CN105719991A - 一种石英舟托盘 - Google Patents

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沈根法
宋伟宏
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls

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Abstract

本发明涉及一种石英舟托盘，包括：石英舟托盘主体, 所述托盘主体底面向下延伸至少一对相对设置的凸耳，所述凸耳上设有通孔;滚轮组件，所述滚轮组件包含套设于滚轴上并与之形成转动连接的滚轮，所述滚轴穿过所述通孔架设于所述凸耳上。本发明的石英舟托盘采用滚轮结构后，石英舟底部与石英管内管壁之间由滑动摩擦变为滚动摩擦，摩擦力小，使得安装方便、省力；且滚轮结构与石英舟托盘主体可分开加工，降低加工难度。

Description

一种石英舟托盘
技术领域
本发明涉及一种石英舟托盘，特别是一种安装方便的石英舟托盘。
背景技术
太阳能电池作为新兴的清结可再生能源，因其具有直接将太阳能转换为电能，且寿命长、维护简单等优点而备受瞩目。在太阳能电池生产工艺中包括扩散工序，需将硅片置于扩散炉中完成，而石英管是硅片扩散炉膛中的重要部件。使用时，把硅片装载在石英舟托盘上，石英舟托盘设于石英管内，石英管放置于扩散炉内。
现有的石英舟托盘下部采用与石英管壁配合的环形结构，安装时石英舟托盘与石英管内管壁摩擦力大，安装不便，且环形结构与石英舟托盘主体为一体，环形结构的底部弧度需与石英管内管壁相适应,精度要求较高,加工复杂。所以急需一种安装方便、加工简单的石英舟托盘结构。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足，本发明提供了一种石英舟托盘，其特征在于，包括：托盘主体,所述托盘主体底面向下延伸至少一对相对设置的凸耳，所述凸耳上设有通孔;滚轮组件，所述滚轮组件包含套设于滚轴上并与之形成转动连接的滚轮，所述滚轴穿过所述通孔架设于所述凸耳上。
在一较佳实施例中，所述托盘主体为长方形,其上表面形成有凹槽。
在一较佳实施例中，所述托盘主体四角均导圆角,所述凹槽为两个圆形凹槽。
在一较佳实施例中，所述凸耳为两对,且设置于所述托盘主体底面两端。
在一较佳实施例中，所述托盘主体的表面为抛光面。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：采用滚轮结构后，石英舟底部与石英管内管壁之间由滑动摩擦变为滚动摩擦，摩擦力小，使得安装方便、省力；且滚轮结构与石英舟托盘主体可分开加工，降低加工难度。
附图说明
图1为现有技术中石英舟托盘的结构示意图；
图2为本发明中石英舟托盘的结构示意图；
图3为本发明中石英舟托盘另一角度的结构示意图。
其中：1’托盘主体；2’环形结构；1托盘主体；11凹槽；12凸耳；13通孔；21滚轴；22滚轮。
具体实施方式
在下文的细节描述中，组件符号会标示在随附的图示中成为其中的一部份，并且以可实行该实施例之特定范例描述方式来表示。这类实施例会说明足够的细节俾使该领域的一般技艺人士得以具以实施。阅者须了解到本发明中亦可利用其他的实施例或是在不悖离所述实施例的前提下作出结构性、逻辑性、及电性上的改变。因此，下文之细节描述将不欲被视为是一种限定，反之，其中所包含的实施例将由权利要求范围来加以界定。
图1所示为现有技术中的石英舟托盘，包括石英舟托盘主体1’和环形结构2’，石英舟托盘主体1’与环形结构2’一体成型。环形结构2’的底面弧度与石英管内管壁相配合。
如图2和图3所示，本发明中的石英舟托盘，包括石英舟托盘主体1和滚轮组件。石英舟托盘主体1上表面形成有凹槽11，用以装载硅片。石英舟托盘主体1的底面向下延伸形成凸耳12，在本实施例中，两对相对设置的凸耳12分别位于长方形石英舟托盘主体1的两端，每个凸耳12上设有通孔13。每根滚轴21上套设有两个滚轮22，滚轴21与滚轮22之间转动连接，滚轴21通过通孔13架设在一对相对设置的凸耳12之间。
使用时，将待加工的硅片放置于凹槽11之内，石英舟托盘置入石英管内部。由于本发明中的石英舟托盘设置了滚轮结构，可轻松地将石英舟托盘推入石英管内部。
以上所述仅为本发明的实施例，其并非用以限定本发明的专利保护范围。任何熟习相像技艺者，在不脱离本发明的精神与范围内，所作的更动及润饰的等效替换，仍为本发明的专利保护范围。

Claims (5)

1.一种石英舟托盘，其特征在于，包括：
托盘主体,所述托盘主体底面向下延伸至少一对相对设置的凸耳，所述凸耳上设有通孔;
滚轮组件，所述滚轮组件包含套设于滚轴上并与之形成转动连接的滚轮，所述滚轴穿过所述通孔架设于所述凸耳上。
2.根据权利要求1所述的石英舟托盘，其特征在于：所述托盘主体为长方形,其上表面形成有凹槽。
3.根据权利要求2所述的石英舟托盘，其特征在于：所述托盘主体四角均导圆角,所述凹槽为两个圆形凹槽。
4.根据权利要求2所述的石英舟托盘，其特征在于：所述凸耳为两对,且设置于所述托盘主体底面两端。
5.根据权利要求1所述的石英舟托盘，其特征在于：所述托盘主体的表面为抛光面。
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