CN202712148U - 晶圆花篮卡具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体，卡具本体下部的两侧各设置有卡槽，卡槽的顶端具有支撑面。本实用新型结构简单，能够提高晶圆花篮清洗硅晶圆片的质量。

Description

晶圆花篮卡具

技术领域

本实用新型涉及一种晶圆花篮卡具，用于半导体湿法清洗设备中。

背景技术

目前，在现代半导体制造技术中，清洗硅晶圆片是贯穿工艺制造流程中必不可少的关键步骤，如果硅晶圆片表面的洁净度质量达不到要求，无论其它工艺步骤控制的多优秀，也不可能获得高质量的半导体器件，清洗花篮及其卡具是硅晶圆片清洗工艺的重要工具，市场上也有一种晶圆花篮卡具，它利用花篮底板支撑，该结构的晶圆花篮因为底部有遮挡面，清洗效果不理想，清洗的质量不高。

发明内容

本实用新型的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单、能够提高晶圆花篮清洗硅晶圆片质量的晶圆花篮卡具。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体，卡具本体下部的两侧各设置有卡槽，卡槽的顶端具有支撑面。

进一步，所述的卡槽为L型卡槽。

更进一步，所述的卡具本体由聚四氟乙烯材料制成。

采用了上述技术方案后，晶圆花篮是标准件，晶圆花篮的侧边上具有卡边，卡边的上方具有能够抵住卡具的支撑面的板块，将花篮的卡边卡进卡具本体的卡槽中，并利用板块抵住卡具的支撑面，从而实现从晶圆花篮的侧面支撑晶圆花篮，避免了从晶圆花篮底面支撑晶圆花篮，清洗效果更好，保证了清洗质量，而且卡具整体式设计，没有连接缝隙，不会藏有微粒，当装载花篮进入槽内清洗时，不会影响到化学药品的洁净度；本实用新型采用聚四氟乙烯材料制造，聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，这样，就不会发生卡具在清洗时因为多次的清洗液的腐蚀而不能使用的现象。

附图说明

图1为本实用新型的卡具本体的立体图；

图2为晶圆花篮的立体图；

图3为本实用新型与晶圆花篮装配后的立体图。

具体实施方式

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，

如图1所示，一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体11，卡具本体11下部的两侧各设置有卡槽1，卡槽1的顶端具有支撑面2。卡槽1为L型卡槽。

卡具本体11由聚四氟乙烯材料制成。

本实用新型的工作原理如下：

如图2、3所示，晶圆花篮12是标准件，晶圆花篮12的侧边上具有卡边3，卡边3的上方具有能够抵住卡具的支撑面2的板块4，将晶圆花篮12的卡边3卡进卡具本体11的卡槽1中，并利用板块4抵住卡具的支撑面2，从而实现从晶圆花篮12的侧面支撑晶圆花篮12，避免了从晶圆花篮12底面支撑晶圆花篮12，清洗效果更好，保证了清洗质量，而且卡具整体式设计，没有连接缝隙，不会藏有微粒，当装载花篮进入槽内清洗时，不会影响到化学药品的洁净度；本实用新型采用聚四氟乙烯材料制造，聚四氟乙烯具有抗酸抗碱、抗各种有机溶剂的特点，几乎不溶于所有的溶剂，同时，聚四氟乙烯具有耐高温的特点，这样，就不会卡具发生在清洗时因为多次的清洗液的腐蚀而不能使用的现象。

以上所述的具体实施例，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种晶圆花篮卡具，包括卡具本体（11），其特征在于：卡具本体（11）下部的两侧各设置有卡槽（1），卡槽（1）的顶端具有支撑面（2）。

2.根据权利要求1所述的晶圆花篮卡具，其特征在于：所述的卡槽（1）为L型卡槽。

3.根据权利要求1所述的晶圆花篮卡具，其特征在于：所述的卡具本体（11）由聚四氟乙烯材料制成。

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