CN203481199U - 磷扩散的硅片承载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟，而其：还包括两端有端侧板的石英托架，且石英托架的底部呈圆弧形结构而形成沉腔，在沉腔的底下表面有分开布置的支脚，所述石英舟设在石英托架的沉腔内，且石英舟的上沿口高出石英托架的上沿口。本实用新型具有结构简单，硅片易于与石英管相分离，且生产成本较低等优点。
Description
技术领域
本实用新型具体涉及一种磷扩散的硅片承载装置。
背景技术
现有的硅片在进行磷扩散处理时，将多个硅片装载在石英舟上，而相邻硅片之间夹有纸源，再将石英舟推入石英管内，并放置在扩散炉内，对硅片实施磷扩散。由于高浓度纸源在400℃左右时开始燃烧分解，在未达到扩散温度之前，纸源的残留物将会融化成为粘性液体，并沿着硅片渗流到石英管的内壁上，在磷扩散的降温过程中，随着扩散炉内的温度逐渐降低，石英管内壁上的粘性液体也逐渐冷却，此时，石英管与石英舟的接触面上，且被粘性液体覆盖的部分就会牢牢黏在一起，为了将石英舟从石英管内取出，需要用石英棒敲击石英管与石英舟的接触面，在这个过程中，既会损伤石英舟和石英管，也会碰触到磷扩散后的硅片，使得硅片破损，这不仅增加了生产成本，也增加了废品率。
发明内容
本实用新型的目的是：提供一种结构简单，硅片易于与石英管相分离，且生产成本较低的磷扩散的硅片承载装置，以克服现有技术的不足。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案：一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟，而其：还包括两端有端侧板的石英托架，且石英托架的底部呈圆弧形结构而形成沉腔，在沉腔的底外表面有分开布置的支脚，所述石英舟设在石英托架的沉腔内，且石英舟的上沿口高出石英托架的上沿口。
在上述技术方案中，所述石英托架的侧端部有与其互为一体的把手。
在上述技术方案中，所述石英托架的支脚有6个，每组3个支脚分别沿石英托架的两侧长度方向分开布置。
本实用新型所具有的积极效果是：由于采用上述承载装置后，使用时，将硅片放置在石英舟内，相邻的硅片之间有纸源，然后将本实用新型推入石英管内，由于石英舟的上沿口高出石英托架的上沿口，阻挡了纸源高温产生的粘性液体流入石英托架内，而石英托架底部的支脚与石英管内壁接触，这样就减少了两者的接触面积，便于将扩散后的承载装置从石英管内取出，这样既不会损伤石英舟和石英管，也不会碰触到磷扩散后的硅片，有效降低了生产成本，确保了制品的质量，本实用新型结构简单，可反复使用。实现了本实用新型的目的。
附图说明
图1是本实用新型一种具体实施方式的结构示意图；
图2是图1的俯视图；
图3是图2的A-A剖视图；
图4是图2的右视图。
具体实施方式
以下结合附图以及给出的实施例，对本实用新型作进一步的说明，但并不局限于此。
如图1、2、3、4所示，一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟1，而其：还包括两端有端侧板2-3的石英托架2，且石英托架2的底部呈圆弧形结构而形成沉腔2-1，在沉腔2-1的底外表面有分开布置的支脚2-2，所述石英舟1设在石英托架2的沉腔2-1内，且石英舟1的上沿口高出石英托架2的上沿口。
如图1、2、4所示，为了便于将本实用新型推入或取出石英管，所述石英托架2的侧端部有与其互为一体的把手3。
如图1、4所示，所述石英托架2的支脚2-2有6个，每组3个支脚2-2分别沿石英托架2的两侧长度方向均匀分开布置。
本实用新型小试效果显示，使用时，将硅片放置在石英舟1内，且相邻的硅片之间夹有纸源，操作人员手持把手3，将本实用新型推入石英管内，然后再将石英管送至扩散炉内，对硅片实施磷扩散；由于石英托架2的底部的六个支脚2-2与石英管直接接触，减少了两者的接触面积，便于与石英管相分离，既不会损伤石英舟和石英管，也不会碰触到磷扩散后的硅片，有效降低了生产成本；又由于石英舟1的上沿口高出石英托架2的上沿口，因此，阻挡了纸源高温产生的粘性液体流入石英托架2内；实现了本实用新型的初衷。
Claims (3)
1.一种磷扩散的硅片承载装置，包括石英舟（1），其特征在于：还包括两端有端侧板（2-3）的石英托架（2），且石英托架（2）的底部呈圆弧形结构而形成沉腔（2-1），在沉腔（2-1）的底外表面有分开布置的支脚（2-2），所述石英舟（1）设在石英托架（2）的沉腔（2-1）内，且石英舟（1）的上沿口高出石英托架（2）的上沿口。
2.根据权利要求1所述的磷扩散的硅片承载装置，其特征在于：所述石英托架（2）的侧端部有与其互为一体的把手（3）。
3.根据权利要求1所述的磷扩散的硅片承载装置，其特征在于：所述石英托架（2）的支脚（2-2）有6个，每组3个支脚（2-2）分别沿石英托架（2）的两侧长度方向分开布置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320604230.XU CN203481199U (zh) | 2013-09-29 | 2013-09-29 | 磷扩散的硅片承载装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201320604230.XU CN203481199U (zh) | 2013-09-29 | 2013-09-29 | 磷扩散的硅片承载装置 |
Publications (1)
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| CN203481199U true CN203481199U (zh) | 2014-03-12 |
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ID=50229478
Family Applications (1)
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| CN201320604230.XU Expired - Lifetime CN203481199U (zh) | 2013-09-29 | 2013-09-29 | 磷扩散的硅片承载装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203481199U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105719991A (zh) * | 2016-03-22 | 2016-06-29 | 湖州奥博石英科技有限公司 | 一种石英舟托盘 |
-
2013
- 2013-09-29 CN CN201320604230.XU patent/CN203481199U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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Legal Events
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Granted publication date: 20140312 |
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