KR20180048906A - 오프셋 매니폴드를 갖는 내부 퍼지 디퓨저 - Google Patents

오프셋 매니폴드를 갖는 내부 퍼지 디퓨저 Download PDF

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KR20180048906A
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제프리 제이. 킹
매튜 풀러
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

기판 용기를 위한 퍼지 타워 조립체가 개시된다. 조립체는 기판 용기의 저부 판으로의 장착을 위한, 기부 부분 및 상부 부분을 포함하는, 퍼지 인터페이스 본체를 포함할 수 있다. 기부 부분은 실질적으로 튜브형의 기부 측벽을 포함할 수 있고, 상부 부분은 기부 부분의 상부 모서리 상에 위치되는 상부 측벽을 가질 수 있다. 상부 부분은 저부 판 내의 후방 입구를 통한 장착을 위한 입구 노즐을 포함할 수 있다. 입구 노즐은 상부 측벽으로부터 상향으로 연장하고 입구 노즐의 내부를 한정하는 실질적으로 튜브형의 측벽을 가질 수 있다. 기부 부분 및 상부 측벽은 기부 부분 및 입구 노즐에 연결된 상태로 배치되는 오프셋 도관 부분을 한정할 수 있고, 기부 부분 및 입구 노즐은 오프셋 도관 부분을 통해 유체 연통된다.

Description

오프셋 매니폴드를 갖는 내부 퍼지 디퓨저
본 개시내용은 일반적으로 미세-환경을 위한 퍼지 시스템(purge system)에, 그리고 더 구체적으로 기판 용기를 위한 디퓨저 타워(diffuser tower)에 관한 것이다.
관련출원
본 출원은 본 명세서에 전체적으로 참조로 포함되는 내용을 갖는, 2015년 9월 4일자로 출원된, 미국 특허 출원 제62/214,464호 그리고 2015년 12월 4일자로 출원된, 미국 특허 출원 제62/263,194호 중 더 빠른 출원일의 이익을 주장한다.
기판 용기에 대한 기판의 삽입 또는 제거 중에, 미량의 먼지, 가스상 불순물, 또는 증가된 습기가 기판 용기 내로 유입되어, 보유 중인 웨이퍼의 제조 수율에 악영향을 미칠 수 있다. 따라서, 기판 취급 중에 이들 용기 내의 환경을 제어하여 높은 수준의 청정도를 성취 또는 유지하여야 한다는 요구가 증가된다.
기판 용기 내의 미세환경은 일부 경우에, 입구 포트를 통해 용기의 내부 내로 주입되어 용기 내의 공기가 출구 포트를 통해 배출되게 하는 불활성 가스를 사용하여 퍼징된다. 퍼지 가스를 용기 내로 전달하는 시스템 및 방법이 개선된 환경을 용기 내에 제공하도록 설계되었다.
전방 개방 통합 포드(front opening unified pod)(FOUP)가 개발될 때에, 저부 퍼지 포트가 캐리어 제조업자에 의해 도입되어 청정 건조 공기(clean dry air)(CDA) 또는 불활성 퍼지로써의 내부 환경의 퍼징을 가능케 하였다. 이들 퍼지 모듈은 FOUP 외피의 내부 저부 표면 아래로부터 도입되었다.
퍼지 디퓨저(diffuser)가 도입될 때에, 디퓨저가 퍼지 인터페이스에 축방향으로 조립되면, 그것이 웨이퍼 취급 전용 체적 그리고 또한 FOUP의 내측에 저장되는 웨이퍼를 방해하지 않는다는 것이 명확해졌다. 대신에, 기존의 외피 설계를 변형시키지 않으면서, 디퓨저 튜브가 내부에서 축방향으로 오프셋되도록 설계되었다.
번즈(Burns) 등에게 허여된 미국 특허 제9,054,144호("번즈")는 오프셋 도관에 의해 연결되는 기부 부분 및 디퓨저 타워 부분을 포함하는 퍼지 타워를 갖는 기판 용기를 개시한다. 오프셋 도관은 타워 부분이 용기의 후방을 향해 오프셋될 수 있게 하고, 그에 의해 내부 공간이 기판 저장 및 취급에 더 양호하게 이용되어 더 치밀한 설계로 제공될 수 있게 한다. 번즈의 개시내용은 그 내에 포함되는 명시적인 한정사항 및 특허 청구범위를 제외하면 본 명세서에 참조로 포함된다.
오프셋 도관을 이용하는 종래의 퍼지 타워는 오프셋 도관이 기판 용기 내측에 있고 기판 용기의 바닥으로부터 상향으로 돌출되어 오프셋 도관 부분이 바닥과 동일 높이에 있지 않도록 구성된다. 도관은 최하부 웨이퍼가 도관 위로 지나가는 크기로 되어 있을 수 있지만, 돌출한 도관은 여전히 최하부 웨이퍼의 삽입 또는 제거 중에 로봇 엔드 이펙터(robotic end effector)의 동작을 방해할 수 있다는 것이 밝혀졌다. 방해는 엔드 이펙터와 도관 사이의 충돌을 유발할 수 있고, 그에 의해 파티클을 발생시키고, 또한 웨이퍼의 잘못된 취급으로 이어질 수 있다.
종래의 오프셋 퍼지 타워와 관련되는 또 다른 사안은 그것들이 기판 용기의 내부에 장착되어야 한다는 것이다. 오프셋 퍼지 타워의 전체 길이가 기판 용기의 바닥-천장 간극보다 큰 구성에서, 조립 중에 퍼지 타워를 똑바로 세우려 할 때에 문제가 일어날 수 있다. 디퓨저 부분의 상부 극단부가 기판 용기의 천장과 충돌할 수 있고, 이것은 디퓨저 부분 및 기판 용기 중 하나 또는 둘 모두를 손상시킬 수 있다. 일부 경우에, 디퓨저 부분의 요구 길이를 희생시킬 것이 필요할 수 있다.
본 개시내용의 다양한 실시예는 웨이퍼 저장 및 조작을 위한 추가적인 공간을 웨이퍼 용기 내에 부여하고 또한 퍼지 가스의 유동을 가능케 하는 퍼지 디퓨저 조립체에 관한 것이다. 따라서, 본 개시내용의 다양한 실시예는 엔드 이펙터와 퍼지 타워 조립체 사이의 충돌로 인해 기판 용기의 내부 표면을 오염시키는 개연성 면에서 더 낮은 확률을 제공한다. 또한, 본 개시내용의 다양한 실시예에서, 퍼지 타워 조립체의 디퓨저 부분의 유효 길이는 퍼지 가스 출구가 종래의 퍼지 타워 조립체보다 기판 용기의 바닥에 근접하게 위치되도록 증가된다. 퍼지 출구를 바닥에 더 근접하게 위치시킴으로써, 기판 용기의 최하부 웨이퍼 아래로의 퍼지 가스의 유동이 증가되어 개선된 성능을 제공할 수 있다.
본 개시내용의 다양한 실시예는 기판 용기의 내부에 있는 대신에 용기의 외부에 있는 오프셋 도관을 제공하고, 도관은 기판 용기의 바닥 아래로 진행된다. 오프셋 도관을 기판 용기의 외부에 위치시킴으로써 제공되는 추가적인 공간은 로봇 엔드 이펙터가 오프셋 도관과 충돌하지 않으면서 그 내에 저장되는 최하부 웨이퍼 아래로 이동될 수 있게 한다.
또한, 일부 실시예는 퍼지 타워의 디퓨저 부분이 기판 용기의 바닥 높이에서 작동할 수 있도록 구성된다. 즉, 디퓨저 부분의 유효 길이는 기판 용기의 바닥과 대응하는 디퓨저 부분 상의 높이에서 시작한다. 이것은 퍼지 가스가 바닥 높이에서 기판 용기 내로 진입할 수 있게 하고, 그에 따라 최하부 기판 아래로의 퍼지 유동이 종래의 퍼지 타워에 비해 증가된다. 일 실시예에서, 디퓨저 부분의 유효 부분은 종래의 디퓨저에 비해 4.5 mm만큼 낮아진다.
본 개시내용의 일부 실시예는 외부에 조립되고 기판 용기의 외부로부터 장착 및 장착해제될 수 있는 외부 오프셋 퍼지 타워 조립체를 제공한다. 본 개시내용의 일부 실시예는 외부 오프셋 퍼지 타워 조립체의 퍼지 인터페이스 본체에 대해 분리가능 및 재부착가능한 디퓨저 부분을 포함하고, 그에 따라 디퓨저 부분은 퍼지 인터페이스 본체가 기판 용기에 장착된 후에 퍼지 인터페이스 본체에 부착된다. 이들 실시예의 둘 모두를 통해, 퍼지 타워 조립체의 과도한 길이의 문제가 제거된다.
리세스를 도관이 진행되는 용기의 바닥 내에 제공함으로써 내부 도관의 프로파일을 감소시키는 실시예가 또한 고려된다. 오프셋 도관 및 리세스는 오프셋 도관의 최상부 극단부가 기판 용기의 바닥의 내부 높이에 또는 그보다 아래에 있는 크기로 되어 있을 수 있다. 그러한 실시예에서, 오프셋 도관의 감소된 프로파일은 내부에 있기는 하지만, 엔드 이펙터 간극에 대해 외부 오프셋 도관과 동일한 효과를 제공하고, 최하부 기판의 퍼징을 향상시킨다.
본 개시내용의 다양한 실시예는 기판 용기의 저부 판으로의 연결을 위한 퍼지 인터페이스 본체를 포함하는 기판 용기를 위한 퍼지 타워 조립체에 관한 것이다. 퍼지 인터페이스 본체는 기부 부분 및 상부 부분을 포함할 수 있다. 기부 부분은 저부 모서리로부터 상부 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 기부 측벽을 가질 수 있다. 저부 모서리는 기부 부분의 내부로의 접근을 위한, 제1 축에 동심인, 제1 구멍을 한정할 수 있다.
하나 이상의 실시예에서, 상부 부분은 기부 부분의 상부 모서리에 연결된다. 상부 부분은 저부 구멍을 위에서 덮기 위해 기부 부분의 상부 모서리 상에 위치되는 상부 측벽을 가질 수 있다. 상부 부분은 기판 용기의 저부 판 내의 입구를 통한 장착을 위한 입구 노즐을 포함할 수 있다. 입구 노즐은 상부 측벽으로부터 노즐 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 노즐 측벽을 가질 수 있다. 노즐 모서리는 입구 노즐의 내부로의 접근을 위한, 제2 축에 동심인, 제2 구멍을 한정할 수 있다. 소정 실시예에서, 제2 축은 제1 축에 실질적으로 평행하고 그 후방으로 위치된다. 하나 이상의 실시예에서, 퍼지 인터페이스 본체는 기부 부분과 입구 노즐 사이에 배치되는 오프셋 도관 부분을 포함한다. 기부 부분 및 입구 노즐은 오프셋 도관 부분을 통해 유체 연통될 수 있다.
퍼지 타워 조립체는 디퓨저 부분을 포함한다. 하나 이상의 실시예에서, 디퓨저 부분은, 다공성 디퓨저 측벽을 포함하며, 디퓨저 축을 따라 디퓨저 부분 내로 연장하는 디퓨저 통로를 한정하는, 디퓨저 부분이다. 디퓨저 측벽은 기부 부분, 입구 노즐, 및 디퓨저 부분 사이의 유체 연통을 위해 입구 노즐에 동작가능하게 결합될 수 있는 디퓨저 부분의 저부 부분에 개구를 한정할 수 있다. 추가로 또는 대안으로, 디퓨저 부분은 외부 외피를 포함하고 여기서 복수의 관통 구멍이 그 내에 형성될 수 있다.
위의 요약은 본 개시내용의 각각의 예시된 실시예 또는 모든 실시예를 설명하도록 의도되지 않는다.
본 출원에 포함되는 도면은 본 명세서 내로 포함되어 그 일부를 형성한다. 그것들은 본 개시내용의 실시예를 도시하고, 상세한 설명과 함께, 본 개시내용의 원리를 설명하는 역할을 한다. 도면은 소정 실시예를 예시할 뿐이고, 본 개시내용을 제한하지 않는다.
도 1은 본 개시내용의 실시예에 따른, 기판 용기의 사시도이다.
도 2는 본 개시내용의 실시예에 따른, 퍼지 타워 조립체의 정면도이다.
도 3은 본 개시내용의 실시예에 따른, 도 2의 퍼지 타워 조립체의 단면도이다.
도 4는 본 개시내용의 실시예에 따른, 도 2의 퍼지 타워 조립체의 분해도이다.
도 5는 본 개시내용의 실시예에 따른, 퍼지 타워 조립체의 확대, 부분 사시도이다.
도 6은 본 개시내용의 실시예에 따른, 기판 용기 내에 장착된 퍼지 타워 조립체의 정면도이다.
도 7은 도 6의 선 7-7에서 취해진 퍼지 타워 조립체 및 기판 용기의 단면도이다.
도 8은 본 개시내용의 실시예에 따른, 기판 용기의 단면도 그리고 퍼지 타워 조립체의 분해도이다.
도 9는 본 개시내용의 실시예에 따른, 퍼지 타워 조립체를 위한 개구를 포함하는 기판 용기의 부분 저면 사시도이다.
도 10은 본 개시내용의 실시예에 따른, 컨베이어 판을 포함하는 기판 용기의 부분 저면 사시도이다.
도 11은 본 개시내용의 실시예에 따른, 저부 판에 장착된 컨베이어 판을 포함하는 기판 용기의 부분 저면 사시도이다.
도 12는 본 개시내용의 실시예에 따른, 저부 판에 장착된 컨베이어 판을 포함하는 기판 용기의 부분 단면도이다.
도 13은 본 개시내용의 실시예에 따른, 외부 장착 퍼지 조립체를 포함하는 기판 용기의 부분 저면 사시도이다.
도 14는 본 개시내용의 실시예에 따른, 외부 장착 퍼지 타워 조립체를 포함하는 기판 용기의 내부의 부분 사시도이다.
도 15는 본 개시내용의 실시예에 따른, 외부 장착 퍼지 타워 조립체를 포함하는 기판 용기의 내부의 부분 사시도이다.
도 16은 본 개시내용의 실시예에 따른, 퍼지 타워 조립체가 내부 장착된 리세스를 포함하는 기판 용기의 단면도이다.
도 17은 도 6의 선 7-7에서 취해진 퍼지 타워 조립체 및 기판 용기의 근접 단면도이다.
본 개시내용의 실시예가 다양한 변형 그리고 대안적인 형태를 수용할 수 있는 범위 내에서, 그 세부사항이 도면에 예로서 도시되었고, 상세하게 설명될 것이다. 그러나, 본 개시내용은 그것을 설명된 특정 실시예로 제한하도록 의도되지 않아야 한다는 것이 이해되어야 한다. 오히려, 본 개시내용은 그 사상 및 범주 내에 속하는 모든 변형, 등가물, 및 대안을 포함하도록 의도된다.
도 1을 참조하면, 본 개시내용의 실시예에 따른, 복수의 기판을 저장하는 기판 용기(30)가 도시된다. 본 명세서에 사용되는 바와 같이, 복수의 기판은 반도체, 인쇄 회로 기판, 평판 디스플레이 등의 제조에 사용되는 기판을 포함한다. 예시의 목적을 위해, 단일의 기판(32a)이 제공된다. 소정 실시예에서, 기판 용기(30)는 2개의 대향 측면 부분(34), 상부 부분(36), 저부 판(38) 및 후방 부분(42)을 포함한다. 저부 판(38)은 기판 용기(30)를 위한 내부 표면 또는 바닥(40)을 한정한다. 기판 용기(30)의 전방 부분(44)은 기판(32)의 삽입 및 제거를 위한 도어 개구(48)를 한정하는 도어 프레임(46)을 포함한다. 도어(52)가 도어 개구(48)를 밀봉하여 덮도록 구성된다. 기판 용기(30)의 도어 개구(48)는 수직 방향 54에 실질적으로 평행한 평면 내에 위치된다. 다양한 실시예에서, 기판 용기(30)는 미세환경(64)을 수용하는 것을 특징으로 한다.
하나 이상의 실시예에서, 한 쌍의 슬롯형 측벽(66)이 기판 용기(30) 내에 배치되고, 각각은 측면 부분(34)의 각각에 근접한다. 슬롯형 측벽(66)은 슬롯이 서로 대면하여 복수의 슬롯 위치(68)를 한정하도록 정렬되고, 기판(들)(32)이 그 사이에 지지되도록 이격된다. 이러한 개시내용의 목적을 위해, 복수의 슬롯 위치(68) 중 최하부 슬롯 위치(68a)(즉, 저부 판(38)에 가장 근접한 슬롯)가 "제1" 슬롯으로서 식별되고, 여기서 슬롯 번호는 상향 방향으로 증가한다. 예시의 목적을 위해, 예컨대 도 6-8 및 15-16에서, 아래에 설명되는 바와 같이, 기판(32b)이 제공되고, 최하부 슬롯(68a)을 점유하는 것으로서 도시된다.
다양한 실시예에서, 기판 용기(30)는 기판 용기(30) 내에 배치되는 적어도 하나의 퍼지 타워 조립체(70)를 추가로 포함한다. 다양한 실시예에서, 퍼지 타워 조립체(70)는 기판 용기(30) 내로의 가스상 작업 유체의 유입을 위해 기판 용기(30)의 외부에 있는 가스 공급원(도시되지 않음)에 동작가능하게 결합될 수 있다. 소정 실시예에서, 퍼지 타워 조립체(70) 중 하나 이상이 가스상 작업 유체를 도어 개구(48)를 향해 유도하여 기판 용기(30)를 퍼징하도록 배향된다.
소정 실시예에서, 기판 용기(30)는 저부 판(38) 아래에 위치되는 컨베이어 판(71)을 추가로 포함한다. 다양한 실시예에서, 컨베이어 판(71)은 다양한 기판 가공 단계 중에 기판 용기(30)의 기계 기반 위치설정 및 정렬을 위해 기판 용기(30)의 저부에 장착된다.
도 2-5를 참조하면, 본 개시내용의 실시예에 따른, 퍼지 타워 조립체(70)가 도시된다. 도시된 실시예에서, 퍼지 타워 조립체(70)는 기부 부분(94) 및 상부 부분(98)을 갖는 퍼지 인터페이스 본체(90)를 포함한다. 하나 이상의 실시예에서, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 기판 용기(30) 상으로의 외부 장착에 적절한 크기 및 형상으로 되어 있다. 예를 들어, 퍼지 인터페이스 본체는 기판 용기(30)의 컨베이어 판(71)에 장착될 수 있다. 일부 실시예에서, 퍼지 인터페이스 본체는 저부 판(38)에 장착될 수 있다. 일부 실시예에서, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 저부 판(38)과 컨베이어 판(71) 사이에 장착될 수 있다.
다양한 실시예에서, 예를 들어 도 3에서, 기부 부분(94)은 저부 모서리(102)로부터 상부 모서리(106)까지 연장하는 측벽(100)에 의해 한정되는 튜브형 형상을 갖는다. 측벽(100)의 튜브형 형상은 내부 부분(110)을 한정하고, 저부 모서리(102)에서, 내부 부분(110) 내로의 접근을 위한 저부 구멍(114)을 한정한다. 다양한 실시예에서, 기부 부분(94)은 외측 유체 공급원으로의 결합을 위한 구성요소를 포함한다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 기부 부분은 저부 구멍(114) 내에 그리고 내부 부분(110) 내에 장착되는 그로밋(grommet)(118), 필터(122), 및 밸브(126)를 포함한다(도 4). 소정 실시예에서, 저부 구멍(114)은 축(130)과 동심이다.
하나 이상의 실시예에서, 예를 들어 도 5에서, 측벽(100)은 복수의 구멍(119)을 기부 부분(94) 내에 한정한다. 소정 실시예에서, 구멍(119)의 각각은 측벽(100) 주위에 그리고 축(130)을 중심으로 원주방향으로 이격된다. 다양한 실시예에서, 구멍(119)은 기부 부분(94)의 내부(110) 내로의 그로밋(118)의 끼워맞춤 및 위치설정을 위해 그로밋(118)의 측면으로부터 돌출하는 러그(lug)를 위한 리셉터클이다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 그로밋(118)은 가요성 구성요소이고, 러그는 기부 부분의 내부(110) 내로의 삽입 중에 탄성 압축되고 이어서 구멍(119) 내로 외향으로 팽창하여 그로밋을 적절한 위치에 로킹할 수 있다.
일부 실시예에서, 기부 부분(94)은 지지 부분(120)을 포함한다. 지지 부분(120)은 측벽(100)과 일체형인 재료의 외향 연장 부분일 수 있다. 소정 실시예에서, 지지 부분(120)은 퍼지 인터페이스 본체(90)의 조작을 위한 핸들 또는 그립으로서 기능한다. 일부 실시예에서, 지지 부분(120)은 본 명세서에 추가로 설명되는 바와 같이, 기판 용기로의 본체(90)의 설치를 위해 컨베이어 판 내의 언더컷 특징부 내로 스냅 끼워맞춤되는 가요성 빔이다.
하나 이상의 실시예에서, 상부 부분(98)은 실질적으로 평면형이고 상부 모서리(106)를 따라 기부 부분(94)에 연결되는 상부 측벽(134)을 포함한다. 일부 실시예에서, 상부 측벽(134)은 기부 부분(94)의 상부에 연결된다. 기부 부분(94) 및 상부 부분(98)은 통상의 기술자가 이용가능한 기술, 예를 들어, 초음파 또는 열 용접, 스냅 끼워맞춤, 접착제 접합에 의해, 또는 다른 적절한 기술에 의해 연결될 수 있다.
또한, 예를 들어 도 3에서, 상부 측벽(134)은 기부 부분(94)으로부터 하나의 측면까지 연장하는 오프셋 부분(138)을 포함할 수 있다. 오프셋 부분(138)은 기부 부분(94)으로부터 오프셋되는 입구 노즐(142)을 포함할 수 있다. 하나 이상의 실시예에서, 입구 노즐(142)은 상부 측벽(134)으로부터 노즐 모서리(150)까지 상향으로 연장하는 노즐 측벽(146)에 의해 한정되는 튜브형 형상을 갖는다. 하나 이상의 실시예에서, 노즐 측벽(146)은 내부 부분(154) 및 노즐 구멍(158)을 노즐 모서리(150)에 한정한다. 다양한 실시예에서, 노즐 구멍(158)은 입구 노즐(142)의 내부 부분(154)으로의 접근을 제공한다. 소정 실시예에서, 노즐 구멍(158)은 제2 축(162)에 동심이다. 다양한 실시예에서, 제2 축(162)은 제1 축(130)에 실질적으로 평행하다.
하나 이상의 실시예에서, 오프셋 도관 부분(166)이 기부 부분(94)과 입구 노즐(142) 사이에 배치된다(도 2 및 5). 하나 이상의 실시예에서, 오프셋 도관 부분(166)은 상부 측벽(134)의 오프셋 부분(138)과 협력하여 퍼지 인터페이스 본체(90)의 구성요소들 사이의 유체 연통을 위한 기부 부분(94)과 입구 노즐(142) 사이의 통로를 제공한다.
동작 시에, 유체가 체크 밸브(126) 및 저부 구멍(114)을 통해, 내부 부분(110, 154)을 통해 그리고 노즐 구멍(158)을 통해 퍼지 타워 조립체(70) 내로 진입한다. 기능적으로, 오프셋 도관(166)은 유동을 제1 축(130)으로부터 제2 축(162)으로 전환한다.
일부 실시예에서, 도 5에 도시된 바와 같이, 입구 노즐(142)은 노즐 측벽(146)의 바브형 부분(barbed portion)(170) 및 테이퍼형 부분(174)을 포함하는 바브형 노즐이다. 소정 실시예에서, 바브형 부분(170)은 입구 노즐(142)의 외경을 한정하고, 테이퍼형 부분(174)은 감소된 외경을 바브형 부분(170)에 인접하여 한정한다. 소정 실시예에서, 노즐 측벽(146)은 측방 구멍(178)을 바브형 부분(170)과 테이퍼형 부분(174) 사이에 한정한다. 추가로 설명되는 바와 같이, 측방 구멍(178)은 기판 용기(30) 내로의 가스의 낮은 확산을 위한 노즐 측벽(146) 내의 홀 또는 구멍이다.
하나 이상의 실시예에서, 퍼지 타워 조립체(70)는 퍼지 인터페이스 본체(90)의 입구 노즐(142)에 결합되는 디퓨저 부분(182)을 포함한다. 일부 실시예에서, 디퓨저 부분(182)은 다공성 또는 홀을 갖는(구멍을 갖는) 측벽(186)을 포함한다. 일부 실시예에서, 측벽(186)은 실질적으로 튜브형의 형상을 한정하고 여기서 디퓨저 통로가 디퓨저 부분(182)의 상부 면(190)으로부터 저부 모서리(194)까지 연장한다. 하나 이상의 실시예에서, 디퓨저 부분(182)의 저부 모서리(194)는 구멍(198)을 디퓨저 부분(182)의 저부 부분(202)에 한정한다. 다양한 실시예에서, 구멍(198)은 입구 노즐(142)이 삽입되어 이들 2개 사이에서 동작가능하게 결합되고 그에 따라 기부 부분(94), 입구 노즐(142), 및 디퓨저 부분(182)이 그 사이에서 유체 연통되는 크기로 되어 있을 수 있다.
소정 실시예에서, 노즐 측벽(146)은 노즐 측벽(146)의 외부 표면 상에 형성되는 외부 수나사(도시되지 않음)를 포함한다. 디퓨저 부분(182)은 디퓨저 부분의 내부 표면 상에 형성되는 암나사(도시되지 않음)를 포함할 수 있다. 디퓨저 부분(182) 및 노즐 측벽(146)의 나사는 실시될 때에, 그 사이의 결합을 위해 결합가능하다.
다양한 실시예에서, 디퓨저 부분(182)은 디퓨저 부분(182)의 저부 부분에 있는 확장된 부분(206)을 포함한다. 소정 실시예에서, 확장된 부분(206)은 외향으로 확장되고, 그에 따라 입구 노즐(142)의 삽입 그리고 그와의 결합을 위해 디퓨저 부분의 본체에 비해 증가된 내경을 갖는다.
도 6-8을 참조하면, 퍼지 타워 조립체(70)가 본 개시내용의 실시예에 따른 기판 용기(30)에 조립된 상태로 도시된다. 도시된 실시예에서, 기판 용기(30) 및 퍼지 타워 조립체(70)는 본 명세서에 설명되는 것과 동일하거나 실질적으로 유사하다. 따라서, 동일한 요소는 동일한 도면 부호로써 식별된다.
조립 시에, 예를 들어 도 8에서, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 퍼지 인터페이스 본체(90)를 방향 210으로 상향으로 삽입하고 입구 노즐(142)을 저부 판(38) 내의 후방 입구(214)를 통해 위치시키고 퍼지 인터페이스 본체(90)를 후방 장착 영역(218) 내의 저부 판(38)의 외부 표면에 부착함으로써 기판 용기(30)에 조립될 수 있다. 다양한 실시예에서, 후방 장착 영역(218)은 컨베이어 판(71)과 저부 판(38) 사이에 있다. 퍼지 인터페이스 본체(90)는 로드 포트(load port)의 퍼지 고정구에 대해 다양한 수직 높이(222)로 기판 용기(30)에 조립하도록 설계될 수 있다. 다양한 실시예에서, 수직 높이(222)는 기존의 기판 용기(들)의 수직 높이와 실질적으로 일치한다. 하나 이상의 실시예에서, 입구 노즐(142)은 기판 용기(30)의 컨베이어 판(71)에 장착될 때에, 입구 노즐(142)의 노즐 모서리(150)가 대략 기판 용기(30)의 제1 슬롯(68a)까지 상향으로 연장하는 크기로 되어 있다.
퍼지 인터페이스 본체(90)가 입구(214)를 통해 삽입되면, 디퓨저 부분(182)은 도어 개구(48)를 통해 기판 용기(30)의 후방에서 입구 노즐(142)로 접근함으로써 그에 조립될 수 있다. 디퓨저 부분(182)은 이어서 입구 노즐(142)에 부착된다.
도 9-14를 참조하면, 본 개시내용의 실시예에 따른, 기판 용기(30) 내로의 퍼지 타워 조립체(70)의 다양한 조립 단계가 도시된다. 기판 용기(30) 및 퍼지 타워 조립체(70)는 본 명세서에 설명되는 것과 동일하거나 실질적으로 유사할 수 있다. 따라서, 동일한 요소는 동일한 도면 부호로써 식별된다. 도 9를 참조하면, 기판 용기(30) 및 저부 판(38)의 저면 사시도가 도시된다. 하나 이상의 실시예에서, 저부 판(38)은 퍼지 타워 조립체(70) 내로의 입구 노즐(142)의 삽입을 위한 후방 입구(214)를 포함한다(도 8). 또한, 일부 실시예에서, 저부 판(38)은 장착 입구(250)를 포함한다. 다양한 실시예에서, 장착 입구(250)는 컨베이어 판(71)을 기판 용기(30)의 저부 판(38)에 장착하는 장착 수단을 수용하는 저부 판(38) 내의 구멍이다.
예를 들어, 도 10에서, 컨베이어 판(71)이 기판 용기(30)의 저부 판(38)에 대해 위치된다. 컨베이어 판(71)은 장착 입구(250)와 정렬되는 장착 입구(251)를 포함할 수 있다. 장착 기구(254)가 도 11에 도시된 바와 같이, 장착 입구(250) 내에 수용되어 컨베이어 판(71)을 저부 판(38)에 고정한다. 하나 이상의 실시예에서, 장착 기구(254)는 저부 판(38) 내에 위치되어 컨베이어 판(71)을 기판 용기(30)의 저부에 고정하는 재료의 일부이다. 도 11 및 12에 도시된 바와 같이, 장착 기구(254)는 하향 연장 측벽(258)을 갖고 측벽(258) 내에 원주방향으로 배열되는 복수의 대체로 L자형의 슬롯(262)을 포함하는 부분 링이다. 하나 이상의 실시예에서, L자형 슬롯(262)은 램프형이고 그에 따라 수직 부분(263) 및 수평 또는 디텐트 부분(detent portion)(264)을 갖는다.
다양한 실시예에서, 컨베이어 판(71)은 장착 입구(251) 내에 있는 복수의 외향 연장 부재 또는 캠(265)을 포함할 수 있다. 캠(265)의 각각은 L자형 슬롯(262)과 대응할 수 있고 그에 따라 컨베이어 판(71)은 캠(265)을 수직 부분(263) 내로 수용하고 장착 기구(254)를 비틀어 캠(265)을 상향으로 그리고 디텐트 부분(264) 내로 안내하여 컨베이어 판(71)을 저부 판(38)에 고정하는, 장착 입구(250, 251) 내로의 장착 기구(254)의 하향 삽입과정에 의해 저부 판(38)에 고정될 수 있다.
다양한 실시예에서, 측벽(258)은 오프셋 도관 부분(166)에 대응하는 후방 개구(266)를 포함한다. 따라서, 저부 판(38)에 고정될 때에, 오프셋 도관 부분(166)은 장착 기구(254)로부터 후방으로 연장하여 입구 노즐(142)에 도달한다.
소정 실시예에서, 다양한 형태의 장착 기구(254)가 컨베이어 판(71)을 저부 판(38)에 고정하는 데 사용될 수 있다. 예를 들어, 장착 기구는 초음파 또는 열 용접, 스냅 끼워맞춤, 접착제 접합, 또는 다른 적절한 기술을 사용할 수 있다. 일부 실시예에서, 장착 기구(254)는 저부 판(38)과 일체형이고, 그에 따라 저부 판(38) 및 장착 기구는 하나의 연속적인 피스이다.
도 12-13에 도시된 바와 같이, 하나 이상의 실시예에서, 컨베이어 판(71)은 지지 선반(268)으로의 접근상황을 노출시키는 장착 입구(251) 내의 하나 이상의 측방 개구(267)를 포함하는, 퍼지 인터페이스 본체(90)를 위한 로킹 특징부를 포함한다. 다양한 실시예에서, 지지 선반(268)은 컨베이어 판(71) 내의 언더컷 부분(269)에 의해 한정된다. 다양한 실시예에서, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 퍼지 인터페이스 본체(90)를 장착 입구(251) 내로 그리고 입구 노즐(142)(도 2-4)을 후방 입구(214) 내로 상향으로 삽입함으로써 기판 용기(30)에 고정된다. 퍼지 인터페이스 본체(90)가 상향으로 삽입될 때에, 퍼지 인터페이스 본체(90)가 장착 입구(251) 내로 완전히 삽입될 때까지는, 지지 부분(120)이 경사형 또는 바브형 언더컷 부분(269)과 결합하여 구부러질 수 있다. 삽입되면, 지지 부분(120)이 지지 선반(268) 상으로 "스냅결합"되어 퍼지 인터페이스 본체를 적절한 위치에 로킹할 수 있다.
도 14에서, 기판 용기(30)의 내부가 도시된다. 내부에서, 후방 입구(214) 및 장착 기구(254)는 기판 용기(30)의 바닥(40) 내에 있는 상태로 도시된다. 퍼지 인터페이스 본체(90)는 기판 용기(30)에 장착되고, 입구 노즐(142)은 후방 입구(214)를 통해 삽입된 상태로 그리고 용기(30)의 내부 내로 연장된 상태로 도시된다. 도 15에서, 디퓨저 타워(182)가 입구 노즐(142) 상으로 끼워진 상태로 도시된다.
도 16 및 17을 참조하면, 본 개시내용의 실시예에 따른, 기판 용기(30) 및 퍼지 타워 조립체(70)의 일부의 단면도가 도시된다. 도 15에서, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 위에 설명된 바와 같이, 저부 판(38) 상의 외부에 장착된다. 장착 기구(254)는 바닥(40) 내에 위치되어 퍼지 인터페이스 본체(90)를 용기(30)에 고정한다. 입구 노즐(142)은 후방 입구(214)를 통해 용기(30) 내부 내로 진입한다. 퍼지 인터페이스 본체(90)를 통해 기판 용기(30) 내로 진입하는 퍼지 가스의 확산을 위한 디퓨저 부분(182)이 입구 노즐(142) 상으로 끼워지고 그에 따라 입구 노즐(142)의 일부가 디퓨저 부분(182)의 내부 내로 연장한다. 최하부 슬롯(68a) 내에 위치되는, 기판(32b)이 퍼지 타워 조립체(70)를 향해 용기(30) 내에서 후방으로 연장한다. 퍼지 인터페이스 본체(90)가 외부에 장착되기 때문에, 간극(290)이 최하부 기판(32b)과 용기의 바닥(40) 및 장착 기구(254) 사이에서 유지된다.
일부 실시예에서, 예컨대 도 16에 도시된 바와 같이, 기판 용기(30)는 후방 리세스(300)를 바닥(40) 내에 한정한다. 그러한 실시예에서, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 용기(30) 내의 내부에 장착된다. 예를 들어, 퍼지 인터페이스 본체(90)는 리세스(300) 내에 위치될 수 있고 여기서 기부 부분(94)은 외부 유체 공급원으로의 연결을 위해 구멍(304)을 통해 연장한다. 리세스(300)는 퍼지 인터페이스 본체(90)의 최상부 극단부가 기판 용기(30)의 바닥(40)의 높이에 또는 그보다 아래에 있는 크기로 되어 있을 수 있다.
기능적으로, 도 16의 실시예의 리세스(300)는 오프셋 도관(166)의 프로파일을 감소시킨다. 감소된 프로파일 때문에, 오프셋 도관(166)은 용기(30)의 내부에 있더라도, 도 15의 외부 오프셋 도관 배열과 동일한 간극(290) 그리고 엔드 이펙터 조작 및 가스 퍼징과 관련하여 동일한 동작 이익을 제공한다.
도 15 및 16에 또한 도시된 바와 같이, 하나 이상의 실시예에서, 입구 노즐(142)은 위에 설명된 바와 같이, 측방 구멍(178)을 포함한다. 다양한 실시예에서, 입구 노즐(142) 및 측방 구멍(178)은 퍼지 타워 조립체(70)의 디퓨저 부분(182)이 기판 용기의 바닥(40)에서 또는 그 근처에서 작동할 수 있도록 구성된다. 예를 들어, 일부 실시예에서, 측방 구멍(178)은 기판 용기(30)의 바닥(40)과 대응하는 입구 노즐(142) 상의 높이에 위치된다.
동작 시에, 도 15 및 16의 실시예 둘 모두에 대해, 간극(290)은 로봇 엔드 이펙터(도시되지 않음)를 위한 기판(32b) 아래의 이동 공간을 제공하고, 여기서 퍼지 인터페이스 본체(90)의 구성요소로부터의 방해가 거의 또는 전혀 없다. 또한, 바닥 높이에 있는 디퓨저 부분(182)의 기부를 갖는 것은 외부 또는 감소된 프로파일의 오프셋 도관(166)에 의해 제공되는 간극(290)과 조합하여, 퍼지 가스가 바닥 높이에서 기판 용기(30) 내로 진입할 수 있게 하고 그에 따라 퍼지 유동(308)이 최하부 기판(32b) 아래로 유도된다.
본 명세서에 개시되는 추가적인 도면 및 방법의 각각은 별개로, 또는 다른 특징 및 방법과 연계하여 사용되어 개선된 디바이스 그리고 그것을 제조 및 사용하는 방법을 제공할 수 있다. 따라서, 본 명세서에 개시되는 특징 및 방법의 조합이 본 개시내용을 그 가장 넓은 의미로 실시하는 데 필요하지 않을 수 있고, 대신에 대표적인 그리고 양호한 실시예를 구체적으로 설명하기 위해서만 개시된다.
상기 실시예의 다양한 변형이 본 개시내용을 숙독할 때에 본 기술분야의 통상의 기술자에게 명확할 수 있다. 예를 들어, 본 기술분야의 통상의 기술자라면 상이한 실시예에 대해 설명되는 다양한 특징이 다른 특징과 적절하게 조합되거나, 단독으로 조합되지 않거나, 상이한 조합으로 재-조합될 수 있다는 것을 인식할 것이다. 마찬가지로, 위에 설명된 다양한 특징은 모두가 본 개시내용의 범주 또는 사상에 대한 제한보다는 오히려 예시적인 실시예로서 간주되어야 한다.
본 기술분야의 통상의 기술자라면 다양한 실시예가 위에 설명된 임의의 개별적인 실시예로 예시되는 것보다 적은 특징을 포함할 수 있다는 것을 인식할 것이다. 본 명세서에 설명되는 실시예는 다양한 특징이 조합될 수 있는 방식의 한정적인 제공으로서 의도되지 않는다. 따라서, 상기 실시예는 특징의 상호 배타적인 조합이 아니고; 오히려, 청구범위는 본 기술분야의 통상의 기술자에 의해 이해되는 바와 같이, 상이한 개별적인 실시예로부터 선택되는 상이한 개별적인 특징의 조합을 포함할 수 있다.
위의 문서에 포함된 참조 내용은 본 명세서의 명시적인 개시내용에 반하는 특허 대상이 포함되지 않도록 제한된다. 위의 문서에 포함된 참조 내용은 문서 내에 포함된 청구범위가 본 명세서에 참조로 포함되지 않도록 추가로 제한된다. 위의 문서에 포함된 참조 내용은 문서 내에 제공된 한정사항이 본 명세서에 명시적으로 포함되지 않으면 본 명세서에 참조로 포함되지 않도록 추가로 제한된다.
본 명세서에 포함되는 "실시예(들)", "개시내용", "본 개시내용", "본 개시내용의 실시예(들)", "개시된 실시예(들)" 등의 언급은 종래 기술로 인정되지 않는 본 특허 출원의 세부사항(청구범위를 포함하는 본문 그리고 도면)과 관련된다.
청구범위를 해석할 목적을 위해, 35 U.S.C. 112(f)의 조항은 특정 용어 "를 위한 수단" 또는 "를 위한 단계"가 각각의 청구항에 언급되지 않으면 적용되지 않아야 한다는 것이 명시적으로 의도된다.

Claims (22)

  1. 기판 용기를 위한 퍼지 타워 조립체이며,
    기판 용기의 저부 판으로의 장착을 위한 퍼지 인터페이스 본체를 포함하고,
    상기 퍼지 인터페이스 본체는,
    저부 모서리로부터 상부 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 기부 측벽을 갖는 기부 부분으로서, 저부 모서리는 기부 부분의 내부로의 접근을 위한 제1 구멍을 한정하고, 제1 구멍은 제1 축에 동심인, 기부 부분; 및
    기부 부분에 연결되는 상부 부분으로서, 상부 부분은 기부 부분의 상부 모서리 상에 위치되는 상부 측벽을 포함하고, 상부 부분은 기판 용기의 저부 판 내의 입구를 통한 장착을 위해 구성되는 입구 노즐을 포함하고, 입구 노즐은 상부 측벽으로부터 노즐 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 노즐 측벽을 갖고, 노즐 모서리는 입구 노즐의 내부로의 접근을 위한 제2 구멍을 한정하고, 제2 구멍은 제1 축에 실질적으로 평행하고 그 후방으로 위치되는 제2 축에 동심이고, 상부 측벽은 기부 부분과 협력하여 제1 구멍과 입구 노즐 사이에 배치되는 오프셋 도관 부분을 한정하고, 기부 부분 및 입구 노즐은 오프셋 도관 부분을 통해 유체 연통되는, 상부 부분
    을 포함하는, 퍼지 타워 조립체.
  2. 제1항에 있어서, 디퓨저 부분을 추가로 포함하고, 디퓨저 부분은 디퓨저 축을 따라 디퓨저 부분 내로 연장하는 디퓨저 통로를 한정하고, 디퓨저 통로는 기부 부분, 입구 노즐, 및 디퓨저 부분 사이의 유체 연통을 위해 입구 노즐에 동작가능하게 결합되는 디퓨저 부분의 저부 부분에 개구를 한정하는, 퍼지 타워 조립체.
  3. 제2항에 있어서, 노즐 측벽은 노즐 측벽의 외부 표면 상에 형성되는 수나사를 포함하는, 퍼지 타워 조립체.
  4. 제3항에 있어서, 디퓨저 부분은 디퓨저 부분의 내부 표면 상에 형성되는 암나사를 포함하고, 암나사는 디퓨저 부분과 입구 노즐 사이의 동작가능한 결합을 위해 입구 노즐의 수나사와 결합가능한, 퍼지 타워 조립체.
  5. 제2항에 있어서, 디퓨저 부분은 저부 부분에 있는 확장된 부분을 포함하는, 퍼지 타워 조립체.
  6. 제2항에 있어서, 디퓨저 부분은 다공성 디퓨저 측벽을 포함하는, 퍼지 타워 조립체.
  7. 제1항에 있어서, 기부 부분은 외부 유체 공급원과의 유체 연통을 위해 제1 구멍 내에 장착되는 그로밋 및 밸브를 포함하는, 퍼지 타워 조립체.
  8. 제1항에 있어서, 입구 노즐은 바브형 부분 및 테이퍼형 부분을 포함하는 바브형 노즐이고, 바브형 부분은 바브형 노즐의 외경을 한정하고, 테이퍼형 부분은 감소된 외경을 바브형 부분에 인접하여 한정하는, 퍼지 타워 조립체.
  9. 제8항에 있어서, 노즐 측벽은 측방 구멍을 바브형 부분과 테이퍼형 부분 사이에 한정하는, 퍼지 타워 조립체.
  10. 제1항에 있어서, 입구 노즐은 기판 용기의 저부 판에 장착될 때에, 입구 노즐이 대략 기판 용기 내에 수용되는 제1 웨이퍼의 위치까지 상향으로 연장하는 크기로 되어 있는, 퍼지 타워 조립체.
  11. 제1항에 있어서, 상부 측벽은 실질적으로 평면형인, 퍼지 타워 조립체.
  12. 기판을 수용하는 기판 용기이며,
    2개의 대향 측벽, 후방 측벽, 상부 측벽, 및 저부 판을 포함하는 용기 부분으로서, 용기 부분은 기판의 삽입 및 제거를 위해 기판 용기의 전방 부분 내에 개구를 한정하고, 용기 부분은 컨베이어 판 상에 장착되는, 용기 부분;
    용기 부분에 의해 한정되는 개구를 덮어 밀봉하도록 구성되는 도어; 및
    저부 판에 연결되는 퍼지 인터페이스 본체를 포함하고,
    상기 퍼지 인터페이스 본체는,
    저부 모서리로부터 상부 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 기부 측벽을 갖는 기부 부분으로서, 저부 모서리는 기부 부분의 내부로의 접근을 위한 제1 구멍을 한정하고, 제1 구멍은 제1 축에 동심인, 기부 부분;
    기부 부분에 연결되는 상부 부분으로서, 상부 부분은 저부 구멍을 위에서 덮기 위해 기부 부분의 상부 모서리 상에 위치되는 실질적으로 평면형의 상부 측벽을 갖고, 상부 부분은 기판 용기의 저부 판 내의 입구를 통한 장착을 위한 입구 노즐을 포함하고, 입구 노즐은 상부 측벽으로부터 노즐 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 노즐 측벽을 갖고, 노즐 모서리는 입구 노즐의 내부로의 접근을 위한 제2 구멍을 한정하고, 제2 구멍은 제1 축에 실질적으로 평행하고 그 후방으로 위치되는 제2 축에 동심인, 상부 부분; 및
    기부 부분과 입구 노즐 사이에 배치되는 오프셋 도관 부분으로서, 기부 부분 및 입구 노즐은 오프셋 도관 부분을 통해 유체 연통되는, 오프셋 도관 부분
    을 포함하는, 기판 용기.
  13. 제12항에 있어서, 디퓨저 부분을 추가로 포함하고, 디퓨저 부분은 디퓨저 축을 따라 디퓨저 부분 내로 연장하는 디퓨저 통로를 갖고, 디퓨저 통로는 기부 부분, 입구 노즐, 및 디퓨저 부분 사이의 유체 연통을 위해 개구를 입구 노즐에 동작가능하게 결합되는 디퓨저 부분의 저부 부분에 한정하는, 기판 용기.
  14. 제13항에 있어서, 노즐 측벽은 노즐 측벽의 외부 표면 상에 형성되는 수나사를 포함하는, 기판 용기.
  15. 제14항에 있어서, 디퓨저 부분은 디퓨저 부분의 내부 표면 상에 형성되는 암나사를 포함하고, 암나사는 입구 노즐과 디퓨저 부분 사이의 동작가능한 결합을 위해 입구 노즐의 수나사와 결합가능한, 기판 용기.
  16. 제13항에 있어서, 디퓨저 부분은 디퓨저 부분의 저부 부분에 있는 확장된 부분을 포함하는, 기판 용기.
  17. 제12항에 있어서, 기부 부분은 외부 유체 공급원과의 유체 연통을 위해 제1 구멍 내에 장착되는 그로밋 및 밸브를 포함하는, 기판 용기.
  18. 제12항에 있어서, 입구 노즐은 튜브형 노즐 측벽의 바브형 부분 및 테이퍼형 부분을 포함하는 바브형 노즐이고, 바브형 부분은 바브형 노즐의 외경을 한정하고, 테이퍼형 부분은 감소된 외경을 바브형 부분에 인접하여 한정하는, 기판 용기.
  19. 제18항에 있어서, 노즐 측벽은 측방 구멍을 바브형 부분과 테이퍼형 부분 사이에 한정하는, 기판 용기.
  20. 제12항에 있어서, 입구 노즐은, 기판 용기의 저부 판 및 컨베이어 판에 연결될 때에, 입구 노즐이 대략 기판 용기 내에 수용되는 제1 웨이퍼의 위치까지 상향으로 연장하도록, 크기 설정되는, 기판 용기.
  21. 퍼지 타워 조립체를 기판 용기에 조립하는 방법이며,
    퍼지 인터페이스 본체의 입구 노즐을 기판 용기의 저부 판 내의 후방 입구 내로 상향으로 삽입하는 단계로서, 퍼지 인터페이스 본체는 저부 모서리로부터 상부 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 기부 측벽을 갖는 기부 부분을 포함하고, 저부 모서리는 제1 축에 동심인 제1 구멍을 한정하고, 퍼지 인터페이스 본체는 기부 부분의 상부 모서리 상에 위치되고 상부 측벽으로부터 노즐 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 노즐 측벽을 포함하는 입구 노즐을 갖는 상부를 포함하고, 노즐 모서리는 제1 축에 실질적으로 평행하고 그 후방으로 위치되는 제2 축에 동심인 제2 구멍을 한정하고, 상부 측벽 및 기부 부분은 유체 연통을 위해 오프셋 도관 부분을 제1 구멍과 입구 노즐 사이에 한정하는, 단계; 및
    입구 노즐이 후방 입구 내로 삽입될 때에 퍼지 인터페이스 본체를 기판 용기의 저부 판에 고정하는 단계
    를 포함하는, 방법.
  22. 기판 용기이며,
    2개의 대향 측벽, 후방 측벽, 상부 측벽, 및 저부 판을 포함하는 용기 부분으로서, 용기 부분은 기판의 삽입 및 제거를 위한 내부를 한정하고, 내부는 바닥을 갖고 후방 리세스가 바닥 내에 있는, 용기 부분;
    용기 부분에 의해 한정되는 개구를 덮어 밀봉하도록 구성되는 도어; 및
    리세스 내에 장착되는 퍼지 인터페이스 본체를 포함하고,
    상기 퍼지 인터페이스 본체는,
    저부 모서리로부터 상부 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 기부 측벽을 갖는 기부 부분으로서, 저부 모서리는 기부 부분의 내부로의 접근을 위한 제1 구멍을 한정하고, 제1 구멍은 제1 축에 동심인, 기부 부분;
    기부 부분에 연결되는 상부 부분으로서, 상부 부분은 저부 구멍을 위에서 덮기 위해 기부 부분의 상부 모서리 상에 위치되는 실질적으로 평면형의 상부 측벽을 갖고, 상부 부분은 기판 용기의 저부 판 내의 입구를 통한 장착을 위한 입구 노즐을 포함하고, 입구 노즐은 상부 측벽으로부터 노즐 모서리까지 상향으로 연장하는 실질적으로 튜브형의 노즐 측벽을 갖고, 노즐 모서리는 입구 노즐의 내부로의 접근을 위한 제2 구멍을 한정하고, 제2 구멍은 제1 축에 실질적으로 평행하고 그 후방으로 위치되는 제2 축에 동심인, 상부 부분; 및
    기부 부분과 입구 노즐 사이에 배치되는 오프셋 도관 부분으로서, 기부 부분 및 입구 노즐은 오프셋 도관 부분을 통해 유체 연통되는, 오프셋 도관 부분
    을 포함하고,
    상부 측벽은 바닥과 실질적으로 동일 높이에 있는, 기판 용기.
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