JPH10326825A - ウェハーキャリヤ - Google Patents

ウェハーキャリヤ

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JPH10326825A
JPH10326825A JP10106769A JP10676998A JPH10326825A JP H10326825 A JPH10326825 A JP H10326825A JP 10106769 A JP10106769 A JP 10106769A JP 10676998 A JP10676998 A JP 10676998A JP H10326825 A JPH10326825 A JP H10326825A
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JP
Japan
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side wall
end member
wafer carrier
rear end
wafer
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JP10106769A
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Sanjiv M Bhatt
サンジヴ・エム・バット
Shawn D Eggum
ショーン・ディー・エガム
Wayne C Olson
ウェイン・シー・オルソン
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Fluoroware Inc
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 仕様の変更に容易に対処でき、かつ構造上の
問題を生じない品質の優れたウェハーキャリヤの提供。 【解決手段】 ウェハーキャリヤ３０はウェハーディス
クを挿入したり取り出したりするための開口した上部４
２と開口した底部４４と、Ｈバーなどのインターフェー
ス部分３４を有する垂直方向の前端部部材３２と、垂直
方向の後端部部材３６と、前端部部材から前記後端部部
材まで後方へ延びる垂直方向の側壁スロット４６を備え
た一対の側壁部材４１とを有する。これらのうちの少な
くとも一つは、ウェハーキャリヤの他の部材とは別に成
形されていて、外部ファスナを用いずに協働する係合部
分によって接合されている。後端部部材３６に別のイン
ターフェースが設けらることで、ウェハーの上側を上に
して、あるいは反転して、キャリヤを装置とインターフ
ェースできるようになる。別々に形成された部材によっ
て、異なる材料を使用することが可能になり、また異な
る静電気消散特性を与えることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は集積回路部品の製
造に使用される半導体ウェハーディスクの運搬、貯蔵、
及び加工処理を行うために設計されたコンポジット構造
のウェハーキャリヤに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェハーディスクの集積回路チップへの
加工には通常はいくつかのステップが含まれ、これらの
ステップにおいてディスクは何度も加工処理や貯蔵、運
搬が行われる。ディスクは傷つきやすく、また非常に高
価であるため、この処理を通してディスクを適切に保護
することが極めて重要となる。ウェハーキャリヤの目的
の一つは、この保護を行うことである。また、ウェハー
ディスクの加工処理は一般に自動化されているため、ウ
ェハーをロボットによって取り出したり挿入したりでき
るようにディスクを処理装置に対して正確に位置付けす
ることが必要である。ウェハーキャリヤの別の目的は、
運搬のときにウェハーディスクをしっかりと保持するこ
とである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のウェハーキャリ
ヤは単一の成形部材であり、一般にＨバーのインターフ
ェース部分を有する前端部と、パネルを有する後端部
と、スロットを有する側壁と、ウェハーの曲率に合った
下側の曲線部あるいは収束部を有しており、開口した上
部と開口した底部を有している。これらの設計では、そ
の融通性と製造の両方において問題がある。単一成形キ
ャリヤの仕様を調節する必要があるときには、一般には
古いモールドか、あるいはその一部を修正するか、ある
いは廃棄して、新しいモールドや、その一部を作製する
ことになる。キャリヤのうちの変更されない個々の部分
は一般には別々に成形することができず、将来の組み立
てのために貯蔵することができない。また、より容積が
大きく複雑な成形部材は、変形や、その他の構造的な問
題を生じ、製品の品質や一貫性に影響する可能性があ
る。従って、単一成形の一体化されたウェハーキャリヤ
は本質的に効率がよくない。ウェハーキャリヤに関して
変更が望まれる仕様には、プラスチックのタイプ、装置
インターフェース、静電気消散特性、及びウェハーの位
置付け及びスペーシングが含まれる。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明は、別々に成形
された部材を利用してＨバーコンポジットウェハーキャ
リヤを形成している。この設計によれば、単一成形のＨ
バーキャリヤに関係する構造的問題や融通性の問題が軽
減される。第一に、成形部材の容積を小さくすることに
よってたわみなどの構造的な問題が軽減され、ウェハー
キャリヤの製造の品質、精度、及び一貫性が向上する。
また、この設計によれば、ウェハーキャリヤ全体ではな
くて、単に側壁などの部材を再設計することによって様
々な仕様を満足することができ、融通性が向上する。そ
の結果、この発明はこれまでの単一成形の設計よりもず
っと効率的である。
【０００５】この発明の一つの実施の形態は、成形され
たウェハーキャリヤーフレームの中に挿入される別々に
成形されたウェハー係合用側壁を利用したＨバーウェハ
ーキャリヤである。ウェハーキャリヤーフレームは、前
端部部材と、反対側の後端部部材と、前端部部材と後端
部部材との間を延びていて側壁の位置を固定するための
固定手段を提供する側部サポート部材あるいはスパン部
材を有している。側壁の各々は運搬あるいは貯蔵のとき
にキャリヤの中のウェハーを保持し拘束するための複数
のスロットを有している。前端部部材は、処理装置とイ
ンターフェースしてロボットによるウェハーの挿入及び
取り出しに対する正確な位置付けを確保するためのＨバ
ーを有している。また、後端部部材のところには別の装
置インターフェースが配置されている。
【０００６】この発明の特徴は、ウェハーキャリヤ製造
効率を向上させることである。ウェハーキャリヤ全体を
設計し、新しいモールドを製造する必要はなくて、新し
い側壁を設計し、それらを万能ウェハーキャリヤーフレ
ームの中に挿入するだけでウェハーキャリヤに対する仕
様を通常は満たすことができる。この発明の別の特徴
は、ウェハーキャリヤの融通性を著しく向上させてコス
トと材料の無駄を減らすことである。ウェハーと係合す
るキャリヤ部分に対して理想的であるポリエーテルエー
テルケトン（ＰＥＥＫ）などのより高価な材料は側壁だ
けに限定し、ポリプロピレン（ＰＰ）やポリブチレンテ
レフタレート（ＰＢＴ）、ポリテトラフルオロエチレン
（ＰＴＦＥ）などの他の従来材料をキャリヤーフレーム
に利用することができる。同様に、いったんある仕様を
止めたときにはウェハーキャリヤ全体を廃棄するのでは
なくて、キャリヤのフレームワークのモールドを変更す
ることなく側壁を再設計して新たな仕様を満足するよう
にできる。この発明の別の特徴は、単一のモールドから
形成されるウェハーキャリヤに関連する変形やその他の
問題を著しく軽減することによって、キャリヤごとの品
質をより一貫して確保できることである。この発明の別
の特徴は、新たな側壁の材料及び設計をテストするとき
により大きな融通性を提供することである。このテスト
は、ウェハーキャリヤ全体を再成形するのではなくて、
単に側壁を交換するだけで実施することができる。この
発明の別の特徴は、ウェハーキャリヤの構造的な精度を
向上させることである。側壁を別々に成形することによ
って、製造者はより正確にかつ一貫して、必要とされる
仕様を満たすことができる。
【０００７】ある実施の形態におけるこの発明の別の特
徴は、ウェハーキャリヤの修理をより容易にすることで
ある。ウェハアーキャリヤは、側壁や、その他の部材を
交換することによって修理あるいは再構築することがで
きる。この発明の別の特徴は、側壁インサートをできる
限り小さい変形でずっと容易に成形できることである。
側壁インサートを取り囲むフレームワークなど、キャリ
ヤのフレームワークにいくらかの変形が存在する場合に
は、側壁インサートによって提供される構造的支持によ
ってこの変形が入るのが矯正される。
【０００８】この発明の別の特徴は、ハンドルが備わっ
た別の装置インターフェースあるいはフランジが、ウェ
ハーキャリヤの後端部に取り付けられ交換されることで
ある。反対側の別の装置インターフェースを用いてウェ
ハーキャリヤを装置の上に設置し、ウェハーの上側を上
にするか、あるいは反転して、ウェハーを回収すること
ができる。実施の形態におけるこの発明の別の特徴及び
利点は、組み立てられたウェハーキャリヤが、個別の部
材の接合部において点あるいは線でのみ接触しているこ
とである。また、キャリヤを組み付けるのに、外部ファ
スナが不要である。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に基づいてこの発
明の実施の形態を説明する。図１及び図２を参照すると
わかるように、参照番号３０によって示されているコン
ポジットウェハーキャリヤは、円形の半導体ウェハーデ
ィスクＷを運搬し貯蔵するためのものである。ウェハー
キャリヤ３０は従来のいくつかの特徴を有している。そ
れらの中には、主なものとして、第１の、すなわちＨバ
ーの垂直方向の前端部部材３２と、第２の、すなわち垂
直方向の後端部部材３６と、側壁４０を有している。前
端部部材３２は装置インターフェース部分３４を有し、
後端部部材３６はパネル３８として形成された中間部分
を有し、側壁４０はウェハーＷを保持するためのスロッ
ト４６を有している。スロット４６は、コンポジットウ
ェハーキャリヤ３０を貯蔵したり運搬したりロボットに
よって操作したりするときにウェハーディスクＷを保持
し拘束するのに適している。ウェハーキャリヤ３０はウ
ェハーを受容するための開口した上部４２と、開口した
底部４４を有している。
【００１０】図２は、処理装置４７とインターフェース
しているコンポジットウェハーキャリヤを示している。
ウェハーディスクＷは側壁４０の最初のスロット４６1
とスロット４６1 の中に挿入されている。スロットの数
ｎと、スロットの間隔ｓと、基準面Ａに対する最初のス
ロット４６1 の位置Ｄと、最後のスロット４６n の位置
は、処理装置４７と処理装置のインターフェース４８の
要件を考慮しなければならない。
【００１１】再び図１及び図２を参照する。ウェハーキ
ャリヤ３０は万能キャリヤフレームワーク６０と、参照
番号６２で示されている固定手段も有している。フレー
ムワーク６０は側壁のインサート４１と一体化されてお
り、固定手段６２はフレームワーク６０の側壁インサー
ト４１とロック状態で係合する。万能キャリヤフレーム
ワーク６０は、ウェハーキャリヤに対して業界で一般的
に使われており周知のものである例えばポリプロピレン
(polypropolene) などの射出成形されたプラスチックか
ら形成されていることが好ましい。側壁インサート４１
は、万能キャリヤーフレームワーク６０を形成するため
に使われる材料とは異なる材料から形成される。従っ
て、コンポジットウェハーキャリヤ３０は、適当な仕様
を満足する適切な側壁インサートを利用することによっ
て、最初のスロットの位置４６1 や、スロットの数ｎ、
スロットの間隔ｓに対して様々な条件を必要とする様々
なタイプの処理装置に適応するように形成することがで
きる。側壁インサートと、キャリヤーフレームワーク構
造と、固定手段との様々な組合せを使用して、コンポジ
ットウェハーキャリヤ３０を形成することができる。
【００１２】図３を参照すると、万能キャリヤーフレー
ムワーク６０は図１に示されているコンポジットキャリ
ヤに対応する。フレームワーク６０はＨバー６４を有す
る前端部部材３２と、端部パネル３８を有する後端部部
材３６と、第１及び第２の上側の側部サポート６６、６
７と、第１及び第２の下側の側部サポート６８、６９
と、開口した上部４２と、開口した底部４４を有してい
る。固定手段６２の参照番号７０’で示されているフレ
ームワーク係合部分はスロットとして形成されている。
Ｈバー６４は処理装置とのインターフェースに使用され
る。上側の側部サポート６６、６７は、前端部部材３２
の左側部分５０と右側部分５１から後端部部材３６の左
側部分５２と右側部分５３まで延びている。下側の側部
サポート６８、６９も、前端部部材３２の左側部分５０
と右側部分５１から、後端部部材３６の左側部分５２と
右側部分５３まで延びている。側部サポート６６、６
７、６８、６９は前端部部材と後端部部材との間を延び
ており、第１及び第２の窓７３、７３．５として形成さ
れたほぼ四角形の閉じた側壁インサート開口部を形成し
ている。図３のフレームワーク６０と固定手段６２に対
応するインサート８２、１０２が図５、図８、図１１に
示されており、以下で詳細を説明する。
【００１３】図１４及び図１５には、下側の側部サポー
ト６８における固定手段６２の詳細が示されている。フ
レームワーク係合部分７０’と、これと協働する固定手
段６２の側壁係合部分７０”は、それぞれのフレームワ
ーク６０と側壁インサート４１との連結を容易にする複
数の協働する係合部分を有している。図１５の断面図で
ある図１４は、側壁係合部分７０”と係合して協働する
フレームワーク係合部分７０’の一部を示している。こ
の実施の形態においては、フレームワーク係合部分７
０’と、固定手段６２の側壁係合部分７０”は、スナッ
プ式のロック用タブ７５と、溝７７と、戻り止め７９を
有しており、それぞれの固定部材箇所においてフレーム
ワーク係合部分及び側壁係合部分とロック状態で係合し
てしっかりとした機械的連結を行う。
【００１４】図３及び図８を参照するとわかるように、
図１の実施の形態の固定手段６２は、側壁インサート８
２の上側の水平な連結パネル８１．５から下方へ延びる
複数のナブ(nub) ８１も有している。ナブ８１は上側の
側部サポート６６、６７の溝８１．７へ係合する。これ
らの溝は前述した側部サポート６６、６７の中を貫く凹
部あるいは穴である。この実施の形態においては、上側
の水平の連結パネル８１．５は側部サポートの上方を延
びており、側壁インサートの下側から延びているタブ７
０”は下側の側部サポート６８、６９の溝７７へロック
される。側壁の窓の中へ側壁インサートを配置すること
と、ロック状態の係合と、側壁の窓の中への側壁インサ
ートの設置が組み合わさって、堅固なコンポジット構造
が提供されている。
【００１５】図４は、別の固定手段７２’を備えたフレ
ームワーク係合部分７２を有する万能キャリヤーフレー
ムワーク６０を示している。図６、図７、図９、図１
０、図１２、図１３には、図４のフレームワーク６０に
適した側壁インサートの一部が示されている。側壁イン
サートは、スロット４６と、歯９６と、上部８４と、下
側曲線部分８６と、上側サポート９２と、下側サポート
９４と、固定手段６２の全体が参照番号７０”で示され
ている側壁係合部分を有している。側壁係合部分７０”
は側壁８２の上部９８及び底部１００のまわりに配置さ
れている。
【００１６】互いに平行に延びる細長い歯９６の間には
スロット４６が形成されている。側壁の境界は、最初の
サイド歯９６1 と、ｎ番目のサイド歯９６n と、上部９
８と、底部１００によって形成されている。スロット４
６の中に挿入されたディスクは、運搬やロボットによる
操作、貯蔵のときにしっかりと保持される。スロットの
数ｎ及び間隔ｓと、最初のスロット４６1 の位置は、使
用しているディスクのタイプや処理装置に応じて調節す
ることができる。
【００１７】細長い歯９６は上側部分８４においては垂
直に配置されており、下側部分８６においてはほぼに内
側へ曲がっている。下側部分８６のある実施の形態は、
図５、図８、図１１に示されているようにほぼに曲線形
状を有していて、ディスクの周辺と同じ形状を有してい
る。上側サポート９２と下側サポート９４は洗浄スロッ
トを備えた実施の形態においては細長い歯９６の位置を
保持し、内側８８と外側９０の間で流体が流れるように
なっている。
【００１８】図５と図１１は側壁インサート４１の別の
実施の形態である側壁インサート１０２の内側８８と外
側９０をそれぞれ示している。それぞれ上側サポート９
２と下側サポート９４に置き換えられている。均質な上
側の平面部分１０４と後ろ側９０に設けられた下側の均
質な曲面部分１０８を除けば、側壁インサート１０２は
図８に示されている側壁８２と同じである。上側の平面
部分１０４と下側の曲面部分１０６は細長い歯９６を固
定しており、洗浄スロットを閉じて、内側８８と外側９
０との間に流体が流れないようにしている。
【００１９】図１１は、固定手段７０の側壁係合部分７
０”を備えた側壁１０２を示している。図１２及び図１
３は固定手段７２の側壁係合部分７２”を備えた側壁１
０２を示している。万能キャリヤーフレームワークの他
の実施の形態は万能フレームワーク６０の上側サポート
６６と下側サポート６８のどちらかを有しており、図２
４に示されているような固定手段７０あるいは７２を使
用している。側壁８２は、側壁インサートをロックされ
た状態でフレームワークの中に係合させる対応する適当
な固定手段を利用することによって、キャリヤーフレー
ムワークに適合するように形成されている。
【００２０】コンポジットウェハーキャリア１１６の別
の実施の形態が図１８に示されている。対応する前端部
部材１１８と、後端部部材１２０と、側壁インサート１
２２が図２０、図１９、図２１にそれぞれ示されてい
る。この実施の形態においては、ウェハーキャリヤ１１
６は以下のような別々に成形された部材を有している。
すなわち、Ｈバーの前端部部材１１８、後端部１２０、
側壁インサート１２２の鏡像対。前端部部材１１８は左
側前部１２４と右側前部１２６の中間に配置された装置
インターフェース部分１１９を有している。インターフ
ェース部分１１９はＨバー１２８を有している。後端部
部材１２０は、左側後部１３２と右側後部１３４の中間
に配置された端部パネル１３０を有している。
【００２１】側壁インサート１２２は前端部部材１１８
と後端部部材１２０の間に配置されており、側壁インサ
ート４１におけると同様の特徴を有している。前端部１
３６と、後端部１３８と、図２１に示されているように
これと協働する垂直方向の連結パネル１４０が追加され
ている。図２１は側壁インサート１２２の一つの実施の
形態を示している。この実施の形態は、上側の均質な平
面部分１０４と、下側の均質な曲面部分１０６を有して
おり、洗浄スロットを閉じて、内側８８と外側９０との
間に流体が流れないようにしている。各側壁インサート
１２２の前端部１３６は前端部部材１１８の左側前部１
２４か右側前部１２６へ適当に連結されている。各側壁
インサート１２２の後端部１３８は、後端部部材１２０
の左側後部１３２か右側後部１３４へ適当に連結されて
いる。
【００２２】図１８〜図２１の固定手段６２は、左側前
部１２４と、右側前部１２６と、左側後部１３２と、右
側後部１３４と、側壁インサート１２２の前部及び後部
へ取り付けられた連結パネル１４０を利用している。図
１８を参照するとわかるように、連結パネル１４０はリ
ベット１４１、孤立溶接部１４２、ナット及びボルト１
４３、あるいは類似の固定手段によって一体に連結する
ことができる。ここで使われるときの”固定手段”に
は、これらのファスナや、それ以外の従来のファスナが
含まれる。
【００２３】図１の点線によってこの発明の別の実施の
形態が示されている。この実施の形態は、側壁４０と後
端部部材３６から成る万能フレームワークを利用してお
り、前端部部材３２あるいは装置インターフェース部分
３４はフレームワークの中へ挿入可能になっている。図
１の点線１５０は、前端部部材３２あるいは装置インタ
ーフェース部分３４とフレームワーク１５２の残りの部
分との間の適切な分割を示している。この実施の形態に
おいては、側壁を同じとしたままで、前端部部材３２に
対して別のモールドを使用するだけで、指定された様々
な装置インターフェース４８に対応可能である。上述し
た固定手段を使って、前端部部材３２あるいは装置イン
ターフェース部分３４をキャリヤのフレームワークに固
定することができる。
【００２４】図２３〜図２８にはこの発明のさらに別の
実施の形態が示されている。参照番号２３０で示されて
いるこのウェハーキャリヤは、左側前部２３８と右側前
部２４０において前端部部材２３６から延びるスパン部
材２３４が追加されている。このウェハーキャリヤも、
開口した上部２４６と、開口した底部２４８と、前端部
部材の一部としての装置インターフェース２５２と、左
側前部と右側前部との間を延びるＨバー２５４を有して
いる。側壁２６０、２６２は側壁インサート２６８、２
７０から成っている。側壁インサートの各々は、ほぼ垂
直方向の上側部分２７２と、収束する下側部分２７４を
有している。ウェハーを保持して拘束するための複数の
スロット２７６が垂直方向に下方へ延びている。
【００２５】側壁インサート２６８、２７０の各々は下
方へ延びるタブ２８０の対を有している。タブ２８０
は、協働する係合部分２８４の対の一部であるリセス２
８２の中に係合する。側壁インサート２６８、２７０は
また、垂直方向のタブ２８８も有している。タブ２８８
は、フレームワークに設けられたスロットすなわち溝２
９０へ摺動して係合する。側壁インサートは、タブ２８
０の上に示されているような適切に配置された戻り止め
２９２によって所定の位置にロックされる。
【００２６】ウェハーキャリヤのこの実施の形態は、後
端部部材３０２へ取り付けられた別の装置インターフェ
ースすなわちフランジ３００を有している。この連結
も、協働する係合部分３０６の対を用いて行われる。こ
のた協働する係合部分は、後端部部材３０２の上に設け
られた溝あるいはスロット３１０へ挿入されるタブ３０
８として形成されている。戻り止め３１６を有する、ば
ねで付勢されたロック用タブ３１４を利用して、第２の
装置インターフェース３００の位置をロックする。前述
した戻り止め３１６は、第２の装置インターフェース３
００に設けられた突起構造３２２によって形成された溝
３２０の中に係合する。
【００２７】図２６、図２７、図２８にはフランジ３０
０の別の実施の形態が示されている。フランジ３００は
ハンドル３３０を有している。このハンドルはウェハー
キャリヤを手で持ち上げるのを容易にしたり、あるいは
より好ましくはロボットによる持ち上げ用ハンドルとし
て利用される。図２３〜図２８の実施の形態によれば、
側壁インサートを重ね合わせ用のスロット３３４の中に
設置することができる。この挿入によって、複数のスパ
ン構造のために既にかなり堅固になっているキャリヤー
フレームワークにさらに著しい堅固さが加わる。
【００２８】別々に成形された部材を利用することによ
って、様々に量を変えたカーボンファイバーフィラーを
使用して、特別に独立して形成された各部材に対して望
ましい静電気特性が得られるようにすることが可能であ
ることに留意すべきである。例えば、導電性が低い側壁
はウェハー近傍における静電気放電の可能性をできる限
り抑えるのに対して、装置インターフェースはより高い
導電性を有していて、キャリヤの電荷を放電させるよう
にできる。カーボンフィラーはカーボンファイバフィラ
ーやカーボンパウダでよい。
【００２９】ここでのいくつかの実施の形態において利
用されている協働係合部分は、外部ファスナを用いない
固定手段を提供している。これによって組立が容易にな
り、二つの面が点接触あるいは線接触以外にはできる限
り接触しないようになっており、組立をスナップによっ
て行うことが可能である。従って、この構造は、組み立
てたウェハーキャリヤを洗浄したり乾燥させたりする助
けとなる。図面にはＨバーの装置インターフェースやロ
ボットハンドルが示されているが、角度を置いて離間さ
れた三つの溝を利用した従来の運動力学的な連結などの
他の装置インターフェースや、その他の適当な装置イン
ターフェースもまた利用できる。
【００３０】この発明は、その精神及び本質から逸脱し
ない限り、他の形で実現することが可能である。従っ
て、上述した実施の形態は単に説明のためのものであ
り、発明を限定するものでは。この発明の範囲に関して
は、上述した説明ではなくて、特許請求の範囲を参照す
べきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】組み立てられたコンポジットウェハーキャリヤ
の斜視図である。
【図２】第１の端部が処理装置とインターフェースして
いるウェハーキャリヤの正面図である。
【図３】この発明による万能ウェハーキャリヤーフレー
ムワークの斜視図である。
【図４】この発明による別の万能ウェハーキャリヤーフ
レームワークの斜視図である。
【図５】この発明の実施の形態の側壁の斜視図である。
【図６】この発明の別の実施の形態における側壁の上部
の正面斜視図である。
【図７】この発明の別の実施の形態における側壁の底部
の正面斜視図である。
【図８】この発明のある実施の形態における側壁の斜視
図である。
【図９】この発明の別の実施の形態における側壁の上部
の背面斜視図である。
【図１０】この発明の別の実施の形態における側壁の底
部の斜視図である。
【図１１】この発明のある実施の形態における側壁の斜
視図である。
【図１２】この発明の別の実施の形態における側壁の上
部の背面斜視図である。
【図１３】この発明の別の実施の形態における側壁の底
部の背面斜視図である。
【図１４】図１５の１４−１４線断面図である。
【図１５】組み立てられたコンポジットウェハーキャリ
ヤの側面図である。
【図１６】図１７の１６−１６線断面図である。
【図１７】組み立てられたコンポジットウェハーキャリ
ヤの側面図である。
【図１８】この発明のある実施の形態における組み立て
られたコンポジットウェハーキャリヤの斜視図である。
【図１９】後端部部材の斜視図である。
【図２０】前端部部材の斜視図である。
【図２１】側壁の斜視図である。
【図２２】別のフレームワークの斜視図である。
【図２３】別の実施の形態の斜視図である。
【図２４】図２３の実施の形態の分解図である。
【図２５】別の装置インターフェースの正面図である。
【図２６】図２７のフランジあるいは装置インターフェ
ースの平面図である。
【図２７】図２３及び図２４のウェハーキャリヤへ取り
付けるのに適したフランジあるいは装置インターフェー
スの背面図である。
【図２８】図２７の２８−２８線断面図である。
【符号の説明】
３０ ウェハーキャリヤ ３２ 前端部部材 ３４ 装置インターフェース ３６ 後端部部材 ３８ パネル ４０ 側壁 ４１ 側壁インサート ４２ 上部 ４４ 底部 ４６ スロット ４６1 、４６n スロット ４７ 処理装置 ４８ インターフェース ５０ 左側部分 ５１ 右側部分 ５２ 左側部分 ５３ 右側部分 ６０ フレームワーク ６２ 固定手段 ６４ Ｈバー ６６、６７、６８、６９ 側部サポート ７０ 固定手段 ７０’ フレームワーク係合部分 ７０” 側壁係合部分、タブ ７２ 固定手段、フレームワーク係合部分 ７３、７３．５ 窓 ７５ タブ ７７ 溝 ７９ 戻り止め ８１ ナブ ８１．５ パネル ８１．７ 溝 ８２ フレームワーク、側壁インサート ８４ 上部、上側部分 ８６ 下側曲線部分、下側部分 ８８ 内側 ９０ 外側９２ 上側サポート ９４ 下側サポート ９８ 上部 １００ 底部 １０２ 固定手段、側壁、側壁インサート １０４ 平面部分 １０６、１０８ 曲面部分 １１６ ウェハーキャリヤ １１８ 前端部部材 １２０ 後端部部材 １２２ 側壁インサート １２４ 左側前部 １２６ 右側前部 １２８ Ｈバー １３０ 端部パネル １３２ 左側後部 １３４ 右側後部 １３６ 前端部 １３８ 後端部 １４０ 連結パネル １４１ リベット １４２ 孤立溶接部 １４３ ナット及びボルト １５０ 点線 １５２ フレームワーク ２３０ ウェハーキャリヤ ２３４ スパン部材 ２３８ 左側前部 ２４０ 右側前部 ２４６ 上部 ２４８ 底部 ２５２ 装置インターフェース ２５４ Ｈバー ２６０、２６２ 側壁 ２６８、２７０ 側壁インサート ２７２ 上側部分 ２７４ 下側部分 ２７６ スロット ２８０ タブ ２８２ 溝 ２８４ 係合部分 ２８８ タブ ２９０ 溝 ２９２ 戻り止め ３００ フランジ ３０２ 後端部部材 ３０６ 係合部分 ３０８ タブ ３１０ スロット ３１４ ロック用タブ ３１６ 戻り止め ３２０ 溝 ３２２ 突起構造 ３３０ ハンドル ３３４ スロット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ショーン・ディー・エガム アメリカ合衆国 55386 ミネソタ，ヴィ クトリア，エイティーセカンド・ストリー ト 1458 (72)発明者 ウェイン・シー・オルソン アメリカ合衆国 55347 ミネソタ，エデ ン・プレイリー，エリン・ベイ 18298

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 装置と係合するための、またほぼ水平方
    向にウェハー軸を有する軸方向に並べられた複数の円形
    ウェハーを収容するためのウェハーキャリヤであって、 開口した上部及び開口した底部と、 左側前部と右側前部と第１の装置インターフェースとを
    有する垂直方向に設けられた前端部部材と、 一対の側壁部材と、 垂直方向に設けられた後端部部材と、を有し、前記第１
    の装置インターフェースは、キャリヤを前方へ回転して
    装置インターフェースを装置に当接させ、並べられたウ
    ェハーの軸をほぼ垂直方向に配置できるように形成され
    ており、 前記側壁部材が前端部部材から後方へ延びており、その
    一つは左側前部から、また一つは右側前部から延びてお
    り、側壁の各々がほぼ垂直方向に設けられた上側部分
    と、収束する下側部分と、上側部分から前記下側部分ま
    で延びてウエハーを支持し拘束するためのほぼ垂直方向
    の複数のスロットを有しており、 前記後端部部材が、パネルを有するとともに二つの側壁
    の間を延びており、 垂直方向の前端部部材と一対の側壁部材と後端部部材の
    うちの少なくとも一つがウェハーキャリヤの他の部分と
    は別に形成されており、協働する一対のロック用係合部
    分によって前記ウェハーキャリヤの中に組み付けられ
    る、 ウェハーキャリヤ。
  2. 【請求項２】 前記前端部部材の第１の装置インターフ
    ェースが、左側前部と右側前部との間を延びるＨバーで
    ある請求項１記載のウェハーキャリヤ。
  3. 【請求項３】 前記側壁部材が側壁インサートであり、
    ウェハーキャリヤが、前端部部材の左側前部及び右側前
    部から後端部部材まで延びる一対のスパン部材を有し、
    このスパン部材の各々がそれぞれの側壁インサートに沿
    って延びている請求項１記載のウェハーキャリヤ。
  4. 【請求項４】 前記側壁インサートの各々が、協働する
    一対の係合部分の一方を有し、スパン部材の各々が、協
    働する係合部分の他方を有し、協働する係合部分の各対
    が外部ファスナを用いずに互いに固定することができる
    請求項３記載のウェハーキャリヤ。
  5. 【請求項５】 前記垂直方向の後端部部材が第２の装置
    インターフェースを有しており、ウェハーキャリヤを後
    方へ回転して第２の装置インターフェースを装置の上へ
    支持させることができるようになっている請求項１記載
    のウェハーキャリヤ。
  6. 【請求項６】 第２の装置インターフェースが設けられ
    ており、この第２の装置インターフェースが、協働する
    一対の係合部分の一方を第２の装置インターフェースに
    有し、協働する係合部分の他方が後端部部材に設けられ
    ている請求項１記載のウェハーキャリヤ。
  7. 【請求項７】 前記機械インターフェースがロボットに
    よる持ち上げ用のフランジである請求項６記載のウェハ
    ーキャリヤ。
  8. 【請求項８】 別々に形成された部材が射出成形された
    ものであり、プラスチック及びカーボンフィラーから成
    っていて静電気消散特性を備えている請求項１記載のウ
    ェハーキャリヤ。
  9. 【請求項９】 別々に形成された部材の静電気消散特性
    が、ウェハーキャリヤの他の部材の少なくとも一つの静
    電気消散特性と異なる請求項８記載のウェハーキャリ
    ヤ。
  10. 【請求項１０】 ほぼ水平方向にウェハー軸を有する軸
    方向に並べられた複数の円形ウェハーを保持するための
    ウェハーキャリヤであって、 開口した上部及び開口した底部と、 第１の装置インターフェースと左側前部と右側前部とを
    有する垂直方向に設けられた前端部部材と、 前記垂直方向の前端部部材から離れていて、これとほぼ
    平行に設けられた垂直方向の後端部部材と、 前端部部材の左側前部及び右側前部から後端部部材まで
    延びる一対のスパン部材と、 一対の側壁インサートと、 を有し、前記第１の装置インターフェースが、キャリヤ
    を前方へ回転して装置インターフェースに当接させて、
    並べられたウェハーの軸がほぼ垂直方向に配置できるよ
    うに形成されており、 前記前端部部材とスパン部材と後端部部材のすべてが一
    体に形成されていてキャリヤのフレームワークを形成し
    ており、 前記側壁インサートの各々がスパン部材と隣接して挿入
    可能であり、各側壁インサートが前端部部材から後方へ
    延びており、その一つは左側前部から、また一つは右側
    前部から延びており、側壁の各々が、ほぼ垂直方向の上
    側部分と、収束する下側部分と、上側部分から下側部分
    まで延びていてウェハーを保持し拘束するほぼ垂直方向
    に設けられた複数のスロットを有している、 ウェハーキャリヤ。
  11. 【請求項１１】 装置とインターフェースするための、
    またほぼ水平方向にウェハー軸を有する軸方向に並べら
    れた複数の円形ウェハーを収容するためのウェハーキャ
    リヤであって、 開口した上部及び開口した底部と、 第１の装置インターフェースと左側前部と右側前部とを
    有する垂直方向に設けられた前端部部材と、 一対の側壁部材と、 垂直方向の後端部部材と、 第２の装置インターフェースと、を有し、前記第１の装
    置インターフェースが、キャリヤを前方へ回転して装置
    インターフェースの上へ当接させ、並べられたウェハー
    の軸をほぼ垂直方向に配置できるように形成されてお
    り、 前記側壁部材が前端部部材から後方へ延びており、その
    一つは左側前部から、また一つは右側前部から延びてお
    り、側壁の各々がほぼ垂直方向に設けられた上側部分
    と、収束する下側部分と、上側部分から下側部分まで延
    びてウェハーを拘束するほぼ垂直方向の複数のスロット
    を有しており、 前記後端部部材が、パネルを有するとともに二つの側壁
    の間を延びており、 前記第２の装置インターフェースが、ウェハーキャリヤ
    の他の部分とは別に形成されており、協働する一対のロ
    ック用係合部分によって前記ウェハーキャリヤの中に組
    み付けられる、 ウェハーキャリヤ。
  12. 【請求項１２】 エッジ部を有する円形の半導体ウェハ
    ーを保持するためのウェハーキャリヤであって、 ａ）キャリヤーフレームワークと、 ｂ）前記キャリヤーフレームワークとは別に形成された
    第１及び第２の側壁インサートと、 を有し、前記キャリヤーフレームワークが、 １）左側前部と右側前部との間に装置インターフェース
    部分を有する前端部部材と、 ２）前記前端部部材の反対側に設けられた後端部部材
    と、 ３）前端部と後端部とを有する第１の側壁サポートと、 ４）前端部と後端部とを有する第２の側壁サポートと、 を有し、 前記左側前部と右側前部の各々が上側部分と下側部分を
    有し、 前記後端部部材が左側後部と右側後部との間にパネルを
    有し、 前記左側後部と右側後部の各々が上側部分と下側部分を
    有し、 前記前記第１の側壁サポートの前端部が前記左側前部へ
    連結され一体化されており、また前記後端部が前記左側
    後部へ連結され一体化されており、 前記第２の側壁の前端部が前記右側前部へ連結され一体
    化されており、また前記後端部が前記右側後部へ連結さ
    れ一体化されて、前端部と後端部と第１及び第２の側壁
    サポートが一体化されたフレームワークを形成してお
    り、 前記側壁インサートが、前記ウェハーのエッジ部を拘束
    するためのスロットを有し、前記側壁インサートが前記
    前端部部材と後端部部材との間に配置されていて各側部
    サポートに沿って延びており、各側壁インサートが、協
    働する係合部分の対によってキャリヤーフレームワーク
    とロック状態で係合し、各対の一方の係合部分が側壁イ
    ンサートに配置されていて、それと協働する係合部分が
    フレームワーク部に配置されており、協働する係合部分
    の前記対のうちの前記少なくとも一方が溝から成り、そ
    れと協働する係合部分が前記溝に合う寸法のタブから成
    っている、 ウェハーキャリヤ。
  13. 【請求項１３】 エッジ部を有する円形の半導体ウェハ
    ーを保持するためのウェハーキャリヤであって、 ａ）キャリヤーフレームワークと、 ｂ）前記キャリヤーフレームワークとは別に成形された
    第１及び第２の側壁と、 を有し、前記キャリヤーフレームワークが、 １）左側前部と右側前部との間に装置インターフェース
    部分を有する前端部部材と、 ２）前記前端部部材の反対側に設けられた後端部部材
    と、 ３）各々が前端部と後端部とを有する第１の上側の側壁
    サポート及び第１の下側の側壁サポートと、 ４）各々が前端部と後端部とを有する第２の上側の側壁
    サポート及び第２の下側の側壁サポートと、を有し、 前記左側前部と右側前部の各々が上側部分と下側部分を
    有し、 前記後端部部材が左側後部と右側後部を有し、この左側
    後部と右側後部の各々が上側部分と下側部分を有し、 前記第１の側壁サポートの前端部が前記上側及び下側の
    左側前部へそれぞれ連結されており、前記後端部が前記
    上側及び下側の左側後部へそれぞれ連結されていて第１
    の側壁窓を形成しており、 前記第２の側壁サポートの前端部が前記上側及び下側の
    右側前部へそれぞれ連結されており、前記後端部が前記
    上側及び下側の右側後部へそれぞれ連結されていて第２
    の側壁窓を形成しており、 前記側壁が前記ウェハーのエッジ部を拘束するためのス
    ロットを有し、前記側壁インサートが内側及び外側を有
    し、前記側壁インサートの各々が前記側壁窓の一つの中
    に係合される、 ウェハーキャリヤ。
  14. 【請求項１４】 前記側壁インサートを前記側壁窓の各
    々内に固定するための手段が設けられている請求項１３
    記載のウェハーキャリヤ。
  15. 【請求項１５】 前記側壁インサートを固定するための
    手段が、前記側壁インサートの各々に設けられた協働す
    る複数のスナップ式ロック用タブと、フレームワークの
    上に設けられて前記スナップ式ロック用タブを挿入する
    ように形成された協働する複数の溝を有している請求項
    １４記載のウェハーキャリヤ。
  16. 【請求項１６】 前記側壁インサートを固定するための
    手段が、側壁インサートの各々から延びる複数のナブ(n
    ub) と、このナブを受容するために第１及び第２の上側
    の側壁サポートの各々に設けられた協働する複数の溝を
    有している請求項１５記載のウェハーキャリヤ。
  17. 【請求項１７】 円形のエッジ部を有する円形の半導体
    ウェハーを保持するためのウェハーキャリヤであって、 ａ）左側前部と右側前部との間にＨバーの装置インター
    フェース部分を有する前端部部材と、 ｂ）前記前端部部材と反対側の左側後部と右側後部との
    間にパネルを有する後端部部材と、 ｃ）前記前端部部材及び後端部部材とは別々に形成され
    た第１及び第２の側壁インサートと、 を有し、 前記側壁インサートが、前端部と、後端部と、ウェハー
    の円形のエッジ部に対応する曲がった下側部分と、前記
    エッジ部を拘束するためのスロットとを有し、前記側壁
    インサートが前端部と後端部の間へロックされた状態で
    係合される、開口した上部と開口した底部を備えた構造
    を有するウェハーキャリヤ。
  18. 【請求項１８】 前記前端部部材と後端部部材との間を
    延びる一対の上側の側部サポートと、これも前端部部材
    と後端部部材との間を延びる一対の下側の側部サポート
    が設けられていて、側部インサートを受容するための一
    対の側部インサート窓を形成しており、前端部部材と後
    端部部材と側部サポートが互いに一体化されている請求
    項１７記載のウェハーキャリヤ。
JP10106769A 1997-04-16 1998-04-16 ウェハーキャリヤ Pending JPH10326825A (ja)

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US09/058137 1998-04-10
US08/843464 1998-04-10

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