KR101415863B1 - 기판용 완충 컨테이너 - Google Patents

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KR101415863B1 KR1020087020746A KR20087020746A KR101415863B1 KR 101415863 B1 KR101415863 B1 KR 101415863B1 KR 1020087020746 A KR1020087020746 A KR 1020087020746A KR 20087020746 A KR20087020746 A KR 20087020746A KR 101415863 B1 KR101415863 B1 KR 101415863B1
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Abstract

기판용 컨테이너는 일반적으로 커버, 베이스, 래칭 장치 및 기판 유지 시스템을 포함한다. 기판용 컨테이너는 배치되는 플랜지를 구비하는 코너를 가진다. 각각의 플랜지는 컨테이너에 의한 충격 흡수력을 개선하기 위해 플랜지를 관통하는 구멍을 가지며, 기판을 더욱 보호한다.

Description

기판용 완충 컨테이너{SHOCK ABSORBING SUBSTRATE CONTAINER}
본원은 그 전체가 참조로써 여기에 통합되는 2006년 2월 3일자 출원인 미국 가출원 제60/765,038호의 이익을 주장한다.
본 발명은 컨테이너에 관한 것이고, 구체적으로는, 본 발명은 반도체 웨이퍼 및 마스크와 같은 기판을 저장 및 이송하기 위한 컨테이너에 관한 것이다.
단일 반도체 및 집적 회로와 같은 반도체 구성요소는 반도체 웨이퍼를 이용하여 제조된다. 이 때문에, 상대적으로 부서지기 쉬운 마스크[또는 레티클(reticle)]가 최종 제품에서 구조물의 치수와 위치를 결정하기 위해 이용된다. 일반적으로 이러한 마스크는 실질적으로 평평한 기판의 형태이다. 제조 과정에서, 외부 물질의 작은 입자가 마스크 또는 기판 상에 안착할 수 있으므로, 제조되는 마스크 또는 제품을 손상시키거나 제조 공정을 방해한다. 이러한 외부 입자는 마스크가 저장되고 이송되는 환경에 존재한다. 마스크의 부서지기 쉬운 특성과, 마스크에 대한 외부 입자의 접착을 방지하기 위한 필요로 인해, 컨테이너가 이용된다. 이러한 컨테이너는 마스크 손상을 방지하고, 먼지가 없는 미소 환경을 제공하기 위한 이중적인 목적으로 이용된다. 또한, 유사한 컨테이너가 반도체 웨이퍼 및 자기 저장 디스크와 같은 다른 기판을 저장 및 이송하는 데 이용된다.
이러한 기판의 부서지기 쉬운 성질로 인해, 기판이 이러한 컨테이너에 수용될 때에도 컨테이너가 낙하하거나 거칠게 취급된다면 손상될 수 있다. 이와 같이 내측에 수용되는 기판을 보호하기 위해 충격을 자체적으로 흡수할 수 있는 컨테이너가 요구된다
바람직한 실시예에서 도시된 발명은 기판용 완충 컨테이너이다. 기판용 컨테이너는 일반적으로 복수의 코너를 구비하며 개방 및 폐쇄 가능한 컨테이너와, 이 컨테이너 내측의 기판 구속부와, 래치를 포함한다. 완충 핑거가 컨테이너의 코너에 배치되고, 코너에서 충격을 흡수하기 위해 변형되거나 부서질 수 있다. 기판용 컨테이너는 컨테이너 둘레, 바람직하게는 코너에 배치되는 만곡된 플랜지를 구비하도록 구성될 수 있다. 각각의 플랜지는 요구되는 충격 흡수 특성을 가진 플랜지를 제공하기 위해 플랜지를 관통하는 구멍 또는 얇은 부분을 가진다. 바람직한 실시예에 있어서, 네 코너에서의 네 개의 플랜지가 각 코너의 정점에서 두 단부가 지지되는 핑거를 형성하는 네 개의 구멍을 가진다.
바람직한 실시예의 장점은 컨테이너에 의한 충격 흡수력이 개선된다는 점이며, 따라서 기판을 더욱 보호할 수 있다는 점이다. 컨테이너가 측면으로 낙하하면, 플랜지 내의 구멍은 플랜지가 변형 및/또는 파손되도록 하여, 충격 시간을 증가시키고, 충격 에너지의 상당 부분을 흡수한다. 그 후 패키지 내측으로 전달되는 충격 에너지는 기판을 지지하는 쿠션 및 패드에 의해 추가로 흡수될 수 있고, 이로써 최적의 기판 보호를 제공한다.
바람직한 실시예의 다른 장점 및 구성은 개선된 충격 흡수력이 컨테이너의 개방에 더 큰 저항성을 제공한다는 점, 즉, 컨테이너의 개방 가능성을 낮출 수 있는 래치 장치에 더 작은 충격 또는 에너지가 분배된다는 점이다.
바람직한 실시예의 다른 장점은 제조 용이성이다. 플랜지 및 개구는 단순히 기존의 컨테이너용 몰드에 통합될 수 있으므로, 제조의 비용 및 곤란성을 증가시키지 않고 개선된 충격 흡수를 제공한다.
바람직한 실시예의 다른 장점 및 구성은 개구를 구비하는 플랜지가 충격시 파손되어 지워질 수 없는 충격 흔적을 제공하도록 부서질 수 있게 구성될 수 있다는 점이다. 일부 경우에 있어서, 파손될 수 있는 구성은 충격이 아닌 다른 사건, 예컨대, 일회용 또는 세척, 수리 또는 몇몇 다른 중요한 사건의 흔적이 남도록 지시하기 위해 의도적으로 파괴될 수 있다. 충격 흔적이 보존되는 실시예에 있어서, 컨테이너의 파괴될 수 있는 부분은 천공된 플랜지와는 다른 형상을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시예는 기판용 컨테이너의 쉽게 부서질 수 있는 부분을 의도적으로 파괴하는 단계를 포함하는, 기판용 컨테이너와 관련된 사건을 지워질 수 없게 기록하는 방법이다. 상기 파괴될 수 있는 영역은 코너 플랜지 또는 다른 적절한 영역에 있을 수 있다.
바람직한 실시예의 구성 및 장점은 완충 컨테이너의 제조 방법으로서, 컨테이너가 플랜지와 이 플랜지 내의 개구가 배치되는 코너를 가짐으로써, 충격시 이 코너를 변형 또는 파괴시키는 완충 컨테이너의 제조 방법이 제공된다는 점이다.
바람직한 실시예의 특징 및 장점은 컨테이너에 구비되는 플랜지에 개선된 충격 저항성을 제공하기 위해 플랜지를 구비하는 컨테이너를 수정하는 방법이 마련되고, 이 방법은 상기 플랜지에서 개선된 변형 및 충격 흡수력을 허용하기 위해 플랜지에 구멍을 추가하는 단계를 포함한다는 점이다.
본 발명의 구성 및 장점은 반도체 제조 설비에 있어서 사용 및 저장시 마스크에 대한 보호부를 제공하는 방법으로서, 천공된 플랜지가 제공되는 코너를 구비하는 마스크 컨테이너가 마스크를 수용 및 저장하는데 이용되는 보호부를 제공하는 방법이 마련된다는 점이다.
본 발명은 첨부된 도면과 관련하여 본 발명의 다양한 실시예에 대한 다음의 상세한 설명을 고려함으로써 더욱 완전하게 이해될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판용 완충 컨테이너의 내측에 대한 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 개방된 기판용 완충 컨테이너의 외측에 대한 평면도.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 기판용 완충 컨테이너의 부분도.
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 기판용 완충 컨테이너의 부분도.
도 3c는 본 발명의 실시예에 따른 천공된 플랜지의 횡단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판용 완충 컨테이너의 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판용 완충 컨테이너의 사시도.
도 6은 본 발명의 실시에에 따른 기판용 완충 컨테이너의 사시도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판용 완충 컨테이너의 사시도.
도 1 내지 도 3a를 참조하면, 본 발명의 기판용 완충 컨테이너의 일 실시예는 전체적으로 도면번호 100으로 지시되며, 리드(102)와 같은 상부 부재와, 베이스(104)와 같은 하부 부재와, 힌지(106)와, 래칭 장치(latching mechanism; 108)를 포함한다. 이 실시예에 있어서, 기판은 반도체 제조용 마스크 또는 레티클(reticle)이다. 다른 실시예에 있어서, 기판은 반도체 웨이퍼 또는 자기 디스크일 수 있다.
다음으로, 리드(102)는 전반적으로 평평한 상부(116)를 구비하는 쉘(114)과, 상호 대향하는 전면부(118) 및 후면부(120)와, 상호 대향하는 측면부들(122, 124)을 가지고, 이에 의해 리드 공동(126)을 형성한다. 길이 방향으로 경사진 융기면(128, 130)과 측방향으로 대향하는 마스크 쿠션(132, 134)이 리드 공동(126) 내에 배치된다. 마스크 쿠션은 마스크용 구속 시스템(147)의 일부이다.
베이스(104)는 대체로 평평한 바닥부(138)를 가지는 쉘(136)과, 상호 대향하는 전면부(140) 및 후면부(142)와, 대체로 상호 대향하는 측면부들(144, 146)을 가짐으로써 베이스 공동(148)을 형성한다. 기판, 즉, 마스크용 구속 시스템(147)은 포스트(150, 152, 154 및 156)를 더 포함하고, 이 포스트는 바닥부(138)로부터 연장되며, 베이스 공동(148)의 네 개 코너에 근접하고, 기판 배치 위치부(149) 또는 포켓을 형성한다. 측방향으로 대향하는 경사진 융기면(158 및 160)은 측면부(144 및 146)에 각각 위치한다.
림(162)은 리드(102)의 둘레에 형성되고, 레지(164)는 베이스(104)의 둘레에 형성된다. 림(162)은 컨테이너(100)가 폐쇄될 때 레지(164)와 밀봉식으로 접촉한다. 레지(164)는 베이스(104)의 각 코너에 위치하는 네 개의 플랜지부(110)를 포함할 수 있다. 도 3에서 확인할 수 있는 바와 같이 각각의 플랜지부(110)는 이 플랜지부를 관통하는 구멍 또는 개구(112)를 더 포함한다. 구멍(112)은 컨테이너(100)가 폐쇄될 때 리드(102)에 의해 가로막히지 않는 것이 바람직하다.
사용시, 마스크와 같은 기판은 베이스 공동(148) 내에 배치되어 그 안에서 포스트(150, 152, 154, 156)에 의해 구속된다.
구멍(112) 및 플랜지(110)는 컨테이너(100)가 그 측면으로 낙하할 때 충격을 흡수하기 위해 베이스(104)에 배치되고, 이에 따라 컨테이너에 수용된 어떠한 기판도 손상되는 것을 방지한다. 낙하에 의한 힘이 컨테이너(100)에 분산될 때, 구멍(112)은 플랜지(100)가 변형되게 함으로써, 충격 시간을 연장하고, 충격의 급변화를 효과적으로 흡수한다. 이는 컨테이너(100)의 내부로 통과하는 힘을 감소시키고, 이 감소된 힘은 리드 내의 쿠션(132, 134)과 포스트의 탄성으로 인해 흡수될 수 있어 기판의 손상이 방지된다. 또한, 약화된 힘은 래칭 장치(108)로 전달되어 컨테이너(100)가 충격시 팝 오픈(pop open)되는 경향을 줄인다.
구멍(112)은 충분히 커야하며, 충격시 플랜지(110)가 변형되거나 파손되도록 구성되어야 한다. 그러나, 구멍(112)이 너무 크면, 플랜지(110)는 너무 쉽게 변형되고, 그리고/또는, 컨테이너 및 내용물의 중량을 지지할 수 없고, 이는 많은 경우에 있어서 바람직하지 않다. 바람직하게는, 구멍의 외부 경계로부터 플랜지의 외부 경계까지 최단 거리는 구멍의 반경보다 작거나, 원형이 아닌 구멍에 있어서 개구를 가로지르는 거리의 절반보다 작다. 바람직한 실시예에 있어서, 구멍(112)의 경계에서부터 플랜지의 외측 둘레(113)까지의 재료의 두께는 0.030 인치 내지 0.400 인치의 범위 내에 있다. 더욱 바람직한 실시에에 있어서, 구멍으로부터 플랜지의 외측 둘레까지의 재료의 두께는 0.050 내지 0.300 인치이다. 개구의 외부 경계와 플랜지의 외부 경계 사이의 최단 거리는 3/16 인치 미만일 수 있다. 구멍(112)의 크기 및 형상은 컨테이너의 낙하에 의한 것과 같은 부하가 가해질 때 적절한 양의 변형을 제공하기 위한 필요에 따라 다양할 수 있으며, 플랜지(110)의 크기와 컨테이너(100)의 중량 및 크기에 의존한다. 바람직한 실시예에 있어서, 원형일 때 구멍의 반경은 0.125 인치 내지 0.300 인치의 범위이다. 다른 실시예에 있어서, 구멍은 길이 치수를 가질 수 있고, 이때 구멍은 약 1인치에 이르는 길이를 가지는 비원형 형상이다. 예컨대, 0.100 내지 0.200 인치 너비의 만곡된 슬롯이 만곡된 코너 둘레로 이어질 수 있다. 바람직한 실시예에 있어서, 플랜지는 컨테이너, 유용하게는 베이스 부분의 일체부이고, 또한, 커버 또는 리드의 일체부인 것이 적절할 수 있다. 일부 경우에 있어서, 각각의 플랜지에 복수의 개구를 가지는 것이 바람직할 수 있다. 바람직한 실시예에 있어서, 개구는 컨테이너의 코너에서 충격을 수용할 때 컨테이너의 충격 흡수력을 부여하며 개선하는 것 이외에는 다른 목적을 가지지 않는다. 도 3a, 도 3b 및 도 3c를 참조할 때, 개구가 개방형이거나 폐쇄형일 수 있다는 점을 유념한다. "폐쇄형"은 개구가 연속적인 외부 경계 또는 경계(180)를 가지는 경우이고, 이 외부 경계 또는 경계는 도 3a에 도시한 바와 같이 플랜지의 외측 둘레(184)로 연장되지 않는다. "개방형"은 개구의 경계가 도 3b에 도시한 바와 같이 플랜지의 둘레로 연장되는 경우이다.
또한, 바람직한 실시예에 있어서, 플랜지는 x-y 축에서 수평으로 연장되고, 컨테이너의 수직벽(188)(z 축에 실질적으로 평행함)으로부터 연장된다. 플랜지는 둘레(113)를 제외한 위치에서 균일한 두께를 가지는 것이 바람직할 수 있고, 이 경우 두께는 주변 립(189)에서 증가할 수 있다. 도 3c를 참조하면, 바람직한 실시예에 있어서, 개구의 내측 외부 경계로부터 플랜지의 외측 둘레까지의 거리에 대하여 천공되는 플랜지의 에지의 일부는 개구가 폐쇄되어 있는 코너로서, 플랜지 둘레와 가장 가까운 개구 위치에서 취한 라인을 통해 측정되는 코너의 적어도 약 50 %이고, 바람직하게는 적어도 약 70 %이다. 이 플랜지 둘레는 플랜지 코너의 정점(192)일수도 아닐 수도 있다. 즉, b/(a+b)는 적어도 약 0.5이고, 바람직하게는 적어도 약 0.7이다. 또한, 개구의 가장 넓은 부분을 관통하는 라인을 취했을 때, 수직벽(188)으로부터 외측으로 연장되는 수평 플랜지의 부분으로서, 전체 거리에 대해 천공되는 수평 플랜지의 부분은 바람직하게는 적어도 40 %이고, 더욱 바람직하게는 적어도 약 60 %이다. 즉, b/c는 바람직하게는 적어도 0.4이고, 더욱 바람직하게는 적어도 약 0.6이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 플랜지에서 개구(112) 및 둘레(113)는 적어도 하나의 탄성 또는 부서지기 쉬운 신장형 핑거 부재(195)를 형성한다. 핑거(195)는 핑거의 양 단부(197, 198)에서 플랜지와 일체형으로 연결된 것으로 도시되어 있다. 개구가 개방형일 때, 제2 신장형 핑거 부재(196)가 형성될 수 있다. 재료 및 구체적인 구성에 따라, 이들 핑거는 충격시 부서지거나 구부러지는 것으로 설계될 수 있다. 바람직한 실시예에 있어서, 핑거는 도 3c에서 문자 a로 식별되며 플랜지의 평면(x-y 평면)에 평행한 방향으로 측정되는 너비와, 문자 d로 지시되며 플랜지의 평면에 대해 횡방향, 즉, z 방향으로 측정되는 높이를 가진다. 바람직한 실시예에 있어서, 너비 치수는 최소 너비의 지점에서, 또는 코너의 정점에서의 높이 치수보다 작다.
하나의 특정 컨테이너 구성에 대해 기술하였으나, 당업자는 본 발명에 따른 기판용 완충 컨테이너가 임의의 유사 기판용 컨테이너 구성을 취하고, 플랜지를 추가하며, 이 플랜지를 관통하는 구멍을 형성함으로써 제조될 수 있다는 것을 이해할 것이다. 본 발명에 따라 쉽게 수정될 수 있는 마스크를 저장하기 위한 컨테이너는 동시 계류중인 출원 제11/364,812호에 개시되어 있으며, 이 출원은 참조로써 여기에 통합된다.
도 4 내지 도 7를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 다양한 다른 기판용 완충 컨테이너를 볼 수 있다. 도 4에는 반도체 웨이퍼용 기판 운송장치가 도시되어 있다. 이러한 완충 패키지(200)는 상부 부재(202) 및 하부 부재(204)를 포함하고, 이들 부재는 기판이 저장될 수 있는 내부 영역을 형성한다. 이러한 컨테이너는 본 발명의 소유자가 소유하고 있는 미국 특허 제4,793,488호에 기재되어 있다. 이러한 특허는 참조로써 여기에 통합된다. H-바 웨이퍼 카세트가 기판, 즉, 웨이퍼용 지지 시스템일 수 있다. 상부 부재(202) 및 하부 부재(204)는 래칭 장치(206)에 의해 밀봉식으로 연결될 수 있다. 패키지(200)는 패키지(200)가 낙하할 때 충격을 흡수하기 위해 관통 개구(210)를 구비하는 플랜지(208)를 더 포함한다.
도 5를 참조하면, 완충 컨테이너(300)는 기판을 수용할 수 있는 쉘(302)을 포함한다. 전형적으로 컨테이너는 전방 개방 통합형 용기(Front Opening Unified Pod)의 두문자인 FOUP로 알려져 있다. 이러한 컨테이너는 미국 특허 제5,944,194호에 도시되어 있고, 본 발명의 소유자가 소유하고 있다. 이러한 특허는 참조로써 여기에 통합된다. 컨테이너(300)는 도어(304) 및 래칭 장치(306)로 밀봉될 수 있다. 그 내부의 기판용 지지 시스템은 전방 도어의 내측 상에 일련의 선반과 웨이퍼 구속부를 포함한다. 컨테이너(300)는 낙하시 충격을 흡수하기 위해 관통 개구(310)를 구비하는 플랜지(308)를 더 포함한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 기판용 완충 캐리어(400)는 컨테이너 기판용 카세트(402), 상부 커버(404) 및 바닥부 커버(406)를 포함한다. 이러한 형식의 운반장치용 기판은 자기 디스크이며, 이러한 운반 장치는 본 발명의 소유자가 소유하고 있는 미국 특허 제6,902,059호에 도시되어 있다. 이 특허는 참조로써 여기에 통합된다. 이러한 실시예에 있어서 기판용 지지 시스템은 슬롯을 형성하는 일련의 치형부와, 상부 커버 상에 디스크 "쿠션"을 포함한다. 래칭 장치(408)는 상부 커버(404) 및 하부 커버(406)를 카세트(402)에 밀봉할 수 있다. 캐리어(400)는 낙하시 충격을 흡수하기 위해 관통 개구(412)를 구비하는 플랜지(410)를 더 포함한다.
도 7을 참조하면, 기판용 완충 캐리어(500)가 도시되어 있다. 캐리어(500)는 도어(504)로 밀봉될 수 있는 컨테이너부(502)를 포함한다. 캐리어(500)는 플랜지부(506)를 더 포함하고, 이 플랜지부는 자신을 관통하는 복수의 개구(508)를 포함하여 캐리어(500) 낙하시 충격을 흡수한다.
기판용 컨테이너는 사출 성형(injection molding)될 수 있으나, 당업자는 다른 공정이 이용될 수 있다는 점을 이해할 것이다. 기존의 다른 기판 컨테이너 몰드가 기판용 완충 컨테이너를 제공하기 위해 본 발명의 플랜지 및 구멍이 추가되도록 용이하게 수정될 수 있다. 대안으로, 구멍은 베이스가 성형된 후 별도의 공정에 의해 생성될 수 있다.
기판용 컨테이너에 적절한 재료로는 선택적으로 정적 분산 특성을 가지는 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌(ABS; Acrylonitrile-Butadiene-Styrene), 예컨대, 본 발명의 소유자인 엔테그리스사로부터 입수 가능한 상표명 StatPro 435을 포함한다. 그러나, 당업자는 통상적으로 특정 용도에서는 다른 폴리머로 대체할 것이다. 폴리프로필렌 및 폴리카보네이트가 그 예에 해당한다.
본 발명의 다양한 수정이 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 이루어질 수 있기 때문에, 본 발명의 영역은 도시하고 설명한 실시예에 제한되지 아니한다. 오히려, 본 발명의 영역은 첨부된 청구항 및 그 균등물에 의해 결정되어야 한다.

Claims (34)

  1. 네 개의 코너를 구비한 기판용 완충 컨테이너에 있어서,
    네 개의 코너에 의해 연결되는 네 개의 측면부를 구비한 쉘을 포함하고, 각 코너는 두 개의 인접한 측면부에 의해 형성되는 폴리머 리드;
    네 개의 코너에 의해 연결되는 네 개의 측면부를 구비한 쉘을 포함하고, 각 코너는 두 개의 인접한 측면부에 의해 형성되는 폴리머 베이스;
    상기 리드 및 베이스를 연결하는 힌지;
    내부에 기판을 구속시키는 구속 시스템;
    상기 리드를 상기 베이스에 고정하고, 외부 환경에 대해 컨테이너를 밀봉하기 위한 래치 장치;
    리드 및 베이스 중 하나의 쉘 둘레에 배치되어 이 쉘로부터 수평하게 외측으로 연장된 플랜지로서, 상기 플랜지는 상기 리드 및 베이스 중 하나의 복수의 측면부로부터 연장되어 상기 리드 및 베이스 중 하나의 코너 각각에 하나씩 네 개의 코너 플랜지를 형성하고, 상기 네 개의 코너 플랜지는 상기 리드 및 베이스 중 하나의 쉘과 일체이며, 각각의 코너 플랜지는 상기 코너 중 하나에 배치되어 이 코너로부터 수평하게 외측으로 돌출하되 상기 코너 중 하나 둘레로 연장되어 상기 코너 플랜지의 일부가 상기 코너 중 하나를 형성하는 인접한 측면부 각각으로부터 연장되고, 각각의 코너 플랜지는 또한 리드의 상면 및 베이스의 바닥면에 대체로 평행한 것인 플랜지; 및
    상기 코너에서 충격 흡수력을 제공하도록 상기 하나 이상의 코너 플랜지 각각을 관통하는 개구로서, 상기 개구는 상기 인접한 측면부 사이의 코너의 정점 인근에 위치하고, 상기 개구 각각은 베이스 또는 리드 중 어느 하나의 각 코너에 핑거를 형성하고, 상기 핑거 각각은 상기 코너 각각에서 충격시 충격을 흡수하기 위해 탄성을 가지거나 부서질 수 있는 것인 개구
    를 포함하는 기판용 완충 컨테이너.
  2. 청구항 1에 있어서, 상기 개구의 외부 경계와 상기 플랜지의 외부 경계 사이의 최단 거리는 상기 개구의 반경보다 작은 것인 기판용 완충 컨테이너.
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 개구의 외부 경계와 상기 플랜지의 외부 경계 사이의 최단 거리는 0.030 인치 이상 3/16 인치 미만인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  4. 청구항 1에 있어서, 상기 개구는 상기 베이스에 상기 리드를 고정하는 데 있어서 아무런 기능을 제공하지 않는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  5. 청구항 1에 있어서, 상기 개구는 상기 리드가 상기 베이스에 고정될 때 상기 리드에 의해 가로막히지 않는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  6. 청구항 1에 있어서, 상기 컨테이너는 상기 리드가 상기 베이스에 고정될 때 그 내부에 수용되는 하나 이상의 기판을 탄성적으로 구속하는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  7. 폴리머로 형성되는 기판용 완충 컨테이너로서,
    대체로 평평한 상부와, 상호 대향하는 전면부 및 후면부와, 상호 대향하는 측면부를 가져 상부 공동을 형성하는 폴리머 상부 부재;
    대체로 평평한 바닥부와, 상호 대향하는 전면부 및 후면부와, 상호 대향하는 측면부를 가져 하부 공동을 형성하는 폴리머 하부 부재;
    상부 부재를 하부 부재에 고정하기 위한 래칭 장치;
    상기 컨테이너와 일체로 형성되며, 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나를 따라 상기 컨테이너 둘레에 상기 컨테이너로부터 외측으로 수평하게 연장된 플랜지; 및
    네 개의 코너 플랜지부를 구비하며, 상기 플랜지와 일체로 형성된 네 개의 코너;
    를 포함하고, 상기 코너 플랜지부가 하나씩 각각의 코너 상에서 코너로부터 외측으로 돌출하며, 상기 코너 플랜지부는 상기 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나와 일체이고, 각각의 코너 플랜지부는 상기 코너 둘레로 연장되며, 각각의 코너 플랜지부는 코너 각각의 각 정점에 인접한 개구를 가져 코너 각각에서 핑거를 형성하고, 핑거 각각은 상기 코너 각각이 충격을 받을 때 충격을 흡수하기 위해 탄성을 가지거나 부서질 수 있으며, 각각의 코너 플랜지부는 플랜지의 두께를 형성하는 대체로 수평한 상면과 대체로 수평한 바닥면을 가지고, 코너 플랜지부는 플랜지가 코너 사이에서 외측으로 연장된 것보다 더 멀리 컨테이너로부터 외측으로 연장된 것인 기판용 완충 컨테이너.
  8. 청구항 7에 있어서, 상기 상부 부재와 상기 하부 부재를 연결하는 힌지를 더 포함하는 기판용 완충 컨테이너.
  9. 청구항 7에 있어서, 상기 코너 플랜지부 각각은 외부 경계를 가지고, 상기 개구의 외부 경계와 상기 코너 플랜지부의 외부 경계 사이의 최단 거리는 상기 개구의 반경보다 작은 것인 기판용 완충 컨테이너.
  10. 청구항 7에 있어서, 각각의 코너 플랜지부와 각각의 개구는 외부 경계를 가지고, 상기 개구 각각의 외부 경계와 상기 플랜지부 각각의 외부 경계 사이의 최단 거리는 0.030 인치 이상 3/16 인치 미만인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  11. 청구항 7에 있어서, 코너 각각의 코너 플랜지부 각각은 라운드형(rounded)이고, 각각의 개구는 원형인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  12. 청구항 7에 있어서, 상기 개구는 상기 상부 부재가 상기 하부 부재에 고정될 때 상기 상부 부재에 의해 가로막히지 않는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  13. 청구항 7에 있어서, 상기 컨테이너는 상기 상부 부재가 상기 하부 부재에 고정될 때 그 내부에 수용되는 하나 이상의 기판을 탄성적으로 구속하도록 형성되는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  14. 기판용 완충 컨테이너로서,
    대체로 평평한 상부와, 상호 대향하는 길이방향부와, 상호 대향하는 측면부를 가져 상부 공동을 형성하는 상부 부재;
    대체로 평평한 바닥부와, 상호 대향하는 길이방향부와, 상호 대향하는 측면부를 가져 하부 공동을 형성하는 하부 부재;
    상기 상부 부재를 상기 하부 부재에 고정하기 위한 래칭 장치;
    대체로 수평한 상면 및 바닥면을 가지며 상기 컨테이너와 일체인 플랜지부로서, 상기 플랜지부는 상기 컨테이너 둘레에 배치되어 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나를 따라 상기 컨테이너로부터 수평하게 외측으로 돌출하고, 상기 플랜지부는 상기 컨테이너의 코너에 코너 플랜지부를 포함하고, 각각의 코너는 정점을 가지며, 상기 코너 플랜지부는 상기 플랜지부와 일체로 형성되고, 상기 코너 플랜지부는 상기 컨테이너로부터 수평하게 외측으로 돌출하는 대체로 수평한 상면 및 바닥면을 가지며, 상기 코너 플랜지부는 상기 플랜지부가 코너 사이에서 외측으로 연장된 것보다 더 멀리 상기 컨테이너로부터 외측으로 연장된 것인 플랜지부; 및
    상기 하나 이상의 코너 플랜지부 각각을 관통하는 개구로서, 상기 개구 각각의 외부 경계와 상기 코너 플랜지부 각각의 외부 경계 사이의 최단 거리는 상기 개구의 반경보다 작으며, 코너 플랜지부 각각에 핑거가 형성되고, 핑거 각각은 상기 코너 플랜지부 각각에서 충격시 충격을 흡수하기 위해 탄성을 가지거나 부서질 수 있으며, 상기 개구는 상부 부재를 하부 부재에 고정하는 데 어떠한 기능도 제공하지 않으며, 상기 개구는 상부 부재가 하부 부재에 고정될 때 상부 부재에 의해 가로막히지 않는 것인 개구
    를 포함하는 기판용 완충 컨테이너.
  15. 청구항 14에 있어서, 상기 상부 부재를 상기 하부 부재에 연결하는 힌지를 더 포함하는 기판용 완충 컨테이너.
  16. 청구항 14에 있어서, 상기 개구의 외부 경계와 상기 코너 플랜지의 외부 경계 사이의 최단 거리는 0.030 인치 이상 3/16 인치 미만인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  17. 청구항 14에 있어서, 상기 컨테이너는 상기 상부 부재가 상기 하부 부재에 고정될 때 그 내부에 수용되는 하나 이상의 기판을 탄성적으로 구속하도록 구성되는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  18. 네 개의 측면부를 구비하는 쉘을 포함한 리드를 형성하는 단계로서, 상기 측면부는 네 개의 코너에 의해 연결되며, 각각의 코너가 두 개의 인접한 측면부에 의해 형성된 것인 리드를 형성하는 단계;;
    네 개의 측면부를 구비하는 쉘을 포함한 베이스를 형성하는 단계로서, 상기 측면부는 네 개의 코너에 의해 연결되며, 각각의 코너가 두 개의 인접한 측면부에 의해 형성된 것인 베이스를 형성하는 단계;
    상기 리드와 상기 베이스를 연결하기 위한 힌지를 형성하는 단계;
    상기 리드를 상기 베이스에 고정하기 위한 래칭 장치를 형성하는 단계;
    리드 및 베이스 중 하나의 쉘 둘레에 이 쉘로부터 수평하게 외측으로 연장된 플랜지를 형성하는 단계로서, 상기 플랜지는 상기 리드 및 베이스 중 하나의 복수의 측면부로부터 연장되어 상기 리드 및 베이스 중 하나의 코너 각각에 하나씩 네 개의 코너 플랜지를 형성하고, 상기 네 개의 코너 플랜지는 상기 리드 및 베이스 중 하나의 쉘과 일체이며, 각각의 코너 플랜지는 상기 코너 중 하나에 배치되어 이 코너로부터 수평하게 외측으로 돌출하되 상기 코너 중 하나의 둘레로 연장되어 상기 코너 플랜지의 일부가 상기 코너 중 하나를 형성하는 인접한 측면부 각각으로부터 연장되며, 각각의 코너 플랜지는 또한 리드의 상면 및 베이스의 바닥면에 대체로 평행한 것인 플랜지를 형성하는 단계; 및
    상기 코너에서 충격 흡수력을 제공하도록 상기 하나 이상의 코너 플랜지 각각을 관통하는 개구를 형성하는 단계로서, 상기 개구는 상기 인접한 측면부 사이의 코너의 정점 인근에 위치하고, 상기 개구 각각은 베이스 또는 리드 중 어느 하나의 각 코너에 핑거를 형성하고, 상기 핑거 각각은 상기 코너 각각에서 충격시 충격을 흡수하기 위해 탄성을 가지거나 부서질 수 있는 것인 개구를 형성하는 단계
    를 포함하는 기판용 완충 컨테이너 형성 방법.
  19. 청구항 18에 있어서, 상기 리드 및 베이스를 사출 성형하는 단계를 더 포함하는 기판용 완충 컨테이너 형성 방법.
  20. 청구항 19에 있어서, 상기 베이스가 사출 성형될 때 상기 개구를 형성하는 단계를 더 포함하는 기판용 완충 컨테이너 형성 방법.
  21. 청구항 19에 있어서, 상기 개구는 상기 베이스가 사출 성형된 후에 별도의 공정 단계에서 형성되는 것인 기판용 완충 컨테이너 형성 방법.
  22. 청구항 1에 있어서, 상기 플랜지는 상기 측면부를 따르는 부분보다 코너에서 더 멀리 상기 리드 및 베이스 중 하나의 쉘로부터 외측으로 연장되는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  23. 청구항 1에 있어서, 상기 컨테이너는 전체적으로 동일한 폴리머로 이루어지는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  24. 청구항 1에 있어서, 상기 폴리머는 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  25. 청구항 1에 있어서, 상기 리드 및 베이스 중 하나의 네 개 측면부는 직사각형을 형성하고, 상기 네 개의 코너 플랜지는 상기 직사각형 너머로 연장되는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  26. 청구항 7에 있어서, 상기 코너 플랜지부는 상부 부재의 상부 및 하부 부재의 바닥부에 대체로 평행한 것인 기판용 완충 컨테이너.
  27. 청구항 7에 있어서, 하부 부재는 네 개의 코너를 가지고, 상기 코너 플랜지부가 하나씩 각각의 코너에 배치되는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  28. 청구항 7에 있어서, 상기 컨테이너는 폴리머로 이루어지는 것인 기판용 완충 컨테이너.
  29. 청구항 7에 있어서, 상기 폴리머는 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  30. 청구항 7에 있어서, 상기 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나의 대향하는 전면부 및 후면부와 대향하는 측면부는 실질적으로 직사각형을 형성하고, 상기 네 개의 코너 플랜지는 상기 직사각형 너머로 연장된 것인 기판용 완충 컨테이너.
  31. 청구항 14에 있어서, 상기 컨테이너는 폴리머로 이루어진 것인 기판용 완충 컨테이너.
  32. 청구항 31에 있어서, 상기 폴리머는 아크릴로니트릴-부타디엔-스티렌인 것인 기판용 완충 컨테이너.
  33. 청구항 14에 있어서, 상기 상부 부재 및 하부 부재 중 적어도 하나의 대향하는 길이방향부와 대향하는 측면부는 실질적으로 직사각형을 형성하고, 상기 코너 플랜지부는 상기 직사각형 너머로 연장된 것인 기판용 완충 컨테이너.
  34. 청구항 18에 있어서, 상기 플랜지는 상기 측면부를 따르는 부분보다 코너에서 더 멀리 상기 리드 및 베이스 중 하나의 쉘로부터 외측으로 연장되는 것인 기판용 완충 컨테이너 형성 방법.
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