JPH01293531A - ウエハ移し替え装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は半導体製造装置に用いられろウェハの自動移
し替丸装置に関するものである。

〔従来の技術〕

第５図は従来のウェハ移し替え装置の正面断面図、第６
図は同じく側面断面図、第７図は同じく部分平面図、第
８図はウェハを保持した状態を示す正面図である。図に
おいて、１ばウェハ移し替え装置の機構を収納するハウ
ジング、２はウェハ３２を収納するウェハカセット、３
はウェハ３２を収納するべく準備された空のウェハカセ
ット、４及び５は各々ウェハカセット２及び３を載置し
てガイドシャフト６上を摺動する載置台、７及び２３は
載置台４及び５を各々駆動するエアシリンダ、８及び２
４ばエアシリンダ７及び２３をハウジング１に固着する
取付板、９及び２５はウェハを摺動案内する複数の溝を
有するウェハガイドで、対向して配置されている。１０
及び２６はウェハガイド９．２５を保持する保持具、１
１及び２７は保持具１０及び２６、ひいてはウェハガイ
ド９及び２５を回動自在に支承する軸で、ハウジング１
に回動部材（図示せず）を介して取付けられている。１
２及び２８ば軸】１及び２７に適当な手段（図示せず）
により固着された歯車、１３及び２９は歯車】２．２８
に噛み合い、モータ１４及び３０に適当な手段（図示せ
ず）により固着された歯車、１５はモータ１４及び３０
をハウジング１に固着する取付板、１７はウェハガイド
９及び２５の間にウェハを摺動挿入する方向にウェハを
突き上げろ突き上げ板、１８は突き上げ板１７を支承す
るガイドシャフト、１９はガイドシャフト１８を摺動自
在に支承する支丸台で、ガイドシャフト１８に相対する
位置にはハウジング１にも貫通穴が配設されている。２
０はガイドシャフト１８、ひいては突き上げ板１７を上
下に駆動するねじ軸、２１ばねじ軸２０に回転力を付与
するモータ、２２はモータ２１をハウジング１に固着す
るブラケットである。（幻はウェハの移し替え位置を示
す。

次に動作について説明する。ウェハ３２の入ったウェハ
カセット２は、載置台４に載置されたまま、エアシリン
ダ７により移し替え位！ｌ　（Ａ）まで移動する。次い
で、突き上げ板１７がねじ軸２０、即ちモータ２１の駆
動により突き上げられ、ウェハカセット２内のウェハ３
２はウェハガイド９．２５の溝に沿って摺動案内され、
ウェハカセット２から取り出される。次いで、ウェハガ
イド９．２５は歯＄１２．１３及び２８．２９を介して
モータ１４．３０により所定の角度まで回動し、ウェハ
を保持する（第８図）。更に、突き上げ板１７が下降し
、ウェハ３２はウェハカセット２から完全に取り出され
る。次に、空になったウェハカセット２ば、載置台４に
載置されたまま初期の位置まで移動し、交替して、ウェ
ハ３２を移し替えられるべき別のウェハカセット３がエ
アシリンダ２３により移し替え位置（幻に移動する。更
に、ウェハ３２はウェハカセット２がらウェハ３２が取
９出されるのと逆の順序でウェハヵセッ）・３に収納さ
れ、ウェハカセット３が初期の位置に移動することでウ
ェハ３２の自動移し替え作業が完了する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のウェハ移し替え装置は以上のように構成されてい
るので、装置間の搬送を機械化した自動化のライン装置
に組み入れられた場合、ウェハカセットに工程情報等を
記録した情報伝達媒体が収納されろ為、これの移し替え
は人手に頼らなければならないなどの問題があった。

この発明は上記の問題点を解消するためになされたもの
で、情報伝達媒体を人手に頼ることなく、ウェハと同時
に移し替えが出来ろウェハ移し替え装置を得ることを目
的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係ろウェハ移し替え装置は、情報伝達媒体を
、ウェハと同様に摺動案内する溝を有する媒体ガイドを
ウェハガイドと並んで配置し、情報伝達媒体突き一ヒげ
仮もウェハの突き上げ板と並んで配置したものである。

〔作用〕

この発明におけるウェハの移し替え装置は、情報伝達媒
体を摺動案内する溝を有する媒体ガイドと、媒体の突き
上げ板により、収納されているウェハカセットから別の
ウェハカセットに移し替えすることができろ。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図乃至第３図は、各々、正面断面図、側面断面図、部分
断面図である。また、第４図は情報伝達媒体を保持した
状態を示す正面図である。

図において、１６．３１は情報伝達媒体を摺動案内する
媒体ガイドで、ウェハガイド９．２５と同様にして対向
して配置される。３３は媒体ガイドを突き上げる媒体の
突き上げ板で、シャフト３４によりガイドシャフト１８
に連結されろ。３５は情報伝達媒体である。２ａ、３ａ
は情報伝達媒体３５を収納するよう改造されたウェハカ
セットである。その他の構成（よ第５図〜第８図と同様
なので、同一符号を付して説明を省略する。

次に動作について説明する。ウェハ３２の移し替え動作
（よ従来のものと同様であるが、ウェハ３２がねじ軸２
０．即ちモータ２１の駆動により突き上げられろ時、ガ
イドシャフト１８に連結されたシャフト３４により、媒
体の突き上げ板３３が突き上げられる為、情報の伝達媒
体３５も同時に突き上げられる。

更に、歯車１２．１３及び２８．２９、更に軸１１．２
７を介してモータ１４．３０によりウェハガイド９．２
５が回動し、ウェハ３２を保持する時（第８図）、軸１
１．２７に固着された媒体ガイド１６．３１も回動して
情報伝達媒体３５も保持されろ（第４図）。次いで、ウ
ェハの突き」二げ板１７、媒体の突き上げ板３３が下降
し、ウェハ３２及び情報伝達媒体３５はウェハカセット
２ａから完全に取り出される。以下、空になったウェハ
カセット２ａが初期の位置まで移動し、同様にウェハカ
セッ１−３ａが移し替え位置（Ａ）に移動して取り出さ
れろ時と逆の手順でウェハ３２及び情報伝達媒体３５が
収納され、再び初期の位置に移動することによりウェハ
３２及び情報伝達媒体３５の自動移し替えが完了する。

なお、上記実施例では、媒体の突き上げ板３３を駆動す
る為にウェハの突き上げ板１７ＩｉＩＫ動用と同一のモ
ータ２】を、また、媒体ガイド１６．３１を駆動する為
にウェハガイド９．２５１］Ｋ動用と同一のモータ１４
．３０を使用したものを示したが、各々または一方が別
のモータ乃至は他のアクチュエータでもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば、情報伝達媒体をウェ
ハと同時に一つのウェハヵセッ）・から他のウェハカセ
ットに自動的に移し替えるように構成したので、人手を
要しない自動化ラインを組み込むのに最適なものが得ら
れろと共に、駆動源を共通化した為に比較的安価に所要
の性能が得られる等の効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるウェハ移１ノ替え装
置の正面断面図、第２図＋、１同じく側面断面図、第３
図は同じ（部分平面図、第４図は情報伝達媒体の保持状
態を示す部分正面図、第５図は従来のウェハ移し替え装
置を示す正面断面図、第６図は同じく側面断面図、第７
図は同じく部分平面図、第８図はウェハの保持状態を示
す部分正面図である。 図中、２＆、３ａはウェハカセット、９．２５はウェハ
ガイ　ド、１４．３０はモータ、１６．３１は媒体ガイ
　ド、１７はウェハの突き上げ板、２１ばモータ、３２
ばウェハ、３３は媒体の突き上げ板、３５は情報伝達媒
体である。 尚、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　ウェハを摺動案内する複数の溝を有するウェハガイド
   が対向して配置され、このガイドにウェハを摺動挿入す
   る方向に可動なように設けられたウェハの突き上げ板を
   有すると共に、上記ウェハガイドと突き上げ板で構成さ
   れるウェハの移し替え位置に交互に異なった方向よりウ
   ェハカセットを導入案内する手段を有し、更に、ウェハ
   カセットにウェハと並行な状態で収納されたウェハの工
   程情報等を記録した情報伝達媒体を、ウェハと同様に摺
   動案内する溝を有する媒体ガイドがウェハガイドと並ん
   で配置され、上記媒体の突き上げ板もウェハの突き上げ
   板と並んで配置されたことを特徴とするウェハ移し替え
   装置。