JPS58159743U - 半導体ペレツタイズ装置 - Google Patents
半導体ペレツタイズ装置Info
- Publication number
- JPS58159743U JPS58159743U JP5662282U JP5662282U JPS58159743U JP S58159743 U JPS58159743 U JP S58159743U JP 5662282 U JP5662282 U JP 5662282U JP 5662282 U JP5662282 U JP 5662282U JP S58159743 U JPS58159743 U JP S58159743U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- pelletizing equipment
- move
- pelletizing
- cutter holder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は従来のベレツタイズ装置のY方向断面図、第2
図は従来のベレツタイズ装置によるウェハーのスクライ
ブ面を示す斜視図、第3図は本考案の一実施例を示すY
方向断面図、第4図は一実施例の各位置における動作説
明図、第5図は本考案によるウェハーのスクライブ面を
示す斜視図で ・ある。 1・・・ウェハー、la、b・・・ウェハ一端面、2・
・・ステージ、3・・・カッター、4・・・カッター保
持部、A・・・ステージ上昇開始点、B・・・スクライ
ブ開始点、C・・・スクライブ終了点、D・・・終了点
。 \2 L (ロ) 〇 −A −
図は従来のベレツタイズ装置によるウェハーのスクライ
ブ面を示す斜視図、第3図は本考案の一実施例を示すY
方向断面図、第4図は一実施例の各位置における動作説
明図、第5図は本考案によるウェハーのスクライブ面を
示す斜視図で ・ある。 1・・・ウェハー、la、b・・・ウェハ一端面、2・
・・ステージ、3・・・カッター、4・・・カッター保
持部、A・・・ステージ上昇開始点、B・・・スクライ
ブ開始点、C・・・スクライブ終了点、D・・・終了点
。 \2 L (ロ) 〇 −A −
Claims (1)
- ウェハーを吸着保持して平面上を移動並びに回転可能と
し、さらに上下方向に昇降可能としたステージと、固定
されたカッター保持部と、該カッター保持部に取付けら
れたカッターとから構成したことを特徴とする半導体ペ
レツタイズ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5662282U JPS58159743U (ja) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | 半導体ペレツタイズ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5662282U JPS58159743U (ja) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | 半導体ペレツタイズ装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS58159743U true JPS58159743U (ja) | 1983-10-25 |
Family
ID=30067138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5662282U Pending JPS58159743U (ja) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | 半導体ペレツタイズ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS58159743U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6194340A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-13 | Rohm Co Ltd | 半導体ウェハのケガキ傷形成装置 |
-
1982
- 1982-04-19 JP JP5662282U patent/JPS58159743U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6194340A (ja) * | 1984-10-15 | 1986-05-13 | Rohm Co Ltd | 半導体ウェハのケガキ傷形成装置 |
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