JPS60129131U - ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア - Google Patents

ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア

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JPS60129131U
JPS60129131U JP1528984U JP1528984U JPS60129131U JP S60129131 U JPS60129131 U JP S60129131U JP 1528984 U JP1528984 U JP 1528984U JP 1528984 U JP1528984 U JP 1528984U JP S60129131 U JPS60129131 U JP S60129131U
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JP
Japan
Prior art keywords
stopper
wafer carrier
semiconductor wafer
attached
semiconductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP1528984U
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English (en)
Inventor
長峯　直好
直行 鈴木
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の半導体ウェハーキャリアを示、す斜視
図である。−第２図は、本考案の一実施例のウェハーキ
ャリアを示す斜視図である８第３図は、本考案の一実施
例でつエバーストッパーを取□付り付けたウニ゛ハーキ
ャ１シフを夾す斜視図であ　　−・尚、図において、１
・・・・・・ウェハーキャリア、２・・・・・・ウェハ
ー、３・・・・・・ウェハーキャリア側板、４　　。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体ウェハーキャリアに収容された半導体ウェハーの
    落下防止の為半導体ウェハーキャリアにストンパーを付
    設し、該ストッパーが簡単に着脱できる事を特徴とした
    ストッパー付半導体ウェハ−キャリア。　　　　　　　
    　　−
JP1528984U 1984-02-06 1984-02-06 ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア Pending JPS60129131U (ja)

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JP1528984U JPS60129131U (ja) 1984-02-06 1984-02-06 ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア

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JP1528984U JPS60129131U (ja) 1984-02-06 1984-02-06 ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60129131U true JPS60129131U (ja) 1985-08-30

Family

ID=30500999

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1528984U Pending JPS60129131U (ja) 1984-02-06 1984-02-06 ストツパ−付半導体ウエハ−キヤリア

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JP (1) JPS60129131U (ja)

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