JPS6112512A - 反転装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、反転技術、特に、物品を裏返す技術に関し、
例えば、半導体装置の製造において、半導体装置（以下
、ＩＣという。）を反転するのに使用して有効な技術に
関する。

〔背景技術〕

半導体装置の製造において、ＩＣのパッケージを形成し
た後、特性試験等において電気的接続の必要上ＩＣを裏
返しにすることがあるが、このような場合、ＩＣの裏返
しを手作業により行うと、作業時間を要するため、生産
性が低下するという問題点があることが、本発明者によ
り明らかにされた。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、物品の反転を自動的に行うことができ
る反転装置を提供することにある。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。

すなわち、キャリアに載せられた物品を保持して１８０
度移動させ、他のキャリアに移載することにより、手作
業を使用せずに物品を反転するようにしたものである。

〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例である反転装置を示す斜視図
、第２図はその作用を説明するための概略斜視図、第３
図はＩＣを示す平面図、第４図はその一部切断正面図、
第５図はキャリアを示す平面図、第６図は主要部を示す
一部省略正面図、第７図、第８図はその作用を説明する
ための各一部省略正面図である。

本実施例において、この反転装置は、被反転物品として
のＩＣを載せたキャリアをマガジンから取り出して反転
部２に払い出ずローダ部１と、反転部２で反転されたＩ
Ｃを載せられたキャリアを受は取ってマガジンに戻すア
ンローダ部３とを備えている。

第３図、第４図に示されているように、被反転物品とし
てのＩＣ４はパッケージ５を備えており、パッケージ５
はその上面にヒートシンク６を突設されている。パッケ
ージ５はリードフレーム７上に封止用ガラス８を介して
固着されており、リードフレーム７の四隅には位置決め
用の小孔９がそれぞれ穿設されている。

第５図に示されているように、キャリア１０は略長方形
の板体に形成されており、保持部としての逃げ孔１１が
複数個、長手方向に等間隔に整列されて開設されている
。各逃げ孔１１の幅方向側の両脇には、キャリア自身の
搬送用小孔１２がそれぞれ穿設されており、小孔１２の
４５度離間した位置には位置決め用のピン１３が一対、
ＩＣ４の小孔９を嵌太し得るようにそれぞれ穿設されて
いる。

半導体装置の製造において、ＩＣ４はキャリア１０上に
ヒートシンク６を上向きにして各逃げ孔１１の位置に載
せられ、各位置決め小孔９を各ピン１３に嵌合すること
により位置決めされて保持される。以下、このようにＩ
Ｃ４を上向きに保持しているキャリア１０を実キャリア
１０ａといい、ＩＣ４を反転されて下向きに保持してい
るキャリア１０を反転済みキャリア１０ｂ、ＩＣ４を保
持していないキャリア１０を空キャリア１０ｃという。

キャリア１０はマガジンに複数枚、水平に棚板状に並べ
られて収容されるようになっている。以下、実キャリア
１０ａを収容したマガジンを実マガジン１４ａ、反転済
みキャリアＪｏｂを収容したマガジンを反転済みマガジ
ン１４ｂ、ＩＣ４を保持していない空キャリア１０ｃを
収容したマガジンを空マガジン１４ｃという。

ローダ部ｌには実マガジン１４ａが順次供給されるよう
になっており、ローダ部１は実マガジン１４ａから実キ
ャリア１０ａを反転部２に一枚宛払い出して行き、ＩＣ
４の払出しが終了した空マガジン１４ｃをアンローダ部
３側に送り出して行くように構成されている。

アンローダ部３には空マガジン１４ｃが順次供給される
ようになっており、アンローダ部３は空マガジン１４Ｃ
がら空キャリアＩＯＣを反転部２に供給してＩＣ４を反
転されて受は取った反転済みキャリア１０ｂを元の空マ
ガジン１４ｅに回収し、全て反転が終了した反転済みマ
ガジン１４ｂを次工程へと送り出して行くように構成さ
れてい反転部２はローダ部１とアンローダ部３との間に
介設されており、反転ステージ１５を備えている。反転
ステージ１５上の所定の左右位置には、ローダ部１から
実キャリア１０ａが、アンローダ部３から空キャリア１
０ｃが互いに平行で対向する状態にそれぞれ一枚宛供給
されるようになっており、その領域の上方にはカバー１
６が被せられている。

反転ステージ１５の下方には、反転部材としての円弧運
動アーム１７が複数本（１本のみが図示されている。）
、互いに平行に、かつ、反転ステージ上の両キャリア１
０ａと１０ｃとにおける各逃げ孔１１にそれぞれ対向す
るように設けられており、これらアーム１７は円弧運動
するように外部材１８と内部材１９とを備えた伸縮する
二重構造に構成されている。すなわち、外部材１８およ
び内部材１９は曲率が同一の円弧形状に形成され、パイ
プ形状の外部材１８内に内部材１９が摺動自在に嵌入さ
れている。駆動手段は図示しないが、外部材１８は反転
ステージ１５の下方から上方へ円弧運動し、内部１ＦＡ
’　ｌ　９は外部材１８内を進退して円弧運動するよう
に構成されている。

アーム１７の内部材１９の先端部には吸着ヘッド２０が
ＩＣ４を吸着し得るように開設されており、吸着ヘッド
２０には中心線上に形成された負圧供給路２１が接続さ
れている。

次に作用を説明する。

反転部２において反転ステージ１５の所定の左右位置に
、ローダ部１から実マガジン１４ａの実キャリア１０ａ
が、アンローダ部３から空マガジン１４ｃの空キャリア
］Ｏｃがそれぞれ供給され、互いに平行で対向した状態
において適当な位置決め手段（図示せず）により位置決
めされる。

実キャリア１０ａと空キャリア１０ｃとが位置決めされ
ると、各アーム１７が上方に向かって円弧運動し始め、
まず、アーム１７の先端部は空キャリア１０ｃにおりる
逃げ孔１１を通り抜ける。

さらに、内部材１９の伸長に伴って、第７図に示されて
いるように、アーム１７は略半円形運動するため、アー
ム１７先端部に開設されている吸着ヘッド２０は１８０
度反転して下向きになる。この反転状態において、吸着
ヘッド２０は実キャリア１０ａ上のＩＣ４におけるパッ
ケージ５の上面を吸着することになる。

吸着ヘッド２０がＩＣ４を吸着保持すると、アーム１７
は復帰方向に円弧運動し始める。第８図に示されている
ように、アームＩ７の先端部が空キャリア１０ｃにおけ
る逃げ孔１１を通過すると、吸着ヘッド２０に保持され
ているＩＣ４は空キャリア１０の逃げ孔】１の位置に移
載されることになる。このとき、ＩＣ４の２個の位置決
め孔９がキャリア１０の一対のピン１３に嵌合するため
、ＩＣ４はキャリア１０に正確に位置決めされることに
なる。

移載が終了すると、ＩＣ４は反転済みキャリア１０ｂに
おいてヒートシンク６を下向きにして反転された状態に
なっている。

このようにして反転作業が終了すると、反転済みキャリ
ア１０ｂはアンローダ部３に回収され、アンローダ部３
において、元の空マガジン１４ｃに戻される。他方、Ｉ
Ｃ４を排出して空になった空キャリア１０ｃはローダ部
３に回収され、ローダ部１において、元の実マガジン１
４ａに戻される。

以降、前記作動を繰り返してＩＣ４の反転作業が継続さ
れることになる。アンローダ部３において、反転済みキ
ャリアｌＯｂで満たされると、反転済みマガジン１４ｂ
は選別検査等の次工程へと送り出され、次の空マガジン
１４Ｃがら空キャリア１０ｃが反転部２に供給されるよ
うになる。他方、ローダ部１において、実キャリア１０
ａがなくなって空キャリアＩＯＣだけになると、空マガ
ジン１４Ｃはアンローダ部３側へ送り出され、次の実マ
ガジン１４ａから実キャリア１０ａが反転部２に供給さ
れるようになる。

〔実施例２〕 第９図は本発明の他の実施例を示す主要部の一部省略正
面図、第１０図、第１１図、第１２図はその作用を説明
するための各一部省略正面図であ本実施例が前記実施例
１と異なる点は、大略、反転手段としてのアームが軸を
中心に回動運動をするように構成されている点と、アー
ムへＩＣを受は渡すための第２吸着ヘッドを備えている
点とにある。

すなわち、反転ステージ１５上には反転用の回動アーム
２２が複数（１基のみが図示されている。

）、軸２３により上方向に略１８０度回動するようにそ
れぞれ支承されている。各アーム２２の自由端部上面に
は、吸引ホース２５を接続された第１吸着ヘッド２４が
開設されており、この吸着ヘッド２２の脇にはキャリア
１０のピン１３を逃げるための逃げ穴２６が没設されて
いる。第２吸着ヘッド２７は各アーム２２にそれぞれ対
設されており、反転ステージ１５に供給される実キャリ
ア１０ａとアーム２２の第１吸着ヘッド２４との間を往
復移動し得るように構成されている。

前記構成にかかる反転装置における反転部２において、
反転ステージ１５上の所定の左右位置に、ローダ部Ｉか
ら実マガジン１４ａ内の実キャリア１０ａが、アンロー
ダ部３がら空マガジン１４ｃ内の空キャリアＩＯＣがそ
れぞれ供給されて位置決めされると、第２吸着ヘソＦ２
７が実キャリアＩＯａ上のＩＣ４を吸着保持する。

ＩＣ４を吸着保持した第２吸着ヘッド２７は、第１０図
に示されているように、ＩＣ４をアーム２２の第１吸着
ヘッド２４の位置に移送して受は渡す。受は渡されたア
ーム２２の第１吸着ヘッド２４はＩＣ４を吸着保持する
。

ＩＣ４を保持すると、アーム２２は、第１１図に示され
ているように、軸２３を中心に略１８０度上向きに回動
し、ＩＣ４を反転ステージ１５の反対側に位置する空キ
ャリアＩＯＣにおける逃げ孔１１の位置に移送して受は
渡す。このとき、ＩＣ４の各位置決め孔９が空キャリア
１０ｃの各ピン１３に嵌合するため、ＩＣ４はキャリア
に正確に位置決めされることになる。移載が終了すると
、ＩＣ４は反転済みキャリア１０ｂにおいてヒートシン
ク６を下向きにして反転された状態になっている。

移載が終了すると、アーム２２は、第１２図に示されて
いるように、前記とは反対方向に復帰回動して元の状態
に戻り、次の作動に待機する。

以降、前記作動を繰り返してＩＣ４の反転作業が継続さ
れることになる。

〔効果〕 （１）　　キャリアに載せられた物品を保持して１８０
度移動させ、他のキャリアに移載することにより、手作
業を要せずに自動的に、物品を１８０度反転させること
ができるため、生産性を向上させることができる。

（２）物品を保持して１８０度移動させる反転手段とし
て、略半円形円弧運動するアームを使用することにより
、物品を持ち換えずに一度に反転移動させることができ
るため、作業能率を高めることができるともに、連携作
動を簡単化することができる。

（３）物品を保持して１８０度移動させる反転手段とし
て略１８０度回動運動するアームを使用することにより
、反転運動のための構造を簡単化することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能
であることはいうまでもない。

例えば、反転手段は半円形運動するアームにより構成す
るに限らず、コ字形運動して１８０度移動するように構
成してもよい。

物品を保持する手段は真空吸着手段に限らず、磁力によ
る吸着手段でもよいし、把持手段等であってもよい。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるＩＣの反転装置に適
用した場合について説明したが、それに限定されるもの
ではなく、例えば、他の電子部品や電子機器を反転させ
る技術等にも適用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である反転装置を示す斜視図
、 第２図はその作用を説明するための概略斜視図、第３図
はＩＣを示す平面図、 第４図はその一部切断正面図、 第５図はキャリアを示す平面図、 第６図は主要部を示す一部省略正面図、第７図、第８図
はその作用を説明するための各一部省略正面図、 第９図は本発明の他の実施例を示す主要部の一部省略正
面図、 第１０図、第１１図、第１２図はその作用を説明するた
めの各一部省略正面図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、キャリアに載せられた物品を保持して略１８０度移
   動することにより、物品を反転させて他のキャリアに移
   載する反転手段を備えている反転装置。 ２、反転手段が、略半円形円弧運動するアームを備えて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の反転
   装置。 ３、反転手段が、略１８０度回動するアームを備えてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の反転装
   置。