JPS58159743U - 半導体ペレツタイズ装置 - Google Patents

半導体ペレツタイズ装置

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Publication number
JPS58159743U
JPS58159743U JP5662282U JP5662282U JPS58159743U JP S58159743 U JPS58159743 U JP S58159743U JP 5662282 U JP5662282 U JP 5662282U JP 5662282 U JP5662282 U JP 5662282U JP S58159743 U JPS58159743 U JP S58159743U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor
pelletizing equipment
move
pelletizing
cutter holder
Prior art date
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Pending
Application number
JP5662282U
Other languages
English (en)
Inventor
孝史 田中
Original Assignee
日本電気株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP5662282U priority Critical patent/JPS58159743U/ja
Publication of JPS58159743U publication Critical patent/JPS58159743U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のベレツタイズ装置のＹ方向断面図、第２
図は従来のベレツタイズ装置によるウェハーのスクライ
ブ面を示す斜視図、第３図は本考案の一実施例を示すＹ
方向断面図、第４図は一実施例の各位置における動作説
明図、第５図は本考案によるウェハーのスクライブ面を
示す斜視図で　　　・ある。 １・・・ウェハー、ｌａ、ｂ・・・ウェハ一端面、２・
・・ステージ、３・・・カッター、４・・・カッター保
持部、Ａ・・・ステージ上昇開始点、Ｂ・・・スクライ
ブ開始点、Ｃ・・・スクライブ終了点、Ｄ・・・終了点
。 ＼２ Ｌ （ロ）　　　〇　　　　　　　　　　−Ａ　　−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハーを吸着保持して平面上を移動並びに回転可能と
    し、さらに上下方向に昇降可能としたステージと、固定
    されたカッター保持部と、該カッター保持部に取付けら
    れたカッターとから構成したことを特徴とする半導体ペ
    レツタイズ装置。
JP5662282U 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置 Pending JPS58159743U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5662282U JPS58159743U (ja) 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP5662282U JPS58159743U (ja) 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS58159743U true JPS58159743U (ja) 1983-10-25

Family

ID=30067138

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5662282U Pending JPS58159743U (ja) 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS58159743U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6194340A (ja) * 1984-10-15 1986-05-13 Rohm Co Ltd 半導体ウェハのケガキ傷形成装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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