JPS5984834U - 半導体基板 - Google Patents
半導体基板Info
- Publication number
- JPS5984834U JPS5984834U JP18096182U JP18096182U JPS5984834U JP S5984834 U JPS5984834 U JP S5984834U JP 18096182 U JP18096182 U JP 18096182U JP 18096182 U JP18096182 U JP 18096182U JP S5984834 U JPS5984834 U JP S5984834U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- substrate
- semiconductor
- sets
- peripheral edge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の一実施例を示す半導体基板の平面図であ
る。 １・・・・・・半導体基板、３・・・・・・目印。
る。 １・・・・・・半導体基板、３・・・・・・目印。
Claims (1)
- 複数組の半導体素子が形成される半導体基板に゛おいて
、少くとも一方の面の周縁部定位置に基板把持部を示す
目印をつけたことを特徴とする半導体基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18096182U JPS5984834U (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 半導体基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18096182U JPS5984834U (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 半導体基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984834U true JPS5984834U (ja) | 1984-06-08 |
Family
ID=30392239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18096182U Pending JPS5984834U (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 半導体基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984834U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165625A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP18096182U patent/JPS5984834U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55165625A (en) * | 1979-06-12 | 1980-12-24 | Fujitsu Ltd | Manufacture of semiconductor device |
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