JPS60150982A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 未発明は、基板搬送装置に係り、特にアームの回動によ
り基板を搬送するのに好適な基板搬送装置に関するもの
である。

〔発明の背景〕

従来のアームの回動によＩ）基板を搬送する基板搬送装
置例を第１図により説明する。

第１図で、基板搬送装置はアーム１０と、一端を中心と
してアーム】０を部分回動させる回動手段、例えば、モ
ータ１１とアーＬ、　１０の他端部に設げらｎた平面形
状がＵ字形の基板すくい具１２とで構成されている。又
、基板すくい具１２の回動軌跡上には、基板す（い具１
２との間で基板（図示省略）の受渡しを行う基板受渡装
置の基板テーブル２０ａ、２０ｂが所定間隔で設けられ
ている。

伊１えば、基板テーブル２０ａには、公知の搬送手段（
図示省略）で搬送さ第１てきた基板が渡される。

このとき基板すくい具毘は、公知の搬送手段から基板テ
ーブルＺＯａへの基板の濃しを阻害しないように、基板
テーブル２０ａ、２Ｏｂ間の回動軌跡外に退避させられ
ている。基板テーブル２０ａに受けとられた基板ＩＪ、
基板すくい具１２を基板テーブル２０ａに対応する位置
まで時計回り方向に回転させることで、１７：枦す々い
具１２に渡される。その後、基板すくい具１２に受け取
られた基板は、基板ず（い具νを更に時計回り方向に回
転させることで基板テーブル２０　ｂ側へ搬送され、そ
の後、基板ず（い具１２から基板テーブル２０ｂに渡さ
れる。又、基板テーブル２０ａへの基板の搬送は、基板
テーブル２０ｂから基板を受け取った基板すくい具１２
を反時計回ｌ）方向に回転させることで行われ、基板す
くい共犯から基板テーブル２０への基板の受渡しは、基
板を受け増った基板すくい具１２を、一旦、基板テーブ
ル２０　ａを通過して反時計回Ｉ）方向に回転させた後
に、基板テーブル２０ａに対応する位置まで時計回り方
向に回転させることで行われる。

このような基鈑搬送装置では、次のような欠点があった
。

（１）基板のせ具を基鈑テーブルと退避位置とに対応し
て停止させる必要があるため、アームの回動制御が複雑
化する。

（２）基板のせ具を基板チーフル間の回動軌跡外に退避
させる必要があるため、基板のせ具の回動スペースが増
大する。

（３）　モータと基板受渡装置との間のインターロック
が複雑となり、安全性と操作性の両立が困難になる。

〔発明の目的〕

未発明の目的は、基板のせ具を基板テーブルのみに対応
して停止させるようにしたことで、アームの回動制御を
簡略化できる基極搬送装置を提供することにある。

〔発明の櫃要〕

未発明は、アームと、一端を中心として該アームを部分
回動させる回動手段と、平面形状がＵ字形でアームの他
端部に回動自在に設けられ基板受渡装置の基板テーブル
との間で基板の受渡しを行う基板す（い具と、回動手段
によるアームの回動に連動して基板ず（い具を部分回動
させる基板すくい具回動手段とで構成したことを特徴と
するもので、基板のせ具を基板テーブルのみに対応して
停止させるようにしたものである。

〔発明の実施例〕

本発明の一実施例を第２図、第３図により説明する。

第２図、第３図で、基板搬送装置はアーム１０と、一端
を中心としてアーム１０を回動させる回動手段、例えば
、モータ１１と、平面形状がＵ字形でアーム１０の他端
部に回動自在に設けられた基板すくい具１２′と、モー
タ１１によるアーム１０の回動に連刑１して基板すくい
具Ｖ′を部分回動させる基板すくい具回動手段りとで構
成されている。基板すくい具回動手段３０は、アーム１
０の一端面に対応し、この場合、アーム１０の下方に固
定されアーム１０の回動中心を中心とする円弧形のラッ
ク３１と、ラック３１と噛合すると共にアーム１０に回
動自在に設けられたピニオン３２と、ピニオン３２の回
動に連動して設けらしたプーリ３３と、基板す失い具１
２′の回動に連動して設けらした他のプーリ３４と、プ
ーリ３３と他のプーリ３４とに無端に巻掛けられたベル
ト３５とで構成されている。又、基板すくい具稔′の回
動軌跡上には基板す（い具１２′との間で基板側の受渡
しを行う基板受渡装置の基板テーブル２０ａ、２０ｂが
所定間隔で設けられている。

伊１えば、基板テーブル２０ａには、公知の搬送手段（
図示省略）で搬送されてきた基板側が渡される。このと
き、基板すくい具１２′は、基板テーブル２０ｂと対応
する位置にある。そこで、アーム１０はモータ１１で矢
印Ａ方向に回転させられ、これによ１）基板すくい具１
２′は基板テーブル２０ａと対応する位置まで移動させ
られる。この移動の間に、基板すくい具１２′は、ラン
ク３１によるピニオン３２．ピニオン３２によるプーリ
３３．プーリ３３によるベルト３５゜ベルト３５による
他のプーリ３４のそれぞれの駆動によＩ）矢印Ｂ方向に
回転、即ち、基板すくい具１２′の開放部が基板テーブ
ル２０　ａに対応するように回転させられる。基板テー
ブル２０ａから基板す４い具１２′への基板側の受渡し
が完了した後に、アーム１０はモータ１１で矢印Ｃ方向
に回転させらｎ、これ暑こより基板４０を受取った基板
すくい具１２′は、基板テーブル２０ａと対応する位置
まで移動させられる。

この移動の間に、基板４０を受取った基板す（い具１ｚ
はラック３１によるピニオン３２．ピニオン３２による
プーリ３３．プーリ３３によるベルト３５．ベルト３５
による他のプーリ３４のそれぞれの駆動により矢印り方
向に回転、即ち、基板すくい具１２′の開放部が基板テ
ーブル２０ｂに対応するように回転させらｎる。その後
、基板４０は、基板すくい具１２′から基板テーブル２
０ｂに渡されて、その搬送が完了する。

本実施例のような基板搬送装置では、次のような効果が
得らｎる。

（］、１　基板すくい具を基板テーブルのみに対応して
停止させることができるため、アームの回動制御を簡略
化できる。

（２１基板すくい具を基板テーブル間の回動軌跡外に退
避させる必要がないため、基板のせ具の回動スペースを
狭小化できる。

（３）　モータと基板受渡装置との間のインターロック
が簡単にな【」、安全性と操作性との両立が容易となる
。

尚、未実施例では、基板のせ具をベルト駆動しているが
、この他にチェーン駆動、歯車部Ｗ１を用いても良い。

〔発明の効果〕

本発明は、以上説明したように、アームと、一端を中心
として該アームを部分回動させる回動手段と、平面形状
がＵ字形でアームの他端部に回動自在に設けられ、基板
受渡装置の基板テーブルとの間で基板の受渡しを行う基
板すくい具と、回動手段によるアームの回動に連動して
基板すくい具を部分回動させる基板す（い具回動手段と
で構成したことで、基板すくい具を基板テーブルのみに
対応して停止させることができるので、アームの回動制
御を簡略化できるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、従来の基板搬送装置の平面構成図、第２図は
本発明による基板搬送装置の一実施例を示す平面構成図
、第３図は第２図のイーイ視図である。 １０・・・・・アーム、１１・・・・・モータ、１２′
・・・・・・基板す（い具、２Ｑａ、２０ｂ・・基板テ
ーブル、３０・・・・・・基板４′１図 才２ｍ 才３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １　アームと、一端を中心として該アームを部分回動さ
   せる回動手段と、平面形状がＵ字形で前記アームの他端
   部に回動自在に設けられ基板受渡装置の基板テーブルと
   の間で基板の受渡しを行う基板す（い具と、前記回動手
   段による前記アームの回動に連動して前記基板すくい具
   を部分回動させる基板すくい具回動手段とで構成したこ
   とを特徴とする基板搬送装置。 ２　前記基板す（い具回動手段を、前記アームの一端面
   に対応して固設さね該アームの回動中心を中心とする円
   弧形のラックと、該ラックと噛合すると共にアームに回
   動自在に設けられたビニオンと、該ピニオンの回動に連
   動して設けられたプーリと、ｎｒＩ記基板基板い具の回
   動に連動して設けられた他のプーリと、該他のプーリと
   プーリとに無端に差掛けらｎたベルトとで構成した特許
   請求の範囲第１項記戦の基板搬送装置。