KR19980081457A - 합성의 수송 캐리어 - Google Patents

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KR19980081457A
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산지브엠.바트
숀디.에검
웨인시.올슨
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스탠게이어
플루오로웨어,아이엔시
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Abstract

원형의 반도체 웨이퍼 디스크를 그들의 운송, 저장, 및 처리중 보지하여 억누르는 합성 웨이퍼 캐리어이다. 합성 웨이퍼 캐리어는 일반적으로 웨이퍼 디스크를 삽입하며 제거하는 개방 상부 및 저부, H바 따위의 접촉면 부를 가진 직립의 전단 부재, 직립의 후단 부재, 및 전단 부재로부터 상기 후단 부재까지 후향으로 연장하는수직의 측벽 술롯들을가진 한쌍의 측벽 부재를 함유하는 것이다. 상기 부재들 중의 적어도 하나가 따로 따로 성형되어 외부의 체결구없이 협력 교합부들에 의해 웨이퍼 캐리어의 나머지 부재들에 결합된다. 웨이퍼 캐리어는 함께 채워질 수 있다. 후단 부재에 독립된 제 2의 접촉면을, 웨이퍼를 상측을 위로 또는 역으로 캐리어를웨이로 장비와의 접촉면으로의 접촉을 허용하게 마련할 수도 있다.. 따로 형성되는 부재들은 상이한 재료가 사용되게 하기도 하고 예를 들어 상이한 정전 소산 특성을 위해 상이한 구성으로 같은 기본재료를 사용하게 하기도 한다,

Description

합성의 수송 캐리어
본 발명은 집적회로 구성재의 생산에 사용되는 반도체 웨이퍼 디스크의 수송, 저장, 및 처리를 위해 고안된 합성 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.
웨이퍼 디스크의 집적회로 칩에로의 처리는 가끔 다스크들이 각각 처리되고 저장되며 운송되는 몇몇 단계들을 수반한다. 디스크드의 성질과 그들의 극단적 가치로 인해, 이 과정을 통해 그들을 적절하게 보호하는 것이 절대로 필요하다. 웨이퍼 캐리어의 하나의 목적은 이러한 보호를 제공하는 데 있다. 게다가, 웨이퍼 디스크들의 처리가 보편적으로 자동화 돼 있기 때문에, 디스크들은 웨이퍼들의 로벗식 제거와 삽입을 위해 처리장비에 관해 정확히 배치되는 것이 필요하다. 웨이퍼 캐리어의 둘째 목적은 웨이퍼 디스크들을, 운송중 단단히 보지하는 데 있다.
종래의 웨이퍼 캐리어는, H바의 접촉면 부를 가진 전단과, 패널을 가진 후단 및, 슬롯들과 웨이퍼들의 만곡을 따르는 하부의 곡선의 또는 수렴 부들을 가진 측벽을 일반적으로 함유하며, 또 개방의 상부 개방의 저부을 가진, 단일의 성형 부품이다. 이러한 설계는 그들의 가전성(可轉性) 및 제조의 양측에 문제점을 제공한다. 단일 성형 캐리어의 규격을 조정할 필요가 있을 경우, 구 형이나 또는 그의 부분을 전형적으로 변경하거나 버리고 신 형이나 또는 그의 부분을 만든다. 캐리어의 개별의 바뀌지 않은 부분을, 장차의 조립을 위해, 따로 성형하여 비축할 수는 없다.다. 게다가, 큰 용적의 그리고 또 복합의 성형 부품들은 튀틀림이나 또는 타의 구조적 문제들이 생길 가능성을 증대시키며, 따라서 생산품 품질과 일관성에 악영향을 미치는 것이다. 따라서, 단일 성형의 일체식 웨이퍼 캐리어들은 본래부터가 비능률적이다.
웨이퍼 캐리어들에 대한 변경을 필요로 할 수도 있는 규격은 플라스틱의 형식, 장비 접촉면, 정전기 소산 특성, 및 웨이퍼 위치결정과 사이띄기를 포함한다.
본 발명은 따로 따로 성형된 부품들을 합성 H바 웨이퍼 캐리어를 형성하는 데 활용한다. 이런 고안은 당일성형의 H바 캐리어들과 제휴되는 구조와 가전성 문제점들을 감소한다. 첫째, 성형 부품의 체적의 크기를 감소시킴에 의해, 만곡 따위의 구조적 문제점들을 감소시키며, 따라서 웨이퍼 캐리어의 품질과, 정확도, 및 일관성을 증대시키는 것이다. 더구나, 이런 고안은, 웨이퍼 캐리어 전체 보다는 측벽들이나 또는 타의 구성요소들 재설계함에 의하여 각종의 규격들을 간단히 맞게 함으로써 가전성을 증대시킨다. 그 결과, 본 발명은 종전의 단일성형의 고안들보다 훨씬 효율적이다.
본 발명의 일 실시양태는 성형의 웨이퍼 캐리어 프레임에 삽입되는 따로 따로 성형된 웨이퍼 교합 측벽들을 활용하는 H바 웨이퍼 캐리어이다. 웨이퍼 캐리어 프레임은 전단 부재와, 맞은 편의 후단 부재, 및 측면 지지 부재들 또는 전단 부재와 측벽들을 그 위치에 보지하는 고정수단을 제공하는 후단 부재들 간의 사이에 연장하는 걸침 부재들을 가지는 것이다. 측벽들은 각각, 수송 또는 저장 중 캐리어 안에 웨이퍼들 보지하여 억누르는 복수의 슬롯을 가지고 있다. 전단 부재는 웨이퍼 디스크들의 로벗식 삽입과 제거를 위한 정확한 정렬을 보장하게 처리장비와 면접촉하는 H바를 가지고 있다. 게다가, 후단 부재에 제 2 장비 접촉면을 배치할 수도 있다.
본 발명의 특징은 웨이퍼 캐리어 제조 능률을 향상시키는 데 있다. 웨이퍼 캐리어 전체를 설계하여 신 형을 공구로 제조하기 보다는, 측벽들을 고안하여 그들을 만능 웨이퍼 캐리어 프레임에 삽입함에 의하여 웨이퍼 캐리어에 대한 한 규격을 간단히 맞게 할 수가 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 비용과 재료의 낭비를 줄이게 웨이퍼 캐리어 가전성을 실제로 증대시키는 데 있다. 웨이퍼들을 교합하는 캐리어의 부분들에 이상적으로 적합하는, 폴리에테르에테르케톤(PEEK) 따위의, 고가의 물질을 측벽들에 한정할 수 있어 폴리프로필렌(PP), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(PBT), 및 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 따위의 종래의 물질들을 캐리어 프레임에 활용할 수 있다. 마찬가지로, 일단 한 세트의 규격을 중지하였으면 웨이퍼 캐리어 전체를 버리기 보다는 캐리어 골조 형을 대체할 것 없이 측벽들을 신 규격에 맞게 재설계할 수가 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 단일 형으로 제조한 웨이퍼 캐리어들과 제휴되는 만곡과 타의 문제점들을 대단히 감소함에 의하여 캐리어에서 캐리어의 일관된 품질의 더 큰 보장을 제공하는 것이다.
본 발명의 신 측벽 재료와 설계의 시험에 보다 큰 유연성을 제공하는 것이다. 캐리어 전체를 재성형하기 보다는 측벽들을 교환함에 의하여 시험을 간단하게 달성할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 웨이퍼 캐리어들의 구조적 정밀도를 증대 시키는 데 있다. 측벽을 따로 따로 성형함에 의하여, 제조자들은 요구 규격들에 더 정밀하고 일관되게 만족시킬 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징은, 어떤 일정한 실시양태들에 대하여, 웨이퍼 캐리어들의 수선의 보다 큰 용이성을 제공하는 데 있다. 측벽들 또는 타의 부분을 교체함에 의하여 웨이퍼 캐리어를 수선하거나 재건할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 극미의 만곡으로 훨씬 쉽게 성형된다는 점이다. 측벽 삽입 구멍을 요위하는 골격에서 따위의, 캐리어 골격에 약간의 만곡이 있어, 측벽 삽입물에 의해 제공되는 구조의 지지물이 상기 만곡을 바로잡을 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징은 핸들을 추가의 기계 접촉면들이나 프랜지들이 웨이퍼 캐리어의 후단에 부착되어 바뀔 수도 있다는 점이다. 제 2의 대향하는 기계 접촉면으로 웨이퍼 캐리어를 그들의 상측을 위로하거나 또는 뒤집어 웨이퍼들의 검색을 위해 장비에 위치시킬 수 있다.
우선의 실시양태들에 있어서 본 발명의 또 다른 특징과 장점은 조립 웨이퍼 캐리어가 독립적 구성요소들의 접합에 유일한 점 또는 선 접촉을 가진다는 점이다. 게다가, 캐리어들의 조립을 위해 외부의 체결구들을 요하지 않는다.
도 1은 조립한 합성 웨이퍼 캐리어의 사시도이다.
도 2는 그의 제 1 단이 처리장비와 접속된 웨이퍼 캐리어의 정면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 만능 웨이퍼 캐리어 골조의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 또 다른 만능 웨이퍼 캐리어 골조의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 사시도이다.
도 6은 본 발명의 또 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 상부 전면 사시도이다.
도 7은 본 발명의 또 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 저부 전면 사시도이다.
도 8은 본 발명의 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 또 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 상부 후면 사시도이다.
도 10은 본 발명의 또 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 저부 사시도이다.
도 11은 본 발명의 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 사시도이다.
도 12는 본 발명의 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 상부 후면 사시도이다.
도 13은 본 발명의 하나의 우선 실시양태에 따른 측벽의 저부 후면 사시도이다.
도 14는 도 15의 14-14 선의 단면도이다.
도 15는 조립한 합성 웨이퍼 캐리어의 측면도이다.
도 16은 도 17의 16-16 선의 단면도이다.
도 17은 조립한 합성 웨이퍼 캐리어의 측면도이다.
도 18은 본 발명의 하나의 우선 실시양태에 따른, 조립한 합성 웨이퍼 캐리어의 사시도이다.
도 19는 후단 부재의 사시도이다.
도 20은 전단 부재의 사시도이다.
도 21은 측벽의 사이도이다.
도 22는 대안의 골조 사이도이다.
도 23은 추가 실시양태의 사시도이다.
도 24는 도 23의 실시양태의 분해도이다.
도 25는 제 2의 장비 접촉면의 정면도이다.
도 26은 도 27의 플랜지 또는 기계 접촉면의 평면도이다.
도 27은 도 23 및 24의 웨이퍼 캐리어에의 부착에 적당한 플랜지 또는 장비 접촉면의 배면도이다. 그리고
도 28은 도 26의 28-28 선 단면도이다.
도 1 및 2를 참조하면, 원형의 반도체 웨이퍼 디스크 (W)를 운송 및 저장을 위한, 일반적으로 (30)으로 지정된, 합성 웨이퍼 캐리어의 일례를 보이고 있다. 그 장치 (30)은 장비 접촉면 부 (34)를 가진 제 1의 또는 H바의 직립 전단 부재와, 패널 (34)로 구성된 중간 구획을 가진 제 2의 또는 직립의 후단 부재, 및 웨이퍼 (W)를 보지하는 슬롯들 (46)을 가진 측벽들 (40)을 주로 포함하는 몇몇 종래의 용모를 가지고 있다. 슬롯들 (46)은 합성 웨이퍼 캐리어 (30)의 저장, 운송. 및 로벗식 취급중, 웨이퍼 디스크들 (W)를 보지하고 억제하기에 알맞다. 캐리어 (30)은 웨이퍼들을 받아 들이는 개방 상부 (42)와 개방 저부와를 가지고 있다.
도 2는, 처리 장비 (47)과 면접촉한 합성 웨이퍼 캐리어 (30)을 보이고 있다. 웨이퍼 디스크들 (W)는 측벽들 (40)의 제 1 장소 슬롯 (46')와 슬롯 (46')에 삽입된다. 슬롯들의 수 (n), 슬롯 간격 (s), 기준면 (A)에 대한 제 1 장소 슬롯 (46')의 위치 (d), 및 측벽들 (40)의 마지막 슬롯 장소 (46n)은 처리 장비 (47) 및 처리 장비 접촉면 (48)의 요구를 조화시켜야 한다.
도 1 및 2를 다시 참조하면, 웨이퍼 캐리어 (30)은 측벽 삽입물 (41)과 통합하고 있는 만능 캐리어 골조 (60)과, 측벽 삽밉물을 그 골조 (60)에 잠겨져 교합하는, 보통 (62)로 지정된 고정수단 (62)를 함유한다. 보편적 캐리어 골조 (60)은, 예를 들어 일반적으로 사용되며 웨이퍼 캐리어들에 대한 산업울 통해 알려져 있는 폴리프로폴렌의 사출 성형 플라스틱으로 제조된다. 측벽 삽입둘 (41)은, 보편저 캐리어 골조의 창출에 사용되는 것과는 다른 재료로 제조되어도 좋다. 따라서, 합성 웨이퍼 캐리어 (30)은 상이한 제 1의 슬롯 장소들, 슬롯의 수 (n), 및 슬롯 간격 (s)를 필요로하는 각종의 형식을, 적당한 규격에 맞는 적당한 측벽을 간딘히 활용함에 의하여, 조화하게 제조될 수 있다. 각종 조합의 측벽 삽입물, 캐리어 골조 구성물, 및 고정수단 실시양태들을 합성 웨이퍼 캐리어 (30)의 형성에 이용할 수 있다.
도 3을 참조하면, 보편적 캐리어 골조 (60)이 도 1에 보인 완전한 캐리어에 대응하여 나타내 있다. 골조 (60)은 H바 (64)를 가진 전단 부재 (32), 단 판 (38)을 가진 후단 부재 (36), 제 1 및 제 2의 상측 옆 지지체들 (66, 67), 제 1 및 제 2의 하측 옆 지지체들 (68, 69), 개방 상부 (42), 및 개방 저부 (44)를 포함하고 있다. 일반적으로 고정수단 (62)의 (70')로 지정된, 골조 교합 부분들은 스롯처럼 구성돼 있다. H바 (64)는 처리장비를 잇는 데 사용된다. 상측 옆 지지체들 (66, 67)은 전단 (32)의 좌측부 (50) 및 우측부 (51)로부터 후단 (36)의 좌측부 (52) 및 우측부 (53)에 연장하고 있다. 하측 옆 지지체 (68, 69) 역시 전단 (32)의 좌측 및 우측부 (50, 51)로부터 후단 (36)의 좌측 및 우측부 (52, 53)에 연장하고 있다. 이 옆 지지체들 (66, 67, 68, 69)는 전단 부재와 후단 부재 (36) 사이의 거리에 걸쳐 있으며 제 1 및 제 2의 윈도 (73, 73.5)로 형성된 일반적으로 장방형의 닫힌 측벽 삽입 구멍을 구성한다. 도 3의 골조 (60)과 고정 수단 (62)에 상응하는 측벽 삽입물들 (82, 102)는 도 5, 8 및 11에 나타내 있으며 아래에서 상세히 검토된다.
도 14 및 15를 참조하면, 하측 옆 지지체 (68)의 고정 수단 (62)의 상세를 보이고 있다. 골조 교합 부분들 (70')와 고정 수단 (62)의 협력하는 측벽 교합 부분들 (70)는 각기의 골조 (60)과 측벽 삽입물들 (41)을 결합하기 쉽게 복수의 협력 교합부들을 함유한다. 도 15의 단면도인, 도 14는 측벽 교합부 (70)를 협력적으로 교합하는 교합부 (70')의 일부를 보이고 있다. 이 실시양태에서, 고정수단 (62)의 골조 교합부들 (70')와 측벽 교합부들 (70)는 들어맞는 잠금 태브 (75)와, 리세스 (77), 및 각 고정 수단 위치의 각기의 골조와 측벽 교합부들을 잠금식으로 교합할 확실한 기계적 접속을 위한 멈춤쇠 (79)를 함유한다.
도 3 및 8을 참조하면, 도 1의 실시양태의 고정 수단 (62)는 측벽 삽입물들 (82)의 상측 수편 결합 패널들 (81.5)로부터 하향으로 연장하는 복수의 너브 (81)을 포함하고 있다. 이 너브 (81)은 상측 옆 지지체들 (66, 67)의 리세스 (81.7)에 교합한다. 그 리세스들은 상기 옆 지지체들 (66, 67)을 통한 결각(缺刻)들 또는 구멍들이어도 좋다. 이 실시양태에서는 상측 수평의 결합 패널들 (81.5)는 옆 지지체들 위로 연장하고 있는 한편 태브들 (70)는 측벽 삽입물 로크의 하부들로부터 하측 옆 지지체들 (68, 69)의 리세스로 연장하고 있다. 측벽 윈도에의 측벽 삽입물들의 위치결정과 관련한 잠금교합이 강건한 구조를 제공한다.
도 4는 대체 고정 수단 (72')와의 골조 교합부들을 가진 보편적 캐리어 골조 (60)을 보이고 있다. 도 6, 7, 9, 10, 12, 13을 참조하면, 도 4의 골조 (60)에 적합한 측벽 삽입물들의 부분들을 나타내 있다. 그 측벽 삽입물들은 슬롯들 (46), 이들 (96), 상측 부 (84), 하측 곡선부 (86), 상측 지지체들 (92), 하측 지지체들 (94), 및 일반적으로 고정 수단 (62)의 (70)로 지정한 측벽 교합 부재들을 가지고 있다. 측벽 교합 부재들 (70)는 측벽 (82)의 상부 (98)과 저부 (100) 부근에 배치돼 있다.
슬롯들 (46)은 상호에 평행하여 연속하는 기다란 이들 (96) 사이에 형성돼 있다. 측벽의 범위들은 제 1의 옆 이(teeth) (961)와 옆 이 (96n)에 의해 구성돼 있다. 스롯들 (46)에 삽입된 디스크들은 운송, 로벗의 취급, 및 저장 중 안전하게 보지된다. (n)과 슬롯들 (46)의 간격 (s)와 제 1의 위치 슬롯 (461)의 수는 디스크의 형식과 사용되는 처리 장비에 따라서 조정될 수 있다.
기다란 이들 (96)은 상측부 (84)에 수직으로 배치돼 있으며 보통 하측부 (86)에 내향으로 굽어 있다. 하측부 (86)의 한 우선의 실시양태는, 도 5, 8 및 11에 보인 바와 같이, 디스크들의 주위에 적합하게, 빌반적으로 곡선 윤곽이다. 상측 지지체 (92)와 하측 지지체 (94)는 실시양태들에서 와시 슬롯들과 함께 위치에 보지하며 내측 (88)과 외측 (90) 사이에 유체가 통하게 위치돼 있다.
도 5와 도 11은 측벽 삽입물 (41)의 또 다른 실시양태인 측벽 삽입물 (102)의 내측 (88)과 외측 (90)을 각각 보이고 있다. 측벽 삽입물 (102)는 상측 및 하측 지지체들 (92, 94)를 각각 대신하는 단단한 상측 평면 구획 (104)와 단단한 하측 곡선 구획 (108)을 제외하고는, 도 8에 보인 측벽 실시양태 (82)와 동일하다. 상측 평면 구획 (104)와 하측 곡선 구획 (106)은 기다란 이들 (96)를 확고히 하여 와시 슬롯들 을 닫아 내측 (88)과 외측 (90) 사이의 유체 통행을 방해한다.
도 11은 고정 수단 (70)의 측벽 교합부들 (70)가 있는 측벽 (102)를 보이고 있다. 도 12와 도 13은 고정 수단 (72)의 측벽 교합부들 (72)가 있는 측벽 (102)를 보이고 있다.
만능 캐리어 골조의 타의 실시양태들은 보편적 골조 (60)의 동일한 또는 나머지의 상측 지지체들 (66)과 측 지지체들 (68)을 가져도 좋으며 도 24에 보인 따위의 고정 수단 (70 또는 72)를 사용하고 있는 것이다. 측벽들 (82)는 측벽 삽입물 들을 골조에 잠그는 식으로 교합하게 고정 수단에 상응하는 적당한 것을 사용함에 의하여 캐리어 골조에 맞게 구성돼 있다.
또 다른 실시양태의 합성 웨이퍼 캐리어 (116)을 도 20, 19, 및 21에 각각 보인 전단 부재 (118), 후단 부재 (120) 및 측벽 삽입물 (122)에 대응하여 도 18에 보이고 있다. 이 실시양태에서 웨이퍼 캐리어 (116)은 따로 따로 성형된 부품들: H바의 전단 부재 (118); 후 단 (120); 경상 쌍의 측벽 삽입물들 (122),를 가지고 있다. 전단 부재 (118)은 중간의 좌측 전면부 (124)와 우측 전면부 (128)에 위치된 장비 접촉면부 (119)를 가지고 있다. 접촉면부 (119)는 H바 (128)을 함유한다. 후단 부재 (120)은 중간의 좌측 후단부 (132)와 우축 후단부 (134)에 배치된 단 판 (130)을 가지고 있다.
측벽 삽입물 (122)는 전단 부재 (118)과 후단 부재 (120)의 사이에 배치되며 전단 부 (136), 후단 부 (138), 및 도 21에 보인 바와 같은 협력하는 직립 결합 판들 (140)의 추가로 측벽 삽입물들 (41)에 제공된 것들과 같은 모양새를 하고 있다. 도 22는 와시 슬롯들을 차단하여 내측 (88)과 외측 (90) 사이에 유체가 흐르는 것을 방지하는 상측의 견고 평면 구획(104)와 하측의 견고 곡선 구획 (106)을 함유하는, 일 실시양태의 측벽 삽입물 (122)를 보이고 있다. 각 측벽 삽입물 (122)의 전단 부 (136)은 전 단 (118)의 고유의 좌측 전면부 (124)나 우측 전면부 (126)에 접속돼 있다. 각 측벽 삽입물 (122)의 후단 부 (138)은 후 단 (120)의 고유의 좌측 후면부 (132)나 우측 후면부 (134)에 접속돼 있다.
도 18 내지 21의 고정 수단 (62)는 좌측 전면부 (124), 우측 전면부 (126), 좌측 후면부 (132), 우축 후면부 (134), 및 측벽 삽입물들 (122)의 전 및 후면부들에 부착되는 결합 판들 (140)을 활용한다. 도 18을 참조하면, 결합 판들 (140)은 리벳들 (141), 고립 용접물 (142) 너트와 볼트 (143), 또는 유사한 체결수단에 의해 함께 접속될 수 있다. 여기에 사용되는 경우의 고정 수단은 이들과 타의 전통적 체결구들을 포함한다.
도 1, 특히 점선들을 참조하면 측벽들 (40)과 후단 부재 (36)으로 이루어진 보편적 골조를 활용하며 그 골조에 삽입가능한 전단 부재 또는 접촉면부 (34)를 가지고 있는 본 발명의 대체 실시양태가 도시돼 있다. 도 1의 점선 (150)은, 전 단 (32) 또는 접촉면부 (34)와 골조 (152)의 밸런스 간의 적당한 구분을 가리킨다, 이 실시양태에서는 같은 측벽들 유지하면서 각종의 표준 처리 장비 접촉면 (48)을 전 단 (32)에 대한 대체의 따로 따로의 형들의 사용에 의해 간단히 조화시킬 수 있다. 위에 설명한 바와 같은 고정 수단은은 전단 부재 (32) 또는 접촉면부들 (34)를 캐리어 골조에 고정하는 데 사용되어도 좋다.
도 23 내지 28을 참조하면, 본 발명의 추가의 실시양태들을 보이고 있다. 보통 (230)으로 지정된 이 웨이퍼 캐리어는 좌측 전면부 (238)과 우축 전면부 (240)의 전단 부재 (236)으로부터 연장하는 걸침 부재들 (234)의 추가의 생김새를 가지고 있다. 이 웨이퍼 캐리어는 다시 개방 상부 (246), 개방 저부 (248), 전단 부재의 부분으로서의 장비 접촉면 (252)를 가지고 있고, 장비 접촉면과 H바는 좌측 전면부와 우측 전면부 사이에 연장하고 있다. 측 벽들 (260, 262)는, 각각이 상측의 사실상 수직부 (272)와 하측의 집속부 (274)를 가지고 있는 측벽 삽입물들 (268, 270)으로 이루어져 있다. 복수의 수직 슬롯들 (276)이 웨이퍼들을 지지하여 억누르기 위하여 수직으로 하향에 연장하고 있다.
측벽 삽입물들 (268, 270)은 협력 교합부 (284)의 쌍들의 부분으로서 리세스들 (282)내에 교합하는 한쌍의 하향으로 연장하는 태브들 (280)을 각각 가지고 있다. 측벽 삽입물들 (268, 270)은 골조의 슬롯들 또는 리세스들 (290)에 슬라이드하여 교합하는 수직의 직립 태브들 (288)을 또한 가지고 있다. 측벽 삽입물들은 태브 (280)에 보인 바와 같은 고유하게 배치된 멈춤쇠들(292)에 의해 위치에 잠기어질 수 있다.
이 실시양태의 웨이퍼 캐리어는 후단 부재 (302)에 부착시키는 추가의 기계 접촉면 또는 플랜지 (300)을 포함하고 있다. 다시 말해 이 접속은 협력 교합부들 (306)의 쌍들을 거쳐서 이루어진다. 상기 협력 교합부들은 후단 부재 (302) 상의 리세스들 또는 슬롯들 (310)으로 연장하는 태브들 (308) 처럼 구성되어도 좋다. 결각 (316)을 포함하고 있는 스프링 장하의 잠금 태브들 (314)를, 제 2의 장비 접촉면 (300)을 위치에 잠그는 데 활용하여도 좋다. 상기 결각들 (316)은, 제 2의 장비 접촉면 (300) 상의 돌출 구조들 (322)에 의해 형성된 리세스들 (320)에 교합한다.(종사한다)
도 26, 27, 및 28을 참조하면 추가 실시양태의 플랜지 (300)이 핸들 (330)을 포함하여 나타내 있다. 그러한 핸들은 웨이퍼 캐리어의 수동 픽업을 손쉽게 할 수 있거나 로벗의 픽업 핸들로서 더 적당하게 활용될 수 있다.
도 23 내지 28의 실시양태들은 측벽 삽입물들을 네스팅 슬롯들 (334)에 위치되게 하며 상기 삽입으로, 복합적인 걸침 구조로 말미암아 이미 사실상 단단한 캐리어 골조에 대단한 부가적 견고성을 추가한다.
따로 따로 형성된 부재들의 활용은, 각 특유의 독립적으로 형성된 구성요소에 대해 바람직한 때 정전기 소산 특성의 변화수준을 제공함에 변화량의 탄소섬유 충전제의 사용을 허용한다는 점에 주목하기 바란다. 예를 들어, 보다 작은 도전 특성을 가지는 측벽이 웨이퍼의 부근의 정전기 방전의 잠재력을 최소화하는 것에 비해 기계 접촉면은 캐리어 상의 어떠한 충전(charge)을 방전하게 보다 큰 도전 가능성을 가지어도 좋다. 탄소 충전제(filler)는 탄소섬유이어도 좋고, 또는 탄소분말이어도 좋다.
여기에 활용된 협력 교합부들은, 몇몇의 실시양태들에 있어서 외부의 체결구 없이 고정 수단을 제공한다. 이는 조립을 손쉽게 하고 점접촉이나 선접촉에 의하는 것과는 달리 두 면 간의 접촉을 최소하며 조립체가 함께 욱죄어지게 한다. 이러한 독특한 구성은 따라서 조립한 웨이퍼 캐리어를 청결히 하고 건조하게 하는 도전력이 있다.
도면들이 H바 기계 접촉면과 로벗식 핸들을 비록 보이고 있긴 하지만 각을이루어 띄어 있는 셋의 홈을 활용하는 종래의 커플링 따위의 타의 기계 접촉면이나 어떤 다른 적당한 장비 접촉면들도 또한 사용이 가능하다.

Claims (18)

  1. 장비와 교합하고 사실항 수평으로 연장하는 웨이퍼들의 축선을 가진 복수의 축방향 정렬의 원형 웨이퍼를 운반하는 웨이퍼 캐리어로서, 그 정렬된 웨이퍼 캐리어가 개방 상부와 개방 저부를 가지며 또
    직립의 전단 부재가 좌측 전면부, 우측 전면부 및 제 1의 장비 접촉면을 가지고, 제 1의 장비 접촉면은 장비 접촉면이 장비를 덮쳐 눌러 정령 웨이퍼들의 축선을 사실상 수직의 방향에 위치시키게 캐라어룰 회전 시킬 수 있게 구성되고;
    한쌍의 측벽 부재가 전단 부재로부터, 하나는 좌측 전면부로부터 그리고 하나는 우측 전면부로부터 후향으로 연장하고, 각 측벽이 사실상 수직의 상측 부, 하측 집속부, 및 웨이퍼들을 지지하여 억누르기 위해 상측부로부터 하측부로 연장하는 사실상 수직의 복수의 슬롯들을 가지고;
    직립의 후단 부재가 패널을 가지며 두 측벽 중간에 연장하며; 그리고
    적어도 하나의 직립의 전단 부재, 측벽 부재의 쌍, 및 후단 부재가 웨이퍼 캐리어의 조화로부터 갈라져 형성되어 한쌍의 잠금 협력 교합부에 의해 상기 웨이퍼 캐리어 상태로 조립되는,
    구성인 웨이퍼 캐리어.
  2. 제 1 항에 있어서,
    전단 부재의 제 1의 장비 접촉면이 좌측 전면부와 우측 전면부 간에 연장하는 H 바인 웨이퍼 캐리어.
  3. 제 1 항에 있어서,
    측벽 부재들은 측벽 삽입물이고 웨이퍼 캐리어는 전단 부재의 좌측 전면부와 우측 전면부로부터 후단 부재에 연장하는 한쌍의 걸침 부재를 더 함유하여, 각 걸침 부재가 각각의 측벽 삽입물을 따라 연장하는 웨이퍼 캐리어.
  4. 제 3 항에 있어서,
    각 측벽 삽입물이 한쌍의 협력 교합부 중의 하나를 가지고 각 걸침 부재는 각각 나머지의 협력 교합부를 가지어, 협력 교합부의 각 쌍이 외부의 체결구없이 함께 확보가능한 웨이퍼 캐리어.
  5. 제 1 항에 있어서,
    직립의 후단 부재가 제 2의 장비 접촉면을 함유하여 그에 의해 웨이퍼 캐리어가 후향으로 회전될 수 있어서 그 제 2의 장비 접촉면이 장비를 덮쳐 누르는 웨이퍼 캐리어.
  6. 제 1 항에 있어서,
    한쌍의 협력 교합 부재들 중의 하나를 제 2의 기계 접촉면에 가지는 제 2의 기계 접촉면을 더 함유하며 나머지의 협력 교합 부재가 후단 부재 상에 있는 웨이퍼 캐리어.
  7. 제 6 항에 있어서,
    기계 접촉면이 로벗의 들어올림 플래지인 웨이퍼 캐리어.
  8. 제 1 항에 있어서,
    따로 따로 형성되는 부재는 사출 성형되며 플라스틱과 탄소 충전제로 이루어져 있어 그에 의해 정전 소산 특성이 제공되는 웨이퍼 캐리어.
  9. 제 8 항에 있어서,
    따로 따로 형성되는 부재의 정전 소산 특성이 웨이퍼 캐리어의 나머지 부재들 중의 적어도 하나의 정전 소산 특성과는 다른 웨이퍼 캐리어.
  10. 사실상 수평으로 연장하는 웨이퍼들의 축선을 가진 복수의 축방향 정렬의 원형 웨이퍼를 지지하고, 웨이퍼 캐리어가 개방 상부와 개방 저부를 가지며 또
    직립의 전던 부재가 장비 접촉면이 장비를 덮쳐 눌러 웨이퍼들의 축선을 사실상 수직의 방향에 위치시키게 캐라어룰 회전시킬 수 있게 구성된 제 1의 장비 접촉면, 좌측 전면부, 및 우측 전면부를 가지고;
    직립의 후단 부재가 대체되어 직립의 전단 부재에 보통 평행이고;
    한쌍의 걸침 부재가 좌측 전면부와 우측 전면부로부터 후단 부재에 연장하여 전단 부재와, 걸침 부재들 및 후단 부재 모두가 일체로 형성되어 캐리어 골조를 구성하며;
    한쌍의 측벽 삽입물이 걸침 부재 인접에 삽입가능하고 그에 의해 각 측벽 삽입물이 전단 부재로부터, 하나는 좌측 전면부로부터 그리고 하나는 우측 전면부로부터 후향으로 연장하고, 각 측벽이 사실상 수직의 상측 부, 하측 집속부, 및 웨이퍼들을 지지하여 억누르기 위해 상측부로부터 하측부로 연장하는 사실상 수직의 복수의 슬롯들을 가지는,
    구성인 웨이퍼 캐리어.
  11. 장비와 계면으로 접속하고 사실항 수평으로 연장하는 웨이퍼들의 축선을 가진 복수의 축방향 정렬의 원형 웨이퍼를 운반하는 웨이퍼 캐리어로서, 그 웨이퍼 캐리어가 개방 상부와 개방 저부를 가지며,
    직립의 전단 부재가 장비 접촉면이 장비를 덮쳐 눌러 웨이퍼들의 축선을 사실상 수직의 방향에 위치시키게 캐라어를 전향으로 회전시킬 수 있게 구성된 제 1의 장비 접촉면, 좌측 전면부, 및 우측 전면부를 가지고;
    한쌍의 측벽 부재가 전단 부재로부터, 하나는 좌측 전면부로부터 그리고 하나는 우측 전면부로부터 후향으로 연장하고, 각 측벽이 사실상 수직의 상측 부, 하측 집속부, 및 웨이퍼들을 지지하여 억누르기 위해 상측부로부터 하측부로 연장하는 사실상 수직의 복수의 슬롯들을 가지고;
    직립의 후단 부재가 패널을 가지며 두 측벽 중간에 연장하며; 또
    제 2의 기계 접촉면이 웨이퍼 캐리어의 조화로부터 갈라져 형성되어 한쌍의 잠금 협력 교합부에 의해 상기 웨이퍼 캐리어 상태에 조립되는,
    구성인 웨이퍼 캐리어.
  12. 가장자리 부를 가진 원형의 반도체 웨이퍼들을 보지하는 웨이퍼 캐리어로, 그 캐리어가,
    a) 캐리어 골조는
    1) 전단 부재가 좌측 전면부와 우측 전면부 중간의 장비 접촉면을 가지 고, 상기 좌측 및 우측 전면부는 각각 상측 부와 하측 부를 가지며,
    2) 후단 부재가 상기 전단에 대향하고, 상기 후단은 좌측 후면부와 우축 후면부 중간의 패널을 가지고, 상기 좌측 및 우측 후면부들은 상측 부와 하측부를 각각 가지며,
    3) 제 1의 측벽 지지체가 전단과 후단을 가지고, 상기 전단이 상기 우측 전면부에 접속되어 일체로 되고 상기 후단이 상기 좌측 후면부에 접속되 어 일체로 되고,
    4) 제 2의 측벽 지지체가 전단과 후단을 가지고, 상기 전단이 상기 우측 전면 측에 접속되어 일체로 되고 상기 후단이 상기 우측 후면 측에 접속 되어 일체로되어서 전단, 후단, 및 제 1과 제 2의 측벽 짖체들이 일체로된 골조를 형성하는,
    구성이고,
    b) 제 1 및 제 2의 측벽 삽입물들이 상기 캐리어 골조에서 갈라져 형성되어 상기 웨이퍼 가장자리 부들을 억누르는 슬롯들을 가지고, 측벽 삽입물들이 상기 전단과 후단 부재들의 중간에 배치되어, 각 측벽 삽입물이 협력적 교합부들의 쌍을 통해 캐리어 골조와 측벽 삽입물 상에 배치된 각 쌍의 한 교합부와 골조 상에 배치된 그에 협력적이 교합부와로 잠금식으로 교합되며 협력적 교합부들의 상기 쌍들의 각각의 적어도 하나가 리세스로 이루어져 있고 그에 협력적인 교합부가 상기 리세스에 대한 크기로 된 태브로 이루어져 있는,
    구성인 웨이퍼 캐리어.
  13. 가장자리 부를 가진 원형의 반도체 웨이퍼들을 보지하는 웨이퍼 캐리어로, 그 캐리어가,
    a) 캐리어 골조는
    1) 전단 부재가 좌측 전면부와 우측 전면부 중간의 장비 접촉면을 가지 고, 상기 좌측 및 우측 전면부는 각각 상측 부와 하측 부를 가지며;
    2) 후단 부재가 상기 전단 부재에 대향하고, 후단은 좌측 후면부와 우축 후면부를 가지고, 상기 좌측 및 우측 후면부들은 상측 부와 하측부를 각 각 가지며;
    3) 제 1의 상측 측벽 지지체와 제 1의 하측 지지체가 각각 전단과 후단 을 가지고, 상기 전단들이 상기 상측과 하측의 좌측 전면부들에 각각 접 속되고 상기 후단들이 상기 상측과 하측의 좌측 후면부들에 각각 접속되 어, 그에의해 제 1의 측벽 윈도를 형성하며;
    4) 제 2의 상측 측벽 지지체와 제 2의 하측 측벽 지지체가 각각 전단과 후단을 가지고, 상기 전단들이 상기 상측 및 하측의 우측 전면부들을 각 각 접속되고 상기 후단이 상기 상측과 하측의 우측 후면부들에 각각 접 속되어, 그에 의해 제 2의 측벽 윈도를 형성하는,
    구성이고,
    b) 상기 캐리어로부터 갈라져 성형된 제 1 및 제 2의 측벽이 상기 웨이퍼 가장자리들을 억누르기 위한 슬롯들을 가지고, 상기 측벽 삽입물들이 내측과 외측을 가지고, 상기 측벽 삽입물들이 상기 측벽 윈도들 중의 하나에 각각 교합되는,
    구성인 웨이퍼 캐리어.
  14. 제 13 항에 있어서,
    각각의 상기 측벽 윈도 내에 상기 측벽 십입물응 고정하는 수단을 더 함유하는 웨이퍼 캐리어.
  15. 제 14 항에 있어서,
    측벽 삽입물을 고정하는 상기 수단이 상기 각 측벽 삽입물 상의 복수의 협력 물림식 잠금 태브와 상기 물림식 잠금 태브를 삽입하게 골조에 구성된 복수의 협력 리세스를 함유하는 웨이퍼 캐리어.
  16. 제 15 항에 있어서,
    측벽 삽입물을 고정하는 상기 수단이 각각의 측벽 삽입물로부터 연장하는 복수의 너브와 제 1 및 제 2의 상측 측벽 지지체의 각각에 상기 너브들을 받아들이는 복수의 협력 리세스를 더 함유하는 웨이퍼 캐리어.
  17. 가장자리 부를 가진 원형의 반도체 웨이퍼들을 보지하는 웨이퍼 캐리어로, 그 캐리어가
    a) 전단이 좌측 전면부와 우측 전면부 중간에 H바 장비 접촉면 부를 가지 고;
    b) 후단이 상기 전단에 대향하며 좌측 후면부와 우측 후면부 중간의 패널을 가지며;
    c) 제 1 및 제 2의 측벽 삽입물들이 상기 전단 및 후단으로부터 갈라져 따 로 따로 형성되고, 측벽 삽입물들이 전단 부, 후단 부, 웨이퍼들의 원형 가장 자리부들에 상응하는 곡선의 하측 부 및 상기 가장자리부를 억누르는 슬롯들 을 가지어, 측벽 삽입물들이 개방 상부와 개방 저부가 있는 구성의 전단과 후 단 충간에 잠그는 식으로 교합되는,
    구성인 웨이퍼 캐리어.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 웨이퍼 캐리어는 전단 부재들과 후단 부재들 사이에 연장하는 한쌍의 상면 지지체와 전단 부재와 후단 부재 사이에 또한 연장하는 한쌍의 하면 지지체를 도 함유하여, 측면 삽입물들을 받아 들이는 한쌍의 측면 삽입 윈도, 전단, 후단, 및 서로와 일체의 측면 지지체를 구성하는 웨이퍼 캐리어.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100543875B1 (ko) * 1999-05-25 2006-01-23 인티그리스, 인코포레이티드 복합의 기판 캐리어

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6871741B2 (en) * 1998-05-28 2005-03-29 Entegris, Inc. Composite substrate carrier
US6216874B1 (en) * 1998-07-10 2001-04-17 Fluoroware, Inc. Wafer carrier having a low tolerance build-up
DE19845504A1 (de) * 1998-10-02 2000-04-20 Wacker Siltronic Halbleitermat Hordenaufnahmevorrichtung
TW469483B (en) * 1999-04-19 2001-12-21 Applied Materials Inc Method and apparatus for aligning a cassette
US6763281B2 (en) 1999-04-19 2004-07-13 Applied Materials, Inc Apparatus for alignment of automated workpiece handling systems
DE20020387U1 (de) * 2000-12-01 2001-03-01 Sunhing Millennium Ltd Ablageeinrichtung für CD-Kassetten
US6625898B2 (en) 2001-06-13 2003-09-30 Applied Materials, Inc Variable method and apparatus for alignment of automated workpiece handling systems
US6758339B2 (en) * 2001-07-12 2004-07-06 Entegris, Inc. Thin wafer carrier
US6536608B2 (en) * 2001-07-12 2003-03-25 Saint-Gobain Ceramics & Plastics, Inc. Single cast vertical wafer boat with a Y shaped column rack
US6615994B2 (en) * 2001-09-18 2003-09-09 Intel Corporation Wafer boat
DE10149037A1 (de) * 2001-10-05 2003-04-24 Infineon Technologies Ag Waferhorde und Verfahren
KR100481307B1 (ko) * 2001-11-08 2005-04-07 삼성전자주식회사 반도체 제조 설비의 카세트 테이블
US6811029B2 (en) 2001-11-14 2004-11-02 Entegris, Inc. Wafer support attachment for a semi-conductor wafer transport container
US20050236110A1 (en) * 2001-11-27 2005-10-27 Bhatt Sanjiv M Semiconductor component handling device having a performance film
JP3924714B2 (ja) * 2001-12-27 2007-06-06 東京エレクトロン株式会社 ウエハカセット
US7121414B2 (en) * 2001-12-28 2006-10-17 Brooks Automation, Inc. Semiconductor cassette reducer
DE10210271A1 (de) * 2002-03-08 2003-10-02 Infineon Technologies Ag Hordenanordnung, Hordenhalter und Verfahren
JP4118592B2 (ja) * 2002-04-22 2008-07-16 富士通株式会社 ロードポート及び半導体製造装置
US7175026B2 (en) 2002-05-03 2007-02-13 Maxtor Corporation Memory disk shipping container with improved contaminant control
US20040074808A1 (en) * 2002-07-05 2004-04-22 Entegris, Inc. Fire retardant wafer carrier
US7748532B2 (en) * 2002-10-10 2010-07-06 Seagate Technology Llc Cassette for holding disks of different diameters
JP4146718B2 (ja) * 2002-12-27 2008-09-10 ミライアル株式会社 薄板支持容器
US7677394B2 (en) * 2003-01-09 2010-03-16 Brooks Automation, Inc. Wafer shipping container
TWI337160B (en) * 2003-10-09 2011-02-11 Entegris Inc Shipper with tooth design for improved loading
US20060182618A1 (en) * 2004-10-05 2006-08-17 Paul Rich Methods and apparatus for processing the backsides of wafers
WO2006109287A1 (en) * 2005-04-15 2006-10-19 Pressco Limited A carrier device
JP4584023B2 (ja) * 2005-05-17 2010-11-17 信越ポリマー株式会社 基板収納容器及びその製造方法
US20070029268A1 (en) * 2005-08-04 2007-02-08 King Yuan Electronics Co., Lt Wafer cassette used in high temperature baking process
TWI363030B (en) * 2009-07-10 2012-05-01 Gudeng Prec Industral Co Ltd Wafer container with top flange structure
US8813964B2 (en) * 2009-08-26 2014-08-26 Texchem Advanced Products Incorporated Sdn. Bhd. Wafer container with recessed latch
US8109390B2 (en) 2009-08-26 2012-02-07 Texchem Advanced Products Incorporated Sdn Bhd Wafer container with overlapping wall structure
US8556079B2 (en) * 2009-08-26 2013-10-15 Texchem Advanced Products Incorporated Sdn Bhd Wafer container with adjustable inside diameter
KR101150850B1 (ko) * 2010-01-22 2012-06-13 주식회사 엘지실트론 웨이퍼 세정장비용 카세트 지그 및 이를 구비한 카세트 어셈블리
SG184004A1 (en) * 2010-03-11 2012-10-30 Entegris Inc Thin wafer shipper
WO2016046985A1 (ja) * 2014-09-26 2016-03-31 ミライアル株式会社 基板収納容器

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3486631A (en) * 1967-09-29 1969-12-30 John T Shaler Co Basket for polished wafers
US3682083A (en) * 1971-07-19 1972-08-08 Jose R Puente Processing rack for photographic glass plates
US3877134A (en) * 1974-01-02 1975-04-15 Motorola Inc Method of making universal wafer carrier
US3949891A (en) * 1974-07-22 1976-04-13 Micro Glass Inc. Semiconductor wafer transfer device
US4471716A (en) * 1981-01-15 1984-09-18 Fluoroware, Inc. Wafer carrier
US4527222A (en) * 1983-02-24 1985-07-02 Menasha Corporation Precision tote box insert for holding and locating printed circuit boards or the like
JPS59199477A (ja) * 1983-04-25 1984-11-12 住友電気工業株式会社 ウエハ−ボツクス
US4687097A (en) * 1984-12-11 1987-08-18 Empak, Inc. Wafer processing cassette
US5025924A (en) * 1988-11-16 1991-06-25 Toppan Printing Co., Ltd. Container
US5042671A (en) * 1989-09-20 1991-08-27 International Business Machines Corporation Versatile product carrier
US5111936A (en) * 1990-11-30 1992-05-12 Fluoroware Wafer carrier
US5110001A (en) * 1991-03-04 1992-05-05 Micron Technology, Inc. Handle for wafer carrier
US5253755A (en) * 1991-03-20 1993-10-19 Fluoroware, Inc. Cushioned cover for disk container
KR930003300A (ko) * 1991-07-23 1993-02-24 스탠 게이어 다이아몬드가 피복된 캐리어
US5351836A (en) * 1992-07-08 1994-10-04 Daifuku Co., Ltd. Container for plate-like objects
JP2513110B2 (ja) * 1992-09-07 1996-07-03 凸版印刷株式会社 フォトマスク用容器
JPH0662542U (ja) * 1993-01-29 1994-09-02 信越半導体株式会社 ウエーハカセット
US5390972A (en) * 1993-02-03 1995-02-21 Vlsi Technology, Inc. Wafer cassette handle
US5423422A (en) * 1994-03-14 1995-06-13 Empak, Inc. Flat panel display container
JPH0826380A (ja) * 1994-05-10 1996-01-30 Toshio Ishikawa 基板用カセットにおけるサイドレール及び基板用カセット
US5490011A (en) * 1994-06-07 1996-02-06 Northrop Grumman Corporation Modular enclosure assembly
JP3269631B2 (ja) * 1994-07-08 2002-03-25 信越半導体株式会社 半導体結晶収納容器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100543875B1 (ko) * 1999-05-25 2006-01-23 인티그리스, 인코포레이티드 복합의 기판 캐리어

Also Published As

Publication number Publication date
TW439172B (en) 2001-06-07
GB9808105D0 (en) 1998-06-17
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GB2324413B (en) 2002-05-29
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FR2765563B1 (fr) 2005-08-19
MY126575A (en) 2006-10-31
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DE19816834A1 (de) 1999-02-25
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CA2231742A1 (en) 1998-10-16

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