JP2007511098A - 底板を有する正面開口基板容器 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 開口正面および該開口正面を密閉的に閉鎖するドアを有する容器部と、複数の調整可能なスペーサを介して容器部に連結する底板とを備える基板容器であって、
該容器部は、
開口内部を連結および画定する一対の対向側壁、底壁、上壁、および背壁と、
該一対の側壁にあるとともに、水平に間隔をおいた配列の複数の基板を支持するために該開口内部内に延びている複数の基板支持体とを備えており、
該底壁は複数の底面開口を有しており、
該底板は複数の板開口を有しており、前記各板開口が前記複数の底面開口の一つと一列に並んでおり、
該底板は、放射状に配置されている複数のキネマティックカップリング溝を有しており、
前記複数の調整可能なスペーサは、前記容器部と前記板との位置決めを調整し、前記複数の底面開口の一つに配置可能な第一部材と、前記複数の板開口の一つに配置可能であるとともに、前記第一部材にねじ式で連結される第二部材とを備える基板容器。 - 前記各第一部材が第一ブッシングである請求項1に記載の容器。
- 前記各第一部材が、前記第一部材を容器部に取り付けるための戻り止めを更に備える請求項2に記載の容器。
- 前記戻り止めと前記容器部との間に配置されるOリングを更に備える請求項3に記載の容器。
- 前記各第二部材が第二ブッシングである請求項2に記載の容器。
- 前記各第二ブッシングが概して環状である請求項6に記載の容器。
- 第二ブッシングと底板との間に配置されるOリングを更に備える請求項5に記載の容器。
- 調整装置を用いることにより容器と底板と間の距離を調整する方法であって、前記容器は、概して軸方向に一列に並んでいる複数の基板を収容しており、前記底板は、放射状に配置されている複数のキネマティック溝を有しており、前記調整装置は、該容器の開口に配置されている第一部材と、該底板の開口に配置されているとともに第一部材にねじ式で連結されている第二部材とを含み、該方法は、該第一部材に対して該第二部材を回転させ、それによって前記容器と前記底板との間の前記距離を調整する工程を含む方法。
- 基板を収容するためのシステムの製造方法であって、該方法は、
内部と底面とを有する容器を形成する工程であって、該内部から複数の支持体が延びており、該底面が複数の底面開口を画定している工程と、
放射状に配置されている複数のキネマティック溝と、複数の開口とを有する板を画定する工程であって、前記各開口が概して前記底面開口の一つと一列に並んでいる工程と、
該底面開口の一つに配置されている第一部材に容器を固定する工程と、
該板開口の一つに配置されているとともに該第一部材にねじ式で連結されている第二部材に該底板を固定する工程とを含む方法。 - 前記第一部材および前記第二部材がブッシングである請求項9に記載の方法。
- 前記第一部材および第二部材の一つが概して環状である請求項10に記載の方法。
- 第一部材と容器との間にOリングを配置する工程を更に含む請求項9に記載の方法。
- 第二部材と容器との間にOリングを配置する工程を更に含む請求項9に記載の方法。
- 内部および開口を有する容器部であって、該開口が該容器部の外部と内部とを流体連通している容器部と、
基板を収容するために該内部に配置されている複数の支持体と、
該容器部により密閉的に収容されるドアと、
該容器部に固定され、放射状に整列している複数のキネマティック溝を有する底板と、
前記容器部開口内に配置されるとともに弁部材を備える弁であって、該弁部材は一対の弁フラップを含み、前記弁部材が開口しているときに前記一対の弁フラップは非接触関係にあり、前記弁部材が閉鎖されるときに前記一対の弁フラップが弁部材の先端で接触関係にある弁とを備える容器。 - 前記弁が、前記フラップの基部近くに配置される環を更に備える請求項14に記載の容器。
- 前記弁が開口しているときに、前記弁を介して容器部に入る空気をろ過するために、位置的に配置されているフィルタを更に備える請求項14に記載の容器。
- 基板を収容するように構成される容器に孔を開ける方法であって、該容器の開口に弁が配置されており、該弁は、それが閉鎖されるときに接触関係にある一対の弁フラップを備えており、該方法は、前記弁フラップを開口し、それによって前記容器に孔を開ける工程を備える方法。
- 基板の容器の製造方法であって、該方法は、
容器を形成する工程であって、該容器が内部、開口、および該基板を支持するための複数の支持体を有する工程と、
該開口に弁を配置する工程であって、前記弁は一対の弁フラップを備えており、前記弁は、前記各弁フラップがそれらの先端で接触関係にあるときに閉鎖されるとともに、前記各弁フラップが非接触関係にあるときに開口している工程とを含む方法。 - 内部を画定する容器と、
該内部から延びるとともに、軸方向に一列に並んでいる複数の基板を収容する複数の支持体と、
該容器を密閉するドアと、
放射状に配置されている複数のキネマティック溝を画定する底板と、
該容器と該底板との中間に固定されている弾性吸収材とを備えるシステム。 - 底板に固定されている容器の減衰方法であって、該容器と該底板との間に弾性吸収材が配置されており、該容器は、内部と、基板を収容する複数の支持体とを有しており、底板は、放射状に配置されている複数のキネマティック溝を画定しており、該方法は、前記底板に機械的衝撃を与え、それによって、前記機械的衝撃が前記容器に到達する前に前記吸収材が前記機械的衝撃の大きさを減衰する工程を含む方法。
- 内部を画定する容器と、
該内部から延びているとともに、軸方向に一列に並んでいる複数の基板を収容する複数の支持体と、
該容器を密閉するドアと、
放射状に配置されている複数のキネマティック溝を画定する底板と、
該容器と該底板との間に配置される複数の調整可能なスペーサとを備えるシステム。
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