KR20100035678A - 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크의 수납 방법과 마스크 블랭크 수납체 - Google Patents

마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크의 수납 방법과 마스크 블랭크 수납체 Download PDF

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Abstract

레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 내부에 수납하는 마스크 블랭크 수납 케이스로서, 상기 마스크 블랭크를 수용하기 위한 케이스 본체(5), 케이스 본체에 씌우는 덮개부(6) 및 케이스 본체에 덮개부를 씌운 상태에서 양자간을 고정하는 고정 부재(9)를 갖는다. 케이스 본체 및 덮개부는, 수지 재료로 형성되고 또한 서로 감합하는 감합부(51, 61)를 갖는다. 고정 부재는, 덮개부의 감합부와 계합하는 계합부(91a)를 구비한 제1 부재(91) 및 케이스 본체의 감합부와 계합하는 계합부(93)를 구비한 제2 부재(92)를 갖는다. 제1 부재의 계합부와 제2 부재의 계합부 사이의 거리가 신축 가능하게 설계되어 있다.
케이스 본체, 덮개부, 고정 부재, 감합부, 계합부, 제1 부재, 제2 부재

Description

마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크의 수납 방법과 마스크 블랭크 수납체{MASK BLANK ACCEPTANCE CASE, MASK BLANK ACCEPTANCE METHOD, AND MASK BLANK ACCEPTANCE BODY}
본 발명은, 전자 디바이스의 제조에 사용되는 포토마스크 등의 제조에 이용되는 마스크 블랭크를 수납하는 수납 케이스 및 그 수납 방법에 관한 것이다.
최근의 전자 디바이스, 특히 반도체 소자나 액정 모니터용의 컬러 필터 혹은 TFT 소자 등은, IT 기술의 급속한 발달에 수반하여, 한층 미세화가 요구되고 있다. 이와 같은 미세 가공 기술을 지지하는 기술의 하나가, 전사 마스크라고 불리는 포토마스크를 이용한 리소그래피 기술이다. 이 리소그래피 기술에서는, 노광용 광원의 전자파를, 전사 마스크를 통하여 레지스트막을 갖는 실리콘 웨이퍼 등에 노광함으로써, 실리콘 웨이퍼 상에 미세한 패턴을 형성하고 있다. 이 전사 마스크는 통상적으로, 투광성 기판 상에 차광성막을 형성한 마스크 블랭크에 리소그래피 기술을 이용하여 원판으로 되는 패턴을 형성하여 제조된다. 그런데, 마스크 블랭크의 표면에 파티클 등의 이물이 있으면, 형성되는 패턴의 결함의 원인으로 되므로, 마스크 블랭크의 표면에는 이물 등이 부착되지 않도록 청정하게 보관될 필요가 있다.
이와 같은 마스크 블랭크를 수납 보관하여 운반하기 위한 케이스로서는, 종래에서는 예를 들면 일본 특허 공고 평1-39653호 공보(특허 문헌 1)에 개시되어 있는 마스크 운반용 케이스가 알려져 있다. 즉, 종래의 마스크 블랭크를 수납 보관하는 케이스는, 캐리어 등으로 불리고 있는 내 케이스에 마스크 블랭크를 수매 내지 수십매 나열하여 유지시키고, 이 마스크 블랭크를 유지한 내 케이스를 외 상자(케이스 본체) 내에 수용하고, 또한 외 상자 위에 덮개를 씌워, 마스크 블랭크를 수납하는 구조로 되어 있었다.
도 11 내지 도 13은, 특허 문헌 1에 개시된 것과 마찬가지의 구조의 수납 케이스를 나타내는 것으로, 도 11은 수납 케이스의 덮개를 도시하는 사시도, 도 12는 마스크 블랭크를 중 케이스에 수납하는 상태를 도시하는 사시도, 도 13은 수납 케이스의 케이스 본체(외 케이스)를 도시하는 사시도이다.
이 수납 케이스는, 마스크 블랭크(1)를 중 케이스(2)에 수납하고, 이 중 케이스(2)를 케이스 본체(3)에 수납하고, 이 케이스 본체(3)의 개구부측에 덮개(4)를 씌우는 구조이다.
중 케이스(2)는, 개구부측(상방)으로부터 저면측(하방)을 향하여 복수의 홈(21, 22)을, 한 방향에서 서로 대향하는 내측면에 소정 간격을 두고 한 쌍을 이루어 형성하고, 그 홈(21, 22)의 중 케이스 저면측의 저부와 중 케이스 저면에는 각각 개구창(도시 생략)과 개구부(27)가 형성되고, 또한 중 케이스 저면측에는 기판 지지부(26)가 형성되고, 이 기판 지지부(26)에 의해 마스크 블랭크(1)의 하방 끝면을 지지하고 있다(도 12). 그리고, 이 중 케이스(2)를 케이스 본체(3)에 수납 하여 고정하기 위한 오목면부(28, 29)가 각각, 중 케이스의, 한 방향에 직교하는 다른 방향에서 서로 대향하는 외측면에 저면측으로부터 개구부측의 도중까지 형성되어 있다. 수매의 마스크 블랭크(1)를 중 케이스(2)의 한 쌍의 홈(21, 22)을 따라서 넣으면, 이들 마스크 블랭크는 소정 간격을 두고 서로 평행하게 임립한다.
케이스 본체(3)는, 중 케이스(2)의 오목면부(28, 29)와 당접하는 데에 적합한 돌출부(31, 32)를, 다른 방향에서 서로 대향하는 내측면에 형성하고, 그 돌출부(31, 32)의 저부는 케이스 본체(3) 저면과도 접합하고 있다(도 13). 또한, 한 방향에서 서로 대향하는 외측면의 개구부측에는 볼록부(33, 34)가 형성되어 있다. 그리고, 케이스 본체(3)의 개구연(35)의 약간 하방의 위치에 계속되는 외주면(36)과 볼록부(33, 34)의 볼록면과는 대략 동일면으로 형성되어 있다.
또한 덮개(4)는, 그 한 방향에서 서로 대향하는 하방연(47)(케이스 본체에 끼워 넣는 개구부측의 모서리로서, 도 11에서는 상방을 향하고 있음)의 중앙으로부터 연장된 계합편(41, 42)에 오목부(43, 44)를 형성하고 있다. 이에 의해, 덮개(4)를 케이스 본체(3)에 씌웠을 때에, 오목부(43, 44)가 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)와 각각 감합함으로써, 덮개(4)와 케이스 본체(3)가 고정되는 구조로 되어 있다. 또한, 중 케이스(2)의 개구부측 상단면(25)과 당접하여 중 케이스(2)를 수직 방향에서 지지 고정하는 스토퍼(45, 46)를 다른 방향에서 서로 대향하는 내측면에 서로 대향시켜 형성하고 있다.
최근 전자 디바이스의 고성능화에 수반하여, 전사 마스크에 형성되는 패턴도 한층 더 미세화가 요구되고 있고, 이와 같은 미세 패턴을 형성하기 위해서도 마스크 블랭크의 청정도는 매우 높은 것이 아니면 허용할 수 없게 되어 있다. 따라서, 마스크 블랭크에 이물 등이 부착되는 것을 가능한 한 억제함으로써, 특히 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크의 보관 중은 가능한 한 높은 청정도로 유지할 필요가 있다.
그러나, 종래의 수납 케이스는, 전술한 바와 같이, 덮개(4)를 케이스 본체(3)에 씌우면, 덮개(4)의 오목부(43, 44)가 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)와 각각 감합함으로써, 덮개(4)와 케이스 본체(3)가 고정되도록 되어 있고, 또한 덮개(4)나 케이스 본체(3)는 폴리프로필렌 등의 수지로 형성되어 있기 때문에, 덮개를 개폐할 때에, 덮개(4)의 오목부(43, 44)와 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)와의 마찰에 의한 파티클이 발생한다. 발생한 파티클은 케이스에 부착된다. 그리고, 예를 들면 덮개(4)를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착되어, 이물 결함으로 될 우려가 매우 높았다.
또한, 상기한 바와 같이 덮개(4)의 오목부(43, 44)와 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)를 각각 감합시키는 구조를 형성하는 대신에, 예를 들면 덮개(4)를 케이스 본체(3)에 씌웠을 때의 케이스 본체(3)의 개구연부의 외주면(36)과 덮개(4)의 하연부의 외주면(48)과의 접합부(맞춤부)에 예를 들면 도 14에 도시한 바와 같은 단면 コ자형의 고정 훅(10)을 끼워서 고정하는 구조도 알려져 있다. 그러나, 고정 훅(10)을 케이스의 끝으로부터 고정 위치(통상은 중앙의 위치)까지 착탈할 때마다 일일이 슬라이드시킬 필요가 있기 때문에, 수납 케이스의 개폐 작업이 번잡한 것뿐만 아니라, 고정 훅(10)을 슬라이드시킬 때의 파티클 발생에 의한 발진이 매우 크다.
따라서, 본 발명은 수납 케이스의 개폐 시의 발진에 의한 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 억제할 수 있게 한 마스크 블랭크의 수납 케이스 및 수납 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명자는, 상기 과제를 해결하기 위해 예의 검토한 결과, 수납 케이스의 덮개와 케이스 본체와의 고정 구조를 개량함으로써, 덮개의 개폐 시의 발진을 억제하고, 그 결과 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있는 것을 발견하고, 본 발명을 완성되는 데에 이른 것이다.
본 발명의 일 실시 양태에 따르면, 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 내부에 수납하는 마스크 블랭크 수납 케이스로서, 상기 마스크 블랭크를 수용하기 위한 케이스 본체, 그 케이스 본체에 씌우는 덮개부, 및 상기 케이스 본체에 상기 덮개부를 씌운 상태에서 양자간을 고정하는 고정 부재를 포함하고, 상기 케이스 본체 및 상기 덮개부는, 수지 재료로 형성되고 또한 서로 감합하는 감합부를 갖고, 상기 고정 부재는, 상기 덮개부의 감합부와 계합하는 계합부를 구비한 제1 부재, 및 상기 케이스 본체의 감합부와 계합하는 계합부를 구비한 제2 부재를 포함하고, 상기 제1 부재의 계합부와 상기 제2 부재의 계합부 사이의 거리가 신축 가능한 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스가 얻어진다.
본 발명의 다른 실시 양태에 따르면, 상기 마스크 블랭크 수납 케이스에, 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 수납하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 수납 방법이 얻어진다.
본 발명의 또 다른 실시 양태에 따르면, 상기 수납 방법에 의해 마스크 블랭크가 수납된 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납체가 얻어진다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다.
도 1 및 도 2의 (a) 및 도 2의 (b)를 참조하면, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 마스크 블랭크 수납 케이스(이하, 간단히 「수납 케이스」라고 하는 경우도 있음)는, 상방이 개구된 케이스 본체(5)와, 그 케이스 본체(5)에 씌우는 덮개부(6)를 포함하고, 내부에 마스크 블랭크를 수납하기 위한 것이다. 케이스 본체(5) 및 덮개부(6)는, 그 전체적인 형상은, 종래의 수납 케이스가 덮개(4)의 오목부(43, 44)와 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)를 구비하고 있는 점을 제외하고는, 도 11에 도시한 덮개(4) 및 도 13에 도시한 케이스 본체(3)와 마찬가지의 형상을 갖고 있다.
도시하고 있지 않지만, 전술한 구조의 수납 케이스와 같이, 마스크 블랭크를 복수매 유지하기 위한 중 케이스(2)(도 12 참조)를 이용하는 구성으로 할 수 있다. 상기 중 케이스를 사용하지 않고, 마스크 블랭크를 케이스 본체(5)에 직접 홈 등을 형성하여 수납하는 형태로 할 수도 있지만, 중 케이스를 사용하면, 수매 내지 수십매의 마스크 블랭크를 통합하여 중 케이스에 넣은 상태에서 취급할 수 있으므로 편 리하다.
본 수납 케이스는, 주표면이 정방형인 글래스 기판의 일 주표면 상에 크롬막 등의 차광성 박막을 성막하고, 예를 들면 또한 그 위에 레지스트막을 형성한 마스크 블랭크를 예로 들어 종래 구조와 마찬가지의 중 케이스에 수납하고, 이 중 케이스를 케이스 본체(5)에 수납하고, 이 케이스 본체(5)의 개구부측에 덮개부(6)를 씌우는 구조를 갖는다(도 2의 (a) 및 도 2의 (b) 참조). 케이스 본체(5) 위로부터 덮개부(6)를 씌우면, 덮개부(6)의 하방연에 계속되는 약간 외측으로 확대 개방된 측벽부(61)와 케이스 본체(5)의 개구연부(51)가 전후로 서로 겹침과 동시에, 덮개부(6)의 하방연의 측벽부(61)와 케이스 본체(5)의 개구연부(51)의 하방에 형성된 약간 바깥쪽으로 확대 개방된 측벽부(52)가 동일면 상에 서로 겹쳐 덮개부(6)와 케이스 본체(5)가 접합된다.
덮개부(6)를 닫을 때, 케이스 본체(5)의 개구연부(51)와 덮개부(6)의 측벽부(61)가 각각 감합부로서 기능하여 서로 감합된다. 덮개부(6)를 닫은 수납 케이스의 밀폐성을 높이기 위해, 케이스 본체(5)의 개구연부(51)를 따라서 적당한 크기의 고리 형상의 탄성 부재(7)를 끼워 넣고 있다(도 1 참조). 탄성 부재(7)로서는, 분위기의 온도, 기압 등의 변동이 있어도 화학 성분 가스의 방출이 적은 재료가 바람직하고, 예를 들면 폴리올레핀엘라스토머, 폴리에스테르엘라스토머를 들 수 있다. 덮개부(6)를 케이스 본체(5)에 씌울 때, 케이스 본체(5)와의 감합부에 개재하는 탄성 부재(7)를 꽉 눌러, 케이스 내를 밀폐성이 높은 상태로 할 수 있다.
내부에 마스크 블랭크를 수납하여, 케이스 본체(5)에 덮개부(6)를 씌운 상태 에서 케이스 본체(5)와 덮개부(6)를 고정하기 위해, 케이스 본체(5), 덮개부(6)와는 별체의 고정 부재(9)를 사용한다. 고정 부재(9)는, 제1 부재(91)와, 그 제1 부재(91)에 회동 가능하게 지지된 제2 부재(92)를 갖는다. 도 4에 도시한 바와 같이 정면 시에서는, 제1 부재(91)는, 하방에 양팔부(95, 95)를 향한 コ자형으로 형성되어 있고, 또한 도 3의 (a) 및 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이 측면 시에서는, 제1 부재(91)의 상단부가 내측으로 절곡된 계합부(91a)를 가짐과 함께, 한가운데보다 약간 하방의 위치에 단차부(94)를 갖고 있다. 제2 부재(92)는, 제1 부재(91)의 양팔부(95, 95) 사이에 배설되고, 제2 부재(92)의 양측은 각각 제1 부재(91)의 양팔부(95, 95)와는 약간의 간극을 형성한 상태에서, 축 C, C를 회동축으로서 양팔부(95, 95)에 피봇 지지되어 있다. 그리고, 그 제2 부재(92)는, 도 3의 (a) 및 도 3의 (b)의 측면 시에서는, 전체가 거의 S자 형상으로 형성되어 있고, 그 선단(상단)에 계합부(93)를 갖고 있다. 이와 같이 하여 제2 부재(92)는, 제1 부재(91)에 대해 회동 가능하게 접속되어 있다.
다음으로, 이러한 고정 부재(9)를 이용하여, 케이스 본체(5)에 덮개부(6)를 씌운 상태에서 케이스 본체(5)와 덮개부(6)를 고정하는 방법을 설명한다.
덮개부(6)의 측벽부(61) 상단의 일부분에는 안쪽으로 움푹패인 내지는 절결한 계합 오목부(61a)를 갖고 있고, 케이스 본체(5)의 측벽부(52) 하단에서의 덮개부(6)의 계합 오목부(61a)와 대응하는 위치에도 마찬가지로 안쪽으로 움푹패인 내지는 절결한 계합 오목부(52a)를 갖고 있다. 덮개부(6)를 케이스 본체(5)에 씌운 상태에서, 우선 고정 부재(9)의 제1 부재(91)의 계합부(91a)를, 덮개부(6)의 감합 부, 즉 덮개부(6)의 측벽부(61)의 계합 오목부(61a)와 계합시킨다(도 3의 (a) 참조). 다음으로, 제1 부재(91)의 하방부를 케이스측으로(도 3의 (a) 중의 화살표 A 방향) 접근시킴과 동시에, 제2 부재(92)의 하방부를 동일하게 케이스측으로(도 3의 (a) 중의 화살표 B 방향) 회동시킨다. 이에 의해, 제2 부재의 계합부(93)를, 상기 감합부의 케이스 본체측, 즉 케이스 본체(5)의 측벽부(52)의 계합 오목부(52a)와 계합시킨다(도 3의 (b) 참조). 이 때, 제1 부재(91)의 단차부(94)는 케이스 본체(5)의 계합 오목부(52a)보다도 약간 하방의 위치에 끼워 넣어진다.
본 마스크 블랭크 수납 케이스에 따르면, 상기한 바와 같이 하여 고정 부재(9)를 이용함으로써, 내부에 마스크 블랭크를 수납하여, 케이스 본체(5)에 덮개부(6)를 씌운 상태에서, 덮개부(6)와 케이스 본체(5)를 고정할 수 있다. 수납 케이스의 개폐 시에는, 고정 부재(9)를 수납 케이스로부터 착탈한다. 고정 부재(9)를 장착하는 경우는, 전술한 바와 같이 우선 제1 부재(91)의 계합부(91a)를 덮개부(6)의 계합 오목부(61a)와 계합시키고 나서, 제2 부재(92)를 회동시켜, 제2 부재(92)의 계합부(93)를 케이스 본체(5)의 계합 오목부(52a)에 접근, 당접시켜 그 계합 오목부(52a)와 계합시킨다. 고정 부재(9)를 이탈시키는 경우에는 상기와 반대의 조작을 행한다. 따라서, 고정 부재(9)를 착탈할 때에 고정 부재(9)와 수납 케이스의 감합부가 마찰되는 일이 없으므로, 수납 케이스의 개폐 시의 발진을 억제할 수 있고, 그 결과 예를 들면 덮개부를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착함에 따른 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있다.
고정 부재(9)의 재질은, 예를 들면 폴리카보네이트, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 아크릴로니트릴 부타디엔 스틸렌(ABS) 등의 수지나, 스테인레스, 알루미늄 등의 금속으로부터 적절하게 선택되는 것이 바람직하다. 특히 수지 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 고정 부재(9)가 수지 재료로 형성되어 있음으로써, 수송, 반송 중의 외부 충격(예를 들면 진동)에 대해서도 수납 케이스를 확실히 고정하여 발진을 방지할 수 있다.
또한, 고정 부재(9)는 수납 케이스의 적어도 대향하는 두 방향을 고정함으로써, 케이스 내에 수납된 마스크 블랭크를 거의 균일한 고정 하중으로 고정할 수 있다. 따라서, 예를 들면 수송, 반송 중의 진동을 받았다고 하여도 수납 케이스 내의 마스크 블랭크와 그것을 지지하고 있는 플라스틱 파츠와의 마찰에 의한 파티클의 발생을 억제하여, 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 방지할 수 있다. 보다 바람직하게는, 수납 케이스의 사방을 고정하는 것이다.
또한, 본 수납 케이스에서는, 수납된 마스크 블랭크의 단면정부를 지지하는 수지 재료로 형성된 지지 수단을 덮개부(6)의 내측에 설치하고 있다. 이러한 지지 수단으로서, 마스크 블랭크의 상방의 단면정부를 지지하는 수지 재료로 형성된 복수의 지지 부재(8)를 덮개부(6)의 내측에 설치하고 있다.
지지 부재(8)는, 도 9에 도시한 바와 같이, 단면 원형이며 직선 형상으로 연장된 축(81)과, 그 축(81)의 측면으로부터 단면에서 직교하는 방향으로 인출한 복수쌍의 연결부(82, 83)와, 그 연결부(82, 83)의 선단에 단면 대략 원 형상으로 형성한 복수쌍의 당접부(84, 85)를 구비하고 있다. 복수쌍의 연결부(82, 83)와 당접 부(84, 85)는, 수납하는 복수매의 마스크 블랭크를 적당한 간격으로 이격하도록 소정 간격으로 배열되어 있다. 그리고, 당접부(84, 85)에는, 내측에 오목 형상으로 움푹패인 당접면(86, 87)을 각각 서로 직교하는 방향으로 형성하고 있다.
이와 같은 지지 부재(8)를 2개 준비하여, 덮개부(6)의 대향하는 한 쌍의 내측면에 서로 대향시켜 부착된다.
지지 부재(8)를 구성하는 수지 재료로서는, 특별히 한정은 되지 않지만, 분위기의 온도, 기압 등의 변동이 있어도 화학 성분 가스의 방출이 적은 재료가 특히 바람직하고, 예를 들면 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 고리 형상 폴리올레핀, 폴리올레핀엘라스토머, 폴리에스테르엘라스토머, 폴리카보네이트, 불소계 수지로부터 선택되는 1 이상의 수지를 바람직하게 들 수 있다.
그리고, 각 지지 부재(8)의 당접부(84, 85)의 당접면(86, 87)이 마스크 블랭크(1)의 상부 꼭대기부에서 인접 끝면에 각각 당접하여, 마스크 블랭크(1)를 고정 상태로 지지한다. 이 때, 각 지지 부재(8)의 각 당접면(86, 87)은 오목 형상으로 움푹패여 형성되어 있으므로, 마스크 블랭크(1)의 인접 끝면의 각각의 측벽면(1b)과 이에 연속되는 면취면(1c)(혹은 그 일부)(도 10 참조)은 지지 부재(8)에 의해 적절하게 지지된다.
이와 같은 지지 수단을 덮개부(6)의 내측에 설치하고 있음으로써, 예를 들면 수송, 반송 중의 진동을 완화시킬 수 있어, 마스크 블랭크를 확실히 고정하여 발진을 방지할 수 있다.
또한, 전술한 케이스 본체(5) 및 덮개부(6)의 재질은, 수지 재료로 형성되지만, 예를 들면 폴리프로필렌, 아크릴, 폴리에틸렌, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리아미드, 폴리이미드, 폴리에틸설파이드, 폴리부틸렌테레프탈레이트(PBT), 아크릴로니트릴 부타디엔 스틸렌(ABS) 등의 수지로부터 적절하게 선택되는 것이 바람직하다. 이들 중에서도, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리부틸렌테레프탈레이트가 바람직하다. 또한, 마스크 블랭크의 보관 중에 차지가 모이면, 마스크 제조 과정에서 방전 파괴를 일으켜, 패턴 결함으로 될 경우가 있으므로, 예를 들면 케이스 본체(5)의 구성 수지에 카본 등을 섞어 넣어 도전성을 부여하도록 하여도 된다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 마스크 블랭크 수납 케이스의 고정 부재(11)는, 제1 부재(111)와, 제2 부재(114)를 포함하고 있다. 도 6에 도시한 바와 같이 정면 시에서는, 제1 부재(111)는, 대략 중앙에 개구부(113)와, 그것보다도 하방에 개구부(113)보다 약간 작은 개구부(112)를 갖고 있고, 또한 도 5에 도시한 바와 같이 측면 시에서는, 제1 부재(111)의 상단부가 내측으로 절곡된 계합부(111a)와, 한가운데보다 약간 하방의 위치에 단차부(115)(개구부(113)의 하단면)를 갖고 있다. 또한, 제2 부재(114)는, 제1 부재(111)의 단차부(115)의 하방에 설치된 공간 내에 배설되고, 개구부(112)에서 수평 방향으로 돌출되는 손잡이부(114a)와, 단차부(115)보다 상방향으로 출몰하는 계합부(114b)를 갖고 있다. 또한, 제2 부재(114)는, 예를 들면 판 스프링과 같은 스프링 부재(116)에 의해, 최상의 위치에 오도록 부세되어 있다.
다음으로, 이러한 고정 부재(11)를 이용하여, 케이스 본체(5)에 덮개부(6)를 씌운 상태에서 케이스 본체(5)와 덮개부(6)를 고정하는 방법을 설명한다.
덮개부(6)를 케이스 본체(5)에 씌운 상태에서, 우선 고정 부재(11)의 손잡이부(114a)를 가장 아래로 내린 상태(이 때 계합부(114b)는 단차부(115)보다 아래에 있음)에서, 제1 부재(111)의 계합부(111a)를, 덮개부(6)의 감합부, 즉 덮개부(6)의 측벽부(61)의 계합 오목부(61a)와 계합시키고, 다음으로 손잡이부(114a)를 놓으면, 제2 부재(114)는 스프링 부재(116)에 의해 최상의 위치에 오도록 부세되어 있으므로, 제2 부재(114)의 계합부(114b)가 단차부(115)보다 상방향으로 돌출되고, 이 때 상기 감합부의 케이스 본체측, 즉 케이스 본체(5)의 측벽부(52)의 계합 오목부(52a)와 계합한다(도 5 참조). 고정 부재(11)를 탈착하는 경우에는 상기와 반대의 조작을 행한다.
본 고정 부재(11)를 이용함으로써, 제1 부재(111)의 계합부(111a)와 제2 부재(114)의 계합부(114b) 사이의 거리가 신축 가능하게 구성되어 있으므로, 고정 부재(11)를 착탈할 때에 고정 부재(11)와 수납 케이스의 감합부가 마찰되는 일이 없기 때문에, 수납 케이스의 개폐 시의 발진을 억제할 수 있고, 그 결과 예를 들면 덮개부를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착함에 따른 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 도 7 및 도 8을 참조하면 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 마스크 블랭크 수납 케이스의 고정 부재(12)는, 제1 부재(126)와, 제2 부재(123)와, 이들 제1 부재와 제2 부재를 각각 회동 가능하게 접속하는 제3 부재(121)로 이루어진다. 도 8에 도시한 바와 같이 정면 시에서는, 제3 부재(121)는, 전체가 H자 형상으로 형성되어 있다. 또한, 제1 부재(126)는, 제3 부재(121)의 한쪽의 양팔부(125, 125) 사이에 배설되고, 제1 부재(126)의 양측은 각각 제3 부재(121)의 양팔부(125, 125)와는 약간의 간극을 형성한 상태에서, 축 C, C를 회동축으로 하여 양팔부(125, 125)에 피봇 지지되어 있다. 그리고, 그 제1 부재(126)는, 도 7의 측면 시에서는, 전체가 거의 S자 형상으로 형성되어 있고, 그 선단(상단)(도 7에서는 하단)에 계합부(127)를 갖고 있다. 이와 같이 하여 제1 부재(126)는, 제3 부재(121)에 대해 회동 가능하게 접속되어 있다. 한편, 제2 부재(123)는, 제3 부재(121)의 다른 쪽의 양팔부(122, 122) 사이에 배설되고, 제2 부재(123)의 양측은 각각 제3 부재(121)의 양팔부(122, 122)와는 약간의 간극을 형성한 상태에서, 축 C, C를 회동축으로 하여 양팔부(122, 122)에 피봇 지지되어 있다. 그리고, 그 제2 부재(123)도 마찬가지로, 전체가 거의 S자 형상으로 형성되어 있고, 그 선단(상단)에 계합부(124)를 갖고 있다. 이와 같이 하여 제2 부재(123)는, 제3 부재(121)에 대해 회동 가능하게 접속되어 있다.
다음으로, 이러한 고정 부재(12)를 이용하여, 케이스 본체(5)에 덮개부(6)를 씌운 상태에서 케이스 본체(5)와 덮개부(6)를 고정하는 방법을 설명한다.
덮개부(6)를 케이스 본체(5)에 씌운 상태에서, 고정 부재(12)를 케이스측에 접근시키면서, 제1 부재(126)의 상방부를 케이스측으로, 제2 부재(123)의 하방부를 동일하게 케이스측으로 회동시킨다. 이에 의해, 제1 부재의 계합부(127)를, 상기 감합부의 덮개부측, 즉 덮개부(6)의 측벽부(61)의 계합 오목부(61a)와 계합시키고, 제2 부재의 계합부(124)를, 상기 감합부의 케이스 본체측, 즉 케이스 본체(5)의 측 벽부(52)의 계합 오목부(52a)와 계합시킨다(도 7 참조).
전술한 고정 부재(12)를 이용함으로써도, 고정 부재(12)를 착탈할 때에 고정 부재(12)와 수납 케이스의 감합부가 마찰되는 일이 없기 때문에, 수납 케이스의 개폐 시의 발진을 억제할 수 있다. 따라서, 예를 들면 덮개부를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착함에 따른 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 전술한 어느 하나의 실시 형태에 따른 마스크 블랭크 수납 케이스에서도, 고정 부재를 수납 케이스로부터 제거할 수 있기 때문에, 예를 들면 자동 로봇 등을 이용하여 블랭크의 수납 작업을 행하는 경우에, 자동 로봇에 수납 케이스를 세트할 때에, 고정 부재를 떼어내어 두면, 케이스 본체의 측면이 거의 플랫으로 되어, 자동 로봇에 수납 케이스를 세트할 때에 방해되지 않는다. 또한, 고정 부재가 수납 케이스의 예를 들면 덮개부에 고정되어 있어서 제거를 할 수 없는 구조이면, 케이스 내의 블랭크를 취출할 때에 고정 부재가 접촉될 위험성이 있지만, 고정 부재를 제거할 수 있으면, 이와 같은 위험성도 없다.
이하, 실시예 및 비교예를 설명한다.
<실시예 1>
합성 석영 기판(6인치×6인치의 크기) 상에 스퍼터법으로, 표층에 반사 방지 기능을 갖는 크롬막(차광막)을 형성하고, 그 위에 스핀 코트법으로 포지티브형의 화학 증폭형 레지스트인 전자선 묘화용 레지스트막을 형성하여 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 제조하였다.
이와 같이 하여 제조한 20매의 마스크 블랭크를, 1케이스에 5매 수납하고, 계 4케이스를 준비하였다. 수납 케이스로서, 전술한 도 1 내지 도 4에 도시한 실시 형태에 따른 수납 케이스를 이용하였다. 또한, 덮개부의 재질은, 아크릴로니트릴 부타디엔 스틸렌(ABS), 케이스 본체의 재질은 폴리프로필렌, 중 케이스의 재질은 폴리프로필렌을 이용하였다. 또한, 고정 부재(9)의 재질은 ABS를 이용하고, 덮개부에 부착한 지지 부재(8)의 재질은 폴리부틸렌테레프탈레이트를 이용하고, 탄성 부재(7)의 재질은 폴리올레핀엘라스토머를 이용하였다. 수납 작업은 클린룸 내에서 행하였다.
그리고, 동일하게 클린룸 내에서, 고정 부재(9)를 케이스로부터 떼어내어, 덮개부를 열고, 다시 덮개부를 닫고, 고정 부재(9)를 케이스에 장착한다고 하는 덮개의 개폐 동작을 연속해서 50회 행하였다.
그리고, 이와 같은 덮개의 개폐 동작을 행한 후, 수납 케이스로부터 마스크 블랭크를 취출하고, 결함 검사 장치(레이저테크사제:M2350)를 이용하여, 마스크 블랭크 주표면 상의 부착 이물에 의한 결함(90㎛ 이상의 크기의 결함) 개수를 측정하였다. 또한, 평가는, 수납 케이스에 수납하기 전의 결함 개수를 미리 상기와 마찬가지로 측정해 두고, 이에 대한 덮개의 개폐 동작 후의 결함 개수의 증가 개수로 행하였다. 그 결과, 본 실시예에서는, 증가 결함 개수는 평균적으로 1.3개이며, 덮개부의 개폐 동작에 의한 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제하는 것이 가능하다.
<비교예>
실시예 1과 마찬가지로 제조한 마스크 블랭크를 수납하는 케이스로서, 전술한 도 11 내지 도 13에 도시한 종래 구조의 수납 케이스를 이용한 것 이외는 실시예 1과 마찬가지로 하여 마스크 블랭크의 수납을 행하였다. 또한, 덮개의 재질은 아크릴로니트릴 부타디엔 스틸렌(ABS), 케이스 본체의 재질은 폴리프로필렌, 중 케이스의 재질은 폴리프로필렌을 이용하였다.
그리고, 수납 케이스의 덮개(4)의 오목부(43, 44)와 케이스 본체(3)의 볼록부(33, 34)를 계합하고, 또한 그 계합을 떼어냄으로써 덮개의 개폐 동작을 연속해서 50회 행하였다.
그리고, 이와 같은 덮개의 개폐 동작을 행한 후, 실시예 1과 마찬가지로, 수납 케이스에 수납하기 전의 결함 개수에 대한 덮개의 개폐 동작 후의 결함 개수의 증가 개수를 측정하였다. 그 결과, 본 비교예에서는, 증가 결함 개수는 평균적으로 6.8개로 매우 많아, 덮개부의 개폐 동작에 의한 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 억제할 수 없다. 이것은, 종래 구조의 수납 케이스의 경우, 덮개의 개폐 동작에 수반하는 발진이 매우 많은 것이 요인인 것으로 생각된다.
이하에, 본 발명의 다양한 실시 형태 및 그것에 의한 효과를 열거한다.
1) 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 내부에 수납하는 마스크 블랭크 수납 케이스로서, 상기 마스크 블랭크를 수용하기 위한 케이스 본체(5), 케이스 본체(5)에 씌우는 덮개부(6), 및 케이스 본체(5)에 덮개부(6)를 씌운 상태에서 양자간을 고정하는 고정 부재(9)를 포함하고, 케이스 본체(5) 및 덮개부(6)는 수지 재료로 형성되고 또한 서로 감합하는 감합부(51, 61)를 갖고, 고정 부재(9)는 덮개부(6)의 감합부(61)와 계합하는 계합부(91a)를 구비한 제1 부재(91), 및 케이스 본체(5)의 감합부(51)와 계합하는 계합부(93)를 구비한 제2 부재(92)를 포함하고, 제1 부재(91)의 계합부(91a)와 제2 부재(92)의 계합부(93) 사이의 거리가 신축 가능한 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 고정 부재(9)를 착탈할 때에 수납 케이스에 대한 마찰을 방지하여 발진을 억제할 수 있다. 따라서, 예를 들면 덮개부(6)를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착함에 따른 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있다.
2) 제1 부재(91)와 제2 부재(92)가 회동 가능하게 접속되어 있는 1항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 제1 부재(91)를 덮개부(6)와 계합시키고 나서, 제2 부재(92)를 회동시킴으로써, 제2 부재(92)를 케이스 본체(5)와 계합시킴으로서, 고정 부재(9)를 착탈할 때의 마찰을 효과적으로 방지하여 발진을 억제할 수 있다. 따라서, 예를 들면 덮개부(6)를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착함에 따른 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있다.
3) 고정 부재(12)는, 제1 부재(126)와 제2 부재(123)를 서로 회동 가능하게 접속하는 제3 부재(121)를 갖는 1항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 제3 부재(121)를 통하여 제1 부재(126)와 제2 부재(123)를 각각 회동시킴으로써, 제1 부재(126)를 덮개부(6)에, 제2 부재(123)를 케이스 본체(5)에, 각각 계합시킴으로써, 고정 부재(12)를 착탈할 때의 어긋남을 효과적으로 방지하여 발진을 억제할 수 있다. 따라서, 예를 들면 덮개부(6)를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착함에 따른 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 효과적으로 억제할 수 있다.
4) 고정 부재(9, 11, 12)는 수지 재료로 형성되어 있는 1항 내지 3항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 수송, 반송 중의 외부 충격(예를 들면 진동)에 대해서도 케이스 본체(5)에 대해 덮개부(6)가 확실히 고정되고, 따라서 발진을 방지할 수 있다.
5) 고정 부재(9, 11, 12)는, 수납 케이스의 적어도 대향하는 두 방향을 고정하는 1항 내지 4항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 케이스 내에 수납된 마스크 블랭크를 거의 균일한 고정 하중으로 고정할 수 있다. 따라서, 예를 들면 수송, 반송 중의 진동을 받았다고 하여도 수납 케이스 내의 마스크 블랭크와 그것을 지지하고 있는 플라스틱 부품과의 마찰에 의한 파티클의 발생을 억제하여, 마스크 블랭크에의 파티클 부착을 방지할 수 있다.
6) 케이스 본체(5)의 감합부 및 덮개부(6)의 감합부 사이에 탄성 부재(7)를 개재시키는 1항 내지 5항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 케이스 본체(5)와 덮개부(6) 사이에서 탄성 부재가 꽉 눌려지므로, 케이스 내를 밀폐 상태로 하는 것이 가능하다.
7) 수납된 마스크 블랭크의 단면정부를 지지하는 수지 재료로 형성된 지지 수단(8)을 덮개부(6)의 내측에 설치하여 이루어지는 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스.
이에 따르면, 예를 들면 수송, 반송 중에도 마스크 블랭크를 확실히 고정하여 발진을 방지할 수 있다.
8) 1항 내지 7항 중 어느 한 항에 기재된 마스크 블랭크 수납 케이스에, 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 수납하는 마스크 블랭크의 수납 방법.
이에 따르면, 덮개부의 개폐 시의 발진을 억제할 수 있고, 그 결과 예를 들면 덮개부를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 예를 들면 수송, 반송 중의 진동을 받았다고 하여도 마스크 블랭크를 확실히 고정하여 발진을 방지할 수 있다.
9) 8항에 기재된 수납 방법에 의해 마스크 블랭크가 수납된 마스크 블랭크 수납체.
이에 따르면, 마스크 블랭크 수납체는 덮개부의 개폐 시의 발진이 억제되므로, 예를 들면 덮개부를 열었을 때에 파티클이 케이스 내에 진입하여 마스크 블랭크에 부착되는 것을 억제할 수 있다. 또한 수송, 반송 중의 예를 들면 진동에 대해서도 마스크 블랭크가 확실히 고정되어 발진을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 따른 수납 케이스를, 케이스 본체와 덮개부가 분리된 상태에서 나타내는 정면도.
도 2의 (a)는 케이스 본체에 덮개부가 고정된 상태를 나타내는, 도 1의 수납 케이스의 일 측면도.
도 2의 (b)는 케이스 본체에 덮개부가 고정된 상태를 나타내는, 도 1의 수납 케이스의 다른 측면도.
도 3의 (a)는 케이스 본체에 덮개부가 고정되기 전의 상태를 나타내는, 도 1의 수납 케이스의 주요부만의 확대 측면도.
도 3의 (b)는 케이스 본체에 덮개부가 고정된 상태를 나타내는, 도 1의 수납 케이스의 주요부만의 확대 측면도.
도 4는 도 2의 (a)∼도 3의 (b)에서 케이스 본체에 덮개부를 고정한 고정 부재의 정면도.
도 5는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 수납 케이스의, 케이스 본체에 덮개부가 고정된 상태에서의 주요부만의 확대 단면도.
도 6은 도 5에서 케이스 본체에 덮개부를 고정한 고정 부재의 정면도.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 수납 케이스의, 케이스 본체에 덮개부가 고정된 상태에서의 주요부만의 확대 측면도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 따른 수납 케이스의, 케이스 본체에 덮개부가 고정된 상태에서의 주요부만의 확대 측면도.
도 9는 수납 케이스 내에서 마스크 블랭크를 지지하기 위한 지지 부재의 사시도.
도 10은 마스크 블랭크의 일부만의 단면도.
도 11은 종래의 수납 케이스의 덮개를 도시하는 사시도.
도 12는 마스크 블랭크를 중 케이스에 수납하는 상태를 도시하는 사시도.
도 13은 종래 구조의 수납 케이스의 케이스 본체(외 케이스)를 도시하는 사시도.
도 14는 종래의 고정 훅의 사시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
2 : 케이스
3, 5 : 케이스 본체
4 : 덮개
6 : 덮개부
7 : 탄성 부재
9 : 고정 부재
10 : 고정 훅
21, 22 : 홈
25 : 상단면
26 : 기판 지지부
27 : 개구부
28, 29 : 오목면부
33, 34 : 볼록부
35 : 개구연
36 : 외주면
41, 42 : 계합편
43, 44 : 오목부
45, 46 : 스토퍼
47 : 하방연
51, 61 : 감합부
91a, 93 : 계합부
91 : 제1 부재
92 : 제2 부재

Claims (9)

  1. 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 내부에 수납하는 마스크 블랭크 수납 케이스로서,
    상기 마스크 블랭크를 수용하기 위한 케이스 본체와,
    상기 케이스 본체에 씌우는 덮개부와,
    상기 케이스 본체에 상기 덮개부를 씌운 상태에서 양자간을 고정하는 고정 부재를 포함하고,
    상기 케이스 본체 및 상기 덮개부는, 수지 재료로 형성되고 또한 서로 감합하는 감합부를 갖고,
    상기 고정 부재는,
    상기 덮개부의 감합부와 계합하는 계합부를 구비한 제1 부재와,
    상기 케이스 본체의 감합부와 계합하는 계합부를 구비한 제2 부재를 포함하고,
    상기 제1 부재의 계합부와 상기 제2 부재의 계합부 사이의 거리가 신축 가능한 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 부재와 상기 제2 부재가 회동 가능하게 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 고정 부재는, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재가 각각 회동 가능하게 접속된 제3 부재를 더 갖는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 부재는 수지 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정 부재는, 수납 케이스의 적어도 대향하는 두 방향을 고정하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 케이스 본체의 감합부 및 상기 덮개부의 감합부 사이에 탄성 부재를 개재시키는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납 케이스.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    수납된 마스크 블랭크의 단면정부(端面頂部)를 지지하는 수지 재료로 형성된 지지 수단을 상기 덮개부의 내측에 설치하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스 크 블랭크 수납 케이스.
  8. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항의 마스크 블랭크 수납 케이스에, 레지스트막을 갖는 마스크 블랭크를 수납하는 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크의 수납 방법.
  9. 제8항의 수납 방법에 의해 마스크 블랭크가 수납된 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납체.
KR1020090090898A 2008-09-27 2009-09-25 마스크 블랭크 수납 케이스 및 마스크 블랭크의 수납 방법과 마스크 블랭크 수납체 KR101183402B1 (ko)

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