JPS5981034U - ウエハ搬送装置 - Google Patents

ウエハ搬送装置

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JPS5981034U
JPS5981034U JP17664082U JP17664082U JPS5981034U JP S5981034 U JPS5981034 U JP S5981034U JP 17664082 U JP17664082 U JP 17664082U JP 17664082 U JP17664082 U JP 17664082U JP S5981034 U JPS5981034 U JP S5981034U
Authority
JP
Japan
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wafer
tunnel
wafer transfer
transport
transfer device
Prior art date
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Granted
Application number
JP17664082U
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JPS6317254Y2 (ja
Inventor
前田　眞之
井上　和成
Original Assignee
日立プラント建設株式会社
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Publication date
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Priority to JP17664082U priority Critical patent/JPS5981034U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のウェハ搬送装置の１例を示す構成図、第
２図は第１図で示される装置の外観図、第３図は改良さ
れたウェハ搬送装置の構成図、第４図は本考案に係るウ
ェハ搬送装置の好適な実施例を示す第５図ＩＶ−ＴＶ線
断に相当する構成図、第５図は第４図の斜視図、第６図
はウェハの表面に対する清浄空気の吹込角度とウェハ表
面への塵埃付着指数との関係を示す説明図である。 ２６・・・・・・ウェハ、４４・・・・・・ウェハ搬送
トンネル、４６・・・・・・フィルタ、４８．５４・・
・・・・整流格子。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハを搬送面に沿って搬送するウェハ搬送装置におい
    て、ウェハ搬送面に沿って設けられ該ウェハ搬送面を包
    囲状態に保持するウェハ搬送トンネルと、ウェハ搬送ト
    ンネルの一側面に設けられ該ウェハ搬送トンネルの幅方
    向であってウェハ搬送面と平行に清浄空気をウェハ搬送
    トンネル内に吹き込む空気吹込口と、ウエノ・搬送トン
    ネルの他側面に前記空気吹込口と対向して設けられウエ
    ノ・搬送トンネル内に吹き込まれた清浄空気をウェハ搬
    送トンネル外に吹き出す空気吹出口と、を備えたことを
    特徴とするウェハ搬送装置。
JP17664082U 1982-11-22 1982-11-22 ウエハ搬送装置 Granted JPS5981034U (ja)

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JP17664082U JPS5981034U (ja) 1982-11-22 1982-11-22 ウエハ搬送装置

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JP17664082U JPS5981034U (ja) 1982-11-22 1982-11-22 ウエハ搬送装置

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Publication Number Publication Date
JPS5981034U true JPS5981034U (ja) 1984-05-31
JPS6317254Y2 JPS6317254Y2 (ja) 1988-05-16

Family

ID=30383985

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004040641A1 (ja) * 2002-10-29 2004-05-13 Takehide Hayashi 搬送機用クリーントンネル
JP2011202837A (ja) * 2010-03-25 2011-10-13 Fujifilm Corp フイルム搬送装置及び方法、フイルム製造装置及び方法
CN109592496A (zh) * 2018-11-23 2019-04-09 嘉兴学院 一种用于卷绕纺线的具有清洁功能的纺织设备

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5244177A (en) * 1975-10-01 1977-04-06 Ibm System for transferring pieces under treatment
JPS55134239A (en) * 1979-04-04 1980-10-18 Toshiba Corp Clean box
JPS5619635A (en) * 1979-07-27 1981-02-24 Hitachi Ltd Manufacturing apparatus

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