KR200493303Y1 - 웨이퍼 캐리어의 슬롯바 - Google Patents

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Abstract

본 고안은 웨이퍼 캐리어의 슬롯바에 관한 것이다. 본 고안의 일 측면에 따른 웨이퍼 캐리어의 슬롯바는, 다수 개의 삽입돌기를 포함하고, 삽입돌기는 그 상단부 양면에 접촉돌기를 구비한다.

Description

웨이퍼 캐리어의 슬롯바{SLOT BAR FOR WAFER CARRIER}
본 고안은 웨이퍼 캐리어의 슬롯바에 관한 것이다.
태양광 발전에 이용되는 태양광 웨이퍼는 폴리실리콘을 단결정인 원통 실린더 또는 다결정인 블록형태로 성장 또는 주조한 다음 이를 얇게 잘라서 만든 것이다. 태양광 웨이퍼에는 태양전지 회로가 부착된다. 태양광 웨이퍼는 절단 후 각 장비 사이를 이동할 때 수집 장씩 웨이퍼 캐리어(carrier)에 삽입되어 이동 및 보관된다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 태양광 웨이퍼의 캐리어는 상호 대향하는 두 개의 플레이트(18)와, 플레이트(18)를 상호 연결하고 웨이퍼(도시하지 않음)가 삽입되는 다수 개의 슬롯바(12)로 구성된다. 슬롯바(12)에는 다수 개의 삽입돌기(16)가 일정한 간격으로 형성되어 있다. 웨이퍼는 삽입돌기(16)의 사이에 삽입되어서 이동시 흔들리는 것이 방지될 수 있다.
종래 슬롯바(12)의 삽입돌기(16)는 웨이퍼의 삽입을 용이하게 하기 위해서 삽입돌기(16) 사이의 간격을 웨이퍼의 두께에 비해서 크게 형성한다. 이로 인해, 웨이퍼를 삽입돌기(16)의 사이에 용이하게 삽입할 수 있지만, 웨이퍼와 삽입돌기(16)의 사이에 간격이 발생하게 된다. 이와 같은 간격은 캐리어(10)의 이동 과정에서 웨이퍼가 흔들리게 되는 원인을 제공한다.
또한, 종래 슬롯바(12)의 삽입돌기(16) 사이에 삽입된 웨이퍼 사이의 간격이 적게 형성되는데, 웨이어의 자중에 의한 처짐에 의해서 인접하는 웨이퍼가 상호 접합되는 문제점이 발생할 수 있다.
따라서 본 고안은 상술한 문제점을 해결하기 위해 도출된 것으로서, 본 고안은 캐리어에 삽입된 웨이퍼의 처짐에 의한 흡착 및 유격을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어의 슬롯바를 제공하고자 한다.
본 고안의 다른 목적들은 이하에 서술되는 실시예를 통하여 더욱 명확해질 것이다.
본 고안의 일 측면에 따른 웨이퍼 캐리어의 슬롯바는, 다수 개의 삽입돌기를 포함하고, 삽입돌기는 그 상단부 양면에 접촉돌기를 구비한다.
본 고안에 따른 슬롯바는 다음과 같은 실시예들을 하나 또는 그 이상 구비할 수 있다. 예를 들면, 접촉돌기는 반구 형상을 갖고 그 상단부는 절단되어 평면이 형성될 수 있다.
접촉돌기는 삽입돌기의 상단부 및 하단부에 각각 형성될 수 있다. 또한, 접촉돌기는 반원의 디스크 형상을 가질 수 있다.
본 고안은 캐리어에 삽입된 웨이퍼의 처짐에 의한 흡착 및 유격을 방지할 수 있는 웨이퍼 캐리어의 슬롯바를 제공할 수 있다.
도 1은 종래의 웨이퍼 캐리어에 대한 도면이다.
도 2는 도 1에서 A 부분에 대한 확대 도면이다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 슬롯바를 예시하는 도면이다.
도 4는 도 3에서 A 부분에 대한 확대 도면이다.
도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬롯바를 예시하는 도면이다.
도 6은 도 5의 A 부분에 대한 확대 도면이다.
도 7은 본 고안의 제2 실시예에 따른 슬롯바의 삽입돌기를 예시하는 도면이다.
도 8은 본 고안의 제3 실시예에 따른 슬롯바의 삽입돌기를 예시하는 도면이다.
본 고안은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 고안을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 고안의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 고안을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 고안의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 고안을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 고안에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 3은 본 고안의 일 실시예에 따른 슬롯바(110)를 예시하는 도면이고, 도 4는 도 3에서 A 부분에 대한 확대 도면이다. 그리고 도 5는 본 고안의 일 실시예에 따른 슬롯바를 예시하는 도면이고, 도 6은 도 5의 A 부분에 대한 확대 도면이다.
도 3 내지 도 6을 참고하면, 본 실시예에 따른 슬롯바(110)는 태양광 또는 반도체 웨이퍼의 캐리어에 적용되는 것으로, 상호 대향하는 두 개의 플레이트(도 1이 도면부호 18 참조)에 양단부가 각각 결합한다. 슬롯바(110)에는 다수 개의 삽입돌기(112)가 일정한 간격으로 배열되어 있다.
삽입돌기(112)는 슬롯바(110)에서 모두 동일한 방향으로 형성되고 모두 동일한 크기 및 형상을 가질 수 있다. 본 실시예에 따른 슬롯바(110)에서 삽입돌기(112)는 등변사다리꼴 형상을 가질 수 있고 끝 부분의 모서리가 라운드(round) 처리된 형상을 가질 수 있다. 그리고 삽입돌기(112)와 삽입돌기(112)의 사이의 간격은 웨이퍼(도시하지 않음)의 두께에 비해서 다소 크게 형성된다. 그리고 삽입돌기(112)는 길이 방향으로 모두 동일한 폭을 구비할 수 있다.
삽입돌기(112)의 길이는 종래의 슬롯바(12)의 삽입돌기(16)에 비해서 길게 형성될 수 있다. 이와 같이, 삽입돌기(112)의 길이를 길게 형성함으로써 웨이퍼에 대한 지지점이 가장자리에서 그 중심 방향으로 이동하게 된다. 이로 인해, 웨이퍼의 처짐량을 줄일 수 있게 된다.
삽입돌기(112)의 상단부에는 접촉돌기(114)가 형성된다. 접촉돌기(114)는 삽입돌기(112)의 상단부 양 면에 각각 형성된 것으로 반구 형상을 가질 수 있다. 접촉돌기(114)는 삽입돌기(112) 사이에 삽입된 웨이퍼의 일 면과 접촉한다.
접촉돌기(114)의 상단부는 일부 절단되어 평면으로 형성될 수 있다. 또한, 하나의 삽입돌기(112)의 양 면에 각각 형성된 접촉돌기(114)는 동일한 크기 및 형상을 가질 수 있다.
접촉돌기(114)는 웨이퍼와 인접하는 웨이퍼 사이의 간격을 일정하게 유지하는 역할을 한다. 즉, 접촉돌기(114)가 형성되지 않은 경우, 웨이퍼 사이의 간격이 유격 등에 의해서 일정하지 않기 때문에 인접하게 위치하는 웨이퍼가 그 처짐에 의해서 상호 밀착될 수 있다. 그러나 본 실시예에 따른 슬롯바(110)는 접촉돌기(114)에 의해서 웨이퍼 사이의 간격을 일정하게 유지될 수 있기 때문에 웨이퍼가 상호 밀착되는 문제점을 해결할 수 있다. 또한, 접촉돌기(114)는 웨이퍼의 일면 및 양면을 동시에 접촉할 수 있기 때문에 웨이퍼의 유격을 방지할 수 있다.
접촉돌기(114)는 삽입돌기(112)와 동일한 재질에 의해서 일체로 형성될 수 있다. 예를 들면, 슬롯바(110)는 플라스틱 사출 성형에 의해서 일체로 형성될 수 있다. 또한, 접촉돌기(114)는 삽입돌기(112)와 다른 재질에 의해서 형성될 수 있다. 예를 들면, 접촉돌기(114)는 고무 등의 재질에 의해서 삽입돌기(112)의 상단부에 이중 사출에 의해서 형성될 수 있다.
접촉돌기(114)는 삽입돌기(112)의 상단부에 하나가 형성되어 있는 것으로 예시하였지만, 본 고안은 접촉돌기(114)의 위치 및 수에 의해서 제한되지 않는다. 본 고안의 다른 실시예에 따른 슬롯바는 접촉돌기가 삽입돌기의 상단부 일면에 그 길이 방향에 대해서 좌우 또는 상하 각각 하나씩 두개가 형성될 수 있다.
슬롯바(110)의 양 단부에는 웨이퍼 캐리어의 플레이트(도시하지 않음)에 결합하기 위한 결합돌기(116)가 좌우 대칭으로 형성되어 있다. 결합돌기(116)는 + 형상을 갖고, 플레이트에 대응되는 형상을 갖는 홈(도시하지 않음)에 삽입된 후 스크류에 의해 체결될 수 있다.
도 7은 본 고안의 제2 실시예에 따른 슬롯바의 삽입돌기(122)를 예시하는 도면이다.
도 7을 참고하면, 본 고안의 제2 실시예에 따른 삽입돌기(122)는 반원 디스크 형상의 접촉돌기(124)를 구비한다. 접촉돌기(124)는 삽입돌기(122)가 돌출된 방향으로 디스크의 곡선 측면이 노출되도록 배치될 수 있다.
본 고안의 실시예들에 따른 슬롯바는 태양광 웨이퍼 또는 반도체 웨이퍼를 위한 캐리어에 적용될 수 있다.
도 8은 본 고안의 또 다른 실시예에 따른 슬롯바의 삽입돌기(132)를 예시하는 도면이다.
도 8을 참고하면, 본 실시예에 따른 삽입돌기(132)는 그 형상이 제1 실시에에 따른 삽입돌기(112)와 형상이 유사하고 다만, 두 개의 접촉돌기 즉 상부접촉돌기(134) 및 하부접촉돌기(136)를 구비하는 점에서 차이점을 갖는다.
상부접촉돌기(134)는 삽입돌기(132)의 상단부에 형성되는 것으로, 제1 실시예에 따른 접촉돌기(114)와 구성이 동일할 수 있다.
하부접촉돌기(136)는 삽입돌기(132)의 하단부에 형성되는 것으로, 그 형상은 상부접촉돌기(134)와 동일할 수 있다.
상부접촉돌기(134) 및 하부접촉돌기(136)는 모두 웨이퍼(150)의 양면과 직접 접촉한다. 특히, 하부접촉돌기(136)는 상부접촉돌기(134)와 함께 웨이퍼(150)의 둘레 부분을 지지하기 때문에 웨이퍼(150)를 더욱 견고하게 지지할 수 있고 그 처짐량을 줄일 수 있다.
하부접촉돌기(136)는 상부접촉돌기(134)와 동일한 크기 및 형상을 갖는 것으로 예시하였지만, 본 고안의 다른 실시예에 따른 슬롯바는 하부접촉돌기가 상부접촉돌기(134)와는 다른 크기 및 형상을 가질 수도 있다. 예를 들면, 하부접촉돌기는 상부접촉돌기(134)에 비해 작은 형상을 가질 수 있고 또한, 삽입돌기(132)의 하단부에서 일정 높이를 갖고 형성될 수 있지만, 슬롯바와의 연결 부분에 형성될 수도 있다.
상기에서는 본 고안의 일 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 고안의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 고안을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
110: 슬롯바
112, 122, 132: 삽입돌기
114, 124: 접촉돌기
134: 상부접촉돌기
136: 하부접촉돌기

Claims (4)

  1. 웨이퍼 캐리어의 슬롯바로서,
    상기 슬롯바는, 등변사다리꼴 형상을 갖고 끝 부분의 모서리가 라운드(round) 처리된 형상으로 형성되는 다수 개의 삽입돌기를 포함하고,
    상기 삽입돌기는 길이 방향으로 모두 동일한 폭을 구비하며,
    상기 삽입돌기는 그 상단부 양면 각각에 상부접촉돌기와 그 하단부 양면 각각에 하부접촉돌기를 구비하여 웨이퍼의 양면에 동시에 접촉하고,
    상기 상부접촉돌기 및 하부접촉돌기는 상호 동일한 크기 및 형상을 갖고 상기 삽입돌기와 일체로 형성되며,
    상기 상부접촉돌기 및 하부접촉돌기는 반구 형상을 갖고 그 상단부는 절단되어 평면이 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어의 슬롯바.
    .
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