JPS58159742U - 半導体ペレツタイズ装置 - Google Patents

半導体ペレツタイズ装置

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Publication number
JPS58159742U
JPS58159742U JP5662182U JP5662182U JPS58159742U JP S58159742 U JPS58159742 U JP S58159742U JP 5662182 U JP5662182 U JP 5662182U JP 5662182 U JP5662182 U JP 5662182U JP S58159742 U JPS58159742 U JP S58159742U
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JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor
pelletizing equipment
cutter
plane
move
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Pending
Application number
JP5662182U
Other languages
English (en)
Inventor
孝史 田中
Original Assignee
日本電気株式会社
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Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP5662182U priority Critical patent/JPS58159742U/ja
Publication of JPS58159742U publication Critical patent/JPS58159742U/ja
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  • Dicing (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のベレツタイズ装置のＹ方向断面図、第２
図は従来のベレツクイズ装置によるウェハーのスクライ
ブ面を示す斜視図、第３図は本考案の一実施例を示すＹ
方向断面図、第４図は本考案の装置によるスクライブ面
を示す斜視図である。 １・・・ウェハー、１ａ、ｂ・・・ウェハ一端面、２・
・・ステージ、３・・・カッター、４・・・カッター保
持部、Ａ・・・カッター下降開始点、Ｂ・・・スクライ
ブ開始点、Ｃ・・・スクライブ終了点、Ｄ・・・終了点
。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハーを吸着保持して平面上を移動並びに回転可能と
    したステージと、平面上の一方向と高さ方向とに移動可
    能としたカッター保持部と、カッター保持部に取付けら
    れるカッターとから構成したことを特徴とする半導体ペ
    レツタイズ装置。
JP5662182U 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置 Pending JPS58159742U (ja)

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JP5662182U JPS58159742U (ja) 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置

Applications Claiming Priority (1)

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JP5662182U JPS58159742U (ja) 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置

Publications (1)

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JPS58159742U true JPS58159742U (ja) 1983-10-25

Family

ID=30067137

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5662182U Pending JPS58159742U (ja) 1982-04-19 1982-04-19 半導体ペレツタイズ装置

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JP (1) JPS58159742U (ja)

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