KR20120133986A

KR20120133986A - 태양광 웨이퍼 캐리어

Info

Publication number: KR20120133986A
Application number: KR1020120000227A
Authority: KR
Inventors: 김성찬
Original assignee: 주식회사 에스이에이
Priority date: 2012-01-02
Filing date: 2012-01-02
Publication date: 2012-12-11

Abstract

본 발명은 태양광 웨이퍼(Solar wafer)를 가공 처리하기 위해 각 장비간 수십 장의 태양광 웨이퍼들을 끼워 이동시키는 태양광 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 이를 위해 본 발명은 양쪽 측면판(1a,1b) 사이에 연결되는 중간 투스바(2b)들 및 웨이퍼(100)의 하부를 보유 지지하는 하부 투스바(2c)들을 갖추고, 상기 중간 및 하부 투스바(2b,2c)들 각각에는 슬라이스 웨이퍼(100)들이 각각 끼워 안착되는 등간격으로 형성된 투스핀(3)들이 돌출되어 이루어진 태양광 웨이퍼 캐리어에 있어서, 상기 중간 투스바(2b)들과 하부 투스바(2c)들은 키형 팁(4)과 볼트(5)를 매개로 양쪽 측면판(1a,1b)에 체결되고, 상기 하부 및 중간 투스바(2b,2c)에 등간격으로 형성된 투스핀(3)은 그 단면이 육각단면을 갖춘 돌출핀으로 형성되어 웨이퍼(100)와 선접촉 상태로 접촉되어 이 웨이퍼(100)를 보유 지지하도록 이루어진 구조로 되어 있다.

Description

태양광 웨이퍼 캐리어{Solar wafer carrier}

본 발명은 태양광 웨이퍼(Solar wafer)를 가공 처리하기 위해 각 장비간 수십 장의 태양광 웨이퍼들을 끼워 이동시키는 태양광 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.

태양광 발전에 이용되는 태양광 웨이퍼는 원재료인 폴리실리콘을 단결정 혹은 다결정으로 화학 처리하여 성장시켜 이를 얇게 슬라이싱 하여 만드는 얇은 판으로서, 태양전지 회로를 부착하는 판이다.

즉, 태양전지를 제조할 때 원재료인 실리콘을 원통 실린더(단결정) 또는 사각형의 블록형태(다결정)로 성장 또는 주조한 다음, 이를 얇게 썰어 웨이퍼로 만들고 이 웨이퍼에 전지회로를 부착하도록 되어 있다.

이러한 태양광 웨이퍼들을 가공시 각 장비간으로 이동시킬 때 웨이퍼 캐리어(Wafer carrier)에 수십 장을 끼워 옮기게 된다.

종래에는 도 6에 도시된 바와 같이 웨이퍼 캐리어(200)는 양쪽 측면판(101a,101b)에 여러 개의 투스바(102, Toothbar)가 연결되는데, 이때 상기 여러 개의 투스바(102)들은 측면판(101a,101b)에 용접방식으로 연결됨에 따라 연결 설치되는 투스바(102) 중 하나만 파손이나 훼손되어도 웨이퍼 캐리어(200) 전체를 교체하는 단점이 있었다.

또한, 종래 웨이퍼 캐리어(200)의 투스바(102)에 형성되어 웨이퍼와 접촉하는 투스핀(103)이 일자형으로 형성되어 웨이퍼와 면접촉하는 관계로 이 투스핀(103)에 묻은 화학 약품 등으로 인하여 웨이퍼에 캐리어 마크(Carrier mark)가 남아 있는 흔적이 증가되어서 자연적으로 제품의 질이 떨어지고 불량률이 증가하는 문제점도 제기되어 왔다.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래 문제점을 해결하기 위해 발명된 것으로, 여러 개의 투스바들이 양쪽 측면판에 각각 조립식으로 연결되어 부분 파손이나 훼손시 파손된 부분만 교체하여 비용절감을 도모하면서 웨이퍼를 보유 지지하는 투스핀이 웨이퍼와 선접촉 상태를 유지시키어 화학약품에 의한 캐리어 마크가 저감되어 제품의 품질 향상이 이루어지는 태양광 웨이퍼 캐리어를 제공함에 그 목적이 있다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 양쪽 측면판 사이에 연결되는 중간 투스바들 및 저부에 설치되는 하부 투스바들을 갖추고 상기 투스바들 각각에는 슬라이스 웨이퍼들이 끼워 안착되는 등간격의 투스핀들이 돌출 형성되어 이루어진 태양광 캐리어에 있어서, 상기 중간 투스바들과 하부 투스바들은 키형 팁과 볼트를 매개로 양쪽 측면판에 체결되고, 상기 하부 및 중간 투스바에 등간격으로 형성된 투스핀은 그 단면이 육각단면을 갖춘 돌출핀으로 형성되어 웨이퍼와 선접촉 상태로 접촉되어 이 웨이퍼를 보유 지지하도록 되어 있다.

이러한 본 발명에 따른 태양광 웨이퍼 캐리어는 투스바들의 부분 파손시 파손된 투스바 만을 교체하여 설치함에 따라 교체비용의 절감과, 웨이퍼를 보유 지지하는 투스핀이 웨이퍼와 선접촉으로 접촉되어 화학약품 등으로 야기될 수 있는 캐리어 마크를 감소시키어 제품의 품질 향상에도 도움을 주는 효과를 갖는다.

도 1은 본 발명에 따른 태양광 웨이퍼 캐리어의 전체 사시도,
도 2는 본 발명의 요부인 투스바(Tooth bar)의 부분 정면도,
도 3은 본 발명의 요부인 투스바(Tooth bar)의 부분 사시도,
도 4는 본 발명에 태양광 웨이퍼(Solar wafer)가 장착된 상태를 보여주는 캐리어 사시도,
도 5는 본 발명의 다른 실시예로서, 상부 투스바가 제거된 상태를 보여주는 태양광 웨이퍼 캐리어의 전체 사시도,
도 6은 종래 태양광 웨이퍼 캐리어의 사진이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부도면을 참고하여 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 태양광 웨이퍼 캐리어의 전체 사시도이고, 도 4는 본 발명에 슬라이스 웨이퍼(100)들이 안착된 상태를 보여주는 도면이다.

본 발명은 도면에 도시된 바와 같이 웨이퍼(100)들이 수십장 끼워진 상태에서 각 장비간 사이로 이동시킬 때 이용하는 캐리어로서, 양쪽 측면판(1a,1b) 사이에 연결되는 중간 투스바(2b)들 및 웨이퍼(100)의 하부를 보유 지지하는 하부 투스바(2c)들을 갖추고, 상기 중간 및 하부 투스바(2b,2c)들 각각에는 슬라이스 웨이퍼(100)들이 각각 끼워 안착되는 등간격으로 형성된 투스핀(3)들이 돌출되어 이루어진 태양광 웨이퍼 캐리어에 있어서, 상기 중간 투스바(2b)들과 하부 투스바(2c)들은 키형 팁(4)과 볼트(5)를 매개로 양쪽 측면판(1a,1b)에 체결되고, 상기 하부 및 중간 투스바(2b,2c)에 등간격으로 형성된 투스핀(3)은 그 단면이 육각단면을 갖춘 돌출핀으로 형성되어 웨이퍼(100)와 선접촉 상태로 접촉되어 이 웨이퍼(100)를 보유 지지하도록 이루어져 있다.

상기와 같은 구조를 갖는 본 발명은 상기 중간 및 하부 투스바(2b,2c)들 중 하나 또는 일부분만 파손되게 되면, 그 파손된 투스바 만을 볼트(5)를 풀어서 분리시키어 새로운 투스바를 교체하여 설치할 수 있도록 되어 있다.

한편, 웨이퍼(100)들은 본 발명에 안착시킬 때, 웨이퍼(100)들을 낱장씩 중간 및 하부 투스바(2b,2c)들에 대응된 투스핀(3)들 사이에 끼워 넣은 다음 상부 투스바(2a)로 고정시키게 되면, 도 4와 같이 수십장의 웨이퍼(100)들이 본 발명에 따른 태양광 웨이퍼 캐리어에 장착되어 이동시킬 수 있도록 되어진다.

이때 상기 각각의 웨이퍼(100)가 삽입 압착되는 하부 및 중간 투스바(2a,2b,2c)들의 투스핀(3)은 도 2와 도 3에 도시된 바와 같이 등간격으로 돌출 형성된 육각단면을 갖추고 있으므로 이 투스핀(3)의 돌출 측면라인(3a)만 웨이퍼(100)에 접촉하는 선접촉 방식으로 되어 있어서 이 웨이퍼(100)와 접촉면적을 최소화시킬 수 있기 때문에, 이 투스핀(3)에 묻은 화학 약품 등으로 인하여 웨이퍼(100)에서 발생되는 캐리어 마크가 감소된다.

또한, 상기 투스핀(3)이 육각 단면체를 가진 다이아몬드 형태의 기울어진 구조로 되어 있는 형태여서 이 태양광 웨이퍼 캐리어에 화학약품이 고여있지 않고 쉽게 떨어져 분리되는 기능도 가지게 된다.

한편, 도 5는 본 발명에 따른 태양광 웨이퍼 캐리어의 다른 실시예로서, 이 실시예에서는 상부 투스바(2a)를 제거한 상태에서 이용할 수 있도록 되어 있는데, 이때 웨이퍼(100)들의 장착은 앞서 설명한 바와 동일하기에 설명을 생략하며, 상기 상부 투스바(2a)는 필요에 따라 제거 및 설치할 수 있다.

그리고 상기 측면판(1a,1b)의 형상은 도면에 도시된 상태와 유사한 형상을 가지면 되기 때문에 상기 중간 및 하부 투스바(2b,2c)를 지지할 수 있음면, 다양한 변형 형상을 가질 수 있다.

1a,1b : 측면판, 2a : 상부 투스바(Tooth bar),
2b : 중간 투스바, 2c : 하부 투스바,
3 : 투스핀(Tooth pin), 3a : 돌출 측면라인,
4 : 키형 팁(Tip), 5 : 볼트.

Claims

양쪽 측면판(1a,1b) 사이에 연결되는 중간 투스바(2b)들 및 웨이퍼(100)의 하부를 보유 지지하는 하부 투스바(2c)들을 갖추고, 상기 중간 및 하부 투스바(2b,2c)들 각각에는 슬라이스 웨이퍼(100)들이 각각 끼워 안착되는 등간격으로 형성된 투스핀(3)들이 돌출되어 이루어진 태양광 웨이퍼 캐리어에 있어서,
상기 중간 투스바(2b)들과 하부 투스바(2c)들은 키형 팁(4)과 볼트(5)를 매개로 양쪽 측면판(1a,1b)에 체결되고, 상기 하부 및 중간 투스바(2b,2c)에 등간격으로 형성된 투스핀(3)은 그 단면이 육각단면을 갖춘 돌출핀으로 형성되어 웨이퍼(100)와 선접촉 상태로 접촉되어 이 웨이퍼(100)를 보유 지지하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 태양광 웨이퍼 캐리어.
제 1항에 있어서,
상기 투스핀(3)에는 이의 돌출 측면라인(3a)만 웨이퍼(100)에 접촉되는 것을 특징으로 하는 태양광 웨이터 캐리어.