with an extendable handle
US12087605B2 (en) * 2020-09-30 2024-09-10 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. Reticle pod with antistatic capability
USD985939S1 (en) 2020-12-07 2023-05-16 The Noco Company Case
USD986595S1 (en) * 2020-12-07 2023-05-23 The Noco Company Case
USD966707S1 (en) * 2021-08-25 2022-10-18 Ezen Network Inc Waterproof enclosure
US11970314B2 (en) * 2022-03-31 2024-04-30 Big Bee, Little Bee LLC Food storage container

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3615006A (en) * 1969-06-26 1971-10-26 Ibm Storage container
US4047627A (en) * 1974-09-30 1977-09-13 Gca Corporation Mask plate handling method
US4451101A (en) * 1982-06-21 1984-05-29 Davis Thomas A Cover plate for an electrical receptacle
US4576307A (en) * 1984-01-05 1986-03-18 Doskocil Manufacturing Co., Inc. Separable elements held together by a sliding latch
US5062671A (en) * 1990-11-05 1991-11-05 Ibm Corporation Door latch for a computer housing
US6077124A (en) * 1997-10-10 2000-06-20 Molex Incorporated Electrical connectors for flat flexible circuitry with yieldable backing structure
PT1087775E (pt) * 1998-06-17 2005-11-30 Bristol Myers Squibb Co Prevencao de enfarte cerebral por administracao de uma combinacao de farmacos antiplaquetarios bloqueadores de receptores de adp e anti-hipertensivos
US6367603B1 (en) * 2000-02-04 2002-04-09 500 Group, Inc. Containment article having a pair of hingedly connected, substantially identical plastic shells and related improvements
US6609633B1 (en) * 2000-11-15 2003-08-26 Panoramic, Inc. Reclosable thermoformed hinged container
KR20040011547A (ko) * 2001-06-23 2004-02-05 다우 글로벌 테크놀로지스 인크. 관통식 충격 흡수 리브를 갖는 외피
US6402552B1 (en) * 2001-08-07 2002-06-11 Fci Americas Technology, Inc. Electrical connector with overmolded and snap locked pieces
US20030038142A1 (en) * 2001-08-21 2003-02-27 Hyi Storage box with improved design including replaceable hinges and latches
US6753945B2 (en) * 2002-03-01 2004-06-22 Asml Netherlands B.V. Transfer method for a mask or substrate, storage box, apparatus adapted for use in such method, and device manufacturing method including such a transfer method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20210118345A (ko) * 2020-03-19 2021-09-30 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 레티클 포드

Also Published As

Publication number Publication date
WO2006094113A8 (en) 2006-12-28
WO2006094113A2 (en) 2006-09-08
EP1858766A2 (en) 2007-11-28
WO2006094113A9 (en) 2007-02-08
US20060201958A1 (en) 2006-09-14
JP2008533512A (ja) 2008-08-21
WO2006094113A3 (en) 2007-12-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20070114366A (ko) 마스크 컨테이너
KR20040088535A (ko) 웨이퍼 용기 쿠션 시스템
EP2678240B1 (en) Dispensing package
TW200301949A (en) Wafer enclosure sealing arrangement for wafer containers
US10538367B2 (en) Container with sealable lid
US20030010673A1 (en) Horizontal cassette
JP2017059840A (ja) ドア・ガイドおよびシールを備えたウェーハ容器
WO2008056549A1 (fr) Récipient pour substrat
US20150279711A1 (en) Substrate Storing Container
TWI691445B (zh) 基板收納容器
US20100025288A1 (en) Wafer container with constraints
JP2008166799A (ja) 弾性位置決め構造体を有するクリーン容器
US6811408B2 (en) Connector packaging and transport assembly
US10490433B2 (en) Substrate storing container
CN110998823A (zh) 基板收纳容器以及其制造方法
EP3728058B1 (en) Container with sealable lid and method for assembling a lid
CN110900961B (zh) 半导体封装模具
CN101166672A (zh) 掩膜容器
US11222800B2 (en) Substrate storage container
JP2005311093A (ja) ウェーハ搬送装置
KR20210099032A (ko) 기판수납용기
US8353404B2 (en) Pod with guiding-locking piece therein
TW201709386A (zh) 晶片容器
JP3009038U (ja) 半導体ウエーハ容器
US7971722B2 (en) Wafer container with restrainer

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid