JPH0669675B2 - マスクなどの搬送に使用される把持装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はマスクなどの搬送に使用される把持装置に関す
る。

（従来の技術） マスクの加工工程に於いては化学的・物理的な表面処
理、フォトレジスト塗布及び、現像などのフォトリソグ
ラフ処理などが行われる。

これら処理に於けるマスクの搬送にあってはマスクが機
械的な衝撃に弱く、また不純物を嫌うことから、特別な
注意が必要となる。またマスク搬送はインラインシステ
ムを構成する上で重要な機能であり、製品のクリーン度
とスループットに大きな影響を与えるものとなる。

斯かるマスク搬送に使用される従来の装置としては、例
えばマスクの載置されたベルトを移動させることにより
搬送するようになしたベルト搬送装置とか、或いはマス
クの裏面を真空チャックで吸着保持させた状態で同チャ
ックを移動させることにより搬送するようになした裏面
吸着搬送装置などが知られている。

（発明が解決しようとする課題） 上記した在来のベルト搬送装置にあっては、マスクの移
送時にベルト駆動機構の摩擦部分や回転部分などでダス
トが発生し、これがマスクに付着して歩留りを低下させ
るという弊害が生じるのである。

また裏面吸着搬送装置にあっては、マスクの搬送中に真
空チャックの吸着面とマスク裏面との密着性が不完全と
なってバキュームリークが発生し、これがマスクの局部
温度低下を誘発するものとなって塗膜の均一性を悪化さ
せたり、リーク発生に伴いダストが巻き寄せられてマス
ク上に付着するという弊害が生じるのである。

さらに両装置に共通して言えることであるが、マスク裏
面と接触される材料に如何なるものを選択すべきか或い
は、搬送時のマスクのスリップをどのようにして防止す
るかなどの問題が残されている。

本発明は上記の如き問題点を抑制し或いは全く生じされ
ることのない合理的なマスク搬送を実現させ得る新規な
把持装置を提供すること目的とする。

（問題を解決するための手段） 上記目的を達成するため本発明では、ステージに載置さ
れる被搬送品の一方の対向辺部を両側から挟持するため
の把持手段と、同搬送品の前記対向辺部と直交した対向
辺部を挟持するための別の把持手段が直交した２つのガ
イドレールを備えた支持板（及び該支持板）に固定した
１箇のアクチュエータ６を使用し、アクチュエータはそ
の出力軸端に対しローラ取付板７を固定すると共に、そ
の上下面には夫々れ一対のローラ8a、8b及び9a、9bを設
け、前者のローラ8a、8bは片方の把持手段を構成するた
めの２箇の板部材14a、14bに対称穿設したスリットK1
へ、後者のローラ9a、9bは他方の把持手段を構成するた
めの２箇の板部材16a、16bに穿設したスリット、K2へ夫
々れ嵌入され、各把持手段がロータリアクチュエータ６
の作動で時間差をもってマスクの対向辺を把持されるも
のとしたことを特徴とする。

このさい、ステージには被搬送品の周縁部を支持するた
めの複数の支持ピン（突起又は突条を含む。）を起立さ
せるようになす。

（作用） 二つの対向辺部を両側から挟持する把持手段は何れか一
方が先に作動され、他方が遅れて作動されることから、
マスクなどの被搬送品を垂直軸廻りの回転ずれを生じさ
せない状態で一定位置に正確且つ安定的に把持し得るも
のとなる。

この後、このように把持された被搬送品は本発明装置と
共に移動されることにより搬送されるのであってその途
中では慣性力を受けるが、二つの把持手段はその係止作
用により被搬送品を一定位置に正確に保持し続ける。そ
して搬送が終了すると、他のユニットに被搬送品を受け
渡す時二つの把持手段は被搬送品をそれまで把持してい
た位置に解放するのである。

また支持ピンは被搬送品の周縁部を支持して被搬送品の
有効エリアとステージとの直接接触を生じさせないよう
に機能する。

（実施例） 以下、本発明の具体的な実施例を図面により詳細に説明
する。

第１図は本発明装置の全体図に係り、（ａ）は平面図
（ｂ）はｘ−ｘ部断面図そして（ｃ）はｙ−ｙ部断面
部、第２図（ａ）及び（ｂ）は一部を省略した平面図、
第３図及び第４図は作動説明図である。

図に於いて、１は水平な平板部材で一定箇所にはステー
ジｓが形成される。該ステージｓは平板部材１の周囲で
ある一辺の中央個所から延出させた比較的長い張出部1a
と同辺の両端個所から延出させた比較的短い一対の張打
部1b、1bとからなっており、各張出部1a、1b、1bの先端
にはマスクなどの被搬送品ｍの周縁部を支持するための
支持ピン２・・・が起立させてある。

３及び４は何れも前記平板部材１に固定された側面部材
でこれらの接続位置には支持板５がこれら側面部材３、
４と一体に固定されている。なお5aは該支持板５の中央
個所に設けられた透孔である。

６はロータリ・アクチュエータ（モーターも含む）で前
記支持板５の下面に固定されると共にその出力軸6aは前
記透孔5aを通じて同支持板５の上方へ貫通されてなる。
そして前記出力軸6aの先端には方形状のローラ取付板７
が固定させてあってその上下各面には第２図に示すよう
に各一対のローラ8a及び8bと9a及び9bとが設けてある。

10は前記支持板５の上面に止着されたガイドレール、そ
して11は同支持板５と同体に固定された鉤状部材12の上
面に止着されたガイドレールであり、これら二つのガイ
ドレール10、11は直交した状態になされている。

そして前者ガイドレール10にはこれに嵌合された複数の
摺動部材13・・を介することにより二つの板部材14a、1
4bを各々独立に案内させると共に各板部材14a、14bには
一定形状のスリットk1、k1を設けてこれに前記一対のロ
ーラ8a、8bを内嵌させ、ローラ取付板７が出力軸6a廻り
に揺動変位されることで二つの板部材14a、14bがガイド
レール10に沿って近接・離反されるようになしてある。

また後者ガイドレール11にもこれに嵌合された複数の摺
動部材15・・を介することにより二つの板部材16a、16b
を各々独立に案内させると共に各板部材16a、16bには一
定形状のスリットk2、k2を設けてこれに前記一対のロー
ラ9a、9bを内嵌させ、ローラ取付板７が出力軸6a廻りに
揺動変位されることで二つの板部材16a、16bがガイドレ
ール11に沿って近接・離反されるようになしてある。

しかして前記板部材14aには張出部1aに沿った延長部17
が設けられると共にその先端部上面には把持爪c1が設け
られており、また他方の板部材14bにはその各側部に延
長部18a、18bが設けられると共にこれらの各先端は前記
各張出部1b、1bの上面側に位置するようになされるほ
か、各部18a、18bの先端には把持爪c2、c2が固定されて
いる。なお、18cは板部材14bに固定された補強部材であ
る。

また、別の二つの板部材16a、16bにはガイドレール11に
沿って互いに異なる側方へ向かう張出部19a、19bが設け
られると共にこれら双方をさらに前記張出部1b、1bに沿
って延長させるための延長部20a、20bが設けられ、且つ
これら各先端の上面には把持爪c3、c3が設けられてい
る。

なお、上記把持爪c1、c2、c3による把持力が図示しない
スプリングなどの弾力を調整することにより適宜に変化
させ被搬送品の周縁部の破損を防止することが好まし
い。

このように構成した本発明品は例えば往復揺動される移
送アームに固定するか或いはモーターでプーリーを回す
ことで変位自在に案内される無端状のタイミングベルト
で固定するなどして使用する。

次に本発明装置の作用をマスクの搬送について説明す
る。マスクｍは既存の適宜な移載装置により一定位置に
一時停止された本発明装置のステージｓ上に移載され
る。このように移載されたマスクｍはその周縁部を複数
の支持ピン２・・・で水平に支持されるものとなる。こ
のさい、支持ピン２・・・が一般にはマスクｍの有効エ
リア外の位置を支持するものとなされていることからマ
スクｍの有効エリア内を傷つけるようなことは生じな
い。

この後ロータリ・アクチュエータ６が作動を開始される
のであり、これにより出力軸6a、ローラ取付板７及びロ
ーラ8a、8b、9a、9bが第３図に示される矢印方向f1へ回
転変位されるものとなる。

そしてローラ8a、8b、9a、9bなどが第２図に示される初
期位置から第３図に示される中間位置、即ち出力軸6a廻
りに45度回転変位されるまでの第一段階では、二つの板
部材14a、14bはスリットk1、k1がローラ8a、8bの移動軌
跡と合致されているため全く変位しないのであり、また
他方の板部材16a、16bは各スリットk2、k2がローラ9a、
9bの移動軌跡よりも外側へ漸次外れたものとなされてい
るためローラの回転変位に伴って徐々に両方向より近接
され、各板部材16a、16bと同体の一対の把持爪c3、c3は
マスクｍの一方の対向辺部をマスクｍの変位ずれを修正
しながら挟持するものとなる。

次いでローラ8a、8b、9a、9bなどが第３図に示される位
置から第４図に示される最終位置、即ち出力軸6a廻りに
さらに45度矢印方向f2へ回転変位されるまでの第二段階
では、一方の二つの板部14a、14bの各スリットk1、k1が
ローラ8a、8bの移動軌跡よりも外側へ漸次外れたものと
なされているためローラ8a、8bの回転変位に伴ってこれ
ら板部材14a、14bは徐々に両方向より近接され、各板部
材14a、14bと同体の一対の把持爪c1、c2はマスクｍの他
方の対向辺部を出来るだけマスクｍの変位ずれを修正し
ながら挟持するものとなり、また他方の板部材16a、16b
の各スリットk2、k2はローラ9a、9bの移動軌跡に合致し
たものとなされているため一対の把持爪c3、c3はマスク
ｍの把持状態を維持したまま全く変位しないのである。

かくしてマスクｍはその四辺部を把持爪c1、c2などから
なる把持手段H1と他の把持爪c3、c3などからなる把持手
段H2とで挟持された状態となる。

このさい各把持手段H1、H2が時間差をもってマスクｍを
挟持するものとなるため、マスクｍは全辺を同時に挟持
されたさいに発生していた垂直軸廻りの回転ずれの生じ
ない状態で一定位置に正確に把持されるもととなるので
ある。

このようにマスクｍが把持されると、本発明装置の全体
は適宜な移送アームやタイミングベルトなどを介して他
所へ移動されるのであるが、このさいマスクｍに慣性力
などが作用するものとなってもマスクｍは二つの把持手
段H1、H2でしっかりと把持されているためのその位置ず
れが発生する虞は全くない。

しかして本発明装置が移動を終えステーシｓを水平姿勢
となされて一定位置に停止されると、前述したマスクｍ
の把持の場合とは逆の順序で各部が作動され、各把持手
段H1、H2はマスクｍをそれまで把持していた位置に解放
するものとなる。

こうして搬送されたマスクｍは適宜な移載装置などによ
り所要の場所、例えばキャリアなどへ移される。このさ
い、マスクｍはステージｓ上の一定位置に解放されてい
ることから、アライメント装置によるその位置修正を行
わないでも直接にキャリアに挿入させることが可能とな
る。

（発明の効果） 上記した本発明によれば、１箇のアクチュエーターを使
用した簡単で経済的な構成でベルト搬送装置や裏面吸着
搬送装置に於いて必要であったベルトやバキュームを必
要としないでマスクの搬送が行えるものとなり、したが
ってベルトやバキュームなどに関連して生じていた従来
の問題は軽減されるか或いは全く生じないものとなるの
である。

また、運転効率に優れ、且つマスクは垂直軸廻りの回転
ずれを伴うことなく一定位置に正確且つ安定的に把持さ
れるようになるため搬送後に於けるアライメント装置に
よるその位置修正は必要ないものとなり、例えば搬送を
終えたマスクを位置修正することなくキャリアなどに直
接に挿入できるのである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の全体図に係り、（ａ）は平面図
（ｂ）はｘ−ｘ部断面図そして（ｃ）はｙ−ｙ部断面
図、第２図（ａ）及び（ｂ）は一部を省略した平面図、
第３図（ａ）及び（ｂ）そして第４図（ａ）及び（ｂ）
は何れも一部を省略した作動説明図である。 H1及びH2……把持手段、ｍ……被搬送品、ｓ……ステー
ジ、２……支持ピン。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−209892（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−272482（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−7292（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−137490（ＪＰ，Ｕ) 実開 平３−68794（ＪＰ，Ｕ)

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ステージに載置される被搬送品の一方の対
   向辺部を挟持するための把持手段と、同搬送品の前記対
   向辺部と直交した対向辺部を挟持するための別の把持手
   段が直交した２つのガイドレールを備えた支持板（及び
   該支持板）に固定した１箇のアクチュエータ６を使用
   し、アクチュエータはその出力軸端に対しローラ取付板
   ７を固定すると共に、その上下面には夫々れ一対のロー
   ラ8a、8b及び9a、9bを設け、前者のローラ8a、8bは片方
   の把持手段を構成するための２箇の板部材14a、14bに対
   称穿設したスリットK1へ、後者のローラ9a、9bは他方の
   把持手段を構成するために２箇の板部材16a、16bに穿設
   したスリット、K2へ夫々れ嵌入させ、各把持手段がロー
   タリアクチュエータ６の作動で時間差をもってマスクの
   対向辺を把持されるものとしたことを特徴とするマスク
   などの搬送に使用される把持装置。
2. 【請求項２】ステージには複数の支持ピンが起立させて
   あり、被搬送品はこれらピンによりその周縁部を支持さ
   れることを特徴とする請求項１記載のマスクなどの搬送
   に使用される把持装置。