JPS5825039U - 半導体基板 - Google Patents

半導体基板

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JPS5825039U
JPS5825039U JP11839281U JP11839281U JPS5825039U JP S5825039 U JPS5825039 U JP S5825039U JP 11839281 U JP11839281 U JP 11839281U JP 11839281 U JP11839281 U JP 11839281U JP S5825039 U JPS5825039 U JP S5825039U
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor substrate
substrate
recorded
electronic filing
before electronic
Prior art date
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Pending
Application number
JP11839281U
Other languages
English (en)
Inventor
佐々木　正義
Original Assignee
沖電気工業株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 沖電気工業株式会社 filed Critical 沖電気工業株式会社
Priority to JP11839281U priority Critical patent/JPS5825039U/ja
Publication of JPS5825039U publication Critical patent/JPS5825039U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の４種類のウェーハの識別を副フラットの
位置で示した平面図、第２図ａ、　ｂは本考案半導体基
板−実施例を示す平面図である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体基板の周辺に近い部分の表面上に該基板の種類を
    識別するためのマークを設けたことを特徴とする半導体
    基板。
JP11839281U 1981-08-11 1981-08-11 半導体基板 Pending JPS5825039U (ja)

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JP11839281U JPS5825039U (ja) 1981-08-11 1981-08-11 半導体基板

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JP11839281U JPS5825039U (ja) 1981-08-11 1981-08-11 半導体基板

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JPS5825039U true JPS5825039U (ja) 1983-02-17

Family

ID=29912529

Family Applications (1)

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JP11839281U Pending JPS5825039U (ja) 1981-08-11 1981-08-11 半導体基板

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