JP3009038U - 半導体ウエーハ容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエーハ運搬用容器の本体と上蓋との係合を
保持する掛止装置に関し、その掛止、取り外しが簡単
で、かつ機構的に強度の大きな、したがって安全性の高
い掛止装置を提供するものである。 【構成】 その表面に掛止突起を有する舌片を容器の本
体両側面上端より下方へ傾斜状に形成し、また、上蓋被
覆時その舌片と重なり合い、かつ掛止突起に係合する掛
止穴を有する掛止片を上蓋の両側面から垂下したもので
ある。蓋を被せると前記掛止突起と掛止穴とが係合して
蓋閉じ状態を保持し、舌片の下端を押圧しその舌片を後
方に傾斜させ掛止突起を掛止穴から離脱させて両者の係
合を解き蓋を開くことができるようにしたものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、複数枚の半導体ウエーハが整列装填されるウエーハキャリヤ（また はウエーハカセットホルダと称せらる）を装入する外装容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】

半導体ウエーハは非常に薄くスライスされているために小さな衝撃にも破断し やすく、また、ウエーハ表面への皮脂の付着あるいは粉塵等による汚染を極端に 嫌う。したがって、工程間あるいは工場間の移動には複数枚のウエーハを各々所 要間隔を設けて装填したウエーハキャリヤをさらに外装の容器に装入して外部か らの衝撃による破損、粉塵による汚染、ウエーハ間の接触による擦り傷の発生な どを防止している。

【０００３】 このように容器には機密性と耐衝撃性が必要であり、そのために上蓋と容器本 体との嵌合突き合わせ面に弾性を有するパッキングを設け、また、各々のウエー ハが容器内で振動することによりキャリヤとの接触面から摩耗粉が発生すること を防止し、あるいは外的な衝撃を緩和するために各ウエーハ上部を弾性を持って 押圧保持する緩衝保持腕が上蓋に取り付けられている。したがって、ウエーハを 装填したウエーハキャリヤを容器本体に装入して上蓋を閉じるには蓋を本体側に 強く押しつけ、その蓋の両側面に設けた開閉用ヒンジ機構をもつフックを本体側 に設けた掛止凹（凸）状部に係合する（図４）ことによってなされる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上記のようにウエーハ容器の上蓋帯状段部から延設したフックは、収容された ウエーハを押圧する緩衝保持腕の反発力及び本体と上蓋の間に装着したパッキン グの反発力に耐えなければならない。また該蓋の開閉の度にフックの基部にある ヒンジ部に曲げ応力が繰り返し加えられることになる。このように該ヒンジ部に は常に引張クリープが、また上蓋の開閉時には曲げ応力が加わり、これにより変 形と疲労が進行しやがて破断に至る。ウエーハ容器の耐用命数はこの掛止装置の 強さに依存しているのである。

【０００５】 一般にプラスチックヒンジはポリプロピレンが最適材料として使用されている 。このヒンジ部の肉厚を厚くする固くて曲げにくく却って割れが生じて破断し易 く、逆に薄く（１ｍｍ以下に設計するのが通例である）すると繰り返し曲げに対 してよく耐えるのであるが、ウエーハ容器にこのような薄肉のヒンジを使用する と前記のクリープ及び繰返し曲げ応力に耐え難いことは明瞭である。容器内に収 容する半導体ウエーハの重量も重い状態にあって、その容器に何らかの衝撃が加 わるとそのヒンジ部が破損する事故がしばしばであった。このようなことからウ エーハ容器の緊結装置の改良が望まれていた。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本体と上蓋のそれぞれ開口周縁に重なり合う帯状段部を形成したウエーハキャ リヤ収納容器において、掛止穴を開設し、かつその先端に裏面側へ曲折して垂下 する２枚の係止爪を延設した掛止舌片をその蓋側帯状段部の対向二辺のそれぞれ のほぼ中央下端面より垂下し、一方、本体側帯状段部には上蓋を被覆した時に前 記の係止爪部分を除く掛止舌片が該帯状段部に干渉する範囲とその下部中央にプ ッシュ用突起が出入できるスペース分を切欠き、さらにその切欠き部に、前記掛 止舌片の掛止穴に嵌合する突起及び下方にプッシュ用突起を形成した係止片を該 帯状段部の屈曲基部からその下端が該帯状段部前面とほぼ同一面上ないし若干外 側に位置するよう傾斜状に一体延設した緊結構造とし、従来のヒンジ機構を廃止 した。

【０００７】 また、上蓋の帯状段部より垂下した掛止舌片と、本体の帯状段部の屈曲基部よ り傾斜状に設けた係止片はＰＰまたは環状オレフィンコポリマーでそれぞれ上蓋 、本体容器と一体的に成形したことにより強度と耐摩耗性の向上を図った。

【０００８】

【作用】 本考案ウエーハ容器における上蓋と容器本体との緊結手段は上記の構造になっ ており、容器本体上に蓋を被覆するとその蓋より垂下した掛止舌片が容器本体に 傾斜上に延設した係止片を内方向に押圧しながら下降し、該掛止舌片下端の係止 爪が容器の帯状段部の内側に入り、係止片上の掛止突起が掛止舌片に開設した掛 止穴に嵌合すると共に掛止舌片が本体側帯状段部の切欠き部に嵌合し、蓋と本体 は緊密な被覆状態が保持される。この場合、掛止舌片には蓋と容器を引っ張る応 力はかかっているが、従来のような薄肉ヒンジ部がなく、また繰り返しの曲げ応 力も受けないので容易に破断することはない。また、本体側の係止片には掛止舌 片が受けるのと同量の圧縮応力が加わるがプラスチック材料は一般的に引っ張り よりも圧縮に対して強く、したがって容易に破損することはない。

【０００９】

【実施例】

本考案に係るウエーハキャリヤ収容容器について図面にしたがって説明する。 図１は本案容器１の使用状態を示す斜視図であり、図２は開蓋状態を示す斜視図 である。この容器本体１０内には図示していないが、複数枚（２５枚程度）のウ エーハが一定間隔で装填されたウエーハキャリヤが収納され、そのウエーハ各１ 枚ずつを押圧保持するための緩衝保持腕を突設した緩衝支持具が蓋の内面側に嵌 合されて蓋２と共に覆いかぶせられる。そして、この緩衝保持腕のウエーハを押 圧する力を保持し、かつ蓋２が開かないように該蓋２の開口部に形成した帯状段 部３の対向辺中央部より掛止舌片４、４が垂下されている。

【００１０】 図３に示すように、この掛止舌片４、４には複数の掛止穴５、５が開設され、 その下方には２つの係止爪６、６が後記本体１０側の帯状段部の厚さと同じ寸法 だけ後退した状態に曲折して垂下延設している。

【００１１】 容器本体１０側は、この本体に上蓋２を被覆したとき前記掛止舌片４、４が本 体側帯状段部１１に干渉する範囲、すなわち、掛止舌片４の係止爪６、６を除い た部分に対応し、さらに後記のプッシュ用突起１５が出入りするための湾状部１ ２を加えた形状範囲の切欠き部１３を該帯状段部１１に設け、その切欠き部分１ ３に前記掛止舌片４の掛止穴５、５に蓋閉止時に位置的に対応しかつ嵌合する下 方に向かって突出量の大きくなる突起１４、１４及び下端にプッシュ用突起１５ を形成した係止片１６、１６を該帯状段部１１の上方蓋との嵌合部ないし屈曲基 部１１ａからその下端プッシュ用突起１５の表面が該帯状段部前面１１ｂとほぼ 同一面上ないし若干外側に位置するよう傾斜状に弾性を持って延設一体形成して いる。この傾斜状係止片１６、１６の下部プッシュ用突起１５の周縁は前記湾状 部１２と掛止舌片４、４とに囲まれるようにデザインされているが、必ずしも湾 状部１２が必要なものではなく、掛止舌片４と切欠き部１３との間でプッシュ用 突起１５が帯状段部１１の表面に現れ、かつそれを押さえることができればよい 。１７はパッキングである。

【００１２】 以上の構造になる本考案ウエーハ容器１は本体１０内にウエーハを装填したウ エーハキャリヤを収容し上蓋２が被覆される。この上蓋２被覆時にその上蓋に形 成された掛止舌片４、４が本体１０に形成された傾斜状係止片１６、１６をその 弾性に抗して内部側に押圧しながら摺動下降し、該掛止舌片４、４の下端に延設 した係止爪６、６が該切欠き部１３の下端内側に接して降下し、そして係止片１ ６、１６上の掛止突起１４、１４が掛止舌片４の掛止穴５、５に合致すると係止 片１６の復元力によって該突起１４、１４はその穴５、５に挿通係合する。同時 に掛止舌片４、４は切欠き部１３に嵌合し、プッシュ用突起１５は湾入部１２と 掛止舌片４の下部との間に嵌合し、その表面は帯状段部１１の表面と同一面を形 成する。かくして蓋２と本体１０は緊密な被覆状態に保持される。なお係止爪６ 、６は帯状段部１１の裏側に係合していて掛止舌片４、４が容器の外側に傾斜し て掛止穴５に挿通係合している掛止突起１４ば離脱することを防止している。

【００１３】 このように被覆、結合された蓋２を開く操作は次のようにする。まずプッシュ 用突起１５、１５を内側に向かって押圧する。これによって図３に仮想線で示す ように係止片１６、１６が内部側に傾斜しそこに形成された掛止突起１４、１４ が掛止穴５、５から離脱する。そして蓋２は容易に持ち上げられ開かれる。

【００１４】 本考案ウエーハ容器はポリプロピレンまたは環状オレフィンコポリマー（例え ば商品名「アペル」三井石油化学工業（株））で射出成形により製作される。ポ リプロピレンを使用した本案容器においては軽量性、耐熱性、耐薬品性に優れ、 傾斜状係止片１６、１６の弾撥力も強く、したがって耐用命数が長くなり良好で ある。また、環状オレフィンコポリマーにより成形した本案容器及びウエーハキ ャリヤにおいてはウエーハキャリヤを出し入れする際に容器本体とウエーハキャ リヤとの接触により発生する摩耗樹脂粉が他の樹脂例えばポリエチレン、ポリプ ロピレン、ポリアセタールなどにより成形した容器及びウエーハキャリヤのもの と比較して格段に少なく（約１／１０）、ウエーハの汚染防止に最適であること が実験によって立証された。

【００１５】

【考案の効果】

ウエーハ容器において蓋と本体との掛止装置にヒンジ機構を使用しない構造と したために掛止機構の強度の向上が図られ、ウエーハ容器の安全性、信頼性を増 し、耐用命数が大幅に伸びた。

【００１６】 掛止舌片４、４に掛止爪６、６を延設形成し本体側帯状段部１１の内面側に係 止したために何らかの異常な外力が加わっても容易に掛止部の係合が解けること はない。

【００１７】 特に、環状オレフィンコポリマーにより成形した本案容器においては樹脂自体 の摩擦係数が小さく、耐摩耗性に優れているためにウエーハキャリヤと本体容器 との接触による樹脂の摩耗粉の発生が少なく、したがってウエーハを汚染するこ とが少なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】使用状態を示す本案ウエーハ容器の斜視図であ
る。

【図２】開蓋状態を示す斜視図である。

【図３】本考案の要部である掛止装置部を示したもの
で、（ａ）は係止爪部を縦断した断面図、（ｂ）は中央
の縦断面図である。

【図４】従来の掛止装置部を示す中央の縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１ 容器 ２ 蓋 ３ 帯状段部 ４ 掛止舌片 ５ 掛止穴 ６ 掛止爪 １０ 本体 １１ 本体側帯状段部 １２ 湾状部 １３ 切欠き部 １４ 掛止突起 １５ プッシュ用突起 １４ 傾斜状係止片

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 本体と上蓋のそれぞれ開口周縁に重なり
   合う帯状段部を形成したウエーハキャリヤの収納容器す
   なわち蓋及び本体において、掛止穴を開設し、かつその
   先端に内面側へ曲折して垂下する２枚の係止爪を延設し
   た掛止舌片をその蓋側帯状段部の対向二辺それぞれのほ
   ぼ中央下端面より垂下し、一方、本体側の帯状段部には
   上蓋を被覆した時に前記の係止爪部分を除く掛止舌片が
   該帯状段部に干渉する範囲とその下部中央にプッシュ用
   突起が出入できるスペース分を切欠き、さらにその切欠
   き部に前記掛止舌片の掛止穴に嵌合する突起及び下方に
   プッシュ用突起を形成した係止片を該帯状段部の屈曲基
   部からその下端が該帯状段部前面とほぼ同一面上ないし
   若干外側に位置するよう傾斜状に一体延設したことを特
   徴とするプラスチック成形になる半導体ウエーハ収納容
   器。
2. 【請求項２】 上蓋の帯状段部より垂下した掛止穴を有
   する掛止舌片と、本体の帯状段部の屈曲基部より傾斜状
   に設けた掛止突起を有する係止片はＰＰまたは環状オレ
   フィンコポリマーでそれぞれ上蓋、本体容器と一体成形
   したことを特徴とする請求項１記載の半導体ウエーハ容
   器。