JPS59164240U - 半導体組立装置 - Google Patents

半導体組立装置

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JPS59164240U
JPS59164240U JP5790183U JP5790183U JPS59164240U JP S59164240 U JPS59164240 U JP S59164240U JP 5790183 U JP5790183 U JP 5790183U JP 5790183 U JP5790183 U JP 5790183U JP S59164240 U JPS59164240 U JP S59164240U
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JP
Japan
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semiconductor assembly
assembly equipment
clean
assembly device
products
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Pending
Application number
JP5790183U
Other languages
English (en)
Inventor
杉浦　「けい」一
桧垣　豊
Original Assignee
九州日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 九州日本電気株式会社 filed Critical 九州日本電気株式会社
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Publication of JPS59164240U publication Critical patent/JPS59164240U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
図は本考案の一実施例を示す斜視図である。 １・・・組立装置の本体、２・・・製品搬送部、３・・
・クリーンユニット。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体組立装置本体に製品搬送部を通過する製品に向け
    てクリーンエアーを吹き付けこれを清浄するクリーンユ
    ニットを設置したことを特徴とする半導体組立装置。
JP5790183U 1983-04-18 1983-04-18 半導体組立装置 Pending JPS59164240U (ja)

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JPS59164240U true JPS59164240U (ja) 1984-11-02

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ID=30188189

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JP5790183U Pending JPS59164240U (ja) 1983-04-18 1983-04-18 半導体組立装置

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