JPS60174240U - 熱処理ボ−ト - Google Patents
熱処理ボ−トInfo
- Publication number
- JPS60174240U JPS60174240U JP6194784U JP6194784U JPS60174240U JP S60174240 U JPS60174240 U JP S60174240U JP 6194784 U JP6194784 U JP 6194784U JP 6194784 U JP6194784 U JP 6194784U JP S60174240 U JPS60174240 U JP S60174240U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- treatment boat
- abstract
- boat
- square groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の熱処理ポートの側面図、第２図は本考案
の前処□理ボートの側面図を示す。 １・・・熱処理ボート、２・・・Ｕ字形溝、３・・・半
導体ウェハ、４・・・のこぎり方形溝。
の前処□理ボートの側面図を示す。 １・・・熱処理ボート、２・・・Ｕ字形溝、３・・・半
導体ウェハ、４・・・のこぎり方形溝。
Claims (1)
- 半導体ウェハ搭載用の熱処理ポートにのこぎり方形の溝
を有していることを特徴とする熱処理ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6194784U JPS60174240U (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 熱処理ボ−ト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6194784U JPS60174240U (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 熱処理ボ−ト |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60174240U true JPS60174240U (ja) | 1985-11-19 |
Family
ID=30590694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6194784U Pending JPS60174240U (ja) | 1984-04-25 | 1984-04-25 | 熱処理ボ−ト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60174240U (ja) |
-
1984
- 1984-04-25 JP JP6194784U patent/JPS60174240U/ja active Pending
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