KR101741087B1 - 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지 - Google Patents

Abstract

본 발명은 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 상부에 안착되는 글라스 패널을 진공 흡착하는 세정장치용 스테이지(1)에 있어서, 일측에 관통되는 진공홀(11)이 형성되며 내측에 홈부(13)가 형성되어 일측면과 타측면을 구성하는 수평바(10); 상기 수평바(10)의 사이에 일정간격으로 배열 구성되되, 일측에 관통되는 진공홀(21)이 형성되고 양측이 상기 홈부(13)에 각각 연결되어 스테이지(1)의 내부와 상기 수평바(10)와 다른 일측면과 타측면을 구성하는 수직바(20); 로 구성되어, 간단한 구조를 가지며 결합 및 분리 가능하여 스테이지의 부분적인 교체가 가능하여 유지보수의 용이하고, 알루미늄 재질로 구성하되 별도의 코팅 또는 기타 장치들을 구성하지 않고 다수의 공간을 형성하며 고정판을 이용하여 평탄도를 유지할 수 있어 글라스 패널과 맞닿는 면적을 줄여 정전기를 최소화 시켜 글라스 패널의 휘어짐 또는 파손을 방지할 수 있음은 물론, 경제적 효율성이 높은 유용한 발명인 것이다.

Description

정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지{Stage cleaning device that can minimize the generation of static electricity}

본 발명은 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 글라스 패널을 세정 시 알루미늄 재질로 무게를 경량화시킴과 더불어 흡착 시 글라스 패널과 스테이지의 닿는 면적을 최소화 시켜 정전기 발생을 최소화 할 수 있도록 하는 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지에 관한 것이다.

통상적으로 유기발광표시소자 및 박막트랜지스터 액정표시소자와 같은 평판표시소자의 양극기판을 제조함에 있어 통상적으로 사진 공정이 이용되고 있다.

한편, 사진 공정은 돌 또는 알루미늄 재질의 스테이지 상부에 고가의 유리기판(글라스)을 안착시킨 상태에서 세정장치의 헤드가 상기 유리기판(글라스)의 상부 표면을 세정할 시 유리기판(글라스)의 파손방지 및 깨끗한 세정과 신속한 작업이 이루어질 수 있게 상기 유리기판(글라스)의 하부를 진공 흡착하는 용도로 사용되는 것이다.

그러나 기존에 사용되는 돌 재질의 스테이지는, 무게가 매우 무거워 설치가 용이치 못할 뿐만 아니라 가공이 어려운 문제점을 갖고 있고, 알루미늄 재질의 경우 정전기를 방지하기 위하여 글라스와 맞닿는 면에 별도의 특수코팅작업을 해야 하는 번거로움과, 최초 스테이지 제조 시 어려우며, 정전기 방지를 위하여 별도의 장치들의 추가적으로 구성되어야 하는 별도의 장치들을 구성시켜야 하는 등 경제적 효율성이 매우 저하되는 문제점을 갖고 있다.

또한, 기존의 돌 재질 또는 알루미늄 재질의 스테이지를 사용 시에 세정작업 후 강력한 정전기로 인해 글라스 패널의 휘어짐이 발생하여 큰 데미지를 입게 되고 사진 공정 후 공정으로 이동시켜 챔버내부에 넣어 작업 시 상기 챔버 내부에서 파손되어 전체적인 작업라인을 정지시키고 청소 후 재 작업을 수행하여야 하는 문제점을 갖고 있다.

우선 종래의 기술들을 살펴보면,

등록번호 10-1287161호(특) 패널이 이송되어 고정되는 스테이지; 상기 패널 상부에 회전 및 수평이동 가능하게 설치되는 다각형 단면의 샤프트; 그리고, 상기 샤프트의 각 면에 각각 착탈 가능하게 결합되어 샤프트의 회전에 의해 선택적으로 패널 표면에 대향하도록 위치되며, 샤프트가 수평이동하면 패널 표면과 접촉하여 패널 표면에 부착된 이물질을 제거하는 다수개의 세정패드를 포함하여 이루어지는 패널 세정장치에 관한 것이다.

등록번호 10-1353994호(특) 평판표시소자(Flat Panel Display)의 제조를 위한 글라스(glass)를 지지하는 글라스 스테이지(glass stage); 상기 글라스 스테이지에 이웃하게 배치되고, 상기 글라스의 일면에 면접촉되어 상기 글라스와 어셈블리(assembly)되는 필름(film)을 지지하되 상기 필름의 중앙 영역을 지지하는 필름 지지용 중앙 스테이지와, 상기 필름 지지용 중앙 스테이지의 외곽에 배치되어 상기 필름의 사이드 영역을 지지하는 필름 지지용 사이드 스테이지를 구비하는 필름 스테이지(film stage); 상기 글라스 스테이지와 상기 필름 지지용 사이드 스테이지를 지지하는 바텀 바디(bottom body); 및 상기 바텀 바디의 상부 영역에 배치되며, 상기 필름 지지용 중앙 스테이지를 지지하는 탑 바디(top body)를 포함하는 것을 특징으로 하는 필름과 글라스의 어셈블리 장치에 관한 것이다.

상기한 종래 기술들을 보면, 전체적인 세정장치에 관련한 설명을 하고 있으나, 사진 공정 시 사용되는 스테이지의 재질 및 그 구성과 관련한 특별한 언급이 없는 바, 기존에 돌 또는 알루미늄 재질을 그대로 적용시켜 사용하는 기술로써, 상기한 바와 같은 문제점을 극복하지 못하는 기술이다.

따라서 본 발명의 목적은 상부에 안착되는 글라스 패널과 닿는 면적을 최소화 하면서도 평탄도가 유지될 수 있도록 스테이지를 구성하되, 일체 또는 결합 및 분리가 가능토록 구성하여 정전기를 최소화 시켜 사진 공정 후 다음 공정을 수행하기 위하여 상기 글라스 패널을 스테이지에서 분리 시 휘어짐 또는 파손을 방지할 수 있도록 하면서도 상기 스테이지의 부분적인 교체가 용이토록 하고, 상기 스테이지 재질을 알루미늄 재질로 구성하여 무게를 경량화시킴과 더불어 경제적 효율성을 높일 수 있도록 하는 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지를 제공함에 주안점을 두고 그 기술적 과제로 완성해낸 것이다.

상기 목적을 달성하기 위한 기술적 사상으로서, 상부에 안착되는 글라스 패널을 진공 흡착하는 세정장치용 스테이지(1)에 있어서, 일측에 관통되는 진공홀(11)이 형성되며 내측에 홈부(13)가 형성되어 일측면과 타측면을 구성하는 수평바(10); 상기 수평바(10)의 사이에 일정간격으로 배열 구성되어 공간부(3)를 형성하고, 일측에 관통되는 진공홀(21)이 형성되며 양측이 상기 홈부(13)에 각각 연결되어 스테이지(1)의 내부와 상기 수평바(10)와 다른 일측면과 타측면을 구성하는 수직바(20); 로 구성되어, 스테이지(1)의 상측에 안착되는 글라스 패널과의 맞닿는 면적을 최소화시켜 정전기를 억제할 수 있도록 하여 상기 기술적 과제를 해결코자 하였다.

본 발명에 따른 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지에 의하면, 간단한 구조를 가지며 결합 및 분리 가능하여 스테이지의 부분적인 교체가 가능하여 유지보수의 용이하고, 알루미늄 재질로 구성하되 별도의 코팅 또는 기타 장치들을 구성하지 않고 다수의 공간을 형성하며 고정판을 이용하여 평탄도를 유지할 수 있어 글라스 패널과 맞닿는 면적을 줄여 정전기를 최소화 시켜 글라스 패널의 휘어짐 또는 파손을 방지할 수 있음은 물론, 경제적 효율성이 높은 유용한 발명인 것이다.

도 1은 본 발명의 스테이지의 바람직한 실시 예를 나타내는 사시도, 확대도
도 2는 본 발명의 스테이지의 바람직한 실시 예를 나타내는 평면도, 정면도
도 3은 본 발명의 수평바의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도, 확대도
도 4는 본 발명의 수직바의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도, 확대도
도 5는 본 발명의 스테이지의 바람직한 실시 예를 나타내는 분해도
도 6은 본 발명의 지지부의 바람직한 실시 예를 나타내는 정면도, 분해도, 확대도
도 7은 본 발명의 스테이지에 안착부가 결합되는 것을 나타내는 사시도
도 8은 본 발명의 진공홀의 다른 실시 예를 나타내는 도면

본 발명은 글라스 패널을 세정 시 알루미늄 재질로 무게를 경량화시킴과 더불어 흡착 시 글라스 패널과 스테이지의 닿는 면적을 최소화 시켜 정전기 발생을 최소화 할 수 있도록 하는 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지를 제공한다.

먼저, 본 발명의 스테이지를 구성하는 다수의 수평, 수직바(10, 20)는 설명을 위하여, 평면도를 기준으로 수평바(10)와 수직바(20)로 설명하기로 한다.

또한, 본 발명의 스테이지는 동일한 구조를 가지되, 일체형 또는 결합 및 분리형태로 구성할 수가 있으며, 본 발명에서는 결합 및 분리 형태를 가지는 스테이지를 실시 예로써 설명하기로 한다.

이하, 첨부되는 도면과 관련하여 상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 구성 및 작용에 대하여 도 1 내지 도 2를 참고로 하여 설명하면 다음과 같다.

우선 본 발명을 설명하기에 앞서 그 구성을 도 1 또는 도 2를 참고하여 살펴보면, 상부에 안착되는 글라스 패널을 진공 흡착하는 세정장치용 스테이지(1)에 있어서, 일측에 관통되는 진공홀(11, 21)이 형성되며 내측에 홈부(13, 23)가 형성되는 다수의 수평, 수직바(10, 20)를 조합 또는 일체로 형성하여 스테이지(1)의 내부와 사면이 구성되고, 상기 수직바(20)의 사이사이에는 각각의 공간부(3)가 형성되어, 스테이지(1)의 상측에 안착되는 글라스 패널과의 맞닿는 면적을 최소화시켜 정전기를 억제할 수 있게 구성된다.

상기한 바와 같이 스테이지(1)를 더욱 상세하게 설명하면, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이 일측에 관통되는 진공홀(11)이 형성되며 내측에 홈부(13)가 형성되어 일측면과 타측면을 구성하는 수평바(10); 상기 수평바(10)의 사이에 일정간격으로 배열 구성되되, 일측에 관통되는 진공홀(21)이 형성되고 양측이 상기 홈부(13)에 각각 연결되어 스테이지(1)의 내부와 상기 수평바(10)와 다른 일측면과 타측면을 구성하는 수직바(20); 로 구성된다.

다시 말해, 도 2에 도시된 바와 같이 다수의 수직바(20)를 일정간격으로 배열하여 자연스레 상하부로 관통되는 공간부(3)를 형성하여 스테이지(1)의 상부에 안착되는 글라스 패널과의 접촉면(스테이지의 상부면과 글라스 패널의 하부면)을 최소화 시켜 세정작업 후 다른 공정으로 이동을 위하여 글라스 패널을 분리 시 정전기 발생을 최소화시킴으로써 글라스의 휘어짐 또는 파손을 방지할 수 있게 된다.

종래에는 본 발명과 같은 글라스 패널과의 접촉면을 최소화하기 위하여 돌 재질로 스테이지를 구성하되 일측에 다수의 홈부를 형성하여 사용 또는, 상측표면에 비교적 가격이 높은 특수코팅작업과 별도의 기타 장치들을 연결 구성된 알루미늄 재질의 스테이지를 사용하였다. 그러나 이러한 종래의 기술은 돌 재질의 경우 무게가 매우 무겁고 알루미늄 재질의 경우 특수코팅시 작업시간이 많이 소요됨과 동시에 경제적 효율성이 저하되는 문제점이 있었다.

그러나 본 발명에서는 상기한 종래의 문제점을 극복할 수 있도록 알루미늄 재질로 구성하되, 글라스 패널의 하부면와 스테이지(1)의 상부면과 접촉되는 면을 최소화시킬 수 있는 구조로 구성하여 정전기를 방지하면서도 무게를 경량화시킬 있으며 상기한 종래 기술들보다 정전기 방지의 더욱 높은 효과를 가질 수가 있게 된다.

여기서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 스테이지(1)는 선택적으로 결합 및 분리할 있게 구성된다. 즉, 상기 수평바(10)와 수직바(20)를 이용하여 일체형 또는 선택적으로 결합 및 분리할 수 있게 구성할 수가 있으며, 결합 및 분리 가능한 구조로 구성될 시 스테이지(1)를 사용함에 있어 부분적인 파손 또는 불량이 발생할 시에는 부분적인 교체가 가능한 유지보수에 탁월한 효과를 가질 수가 있다.

한편, 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이 상기 스테지이(1)의 일측면과 타측면을 구성하는 수직바(20)의 양측에 홈부(23)가 형성되어, 상기 수평바(10)의 양측이 결합하게 구성된다. 다시 말해, 수평바의 사이사이에 배열 구성되는 다수의 수직바(20)들 중 스테이지(10)의 일측면과 타측면을 이루는 수직바(20)는 수평바(10)와의 결합을 위하여 상기한 바와 같은 구조로 구성되어 견고한 고정력 가질 수가 있게 된다.

또한, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이 상기 스테이지(1)의 양측면을 이루는 수직바(20)는 양측단부에 일측으로 연장되는 안착부(25)가 형성되어, 상기 안착부(25)에 고정판(30)을 각각 결합 구성하여, 다수의 수평, 수직바(10, 20)들을 이용하여 스테이지(1)를 구성하되, 스테이지(1)의 고정력과 평탄도를 유지토록 하기 위하여 상기 고정판(30)을 각각 결합 구성하게 된다. 상기 고정판(30)과 안착부(25)의 결합은 통상의 볼트-너트 방식으로 결합될 수가 있다.

또한, 도 6에 도시된 바와 같이 상기 수직바(20)의 하부에는 하나 또는 다수의 지지부(40)를 구성하되, 수직바(20)의 하부가 끼워질 수 있도록 끼움홈(41)이 하나 또는 다수개가 형성된다. 상기 끼움홈(41)의 경우 스테이지(1)를 구성하는 수직바(20)의 개수와 간격과 동일한 간격과 개수로 형성되는 것이 바람직하며, 본 발명에서는 10개의 수직바(10)가 구성되는 것으로 도시하였고 상기 지지부(40)의 끼움홈(41)도 10개로 형성되도록 도시하였다.

상기 지지부(40)는 앞서 설명한 고정판(30)과 더불어 스테이지(1)를 구성함에 있어 전체적인 고정력을 향상시킴과 더불어 스테이지(1)의 평탄도를 가질 수 있도록 하여 추후 세정작업을 위한 진공흡착 시 글라스 패널을 용이하게 진공흡착할 수가 있게 된다.

한편, 스테이지(1)는 세정장치에 구성 시 상부에 안착되는 글라스 패널을 진공흡착하기 위하여 일측에 하나 또는 다수의 진공홀이 형성되는데, 본 발명에서는 스테이지(1)를 수평바(10)와 수직바(20)를 상호 결합하여 구성하고 각각의 수평, 수직바(10, 20)의 일측에 진공홀(11, 21)이 형성된다. 상기 진공홀(11, 21)은 도 9에 도시된 바와 같이 원형, 타원형, 다각형 중 어느 하나의 형상으로 형성될 수가 있고, 다양한 형태로 다수개 또는 일측에서 타측방향으로 연장되게 형성할 수도 있으며 본 발명의 실시 예로써 한정짓지 아니한다.

상기한 바와 같이 본 발명을 종합적으로 설명하면, 동일한 구조를 가지며 다수의 관통되는 형태의 공간부(3)를 형성하되 일체 또는 분리형태의 스테이지를 구성하여 사용할 수가 있다.

본 발명에 따른 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지에 의하면, 간단한 구조를 가지며 결합 및 분리 가능하여 스테이지의 부분적인 교체가 가능하여 유지보수의 용이하고, 알루미늄 재질로 구성하되 별도의 코팅 또는 기타 장치들을 구성하지 않고 다수의 공간을 형성하며 고정판을 이용하여 평탄도를 유지할 수 있어 글라스 패널과 맞닿는 면적을 줄여 정전기를 최소화 시켜 글라스 패널의 휘어짐 또는 파손을 방지할 수 있음은 물론, 경제적 효율성이 높은 유용한 발명인 것이다.

1 : 스테이지 3 : 공간부
10 : 수평바 11 : 진공홀 13 : 홈부
20 : 수직바 21 : 진공홀 23 : 홈부 25 : 안착부
30 : 고정판 40 : 지지부 41 : 끼움홈
g : 글라스

Claims (9)

1. 삭제
2. 일측에 관통되는 진공홀(11)이 형성되며 내측에 홈부(13)가 형성되어 일측면과 타측면을 구성하는 수평바(10); 상기 수평바(10)의 사이에 일정간격으로 배열 구성되어 공간부(3)를 형성하고, 일측에 관통되는 진공홀(21)이 형성되며 양측이 상기 홈부(13)에 각각 연결되어 스테이지(1)의 내부와 상기 수평바(10)와 다른 일측면과 타측면을 구성하는 수직바(20); 상기 수직바(20)의 하부에 하나 또는 다수의 지지부(40); 로 구성되어 상부에 안착되는 글라스 패널을 진공 흡착하도록 구성되는 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지(1)에 있어서,
   상기 스테이지(1)는 알루미늄 재질로 형성되고,
   상기 진공홀(11, 21)은 다수개가 연장되어 타원형으로 형성되며,
   상기 스테이지(1)의 양측면을 이루는 수직바(20)는 양측단부에 일측으로 연장되는 안착부(25)가 형성되어, 상기 안착부(25)에 고정판(30)이 각각 결합 구성되고,
   상기 지지부(40)는 일측에 끼움홈(41)이 형성되어 상기 수직바(20)의 하부가 끼워지게 형성되는 것을 특징으로 하는 정전기 발생을 최소화할 수 있는 세정장치용 스테이지.
   
3. 제 2항에 있어서,
   상기 스테이지(1)는 선택적으로 결합 및 분리할 있게 구성되는 것을 특징으로 하는 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지.
   
4. 제 2항에 있어서,
   상기 스테지이(1)의 일측면과 타측면을 구성하는 수직바(20)의 양측에 홈부(23)가 형성되어, 상기 수평바(10)의 양측이 결합되는 것을 특징으로 하는 정전기 발생을 최소화 할 수 있는 세정장치용 스테이지.
   
   
   
   
   
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