JPS6127759A - 移載装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は真空中で部品の表面に処理を施す装置の中に組
込まれる部品の移載装置に関するものである。

従来例の構成とその問題点 従来の移載装置は第１図にその具体構成を示すれた処理
手段６と、部品７をとシつけて真空室間を搬送する搬送
パレット８と、前記搬送パレットを支持案内して直線的
に搬送する駆動ローラー９からなる搬送手段から構成さ
れ、その動作としては、真空室３内にある搬送パレット
８上にある部品７は真空室３と４が同真空度になった後
にゲートバルブ１が開き真空室３と４の中にある駆動ロ
ーラーが回転して真空室３内の搬送パレット８が部品７
をのせて移動し真空室４の中に入り定位置で停止しゲー
トバルブ１は閉じる。真空室４内に設けられた処理手段
６によって部品７に処理が施され、処理を終った後にゲ
ートバルブ２が開かれ次の真空室６へと送られていく。

しかしながら上記のような構成では搬送パレット上に部
品がのったまま処理されるため処理の粉末や処理剤が搬
送パレットに付着してしまい清掃が毎回必要となシ連続
自動化の大きな障害となっている。また搬送パレットの
返送手段が必要でしかもパレット数が多数必要となり設
備が大型化。

複雑化するという欠点を有していた。さらに処理室内に
はローラー等の機構部が設けられ部品へのゴミ等の付着
が発生していた。

発明の目的 本発明は上記欠点に鑑み、部品をのせて工程間を循環す
る搬送パレット等の搬送手段を使わずに、工程中の定位
置に設けられた移載装置により真空室間を受け渡してい
くことにより従来の問題点であった搬送パレットの清掃
等による連続自動化への障害や、パレット方式による設
備の大型複雑化、さらには清浄度を必要とする部品に対
するゴミ付着の問題を同時に解決することを目的とする
ものである。

発明の構成 本発明の移載装置は、前室および後室にそれぞれ直線移
動可能に支持されたリニアーモーターのステータと、上
記ステータ上に支持案内されて直室間を移載装置で直接
送シ、部品を処理室の定位置に置いた後は移載装置は完
全に処理室から逃げて前室へもどっているため、部品に
処理を施す際には処理室内には搬送駆動系や搬送治具関
係が全くなく、周辺への処理剤や粉末の付着後に落下し
て部品の清浄度をそこなうことがなく、また処理室内の
清掃がほとんど必要でなくなシ連続自動化に対して大き
な効果を発揮する。

また部品のコ寵等に対する品質の維持、さらに設備の小
型単純化がはかられるという特有の効果を有する。

実施例の説明 以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。

第２図は本発明の実施例における移載装置の平面図、第
３図は同正面図を示すものである。

第２図、第３図において１０，１１．１２はそれぞれ真
空室であり、特に真空室１２は前室の部品１３が搬送さ
れてきた１３′に処理装置１４によって処理を施すだめ
の処理室でもある。１５゜１６．１７．１８はそれぞれ
の真空室間を仕切る可動のゲートバルブである。１９は
部品１３を上にのせて運ぶリニアーモーターの可動台車
で部品の中央の穴に位置決めされている。２ｏはＩＪ　
ニア−モーターの軌道で上に前記可動台車１９をのせて
前後に移動させると同時にリニアーモーターの軌道その
ものが側面及び下面を数個の回転自在なローラー２１．
２２に案内されて、−側面に駆動の２個のピニオン２３
．２４と噛み合うラックによって駆動が伝達されて隣接
する真空室内へ移動する。前記２個のピニオンは真空室
の外側に設けられた一個のモーター２５より、プーリー
２６゜伝導ベルト２７を介して回転駆動が伝達される。

２８．２９はそれぞれ隣接する真空室内に設けられて、
リニアーモーターの軌道が移動してきたときに案内とな
る回転自在なローラーである。３０゜３１はリニアーモ
ーターの可動台車上にのっだ部品を持ち上げるだめの持
上げアーム、３２　、３３はそれぞれ前記持上げアーム
と連結し、昇降動作を与えるシリンダーである。３４は
部品の保持手段、３５は一連の駆動手段である。

以上のように構成された移載装置について、以下その動
作を説明する。

まず、真空室１ｏの前室（図示せず）間の仕切りのゲー
トパル・ブが開の状態で部品が本発明の移載装置と同一
の装置が前室から真空室１ｏ内に部品を保持したまま移
動して持上げアーム３ｏで部品を持上げ保持した後、移
載装置は前室へ戻シゲートバルプ１６が閉じる。次に真
空室１ｏ内の真空度が次の真空室１１の真空度まで上が
るとゲートバルブ１６が開き、真空室１１内にあったり
ニア−モーターの可動台車１９及びリニアーモーターの
軌道２ｏのうち、まず可動台車が軌道の所定の位置まで
左の方に移動し、次に軌道そのものがピニオンとラック
から駆動が伝達されて真空室１０内まで移動し可動台車
が部品の真下まできた際に、シリンダー３２の駆動で持
上げアーム３０が下降して部品が可動台車の上にのり、
次にリニアーモーターの軌道が同じくピニオンとラック
から駆動が伝達されて前回とは逆方向の右方向に移動し
、次に可動台車も所定の位置まで移動し全てが真空室１
１内には入るとゲートバルブ１６は閉じる。

次に真空室１１の真空度が次の真空室１２の真空度と同
一になるまで上げて到達した時にゲートバルブ１７が開
き真空室１１内のりニ゛アーモーターの可動台車が軌道
上の所定の位置まで右に移動した後に軌道そのものが前
回と同様にビニオンとラックの駆動で右の方へ移動し真
空室１２内に入シ、シリンダー３３で駆動されて上昇す
る持上げアーム３１に保持される。つづいて可動台車及
び軌道が元の真空室１１内に戻りゲートバルブ１７が閉
じて、処理装置１４によって部品１３′に処理が施され
る。処理が終った部品は次の真空室（図示せず）にある
移載装置によって前回と同様の動作で移載されていく。

発明の効果 以上のように本発明では、中間基に有する駆動手段によ
って前室および後室に直進移動可能に支持されたリニア
ーモーターのステーターと、ステーター上に支持案内さ
れて前後に直線移動が可能り、部品をのせて工程間を循
環する搬送パレット等の搬送手段を使わずに直接部品を
工程中の定位置に設けられた移載装置により真空間を受
け渡していくことにより従来問題であった搬送パレット
の清掃等の必要性で連続自動化が阻害される点が解決で
き、またパレットを使わないだめの設備の小型、単純化
が計られ、さらには清浄度を必要とする部品のゴミ付着
の問題を同時に解決することができ、その実用的効果は
大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の移載装置の正面断面図、第２図は本発明
の一実施例における移載装置の平面図、第３図は同正面
図である。 １０．１１．１２・・・・・・真空室、１６．１７・・
・用ゲートバルブ、１３・・・・・・部品、２ｏ・・・
・・・リニアーモーターのステーター、１９・・・・・
・可動台車、３４・・・・・・保持手段、３５・・・・
・・駆動手段、３１・・・・・・受け渡し手段。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 開閉可能なゲートバルブによって仕切られた真空室から
   真空室へ部品を移載する装置であって、中間室から前室
   へ、また中間室から後室へそれぞれ直線移動可能に支持
   されたリニアーモーターのステータと、前記中間室にあ
   って前記ステータに取付けられたラックと噛合うピニオ
   ンによってステータを直線移動させる駆動手段と、前記
   ステータ上に支持案内されて前後に移動可能なリニアー
   モーターの可動台車と、前記可動台車上に取付けられた
   移載部品の保持手段と、移動限にあって部品を可動台車
   上の保持手段から受け取る受け渡し手段とを備えた移載
   装置。